靜電防護(hù)教材課件

靜電防護(hù)培訓(xùn)教材目錄一、靜電產(chǎn)生及對(duì)電子生產(chǎn)制造業(yè)的不良影響二、靜電防護(hù)原理三、電子生產(chǎn)使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成四、靜電敏感器件生產(chǎn)與操作系統(tǒng)管理五、電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)ESD培訓(xùn)教材一、靜電產(chǎn)生及對(duì)電子生產(chǎn)制造業(yè)的不良影響1、靜電的產(chǎn)生與靜電效應(yīng)通常任何物體所帶的正負(fù)電荷是等量的，當(dāng)與其他物體發(fā)生摩擦、接觸，并由于機(jī)械作用分離時(shí)，因兩種物體摩擦起電的序列不同。在一種物體上積聚正電荷，另種物體則積聚負(fù)電荷，在各物體上產(chǎn)生靜電，并在外部形成靜電場(chǎng)。ESD培訓(xùn)教材等量異種電荷失去電子帶正電獲得電子帶負(fù)電演示說(shuō)明靜電序列：1、人手10、硬橡膠2、玻璃11、醋酸人造纖維3、人發(fā)12、聚酯4、尼龍13、明膠5、毛皮14、聚氨酯6、絲綢15、聚乙烯7、紙16、硅8、棉布17、聚四氟乙烯9、木板＋－摩擦ESD培訓(xùn)教材靜電對(duì)電子生產(chǎn)制造業(yè)的危害甚大2、靜電對(duì)電子生產(chǎn)制造業(yè)的危害（1）吸附塵埃：（2）靜電放電：靜電放電可使集成電路芯片介質(zhì)擊穿，芯線熔斷，漏電流增大加速老化，電性能參數(shù)改變等等。靜電放電對(duì)芯片損壞具有潛在和緩慢失效性，這種情況危害性較大靜電吸附塵埃對(duì)微電子生產(chǎn)業(yè)影響很大，在現(xiàn)代大規(guī)模集成電路（LSI)生產(chǎn)中，芯片的線寬已達(dá)到0.1微米。如果其產(chǎn)生靜電則對(duì)幾~幾十微米的塵埃吸附作用明顯。一顆直徑幾微米塵埃吸附在芯片上，即可造成幾十根芯線之間的絕緣強(qiáng)度降低，造成短路使芯片損壞。（3）靜電感應(yīng)：靜電感應(yīng)不但具有靜電放電的危害性，而其感應(yīng)放電產(chǎn)生的寬頻帶干擾客隊(duì)計(jì)算機(jī)和電電品數(shù)字電路發(fā)生翻轉(zhuǎn)效應(yīng)或?qū)е聝x器運(yùn)行失常。靜電放電對(duì)元器件損害的耦合途徑靜電對(duì)電子生產(chǎn)制造業(yè)的危害甚大圖1-3：ESD耦合途徑ESD培訓(xùn)教材（4）靜電對(duì)電子工業(yè)造成損害的典型事例

全世界在上世紀(jì)八十年代因靜電造成飛機(jī)、油船、化工廠、油庫(kù)發(fā)生聲爆炸或者燃燒所造成的年損失近二百億美元。而在電子行業(yè)對(duì)元器件造成的損失更大，原因在于爆炸事件往往能夠引起有關(guān)方面的注意，而靜電造成電子器件損壞往往不會(huì)對(duì)人們?cè)斐晌：Γ瑫r(shí)不易被人察覺(jué)。因此從某種意義看，電子行業(yè)的靜電問(wèn)題更具有危害性。1、日本曾對(duì)不合格的電子產(chǎn)品進(jìn)行過(guò)解析。發(fā)現(xiàn)器件不合格的45%是由靜電造成的。美國(guó)也曾在上世紀(jì)80年代初作過(guò)統(tǒng)計(jì)，它的電子工業(yè)每年由于靜電造成的損失高達(dá)100億美元。英國(guó)經(jīng)過(guò)數(shù)年調(diào)查了解到，該國(guó)上世紀(jì)七、八十年代的電子產(chǎn)品，每年因靜電造成的損失為20億英鎊。