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文檔簡介
高精密鏡頭模組組裝檢測一體機(jī)產(chǎn)業(yè)可行性分析
面向航空航天、新能源、電子制造、醫(yī)療等領(lǐng)域的國家重大需求,探索激光與材料相互作用的復(fù)雜物化過程,研究超快激光制造的新原理、新方法、新應(yīng)用。開展大功率激光/短波長激光與材料相互作用機(jī)理、高精高效制造方法等方面的研究,掌握激光高品質(zhì)表面制造、精細(xì)制造、極端微結(jié)構(gòu)、高精高效制造等制造機(jī)制與實(shí)現(xiàn)方法。發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù)是國家戰(zhàn)略需求(一)建設(shè)制造強(qiáng)國的戰(zhàn)略需要制造業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的主體,是富國之基、強(qiáng)國之本。我國經(jīng)濟(jì)社會(huì)各領(lǐng)域的發(fā)展,要求制造業(yè)提供更先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)水平、高品質(zhì)的消費(fèi)產(chǎn)品、自主可控的重大技術(shù)裝備。從制造大國轉(zhuǎn)變?yōu)橹圃鞆?qiáng)國,是我國制造業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略選擇。發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù),增強(qiáng)制造領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力和整體實(shí)力,推進(jìn)制造質(zhì)量和產(chǎn)品品牌建設(shè),才能全面提升我國制造業(yè)水平,這是提升我國綜合國力、保障國家安全、建設(shè)世界強(qiáng)國的必由之路。(二)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的現(xiàn)實(shí)需求我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展已進(jìn)入速度變化、結(jié)構(gòu)優(yōu)化和動(dòng)力轉(zhuǎn)換的新常態(tài)。資源環(huán)境約束不斷強(qiáng)化,勞動(dòng)力等生產(chǎn)要素成本正在加快上升,投資和出口增速放緩,主要依靠資源要素投入、規(guī)模擴(kuò)張的粗放發(fā)展模式已難以為繼,推進(jìn)供給側(cè)結(jié)構(gòu)性改革,提質(zhì)增效已成為經(jīng)濟(jì)發(fā)展的主要目標(biāo)。轉(zhuǎn)變經(jīng)濟(jì)發(fā)展方式,打造競爭新優(yōu)勢,要依靠科技創(chuàng)新提供發(fā)展新動(dòng)力。(三)應(yīng)對國際產(chǎn)業(yè)競爭的戰(zhàn)略需要世界制造業(yè)產(chǎn)業(yè)競爭格局正在發(fā)生重大調(diào)整。歐美等工業(yè)發(fā)達(dá)國家紛紛制定再工業(yè)化戰(zhàn)略,重點(diǎn)發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù),搶占制造業(yè)高端。新興發(fā)展中國家也在積極參與全球產(chǎn)業(yè)再分工,承接產(chǎn)業(yè)及資本轉(zhuǎn)移,搶占制造業(yè)的中低端。雙重?cái)D壓的外部環(huán)境短期內(nèi)不會(huì)改變。通過增強(qiáng)制造業(yè)技術(shù)水平,提高制造業(yè)生產(chǎn)效率,使我國制造業(yè)在產(chǎn)業(yè)競爭中跨入中高端,對國家未來發(fā)展意義重大。我國制造業(yè)發(fā)展取得的成績(一)制造業(yè)總量躍居世界第一,成為名副其實(shí)的制造大國近年來我國制造業(yè)總體規(guī)模已居世界第一位,綜合實(shí)力不斷增強(qiáng),不僅對國內(nèi)經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn),而且成為支撐世界經(jīng)濟(jì)的重要力量。