清洗間安全管理規(guī)范

清洗間安全管理規(guī)范為確保無塵室沖洗間的干凈有序，保證工作人員和工作環(huán)境的安全，根據(jù)無塵室車間沖洗間實際情況，特制訂以下沖洗臺安全管理規(guī)范：

1、沖洗間負責管理人員負責管理監(jiān)管沖洗間的工作情況，有權(quán)制止和阻止違背沖洗間管理的人員的犯罪行為。

2、有機與無機化藥必須在適當?shù)臎_洗間分離采用，有機與無機洗間分別獨立采用，嚴禁串用。所有采用化學(xué)藥品展開的濕法退火、銹蝕工藝必須在沖洗間操作方式。原則上有機沖洗可于有機沖洗臺展開，無機沖洗、酸堿銹蝕在無機沖洗臺展開。不得在同一通風柜中展開有機和無機沖洗。

3、沖洗操作方式時，特別注意個人防水意識，根據(jù)操作規(guī)程，無機沖洗時，必須佩帶完備的防水，包含：嚴防酸堿手套、圍裙、眼鏡、面罩、護袖等。有機沖洗時，若采用有害或劇毒化藥，例如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等，必須佩帶完備的防水。任何沖洗工藝，必須佩帶較完整的乳膠手套。所用個人防護用品采用完后，必須用水沖洗整潔，防止化藥殘余在防護用品上，影響他人采用，采用完后整齊擺回去原位。

4、采用化學(xué)藥品必須預(yù)先介紹所用化藥的采用注意事項和適當?shù)膽?yīng)急措施。展開沖洗操作前必須看看化學(xué)藥品標識，恰當采用化學(xué)藥品。

5、沖洗操作方式時，必須節(jié)約使用化藥和無塵紙等耗材。嶄新液化藥就可以用作沖洗樣品，不得新液用作其他用途。必須采用適宜的器皿，嚴禁用小的器皿沖洗大的樣品?；幱昧繀⒄眨阂好嫫鲞^樣品不要少于1CM。采用嶄新液化藥順序：先采用已打開試劑，已打開試劑采用完后再打開代萊試劑，并在采用完后的空瓶表面寫下上“廢為”字。

6、沖洗操作方式時，冷卻、加熱、拆分等須要返回時，在無人看護情況下，置放在公共邊線的任何溶液必須置放標識牌（采用人、化藥名稱、日期、時間），置放的邊線嚴禁影響其他人工作，沖洗完后，懇請及時用酒精或丙酮讀取標識牌，沒標識的犯罪行為和標識牌沒及時去除將視作違規(guī)行為。

7、挑嶄新液時，必須把新液桶外面的外包裝塑料袋和橡皮筋放進垃圾桶，不得送回嶄新液柜。不得把覷嶄新廢液桶送回嶄新液柜中。無機廢液桶要置放在裝有廢液廢舊桶的藍盒子里，有機廢液桶要置放在空廢液瓶整理箱或廢液柜中。用戶例如存有自己的化藥新液，懇請搞好標識，置放在用戶適當?shù)膷湫乱汗裰?，遵從：有機與無機分離，酸、堿分離置放原則。有機廢液柜未放八十時，不得把廢液瓶置放在地面（只有廢液柜擺滿時，才可以把廢液整齊置放在地面）。

8、在采用8槽清洗機展開沖洗樣品時，必須采用選定的公共沖洗器皿。不得在未經(jīng)容許的情況下采用別人的沖洗器皿，個人和公共沖洗器皿采用完必須沖洗整潔，用氣槍揉搓后，擺回去選定邊線。

9、沖洗廢液、銹蝕廢液、光刻所用廢液必須按照建議和命令放入適當?shù)膹U液廢舊桶，松開廢液桶蓋時，必須向反方向轉(zhuǎn)盤半圈，桶蓋必須吉。處置無機廢液時，必須特別注意挑選不好適當?shù)膹U液桶，好像廢液之前重新加入5倍以上的去離子水吸收（濃硫酸除外），其中廢液吸收的水包含原溶液中的水。吸收時特別注意：把廢液重新加入水中吸收（務(wù)必特別注意順序）。無機廢液飛濺時，必須雙手展開同一操作方式。不要一只手拿廢液或空燒杯，一只手扳動或松開廢液桶蓋。