2、航天部門北京某所實(shí)驗(yàn)室在1992年初組裝調(diào)試我國(guó)“資源衛(wèi)星”上使用的一種儀器時(shí)，因人體靜電放電導(dǎo)致2只價(jià)值6000美元的進(jìn)口并遭禁運(yùn)的CCD器件（一種MOS器件）失效，幾乎影響衛(wèi)星的發(fā)射進(jìn)程。3、航天部門北京某廠在生產(chǎn)一種“長(zhǎng)征三號(hào)火箭”用儀器時(shí)，因進(jìn)口MOS門電路CT30，用不防靜電的塑料包裝封裝，短短不到兩年時(shí)間因靜電導(dǎo)致器件失效損失達(dá)30萬(wàn)人民幣以上。4、西歐一家著名電視機(jī)制造廠在七十年代每日生產(chǎn)1000部電視機(jī)。在生產(chǎn)制造方面，生產(chǎn)總故障率中的60%是靜電引起的，每年要付出近千萬(wàn)美元的賠償保證金。1979年由一家日本公司接收后，采用高標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)管理和防靜電措施，每日生產(chǎn)2000部電視機(jī)只有總的累積故障率中的2%是靜電引起的。靜電對(duì)電子生產(chǎn)制造業(yè)的危害甚大ESD培訓(xùn)教材電子生產(chǎn)使用環(huán)境中的靜電源ESD培訓(xùn)教材典型靜電源塑料袋摩擦后所帶的靜電電壓操作人員在工作時(shí)產(chǎn)生的靜電電壓在很多操作過(guò)程中，不產(chǎn)生靜電是不可能的，但產(chǎn)生靜電并非危險(xiǎn)所在，危害在于靜電積累以及由此產(chǎn)生的靜電放電。因此對(duì)靜電積累的限制和采取措施使靜電泄漏(耗散)尤為重要。1、靜電耗散與接地將各種操作運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的靜電迅速耗散是防止靜電危害行之有效的方法。靜電耗散是通過(guò)替換電子生產(chǎn)過(guò)程中接觸到的各類絕緣物制備的用具(包括各種工裝夾具和制品)而改用防靜電材料制備并使之接地來(lái)完成的。防靜電材料又叫ESD防護(hù)材料，從防靜電原理方面可以將其分為三類：導(dǎo)靜電、靜電耗散、靜電屏蔽耗散復(fù)合類。（三種材料是通過(guò)導(dǎo)電性加以區(qū)分的，根據(jù)電阻率的不同來(lái)區(qū)分材料的導(dǎo)電性。）通常靜電耗散材料制備的防靜電用品(用具)，使用在工作環(huán)境中有220V、380V交流強(qiáng)電或直流強(qiáng)電，能對(duì)操作人員提供安全保護(hù)。而導(dǎo)靜電材料用于沒(méi)有強(qiáng)電的情況下，火工和有防爆要求的場(chǎng)合。電子工業(yè)靜電接地有軟接地和硬接地之分，軟接地是指地線串接阻值比較高的電阻器后再與大地相連。軟接地的目的在于將對(duì)地電流限制在人身安全范圍之下(通常是5毫安)。軟接地所需要的電阻值大小取決于靠近接地點(diǎn)的人員可能接觸到的交直流電壓值。很多標(biāo)準(zhǔn)將軟接地電阻值規(guī)定為1兆歐姆。硬接地是指將地線直接接地或通過(guò)一低電阻接地。一般情況，硬接地用于靜電屏蔽或儀器設(shè)備，金屬體的接地。ESD培訓(xùn)教材二、靜電防護(hù)原理靜電防護(hù)原理2、靜電中和靜電中和是消除靜電的重要措施之一。在某些場(chǎng)合，當(dāng)不便使用ESD防護(hù)材料時(shí)，或必須將某些高絕緣易產(chǎn)生靜電的用品存放在工作臺(tái)或工藝線上時(shí)，為了保證產(chǎn)品質(zhì)量就必須對(duì)操作環(huán)境采取靜電中和措施。靜電中和是借助離子靜電消除器或感應(yīng)式靜電刷來(lái)實(shí)現(xiàn)的。靜電中和原：將正負(fù)離子與靜電源上的正負(fù)電荷中和，從而消除靜電源上積累的靜電。產(chǎn)生正負(fù)離子的裝置叫離子靜電消除器，其種類很多，有高壓式，同位素式，離子流式等。