2014年,我國工業(yè)增加值達(dá)到22.8萬億元,占GDP的比重達(dá)到35.85%。2013年我國制造業(yè)產(chǎn)出占世界比重達(dá)到20.8%。在500余種主要工業(yè)產(chǎn)品中,我國有220多種產(chǎn)量位居世界第一。制造業(yè)的快速發(fā)展,直接促進(jìn)了我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展的速度、質(zhì)量和效益,增強(qiáng)了我國在全球化格局中的國際分工地位。(二)突破了一批核心技術(shù),形成了一批支撐國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重大裝備產(chǎn)品十幾年來,制造業(yè)各領(lǐng)域涌現(xiàn)出了一批較有影響、意義深遠(yuǎn)的重大成果。國內(nèi)發(fā)電設(shè)備裝機(jī)中國產(chǎn)發(fā)電機(jī)組已達(dá)80%以上,年產(chǎn)千萬噸級大型煉油廠設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)90%,國產(chǎn)100萬千瓦超超臨界火電機(jī)組、國產(chǎn)750千伏交流輸變電成套設(shè)備已投入運(yùn)行。日產(chǎn)4000噸大型新型干法水泥生產(chǎn)線、60萬噸乙烯、30萬噸級合成氨、百萬噸級鉀肥等一大批大型成套技術(shù)裝備實(shí)現(xiàn)自主化。神舟系列航天飛船的成功發(fā)射,實(shí)現(xiàn)了載人航天工程的重大突破。蛟龍?zhí)栞d人潛水器研制和海試成功,標(biāo)志著中國躋身世界載人深潛先進(jìn)國家行列。(三)涌現(xiàn)出一批世界級的大企業(yè),企業(yè)正在逐步成為技術(shù)創(chuàng)新主體2016年《財(cái)富》世界500強(qiáng)排行榜中,中國企業(yè)達(dá)110家,其中以工業(yè)為主的有50余家。社會(huì)創(chuàng)新要素不斷向企業(yè)集聚,工業(yè)企業(yè)研發(fā)投入快速增長,自主創(chuàng)新能力顯著增強(qiáng)。2015年,我國規(guī)模以上制造業(yè)研發(fā)投入強(qiáng)度達(dá)到0.91%;企業(yè)發(fā)明專利申請58.3萬件,占國內(nèi)發(fā)明專利申請受理量的60.2%;企業(yè)獲得發(fā)明專利授權(quán)15.9萬件,占國內(nèi)發(fā)明專利授權(quán)量的60.5%。企業(yè)作為市場主體,在自主創(chuàng)新中繼續(xù)發(fā)揮決定性作用。(四)初步形成了企業(yè)、高校、院所聯(lián)動(dòng)的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系近年來,我國制造業(yè)加強(qiáng)科技創(chuàng)新、促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化,取得了重要突破和實(shí)質(zhì)性進(jìn)展,形成了產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、較為完備的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系。建設(shè)了一批國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國家工程技術(shù)研究中心等科研基地;成立了一批國家產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟,為我國制造業(yè)的健康持續(xù)發(fā)展提供了重要保障。