JJF 1306-2011X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1306—2011

X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationfor

X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments

2011-09-14發(fā)布2011-12-14實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJF1306—2011

射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments

本規(guī)范經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

2011914,

年月日起施行

20111214。

歸口單位全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

:

深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院

江蘇天瑞儀器股份有限公司

本規(guī)范委托全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1306—2011

本規(guī)范主要起草人

:

朱小平中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

王強(qiáng)兵深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院

()

李玉花江蘇天瑞儀器股份有限公司

()

參加起草人

:

杜華中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

王蔚晨中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1306—2011

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量特性………………

4(1)

厚度測(cè)量重復(fù)性……………………

4.1(1)

示值穩(wěn)定性…………

4.2(1)

厚度測(cè)量示值誤差…………………

4.3(1)

校準(zhǔn)條件………………

5(2)

環(huán)境條件……………

5.1(2)

校準(zhǔn)所用標(biāo)準(zhǔn)器及配套設(shè)備………

5.2(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法…………………

6(2)

校準(zhǔn)前準(zhǔn)備…………

6.1(2)

厚度測(cè)量重復(fù)性……………………

6.2(2)

示值穩(wěn)定性…………

6.3(2)

厚度測(cè)量示值誤差…………………

6.4(3)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)…………

7(3)

復(fù)校時(shí)間間隔…………

8(3)

附錄測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定示例……………

A()(4)

附錄厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的技術(shù)要求………

B(7)

附錄常見典型鍍層材料的厚度范圍………………

C(9)

JJF1306—2011

X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于射線熒光鍍層測(cè)厚儀的校準(zhǔn)

X。

2引用文獻(xiàn)

本規(guī)范引用下列文獻(xiàn)

:

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—1998

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059—1999

測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定

JJF1094—2002

金屬覆蓋層覆蓋層厚度測(cè)量射線光譜方法

GB/T16921—2005X

使用本規(guī)范時(shí)應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

射線熒光鍍層測(cè)厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器具有分

X,

析測(cè)量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體首飾材

,、、、

料分析等行業(yè)射線熒光鍍層測(cè)厚儀測(cè)量鍍層厚度的原理射線管產(chǎn)生的初級(jí)

。X:XX

射線照射在被分析的樣品上樣品受激發(fā)而輻射出二次射線被探測(cè)器接收此二次

,X,

輻射具有該樣品材料的波長(zhǎng)和能量特征鍍層厚度和二次輻射強(qiáng)度有一定的關(guān)系經(jīng)多

,,

道分析器及計(jì)算機(jī)進(jìn)行能譜分析處理后計(jì)算被測(cè)樣品的鍍層厚度