靜電中和也可采用靜電刷（靜電梳）來(lái)實(shí)現(xiàn)，他是在金屬棒上裝上一排導(dǎo)電纖維。當(dāng)靜電刷與絕緣物相接觸時(shí)，在接觸過(guò)程中，可因電暈放電，泄漏，短路等直接消除絕緣物上的靜電荷。在某些特殊情況下，還可采用放靜電劑來(lái)實(shí)點(diǎn)中和。這類噴劑通常是陽(yáng)離子或陰離子表面活性劑。上述幾種靜電中和的相後比較，離子靜電消除器具有不影響產(chǎn)品質(zhì)量，消除靜電快，使用方便等特點(diǎn)不足之處是儀器成本較高。防靜電劑的使用雖然具備操做簡(jiǎn)單等特點(diǎn)但從消除靜電效果來(lái)說(shuō)，在某些情況不如離子靜電消除器效果好，而且持性不好。有的防靜電劑具有腐蝕性和毒性。ESD培訓(xùn)教材ESD培訓(xùn)教材靜電防護(hù)原理為對(duì)靜電達(dá)到最佳的控制，必須使溫度保持在60%~70%以上。在電子工業(yè)，提高溫度這種方法不能廣泛應(yīng)用，因?yàn)闈穸冗^(guò)高會(huì)使工作人員感應(yīng)不舒適，而且會(huì)使設(shè)備生銹和材料受到損害。5、ESDS器件保護(hù)網(wǎng)絡(luò)的設(shè)置對(duì)ESDS器件設(shè)置保護(hù)網(wǎng)絡(luò)，是防止器件損害的有效手段之一。目前國(guó)內(nèi)外已研制出多種保護(hù)網(wǎng)絡(luò)。這些網(wǎng)絡(luò)提供的防護(hù)ESD電壓以達(dá)800伏，而在某些MOS器件的保護(hù)網(wǎng)絡(luò)可達(dá)4000伏以上。保護(hù)網(wǎng)絡(luò)往往由中等或在一定程度上敏感的ESDS器件構(gòu)成。需要指出的是，保護(hù)網(wǎng)絡(luò)可以降低器件對(duì)ESD的敏感性但不能徹底消除。這種設(shè)置主要是從器件和混合集成電路的保護(hù)網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)以及ESDS組件保護(hù)網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)的角度來(lái)降低靜電對(duì)其造成的破壞。ESD培訓(xùn)教材三、電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成微電子生產(chǎn)與使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)大體分為硬件部分和軟件管理部分，在實(shí)際工作中忽略任何一個(gè)方面或者是一個(gè)環(huán)節(jié)，都有可能導(dǎo)致靜電防護(hù)的失敗或效果不顯著。1、防靜電系統(tǒng)構(gòu)成的基本要求作為一個(gè)靜電防護(hù)有效的系統(tǒng)，主要由下列方面組成。（1）硬件部分：①人體靜電防護(hù)用品：防靜電工作服，防靜電鞋，手腕帶，手套(指套)，帽子，襪子。②防靜電物流傳遞用品：防靜電包裝（盒、箱、托盤等），填材料（泡沫塑料、發(fā)泡材料）。運(yùn)轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)器具、存放巨（架）、傳輸帶等。③防靜電地坪：地平可以是很多種類型，像PVC地板磚、高架防靜電活動(dòng)地板、環(huán)氟樹(shù)脂類、橡膠（塑）地面、水泥類等。④防靜電操作系統(tǒng)：工作臺(tái)、工作椅、工具類（電烙鐵、吸錫器、分路棒、維修工具、ＥＳＤ防護(hù)夾具）等。⑤防靜電接地：防靜電獨(dú)立接地系統(tǒng)和其它幾種接地共用系統(tǒng)。⑥環(huán)境控制系統(tǒng)：溫度和濕度控制設(shè)備、環(huán)境潔凈度控制系統(tǒng)。