網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造以推進(jìn)互聯(lián)網(wǎng)與制造業(yè)、服務(wù)與制造融合發(fā)展為主線,以重塑制造業(yè)技術(shù)體系、生產(chǎn)模式、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和價(jià)值鏈以及促進(jìn)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級為目標(biāo),探索一批引領(lǐng)發(fā)展的制造與服務(wù)新模式,突破一批網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造理論、關(guān)鍵技術(shù)與標(biāo)準(zhǔn),研發(fā)一批互聯(lián)網(wǎng)+協(xié)同制造工業(yè)軟件,創(chuàng)建一批互聯(lián)網(wǎng)+制造服務(wù)平臺。(一)網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造模式與理論圍繞推進(jìn)互聯(lián)網(wǎng)與制造業(yè)、服務(wù)業(yè)與制造業(yè)融合發(fā)展以及打造智慧企業(yè)的創(chuàng)新需求,探索云制造等網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造新模式;研究智慧空間與工業(yè)大數(shù)據(jù)、服務(wù)型制造與制造服務(wù)融合等前沿理論;研發(fā)與構(gòu)建產(chǎn)品全生命周期制造服務(wù)融合、多模式智能供應(yīng)鏈、服務(wù)價(jià)值鏈協(xié)同、多學(xué)科支撐的工業(yè)大數(shù)據(jù)精準(zhǔn)分析、在線運(yùn)維與預(yù)測運(yùn)營等核心模型與關(guān)鍵技術(shù)。為重塑制造業(yè)技術(shù)體系、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和價(jià)值鏈提供理論支撐。(二)互聯(lián)網(wǎng)+協(xié)同制造工業(yè)軟件圍繞基于互聯(lián)網(wǎng)的協(xié)同制造服務(wù)新模式,面向創(chuàng)新設(shè)計(jì)、企業(yè)經(jīng)營與資源管理、產(chǎn)品全生命周期制造服務(wù)以及工業(yè)云、工業(yè)大數(shù)據(jù)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等平臺系統(tǒng)的構(gòu)建,研發(fā)復(fù)雜產(chǎn)品全數(shù)字化優(yōu)化和仿真、產(chǎn)品全生命周期/服務(wù)生命周期管理、資源管理與智能供應(yīng)鏈協(xié)同、基于OT的智能服務(wù)、工業(yè)大數(shù)據(jù)分析等平臺系統(tǒng)與軟件,形成互聯(lián)網(wǎng)+協(xié)同制造工業(yè)軟件系統(tǒng),支撐網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造創(chuàng)新發(fā)展。(三)基于互聯(lián)網(wǎng)+的創(chuàng)新設(shè)計(jì)探索支撐制造業(yè)要素資源共享互聯(lián)及社會(huì)力量參與互動(dòng)的研發(fā)設(shè)計(jì)新模式;攻克互聯(lián)網(wǎng)+環(huán)境下設(shè)計(jì)資源共享、研發(fā)設(shè)計(jì)價(jià)值鏈協(xié)同以及眾創(chuàng)空間構(gòu)建新技術(shù);研發(fā)支持云制造的設(shè)計(jì)資源共享與協(xié)同創(chuàng)新平臺、典型行業(yè)眾創(chuàng)服務(wù)平臺以及制造業(yè)產(chǎn)品眾包設(shè)計(jì)服務(wù)平臺。推進(jìn)制造業(yè)從企業(yè)創(chuàng)新到眾創(chuàng)眾包的發(fā)展轉(zhuǎn)變。(四)資源管理與智能供應(yīng)鏈攻克互聯(lián)網(wǎng)+環(huán)境下基于工業(yè)云與工業(yè)大數(shù)據(jù)的企業(yè)經(jīng)營管理及資源集成共享技術(shù)、智能供應(yīng)鏈協(xié)同與精準(zhǔn)服務(wù)技術(shù);研發(fā)制造核心企業(yè)和第三方服務(wù)商主導(dǎo)的多模式制造企業(yè)經(jīng)營管理與資源集成共享云平臺、智能供應(yīng)鏈管理集成平臺與產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈協(xié)同云平臺;構(gòu)建企業(yè)制造資源協(xié)同空間。