YS/T 1063-2015鉬靶材

ICS77160

H72.

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1063—2015

鉬靶材

Molybdenumtarget

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1063—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位西安瑞福萊鎢鉬有限公司北京天龍鎢鉬科技股份有限公司寧波江豐電子材料

:、、

股份有限公司北礦新材科技有限公司湖南有色新材料科技有限公司宜興市科興合金材料有限公司

、、、、

有研億金新材料有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人淡新國侯軍濤李長亮蘇國平王學(xué)澤劉家均李鵬俞葉熊曉東

:、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1063—2015

鉬靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射鍍膜用鉬靶材的要求試驗方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書

、、、、、、、

和合同或訂貨單內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于采用粉末冶金燒結(jié)方法和燒結(jié)后再壓力加工方法制造的鉬靶材該靶材主要適用于

,

光伏太陽能面板平面顯示器和觸摸屏面板制造等行業(yè)

、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

鉬及鉬合金板

GB/T3876

鎢鉬條密度測定方法

GB/T4196、

鎢鉬及其合金的燒結(jié)坯條棒材晶粒度測試方法

GB/T4197、、

所有部分鉬化學(xué)分析方法

GB/T4325()

鉬及鉬合金棒

GB/T17792

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗方法

YS/T837-

接觸式超聲縱波直射探傷方法

JB/T4009

3要求

31產(chǎn)品分類

.

產(chǎn)品按供貨狀態(tài)分為燒結(jié)態(tài)和壓力加工態(tài)兩類其制造方法供貨狀態(tài)及形狀見表

,、1。

表1產(chǎn)品制造方法供貨狀態(tài)及形狀

、

制造方法供貨狀態(tài)形狀

燒結(jié)機(jī)加工燒結(jié)態(tài)

—矩形管形

燒結(jié)壓力加工再結(jié)晶退火機(jī)加工壓力加工態(tài)、

———

32化學(xué)成分

.

靶材的化學(xué)成分應(yīng)符合表的規(guī)定

2。

33密度

.

燒結(jié)態(tài)靶材的密度應(yīng)大于3壓力加工態(tài)靶材的密度應(yīng)大于3

9.6g/cm;10.0g/cm。

34晶粒尺寸