無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)1/22無塵室原理無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)Contents無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)2/22無塵室原理無塵室概念:以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采取風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU送風(fēng),四面用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內(nèi)部凈化級別可達(dá)100～100K級,適用局部凈化級別要求高區(qū)域。對微?？刂?、溫度、濕度、照明、噪聲、靜電、微振多功效綜合整體。無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)3/22無塵室原理依據(jù)送風(fēng)方式不一樣：可分為亂流式(非均勻流型)和單一方向式(均勻流型)。Class1～100均采取單向流送風(fēng)方式，即在同一截面任一點，氣流方向和速度均保持一致，將室內(nèi)塵埃粒子以最快速度帶走?？克惋L(fēng)氣活塞般擠壓作用。新風(fēng)量大于總風(fēng)量2%~4%。Class1000～100000采取非單向流送風(fēng)方式，以不均勻速度呈不平行流動，伴有回流或渦流，主要靠氣流不停稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)污染逐步排出，以實現(xiàn)凈化?？繗饬鲾U散來稀釋。新風(fēng)量大于總風(fēng)量10%~30%。測量單位：微米(micrometer),1um=1m百萬分之一。無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)4/22無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)潔凈度——參考STD-209E無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)5/22無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)AirChange&HEPA遮蔽率無塵等級AirChange(次/hr）HEPA遮蔽率Class100240~48050%~100%Class100017~24010%~35%Class10000108%~10%Airchange:FFU表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/CleanRoom體積HEPA遮蔽率：FFU表面積*FFU數(shù)量/CleanRoom面積無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)6/22無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速、溫濕度

氣流速度為：0.3~0.5m/s(60~100ft/min)。

普通之溫度控制范圍：T=(21±2)℃

普通之濕度控制范圍：(45±5)﹪RH

無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)7/22無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)壓差

在兩個無塵室間合理設(shè)計壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級區(qū)域應(yīng)保持有15Pa壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa最小壓力差是能夠接收。無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)8/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)用ParticleCounter(MetOne）測空氣中之粒子總數(shù)及大小(離作業(yè)面為30公分)。依據(jù)ISO14644-1可分為三種操作狀態(tài)：⑴完工狀態(tài)-無制程設(shè)備、原料或工作人員。⑵完工后停頓生產(chǎn)狀態(tài)-室內(nèi)有制程設(shè)備，不含工作人員。⑶運轉(zhuǎn)狀態(tài)-三者皆在工作狀態(tài)。無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)9/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)取樣次數(shù)要求單一方向氣流測試數(shù)量方法一、氣流流入體積/25方法二、氣流流入體積/潔凈度等級平方根選數(shù)字小者

非單一方向氣流測試數(shù)量方法：氣流流入體積/潔凈度等級平方根比如：計算iMac所使用潔凈室測試數(shù)量

(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次比如：計算M97所使用潔凈室測試數(shù)量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)10/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)潔凈度取樣要求取樣需兩點以上測試點要平均分布各測試點須一個以上取樣數(shù)全體需5個以上取樣數(shù)各測試點取樣數(shù)不一樣也能夠

無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)11/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)潔凈度判斷標(biāo)準(zhǔn)

兩個條件需同時滿足：在每個測試點粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下這些平均值平均在95%信賴界限上限值在CLASS上限值以下無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)12/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)實例說明在RingRoom空態(tài)下，共取3個點，每個點測量0.5um粒子，測量統(tǒng)計以下：第一點8、0

第二點20、8

第三點11、23、14

判斷依據(jù)一、在各測試點粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下第一點平均值（8+0)/2=4

第二點平均值（20+8)/2=14

第三點平均值（11+23+14)/3=16小結(jié)：滿足無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)13/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)

判斷依據(jù)二、

這些平均值平均在95%信賴界限上限值在CLASS上限值以下上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù)

M：平均值平均

M=(4+14+16)/3=11.3

SE：標(biāo)準(zhǔn)誤差

SE=SD/SD：標(biāo)準(zhǔn)偏差L：測試點數(shù)量

SD==6.429SE=6.429/=3.71無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)14/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)UCL系數(shù)：95%信賴界限UCL系數(shù)

上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù)

=11.3+3.71*2.9=22.1

總結(jié)：滿足無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)15/22無塵室驗收標(biāo)準(zhǔn)其余要求序號驗收項目驗收標(biāo)準(zhǔn)尺寸備注1立柱/橫梁鐵方通噴塑100*100mm

2托框/盲板冷軋鋼板噴塑1200*670mm

3黑色網(wǎng)格狀防靜電PVC窗簾/門簾靜電阻值：106~109

4無塵室鎮(zhèn)流器/鎮(zhèn)流器飛利浦/T8燈管1200mm

5FFU美埃/米河1175*575*250風(fēng)機檔位：3檔6高效過濾器美埃1170*570*70mm

7初效過濾器米河495*495*45mm

8電線（電路圖另附）無錫滬安國家標(biāo)準(zhǔn)

9配電箱/開關(guān)斯奈德

注：1.PVC窗簾與地面高度為15~20cm，且應(yīng)該在立柱內(nèi)側(cè)。

2.配電箱是三相電，電壓380V。無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)16/22圖片觀賞FFU風(fēng)淋室無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)17/221.2米方通立柱無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)18/22托框初效無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)19/22高效自己找找看？