10、廢為濃硫酸桶中放置廢液存有：（1）、廢為濃硫酸占到總體積大于50％以上的廢液。（2）、廢為氫銨濃硫酸。兩者廢液都不須要吸收，輕易放入廢為濃硫酸桶。如果廢液中濃硫酸總體積比大于50％，則須要提5倍以上去離子水吸收（廢為濃硫酸重新加入水）放入廢酸桶。

11、沖洗操作方式時，從一個沖洗臺至另一個沖洗臺時間間隔一分鐘以上，必須停用適當沖洗臺通風門。如果沖洗完返回沖洗間，清掃臺面并檢查通風門、燈、超音波機、水浴機的開關(guān)電源與否停用。超音波機采用完后及時關(guān)上超音波機蓋子。

12、有機廢液廢舊時，只有丙酮、異丙醇、無水乙醇可以混合廢舊，其他例如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等存有毒化藥要單獨廢舊并搞好標識。有機廢液處置時，必須在廢液桶上寫下不好標識，如果別人已寫下不好你須要搞的標識，而且廢液桶未裝進，可以不寫下標識，輕易放入廢液桶。

13、沖洗完后，必須整理并沖洗臺面，并更改一次性乳膠手套。沖洗前后必須在記錄本上分別備案完備的已經(jīng)開始和完結(jié)時間、目的、化藥名稱等記錄。

14、棄置手套、無塵布、無塵紙等懇請放進垃圾桶，所用化學(xué)藥品擺回去原處，用水跳沖洗臺面用無塵紙刮除，再用放大氮氣揉搓沖洗臺，維持沖洗臺干凈柔軟。嚴禁在沖洗臺上遺留任何廢棄物，并及時停用沖洗臺的通風門。沖洗間采用人員存有義務(wù)及時清掃所用沖洗臺遺留的廢棄物。

15、在飛濺廢液時，必須特別注意觀測與否存有廢液遺撒地面，或在沖洗完結(jié)后，檢查與否存有水或其他液體灑滿在沖洗臺附近的地面，若存有一定必須及時用無塵紙或其他方式處置整潔。

16、沖洗操作方式時，采用氫氟酸（HF）、氟化銨（NH4F）或（BOE）所含氟離子的化藥時，必須用塑料的燒杯、量筒等器皿，嚴禁用玻璃及石英器皿。

17、釀制無機溶液時，遵從：一、存有水在釀制溶液中的，先喝水，后放入密度大的化藥，再至進密度小的化藥；二、沒水在釀制溶液中的，先好像密度大的化藥，再放入密度小的化藥。密度的大小可以根據(jù)分子量的大小區(qū)分，通常情況下分子量小的化藥密度小，分子量大的化藥密度大。

18、溶液冷卻時，必須要到溫度升至預(yù)設(shè)溫度時，再放上器皿回去冷卻，冷卻完后，關(guān)閉電源，等溶液加熱至室溫才可以抽出。（通常：有機與無機，酸、堿無法同時冷卻操作方式）。

19、在沖洗時，摔傷把大量化藥淋在地面或辨認出存有大量化藥在地面，應(yīng)立即處置。BOE燒傷眼睛或皮膚，一份鐘內(nèi)用六氟鬼神沖洗，再用水沖洗，而后立即看病。

20、未經(jīng)許可的情況下，嚴禁擅自隨身攜帶化學(xué)藥品出入無塵室間。

21、未通過培訓(xùn)和考核的人員嚴禁擅自采用沖洗設(shè)備。

22、如果在沖洗過程中，存有任何疑點，應(yīng)當及早主動與有關(guān)工藝負責人人溝通交流。

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