⑦專用生產(chǎn)裝聯(lián)設(shè)備：采取防靜電措施的生產(chǎn)裝聯(lián)設(shè)備。⑧特殊防靜電用具（品）：各類靜電消除器（離子風(fēng)靜電消除器、靜電消除刷等）、防靜電劑（噴劑、蠟、膠等）。這類用品配置或使用并不是必須的，根據(jù)實(shí)際需要來(lái)確定。⑨靜電測(cè)量（監(jiān)控）系統(tǒng)：靜電電壓（量）表、高阻測(cè)試儀、靜電衰減時(shí)間測(cè)試儀、靜電屏蔽性能測(cè)試儀、接地電阻測(cè)試儀等、配套的測(cè)試用具和各種電極。（２）軟件部分:①軟件大綱與人員培訓(xùn)；②放靜電工藝和設(shè)計(jì)文件；③有關(guān)防靜電轉(zhuǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；④規(guī)章制度和操作規(guī)程；⑤完整質(zhì)量保證體系（包括檢查和試驗(yàn))；⑥各種防靜電警示標(biāo)簽；⑦貯存和運(yùn)輸要求。2、防靜電裝備(產(chǎn)品)與防靜電工作區(qū)（1）防靜電工作區(qū)(EPA)定義配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位，具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的場(chǎng)所叫防靜電工作區(qū)。凡是操作或生產(chǎn)靜電放電敏感電子產(chǎn)品(元器件)的場(chǎng)所，都應(yīng)視為防靜電工作區(qū)。在該區(qū)域內(nèi)無(wú)論是硬件還是軟件管理都應(yīng)符合前述的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成的要求同時(shí)在工作區(qū)內(nèi)任一指定空間所允許的對(duì)大地(接地)的靜電電位值不超過(guò)±100伏（A級(jí)），或者不超過(guò)±1000伏（B級(jí)）。電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成ESD培訓(xùn)教材③防靜電腕帶和腳帶操作ＥＳＤＳ器件的人都應(yīng)使用防靜電腕帶和腳帶，腕帶和腳帶的作用是迅速將人體電荷泄漏到大地。一般的防靜電腕帶由帶扣、帶子和接地連接線組成，帶扣、帶子和接地連接線具有良好的電氣接觸。為了保證操作人員安全，通常在腕帶的接地連接線上串有一只１兆歐電阻，以限制人體觸電時(shí)流過(guò)的電流不大于５毫安。使用腕帶時(shí)，要保證腕帶和人手腕、接地連接線和地線良好的接觸。腳帶和防靜電鞋的作用相同故不作介紹了。④防護(hù)指套操作ＥＳＤ的器件的人所使用的指套，是用加入抗靜電劑的乳膠制成，所以預(yù)防ＥＳＤＳ器件因不等電位造成損壞。指套的表面和體積電阻應(yīng)抵于１×１０歐。⑤防靜電襪子防靜電襪子是在襪低材料中植入導(dǎo)電絲制備而成，用來(lái)實(shí)現(xiàn)人體和導(dǎo)電鞋的電氣接觸。襪底電阻不應(yīng)大于１×１０歐。⑥工作帽制作帽子材料和工作服一樣，不僅用于防靜電，而且具有防止操作人員頭部塵埃，毛發(fā)掉落ＥＳＤＳ器件的防塵作用。ESD培訓(xùn)教材電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成⑦防靜電包裝（袋、周轉(zhuǎn)箱、托盤、盒、泡沫填充物、發(fā)泡材料）防靜電包裝種類繁多，有二十多種。其大多是用防靜電改性的高分子材料制作，像聚乙烯（PE）、ABS、玻璃鋼、聚丙烯（PC）等。靜電敏感器件的存放，運(yùn)輸必須使用防靜電包裝。防靜電包裝對(duì)ESDS器件提供等電位作用，并對(duì)ESDS器件絕緣表面的靜電起泄漏和耗散的作用。⑧運(yùn)轉(zhuǎn)車、存放柜（架）、傳輸帶運(yùn)轉(zhuǎn)車和存放柜結(jié)構(gòu)為金屬架。臺(tái)面為靜電耗散材料制備并和金屬架有良好的電器連接。小車車輪和存放柜支腳用導(dǎo)電橡膠制作。傳輸帶采用防靜電橡膠制作，并和接地地坪主要作用是耗散人體和防靜電裝備的靜電。地面一般設(shè)置接地網(wǎng)絡(luò)，并和防靜電接地相連接。⑨防靜電地坪

