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文檔簡介

1.電子束與物質的相互作用2.電子光學基礎第一部分入射電子束固體樣品表面？產(chǎn)生的各種信號1.電子束與物質的相互作用

二次電子

背散射電子

俄歇電子

特征X射線

吸收電子主要內(nèi)容：1.1

入射電子在試樣中的散射★彈性散射★非彈性散射1.2入射電子在試樣中激發(fā)的信號背散射電子

被固體樣品中的原子核反彈回來的一部分電子。具有較高的能量，作用深度大。原子序數(shù)敏感性。透射電子一部分入射電子穿過薄樣品而成為透射電子。透射電子信號是由微區(qū)的厚度、成分和晶體結構來決定。原子序數(shù)和背散射電子產(chǎn)額之間的關系特征X－射線當樣品原子的內(nèi)層電子被入射電子激發(fā)或電離時，原子就會處于能量較高的激發(fā)狀態(tài)，此時外層電子將向內(nèi)層躍遷以填補內(nèi)層電子的空缺，從而釋放特征X-射線；特征X-射線主要用于定性/或定量微區(qū)成分分析。各種信號對電鏡成像分辨率的影響

二次電子5—10nm

背散射電子50—200nm

特征X-射線100—1000nm

俄歇電子5—10nm

吸收電子100—1000nm滴狀作用體積橫向擴展降低信號成像分辨率輕

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