推動(dòng)從企業(yè)運(yùn)行向價(jià)值鏈協(xié)同運(yùn)營轉(zhuǎn)變。(五)產(chǎn)品全生命周期制造服務(wù)攻克制造服務(wù)價(jià)值鏈重構(gòu)、產(chǎn)品服務(wù)生命周期管理、在線運(yùn)維與預(yù)測運(yùn)營等關(guān)鍵技術(shù);研發(fā)產(chǎn)品服務(wù)生命周期集成管理平臺、制造服務(wù)價(jià)值鏈協(xié)同云服務(wù)平臺以及高端裝備智能預(yù)測與精準(zhǔn)服務(wù)云平臺;打造制造與服務(wù)融合的服務(wù)價(jià)值鏈協(xié)同新體系。支撐制造業(yè)向制造+服務(wù)轉(zhuǎn)型升級。(六)工業(yè)大數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造平臺攻克產(chǎn)品數(shù)據(jù)鏈、資源數(shù)據(jù)鏈、供應(yīng)數(shù)據(jù)鏈、制造數(shù)據(jù)鏈、服務(wù)數(shù)據(jù)鏈及其無縫集成、工業(yè)大數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的企業(yè)智能決策與預(yù)測預(yù)警等關(guān)鍵技術(shù);研發(fā)基于工業(yè)大數(shù)據(jù)的企業(yè)業(yè)務(wù)管控與決策分析、企業(yè)智慧數(shù)據(jù)空間構(gòu)建等技術(shù)系統(tǒng);打造云制造服務(wù)平臺、工業(yè)大數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造平臺等;構(gòu)建企業(yè)智慧數(shù)據(jù)空間,開展平臺典型應(yīng)用。激光制造面向航空航天、高端裝備、電子制造、新能源、新材料、醫(yī)療儀器等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的迫切需求,實(shí)現(xiàn)高端產(chǎn)業(yè)激光制造裝備的自主開發(fā),形成激光制造的完整產(chǎn)業(yè)體系,促進(jìn)我國激光制造技術(shù)與產(chǎn)業(yè)升級,大幅提升我國高端激光制造技術(shù)與裝備的國際競爭力。(一)激光與材料的相互作用機(jī)理面向航空航天、新能源、電子制造、醫(yī)療等領(lǐng)域的國家重大需求,探索激光與材料相互作用的復(fù)雜物化過程,研究超快激光制造的新原理、新方法、新應(yīng)用。開展大功率激光/短波長激光與材料相互作用機(jī)理、高精高效制造方法等方面的研究,掌握激光高品質(zhì)表面制造、精細(xì)制造、極端微結(jié)構(gòu)、高精高效制造等制造機(jī)制與實(shí)現(xiàn)方法。(二)激光器與核心功能部件研究激光器動(dòng)力學(xué),掌握激光晶體/光學(xué)晶體、半導(dǎo)體激光芯片等激光器關(guān)鍵功能部件的國產(chǎn)化。針對高端制造用激光器的迫切需求,開展工業(yè)化光纖/半導(dǎo)體大功率激光器制造技術(shù)、工業(yè)化超快(飛秒、皮秒)激光器制造技術(shù)、工業(yè)化短(紫外、深紫外)波長激光器制造技術(shù)等方面的研究,開展激光器標(biāo)準(zhǔn)建設(shè),實(shí)現(xiàn)高性能激光器及核心關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。(三)復(fù)雜構(gòu)件表面的激光精細(xì)制造技術(shù)與裝備研究激光表面精細(xì)制造、激光清洗、激光拋光等核心技術(shù),探索器件表面功能性結(jié)構(gòu)的激光高質(zhì)、高效制造機(jī)理與新技術(shù),研究關(guān)鍵構(gòu)件表面微結(jié)構(gòu)成形機(jī)理與實(shí)現(xiàn)方法,并掌握激光光束路徑規(guī)劃及高速掃描、激光制造裝備在線監(jiān)測與補(bǔ)償、激光制造過程精密在線檢測等裝備關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)航空航天、微電子、生物醫(yī)療等領(lǐng)域典型復(fù)雜構(gòu)件的激光精密加工技術(shù)與裝備,提升國產(chǎn)激光制造技術(shù)與裝備的競爭力。