防靜電區(qū)域地面應(yīng)具有靜電耗散性能所以又叫防靜電地坪。種類有地毯、橡膠（塑）、ＰＶＣ地板塊、環(huán)氧樹(shù)脂、高架活動(dòng)地板（鋁制、鋼質(zhì)、木質(zhì)等）。防靜電地坪主要作用是耗散人體和防靜電設(shè)備的靜電。地面一般設(shè)置接地網(wǎng)絡(luò)，并和防靜電接地相連接。⑩工作臺(tái)、工作椅ESD培訓(xùn)教材電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成ESD培訓(xùn)教材⑾防靜電工具類防靜點(diǎn)電烙鐵、吸錫器、維修工具（鑷子、鉗子、夾具、剪子、螺絲刀、線夾、分路棒等。用非鐵磁性的靜電耗散材料制作，用于靜電耗散防止靜電放電。⑿防靜電接地一般情況下防靜電接地應(yīng)與下列防靜電設(shè)備（用品）和設(shè)備相連接：防靜電地坪；工作臺(tái)；存放柜（架）；手腕帶、波峰焊機(jī)；微電子裝聯(lián)設(shè)備；噴霧清洗油漆噴砂設(shè)備；焊接設(shè)備；濕箱；高壓設(shè)備；專用測(cè)試設(shè)備。⒀環(huán)境控制系統(tǒng)在防靜電工作區(qū)內(nèi)，應(yīng)有環(huán)境和濕度控制設(shè)備，使環(huán)境溫度控制在２０℃～２５℃左右，濕度ＲＨ５０％～７５左右，以防溫度過(guò)高和濕度過(guò)低使靜電明顯產(chǎn)生。另外對(duì)有特殊要求的ＥＳＤ器件生產(chǎn)組裝車間配制風(fēng)淋室和空氣凈化系統(tǒng)，使生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到相應(yīng)的凈化級(jí)別。電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的防靜電系統(tǒng)構(gòu)成粒/立方米表中的“×”號(hào)后面的數(shù)字為每立方米空氣中的粒子數(shù)微電子生產(chǎn)使用環(huán)境中防靜電裝備基本配置要求ESD培訓(xùn)教材注：●表示必須配置項(xiàng)目○表示需要時(shí)配置項(xiàng)目或局部區(qū)域配置項(xiàng)目防靜電裝備（用品）圖示ESD培訓(xùn)教材ESD培訓(xùn)教材防靜電裝備（用品）圖示3、防靜電接地及與其它幾種接地的關(guān)系（1）幾種接地的概念①保護(hù)接地保護(hù)接地，就是將電氣設(shè)備不帶電的金屬部分以接地體之間作良好的金屬連接。ESD培訓(xùn)教材②工作接地將電力系統(tǒng)中的某一點(diǎn)（通常是中性點(diǎn)）直接或經(jīng)特殊設(shè)備（如消弧線圈、阻抗、電阻）與大地作金屬連接，稱為工作接地。防靜電接地及與其它幾種接地的關(guān)系ESD培訓(xùn)教材③重復(fù)接地

在有重復(fù)接地的低壓供電系統(tǒng)中，當(dāng)發(fā)生接地短路時(shí)，能降低零線的對(duì)地電壓；當(dāng)零線發(fā)生斷路時(shí)，能使故障程度減低；對(duì)照線路能避免因零線電線又同時(shí)發(fā)生某相碰殼時(shí)而引起的燒毀燈泡等事故。④中性點(diǎn)，零線和中性線、零線

