YS/T 922-2013高純銅化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素含量的測定輝光放電質(zhì)譜法

ICS7712030

H13..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T922—2013

高純銅化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素含量的測定

輝光放電質(zhì)譜法

Methodsforchemicalanalysisofhighpuritycopper—

Determinationoftraceimpurityelementscontent—

Glowdischargemassspectrometry

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國有色金屬

行業(yè)標準

高純銅化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素含量的測定

輝光放電質(zhì)譜法

YS/T922—2013

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100013)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20145

*

書號

:155066·2-26737

版權(quán)專有侵權(quán)必究

YS/T922—2013

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準負責(zé)起草單位北京有色金屬研究總院

:。

本標準參加起草單位金川集團股份有限公司東方電氣集團峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司有研億金

:、、

新材料股份有限公司

。

本標準主要起草人王長華秦芳林王攀峰劉英孫澤明李繼東童堅臧慕文邱平文英

:、、、、、、、、、、

尚再艷

。

Ⅰ

YS/T922—2013

高純銅化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素含量的測定

輝光放電質(zhì)譜法

1范圍

本標準規(guī)定了高純銅中痕量雜質(zhì)元素含量的測定方法測定元素見表

,1。

本標準適用于高純銅中痕量雜質(zhì)元素含量的測定各元素測定范圍如下硫硒元素的測定范圍為

。:、

其余元素的測定范圍為

10μg/kg~5000μg/kg,1μg/kg~5000μg/kg。

2方法原理

試料作為陰極進行輝光放電在氬氣氛下其表面原子被濺射而脫離試料進入輝光放電等離子體

,,

中在等離子體中離子化后被導(dǎo)入質(zhì)譜儀在每一元素同位素質(zhì)量數(shù)處以預(yù)設(shè)的掃描點數(shù)和積分時間

,。

對相應(yīng)譜峰積分所得面積即為譜峰強度元素含量用式求出無標準樣品時計算機根據(jù)儀器軟件

,,(1)。,

中的典型相對靈敏度因子自動計算出各元素的質(zhì)量分數(shù)有標準樣品時需通過在與被測樣品相同的

“”;,

分析條件離子源結(jié)構(gòu)以及測試條件下對標準樣品進行獨立測定獲得相對靈敏度因子應(yīng)用該相對靈敏

、,

度因子計算出各元素的質(zhì)量分數(shù)

。

3試劑與材料

除非另有說明分析中所用的試劑均為優(yōu)級純所用的水為一級水

,;。

31硝酸

.(1+1)。

32銅標準樣品被測元素質(zhì)量分數(shù)在之間

.,50μg/kg~500μg/kg。

33儀器背景監(jiān)控樣品被測元素質(zhì)量分數(shù)低于被測試樣的倍以上

.,10。

34氬氣純度

.(≥99.999%)。

35氮氣純度

.(≥99.99%)。

4儀器

41高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜儀中分辨率模式下分辨率可達高分辨率模式下分辨

.,3000~4000,

率可達

9000~10000。

42測定同位素及分辨率見表測定時要求同位素63的譜峰強度不小于