真空泵的分類及工作原理課件

真空泵的分類及工作原理2013.05.01logo真空技術(shù)真空泵的分類

往復(fù)式真空泵

容積真空泵

1.旋轉(zhuǎn)式真空泵氣體傳輸分子真空泵泵

動(dòng)量傳輸泵噴射真空泵

擴(kuò)散泵真空泵的分類2.

吸附泵氣體捕集泵低溫泵1.液環(huán)式真空泵如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。2.往復(fù)式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達(dá)到或稍大于一個(gè)大氣壓時(shí)，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，被抽容器內(nèi)最終達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力。3、油封機(jī)械泵油封式真空泵：它是利用油類密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。

在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個(gè)始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，滑片能上下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。5、干式真空泵爪形轉(zhuǎn)子干式真空泵（又簡(jiǎn)稱爪式泵）在泵殼內(nèi)具有兩個(gè)共軛嚙合的爪形轉(zhuǎn)子。與羅茨真空泵類似，轉(zhuǎn)子由一對(duì)同步高精度齒輪來(lái)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)并固定相位。轉(zhuǎn)子型線由六段擺線和圓弧組成，轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵殼之間并不接觸，留有微小的間隙。氣體的進(jìn)氣口和排氣口均設(shè)在泵殼的端面上，分別由兩個(gè)轉(zhuǎn)子端面周期性的定時(shí)開閉，具有閥的調(diào)節(jié)作用。各級(jí)轉(zhuǎn)子與隔板之間的間隙易于調(diào)整。6、油擴(kuò)散泵當(dāng)油蒸汽從傘形噴咀(如I級(jí)噴咀)以超音速噴出后其速度逐漸增大壓力及密度逐漸降低射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴(kuò)散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B在B處