JJF 1100-2003平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforFlatEqual

ThicknessInterferometers

2003-05-12發(fā)布2003-11-12實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJF1100—2003

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平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范??????????????

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CalibrationSecificationfor代替JJG336—1983?

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FlatEqualThicknessInterferometers

本規(guī)范經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20030512,

年月日起施行

20031112。

歸口單位:全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

負(fù)責(zé)起草單位:中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

本規(guī)范由歸口單位負(fù)責(zé)解釋

JJF1100—2003

本規(guī)范主要起草人:

冉慶中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

陳永康中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

參加起草人:

李建民中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

曹箭中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

JJF1100—2003

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量特性………………

4(1)

干涉條紋間距測(cè)量的重復(fù)性………

4.1(1)

測(cè)微目鏡的示值誤差………………

4.2(1)

物鏡系統(tǒng)引起的條紋彎曲量………

4.3(1)

儀器的示值誤差……………………

4.4(2)

校準(zhǔn)條件………………

5(3)

環(huán)境條件……………

5.1(3)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備…………

5.2(4)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法…………………

6(4)

干涉條紋間距測(cè)量的重復(fù)性………

6.1(4)

測(cè)微目鏡的示值誤差………………

6.2(4)

物鏡系統(tǒng)引起的條紋彎曲量………

6.3(4)

儀器的示值誤差……………………

6.4(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)…………

7(5)

復(fù)校時(shí)間間隔…………

8(5)

附錄校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)容…………………

A(6)

附錄平面等厚干涉儀示值誤差的測(cè)量不確定度分析………………

B(7)

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于平面等厚干涉儀的校準(zhǔn)不適用于只能估讀干涉條紋彎曲量的同類(lèi)干

,

涉裝置的校準(zhǔn)

。

2引用文獻(xiàn)

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—1998

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059—1999

平晶檢定規(guī)程

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

使用本規(guī)范時(shí)應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

平面等厚干涉儀以下簡(jiǎn)稱儀器是采用等厚光波干涉原理用于測(cè)量物體表面平

(),

面度的光學(xué)計(jì)量?jī)x器根據(jù)儀器示值誤差可分為一級(jí)和二級(jí)按其結(jié)構(gòu)分為用鈉光做光

,。

源不帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶和用激光做光源帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶的兩種平面等厚干涉儀其外

、、。

形結(jié)構(gòu)與光學(xué)原理分別見(jiàn)圖圖和圖圖

1、23、4。

圖不帶標(biāo)準(zhǔn)平晶的外形結(jié)構(gòu)圖

1

4計(jì)量特性

干涉條紋間距測(cè)量的重復(fù)性

4.1

重復(fù)性不超過(guò)

0.020mm。

測(cè)微目鏡的示值誤差

4.2

在任意內(nèi)不超過(guò)在全程不超過(guò)

1mm