(四)大功率激光高效制造技術(shù)與裝備研究特殊工況下的激光制造機(jī)理與失效行為,突破大型構(gòu)件激光制造裝備的設(shè)計(jì)制造技術(shù)瓶頸,攻克大型構(gòu)件定位、質(zhì)量在線檢測等關(guān)鍵技術(shù),研究激光切割、激光打孔、激光沖擊強(qiáng)化、激光焊接以及激光復(fù)合制造等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)面向飛機(jī)、船舶、高鐵等大型構(gòu)件制造中的高端激光制造技術(shù)、裝備與標(biāo)準(zhǔn)。(五)先進(jìn)激光精密微細(xì)制造技術(shù)與裝備針對航空航天、微電子、新型微小航空器件、光子集成器件等領(lǐng)域,突破激光衍射極限的納米尺度制造、復(fù)雜微納操縱及激光納米連接、激光光束整形與協(xié)同控制等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)硬脆材料高效精密制造、異種材料的激光高性能連接制造、極端微納結(jié)構(gòu)精細(xì)制造等技術(shù)與裝備,并設(shè)計(jì)和加工若干具有重大應(yīng)用前景的新型功能器件。高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備堅(jiān)持主機(jī)牽引、夯實(shí)基礎(chǔ)、突破核心、工藝驗(yàn)證,聚焦航空航天和汽車兩個(gè)重點(diǎn)服務(wù)領(lǐng)域,重點(diǎn)攻克高檔數(shù)控系統(tǒng)和功能部件等瓶頸,完成150種以上智能、精密、高速、復(fù)合型高端制造業(yè)裝備的研制和示范應(yīng)用,大幅提升國家重點(diǎn)工程、國民經(jīng)濟(jì)重點(diǎn)領(lǐng)域關(guān)鍵制造裝備國產(chǎn)化率,在強(qiáng)化高端數(shù)控裝備單機(jī)智能化水平提升的基礎(chǔ)上,逐步實(shí)現(xiàn)由單機(jī)示范應(yīng)用向智能化制造成組成套整體解決方案的提升,擴(kuò)大專項(xiàng)裝備成果的應(yīng)用成效。(一)航空航天領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備聚焦航空航天典型結(jié)構(gòu)件加工需求,以提高加工效率和質(zhì)量為目標(biāo),突破關(guān)鍵工藝和編程等核心技術(shù);開展高檔五軸數(shù)控機(jī)床與關(guān)鍵成形裝備等主機(jī)的應(yīng)用驗(yàn)證與示范,推動(dòng)高檔數(shù)控系統(tǒng)和以擺角銑頭為代表的關(guān)鍵功能部件實(shí)現(xiàn)批量化應(yīng)用。(二)汽車制造領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備重點(diǎn)研究數(shù)控機(jī)床的可靠性快速試驗(yàn)技術(shù)與制造保障技術(shù)、數(shù)控系統(tǒng)的可靠性第三方測試及可靠性增長技術(shù),突破數(shù)控機(jī)床可靠性MTBF>2000小時(shí)的技術(shù)瓶頸,通過示范應(yīng)用與工藝驗(yàn)證,大幅提升國產(chǎn)數(shù)控機(jī)床的組線能力。加強(qiáng)成組成套工藝集成研究,為汽車關(guān)鍵零部件制造提供成套解決方案,實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)高檔數(shù)控機(jī)床在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)鍵零部件高效柔性加工與批量化制造中的成組成套應(yīng)用。智能裝備與先進(jìn)工藝重點(diǎn)解決高端裝備產(chǎn)品質(zhì)量較差、檔次不高,缺乏核心工藝,智能化程度不足,可靠性及精度保持性難題,研制一批代表性智能加工裝備、先進(jìn)工藝裝備和重大智能成套裝備,支撐我國高端裝備向高精尖和智能化互聯(lián)方向發(fā)展,引領(lǐng)裝備的智能化升級。