發(fā)電機(jī)、變壓器和電動(dòng)機(jī)的三相繞線組成的星形連接的公共點(diǎn)稱為中性點(diǎn)。如果三相繞組平衡。由中性點(diǎn)到各相外部接線端子間的電壓絕對(duì)值必須相等。如果中性點(diǎn)是接地的。則該點(diǎn)又稱為零點(diǎn)。中性點(diǎn)引出的導(dǎo)線稱為中性線；零線引出的導(dǎo)線稱為零線。⑤防雷接地

為雷電流迅速導(dǎo)入大地以防止雷害為目的的接地叫作防雷接地。⑥靜電接地

將靜電物體或有可能產(chǎn)生靜電的物體（非絕緣體）通過(guò)導(dǎo)靜電體與大地構(gòu)成電氣回路的接地叫靜電接地。靜電接地電阻一般不大于10歐姆1、防靜電工藝及其要求（1）防靜電方法的選擇與工藝要求①固定崗位范疇ⅰSSD整形崗位如IC引腳校正；ⅱIC裝（插）入印制板操作崗位；ⅲ人工焊接SSD或焊接印制板崗位；ⅳPCB裝入整機(jī)操作崗位；ⅴPCB人工檢測(cè)崗位；ⅵPCB診斷與修理崗位；ⅶSSD預(yù)處理崗位，如PROM寫、擦、信息保護(hù)處理；ⅷ其它形式的永久性或臨時(shí)性固定崗位。②區(qū)域要裝統(tǒng)一的接地母線ESD培訓(xùn)教材四、靜電敏感器件生產(chǎn)與操作系統(tǒng)的管理舉例說(shuō)明：靜電敏感器件再進(jìn)廠檢驗(yàn)中靜電防護(hù)及要求1、識(shí)別防靜電標(biāo)簽、標(biāo)志。2、識(shí)別靜電保護(hù)包裝。3、檢驗(yàn)過(guò)程中SSD包裝不能做任何更改4、SSD的測(cè)試應(yīng)在靜電安全區(qū)進(jìn)行。5、在檢測(cè)SSD時(shí)，人身應(yīng)先放電，并且手持SSD兩端，嚴(yán)禁人手觸及空懸的輸入端。6、測(cè)試SSD時(shí)應(yīng)取一塊、測(cè)一塊、放一塊，不要堆在桌子上。7、加電測(cè)試時(shí)不要插入和拔出器件8、應(yīng)遵循加電順序靜電敏感器件生產(chǎn)與操作系統(tǒng)的管理ESD培訓(xùn)教材2、防靜電系統(tǒng)質(zhì)量管理與企業(yè)ESD培訓(xùn)質(zhì)量管理的主要內(nèi)容和質(zhì)保體系有：⑴靜電分析①產(chǎn)品分析②環(huán)境靜電源分析⑵產(chǎn)品的靜電防護(hù)性能設(shè)計(jì)①設(shè)計(jì)文件②工藝文件③標(biāo)準(zhǔn)化⑶工程設(shè)計(jì)的內(nèi)容①根據(jù)生產(chǎn)環(huán)境分析資料和產(chǎn)品的防靜電特性，確定防靜電方案及保護(hù)途徑。②依據(jù)工藝方法及要求，選擇靜電防護(hù)器材和靜電監(jiān)測(cè)與檢測(cè)儀器，風(fēng)別列出清單并推薦生產(chǎn)廠家③工程的驗(yàn)收：防靜電工程底竣工驗(yàn)收，一般要達(dá)到如下表標(biāo)準(zhǔn)；防靜電安全作業(yè)區(qū)或生產(chǎn)線應(yīng)具有明顯的靜電區(qū)域界線和警示標(biāo)志工程安裝全部滿足圖紙要求靜電防護(hù)手段具有監(jiān)控功能工程工藝性好，具有可使用性并且較方便技術(shù)方法和實(shí)施指導(dǎo)文件完整，具有可行性操作管理人員具有培訓(xùn)考核資料具有管理?xiàng)l例靜電敏感器件生產(chǎn)與操作系統(tǒng)的管理ESD培訓(xùn)教材（4）防靜電管理是企業(yè)管理的重要內(nèi)容①防靜電控制方面的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。②防靜電守則。③關(guān)于防靜電職能的規(guī)定。④關(guān)于防靜電防護(hù)器材的供應(yīng)與管理方法。（5）全員培訓(xùn)考核靜電敏感器件生產(chǎn)與操作系統(tǒng)的管理ESD培訓(xùn)教材ESD培訓(xùn)教材靜電敏感器件生產(chǎn)與操作系統(tǒng)的管理⑤生產(chǎn)過(guò)程中各主要環(huán)節(jié)的防靜電要求