YS/T 983-2014多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法

ICS77040

H17.

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T983—2014

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測定方法

Testmethodformeasuringcompositionofpolysilicon

depositionreactorandTCStoSTCconverterventgas

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國有色金屬

行業(yè)標準

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測定方法

YS/T983—2014

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

書號

:155066·2-28287

版權(quán)專有侵權(quán)必究

YS/T983—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準負責起草單位四川新光硅業(yè)科技有限責任公司

:。

本標準參加起草單位天威四川硅業(yè)有限責任公司樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責任公司峨嵋半

:、、

導體材料研究所陜西天宏硅材料有限責任公司洛陽中硅高科技有限公司

、、。

本標準主要起草人敖細平王波梁洪劉暢張華端古行乾王阿麗

:、、、、、、。

Ⅰ

YS/T983—2014

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測定方法

1范圍

本標準規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法

。

本標準適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分氫氣氯化氫三氯氫硅二氯二氫硅和

(、、、

四氯化硅的測定檢測范圍為體積分數(shù)

)。0.1%~100%。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

純氫高純氫和超純氫

GB/T7445、

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

3方法提要

根據(jù)尾氣中各個組分的沸點極性及吸附性的差異利用氣相色譜將各個組分從色譜柱中分離采

、,,

用熱導檢測器檢測其含量

(TCD)。

4干擾因素

41樣品溫度應不低于否則樣品中部分氯硅烷組分會出現(xiàn)冷凝使分析結(jié)果失去代表性

.50℃,,。

42尾氣壓力應保持在合適的范圍太大不易操作且不安全太小容易導致樣品無法采集至取樣容

.,,

器內(nèi)

。

43取樣容器應保持密閉性否則樣品泄漏會影響分析結(jié)果的準確性

.,,。

5試劑和材料

除非另有說明分析時均使用符合國家標準的試劑或材料

,。

51高純氫氣應符合的規(guī)定

.,GB/T7445。

52高純氮氣應符合的規(guī)定

.,GB/T8979。

6儀器和設備

61氣相色譜儀具備熱導檢測器

.:。

62進樣器氣密玻璃注射器

.:1mL。

63采樣容器容積約

.:250mL。

64色譜柱長內(nèi)徑內(nèi)填充