(一)智能機(jī)床重點(diǎn)研究新一代智能機(jī)床的技術(shù)特征、總體結(jié)構(gòu)、核心模塊和關(guān)鍵技術(shù),攻克智能主軸/智能伺服進(jìn)給/智能終端等智能單元、基于模型的復(fù)雜曲面直接插補(bǔ)、機(jī)床通用通信接口協(xié)議規(guī)范、加工狀態(tài)自感知/自學(xué)習(xí)/自適應(yīng)/自優(yōu)化、虛擬機(jī)床及虛擬加工、基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)和加工過程大數(shù)據(jù)的監(jiān)控及遠(yuǎn)程服務(wù)、全生命周期可靠性評估與增長等核心關(guān)鍵技術(shù),研制出具有國際一流技術(shù)水平的新一代智能數(shù)控系統(tǒng)和智能機(jī)床,并在重點(diǎn)領(lǐng)域開展應(yīng)用示范。(二)新型材料成形及加工裝備重點(diǎn)攻克石墨烯/類石墨烯薄膜大幅面制造過程晶態(tài)生長監(jiān)測及控制、石墨烯/類石墨烯薄膜大面積轉(zhuǎn)移在線應(yīng)力監(jiān)測與控制技術(shù),研制出大幅面石墨烯/類石墨烯制造成套裝備;重點(diǎn)突破復(fù)合材料制造工藝建模與仿真、耐高溫陶瓷基復(fù)合材料低成本制造工藝及裝備、復(fù)合材料組合結(jié)構(gòu)(纖維復(fù)合材料、蜂窩材料和增材制造)制造新方法等關(guān)鍵技術(shù),為新型材料成形和加工提供新工藝和新技術(shù)。(三)復(fù)雜大型構(gòu)件高效加工技術(shù)及裝備重點(diǎn)攻克大型異種材料結(jié)構(gòu)件高效低殘余應(yīng)力焊接、大規(guī)格球管類構(gòu)件整體成形技術(shù),研制出大型輕量化結(jié)構(gòu)低應(yīng)力精確成形制造工藝與裝備;重點(diǎn)攻克復(fù)合材料混雜構(gòu)件低成本復(fù)合成形、復(fù)合材料構(gòu)件低損傷加工工藝與損傷檢測等關(guān)鍵技術(shù),研制出復(fù)合材料/結(jié)構(gòu)一體化設(shè)計(jì)與精確成形協(xié)同制造裝備。(四)復(fù)合能場加工工藝及裝備重點(diǎn)研究復(fù)合能場耦合機(jī)理、復(fù)合能場對材料的協(xié)同作用機(jī)制,攻克復(fù)合能場加工質(zhì)量在線監(jiān)測、多工藝要素協(xié)同控制等關(guān)鍵技術(shù),形成激光-電弧-磁場復(fù)合加工、異種材料復(fù)合能場加工以及鋁鋰合金等新一代輕質(zhì)合金多能場復(fù)合加工工藝,研制出多功能小型化復(fù)合能場加工裝備、多自由度大型結(jié)構(gòu)件激光復(fù)合能場加工裝備、以及極端環(huán)境下(空天、海洋等)現(xiàn)場制造工藝及裝備。(五)精密與超精密加工工藝及裝備重點(diǎn)突破金屬超硬材料、超低密度材料、高分子聚合物、高精度光學(xué)元件、微機(jī)械及醫(yī)療生物零件等精密超精密加工關(guān)鍵技術(shù),探索研究超精密加工與微成形的物化機(jī)理、微觀力學(xué)行為、表面形貌演變規(guī)律、精度和性能映射等新原理,研發(fā)極端制造環(huán)境下高精度大尺寸加工測量一體化、微納結(jié)構(gòu)與功能表面的原位測量、超高精度平/曲面、微納結(jié)構(gòu)功能表面加工工藝裝備、大功率超聲波應(yīng)用技術(shù)等,并在典型行業(yè)示范應(yīng)用。(六)重大成套機(jī)械裝備重點(diǎn)研究開發(fā)重大成套機(jī)械裝備的數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化、智能化關(guān)鍵技術(shù),研制智能化大型工程機(jī)械、數(shù)字化重型礦山成套設(shè)備、大型石化成套設(shè)備、智能化港口/海工作業(yè)機(jī)械和智能化農(nóng)業(yè)機(jī)械等一批重大裝備,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成,推進(jìn)示范應(yīng)用。