JJG 989-2004光柵式測(cè)微儀

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG989—2004

光柵式測(cè)微儀

GratingMicrometers

2004-09-21發(fā)布2004-12-21實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中華人民共和國(guó)

國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

光柵式測(cè)微儀

JJG989—2004

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

*

中國(guó)質(zhì)檢出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100013)

北京市西城區(qū)復(fù)外三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

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年月第版

2004121

*

書(shū)號(hào)

:155026·J-1825

版權(quán)專有侵權(quán)必究

JJG989—2004

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本規(guī)程經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20040921,

年月日起施行

20041221。

歸口單位:全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

主要起草單位:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

參加起草單位:中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

本規(guī)程委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJG989—2004

本規(guī)程主要起草人:

耿麗紅中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

匡龍中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

曹學(xué)東中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

范天泉中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

參加起草人:

李建民中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

JJG989—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量性能要求…………

4(2)

測(cè)力…………………

4.1(2)

測(cè)桿受徑向力引起的示值變化……………………

4.2(2)

重復(fù)性………………

4.3(2)

示值誤差……………

4.4(2)

漂移…………………

4.5(2)

通用技術(shù)要求…………

5(2)

外觀…………………

5.1(2)

各部分相互作用……………………

5.2(3)

抗干擾性……………

5.3(3)

計(jì)量器具控制…………

6(3)

檢定條件……………

6.1(3)

檢定項(xiàng)目……………

6.2(4)

檢定方法……………

6.3(4)

檢定結(jié)果的處理……………………

6.4(6)

檢定周期……………

6.5(6)

附錄測(cè)微儀示值誤差檢定計(jì)算實(shí)例量塊和測(cè)微儀檢定器組合法…………

A()(7)

附錄示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度激光測(cè)長(zhǎng)裝置法…………

B()(8)

附錄示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度量塊和測(cè)微儀檢定器組合法……………

C()(12)

附錄檢定證書(shū)和檢定結(jié)果通知書(shū)內(nèi)頁(yè)格式………

D(18)

JJG989—2004

光柵式測(cè)微儀檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于分辨力為測(cè)量范圍至的光柵式測(cè)微儀的首次

0.01μm~1μm,100mm

檢定后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)

、。

2引用文獻(xiàn)

本規(guī)程引用下列文獻(xiàn)

:

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—1998

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059—1999

測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定

JJF1094—2002

光柵線位移傳感器

JB/T10080.2—2000

使用本規(guī)程時(shí)應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

光柵式測(cè)微儀以下簡(jiǎn)稱測(cè)微儀是以光柵副作為測(cè)量元件將線位移量轉(zhuǎn)換為光

(),

電信號(hào)經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示的一種長(zhǎng)度精密測(cè)量?jī)x器

,