新型電子制造關(guān)鍵裝備面向?qū)捊麕О雽?dǎo)體器件、光通訊器件、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件、功率電子器件、新型顯示、半導(dǎo)體照明、高效光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的巨大市場需求,開展關(guān)鍵裝備與工藝的研究,重點(diǎn)解決電子器件關(guān)鍵材料裝備、器件制造裝備等高端裝備缺乏關(guān)鍵技術(shù)、可靠性低、工藝開發(fā)不足等問題,推動(dòng)新技術(shù)研發(fā)與關(guān)鍵裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展,構(gòu)建高端電子制造裝備自主創(chuàng)新體系。(一)寬禁帶半導(dǎo)體/半導(dǎo)體照明等關(guān)鍵裝備研究針對碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等為代表的寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)對關(guān)鍵制造裝備的需求,開展大尺寸(6吋)寬禁帶半導(dǎo)體材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝研究。針對高亮度半導(dǎo)體照明(LED、OLED)大生產(chǎn)線對制造裝備的需求,開展大產(chǎn)能材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備研發(fā),掌握核心技術(shù)與工藝,滿足大生產(chǎn)線要求。(二)光通訊器件關(guān)鍵裝備及工藝研究針對光通訊器件制造對裝備的需求,重點(diǎn)圍繞硅基光電子芯片工藝裝備、InP(銦磷)基等光電子芯片工藝裝備、光纖器件工藝裝備、光電子器件耦合封裝等關(guān)鍵裝備等開展研究,掌握核心技術(shù),實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品應(yīng)用,提升國內(nèi)光通訊器件制造能力及工藝水平。(三)MEMS器件/電力電子器件等關(guān)鍵裝備與工藝研究針對MEMS器件、電力電子器件等領(lǐng)域?qū)ρb備的特殊工藝需求,開展材料制備、芯片制造、特種封裝、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝的研發(fā),掌握關(guān)鍵技術(shù)、開發(fā)特色工藝,提高國產(chǎn)裝備的工藝適應(yīng)性及可靠性。研究基于國產(chǎn)裝備為主的成套工藝,完成對國產(chǎn)裝備的工藝優(yōu)化、可靠性驗(yàn)證及集成應(yīng)用,打造自主產(chǎn)業(yè)鏈,提升產(chǎn)業(yè)競爭力。(四)高效光伏電池關(guān)鍵裝備及工藝研究針對下一代高效光伏電池技術(shù)(PERC、HIT、黑硅電池等)對關(guān)鍵裝備及工藝的需求,開展大產(chǎn)能、高轉(zhuǎn)換效率光伏電池制造工藝裝備、自動(dòng)化制造裝備、核心工藝等研究,降低電池片制造成本,轉(zhuǎn)換效率達(dá)到國際領(lǐng)先水平,實(shí)現(xiàn)批量銷售。(五)新材料,新器件關(guān)鍵電子裝備與核心部件研究針對石墨烯、碳基電子器件、柔性顯示、光互聯(lián)等國際上不斷出現(xiàn)的新材料、新器件、新工藝對半導(dǎo)體技術(shù)相關(guān)的裝備需求,開展面向電子器件應(yīng)用石墨烯材料制備裝備、大面積轉(zhuǎn)移裝備、石墨烯電子器件制造裝備、柔性顯示有機(jī)膜材料制備裝備、柔性顯示有機(jī)器件制造及檢測裝備、碳基電子器件制造裝備、光互聯(lián)器件制備裝備、高密度封裝等方面的關(guān)鍵裝備開發(fā),滿足研發(fā)或產(chǎn)業(yè)化需求,推動(dòng)新技術(shù)研發(fā)與裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展。增材制造重點(diǎn)解決增材制造領(lǐng)域微觀成形機(jī)理、工
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