傳感器技術(shù)基礎(chǔ)

傳感器技術(shù)基礎(chǔ)第一頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.1自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)與傳感器第二頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五世界是由物質(zhì)組成的，表征物質(zhì)特性或其運(yùn)動(dòng)形式的參數(shù)很多，根據(jù)物質(zhì)的電特性，可分為電量和非電量?jī)深?。非電量不能直接使用一般電工儀表和電子儀器測(cè)量，非電量需要轉(zhuǎn)換成與非電量有一定關(guān)系的電量，再進(jìn)行測(cè)量。實(shí)現(xiàn)這種轉(zhuǎn)換技術(shù)的器件叫傳感器。自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制系統(tǒng)處理的大都是電量,需通過(guò)傳感器對(duì)通常是非電量的原始信息進(jìn)行精確可靠的捕獲和轉(zhuǎn)換為電量。第三頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

1.1自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)與傳感器

1.1.1自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制技術(shù)是人們對(duì)事物的規(guī)律進(jìn)行定性了解和定量掌握以及預(yù)期效果控制所從事的一系列的技術(shù)措施。自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)是完成這一系列技術(shù)措施之一的裝置，它是檢測(cè)和控制器與研究對(duì)象的總和。通?？煞譃殚_(kāi)環(huán)與閉環(huán)兩種自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)。第四頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五測(cè)量電路傳感器電源指示儀記錄儀伺服控制

圖1-1開(kāi)環(huán)自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)框圖

被測(cè)量第五頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五調(diào)節(jié)元件給定元件信息處理檢測(cè)電路執(zhí)行元件傳感器對(duì)象輸出顯示記錄－＋－圖1-2閉環(huán)自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)框圖

第六頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

一個(gè)完整的自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)，一般由傳感器、測(cè)量電路、顯示記錄裝置或調(diào)節(jié)執(zhí)行裝置、電源四部分組成。

第七頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.1.2傳感器傳感器的定義是：能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置，通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心苤苯痈惺芑蝽憫?yīng)被測(cè)量的部分；轉(zhuǎn)換元件是指?jìng)鞲衅髦心軐⒚舾性惺芑蝽憫?yīng)的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成適于傳輸或測(cè)量的電信號(hào)的部分。第八頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五敏感元件轉(zhuǎn)換元件輔助電源接口電路圖1-3傳感器組成框圖非電物理量電信號(hào)第九頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

壓電晶體、熱電偶、熱敏電阻、光電器件等是敏感元件與轉(zhuǎn)換元件兩者合二為一的傳感器傳感器轉(zhuǎn)換能量的理論基礎(chǔ)都是利用物理學(xué)、化學(xué)學(xué)、生物學(xué)現(xiàn)象和效應(yīng)來(lái)進(jìn)行能量形式的變換。被測(cè)量和它們之間的能量的相互轉(zhuǎn)換是各種各樣的。第十頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五機(jī)械能光能電磁能化學(xué)能熱能圖1-4傳感器的能量轉(zhuǎn)換關(guān)系第十一頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五傳感器技術(shù)就是掌握和完善這些轉(zhuǎn)換的方法和手段。是涉及：傳感器能量轉(zhuǎn)換原理、傳感器材料選取與制造、傳感器器件設(shè)計(jì)、傳感器開(kāi)發(fā)和應(yīng)用等多項(xiàng)綜合技術(shù)。第十二頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.2傳感器的分類第十三頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.2傳感器的分類傳感器有許多分類方法，但常用的分類方法有兩種：一種是按被測(cè)輸入量來(lái)分；另一種是按傳感器的工作原理來(lái)分。第十四頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.2.1按被測(cè)量分類這一種方法是根據(jù)被測(cè)量的性質(zhì)進(jìn)行分類，如：溫度傳感器、濕度傳感器、壓力傳感器、位移傳感器、流量傳感器、液位傳感器、力傳感器、加速度傳感器、轉(zhuǎn)矩傳感器等。第十五頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

這種分類方法把種類繁多的被測(cè)量分為：基本被測(cè)量和派生被測(cè)量?jī)深悺Ｒ?jiàn)表1-1。例如力可視為基本被測(cè)量，從力可派生出壓力、重量、應(yīng)力、力矩等派生被測(cè)量。當(dāng)需要測(cè)量這些被測(cè)量時(shí)，只要采用力傳感器就可以了。

第十六頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五表1-1基本被測(cè)量和派生被測(cè)量基本被測(cè)量派生被測(cè)量位移線位移長(zhǎng)度、厚度、應(yīng)變、振動(dòng)、磨損、不平度角位移旋轉(zhuǎn)角、偏轉(zhuǎn)角、角振動(dòng)速度線速度速度、振動(dòng)、流量、動(dòng)量角速度轉(zhuǎn)速、角振動(dòng)加速度線加速度振動(dòng)、沖擊、質(zhì)量角加速度角振動(dòng)、扭矩、轉(zhuǎn)動(dòng)慣量力壓力重量、應(yīng)力、力矩時(shí)間頻率周期、計(jì)數(shù)、統(tǒng)計(jì)分布溫度熱容量、氣體速度、渦流光光通量與密度、光譜分布濕度水氣、水分、露點(diǎn)第十七頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

這種分類方法：優(yōu)點(diǎn)是比較明確地表達(dá)了傳感器的用途，便于使用者根據(jù)其用途選用。缺點(diǎn)是沒(méi)有區(qū)分每種傳感器在轉(zhuǎn)換機(jī)理上有何共性和差異，不便使用者掌握其基本原理及分析方法。第十八頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.2.2按傳感器工作原理分類這一種分類方法是以工作原理劃分，將物理、化學(xué)、生物等學(xué)科的原理、規(guī)律和效應(yīng)作為分類的依據(jù)。這種分類法：優(yōu)點(diǎn)是對(duì)傳感器的工作原理比較清楚，類別少，有利于傳感器專業(yè)工作者對(duì)傳感器的深入研究分析。缺點(diǎn)是不便于使用者根據(jù)用途選用。

第十九頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五具體劃分為：1.電學(xué)式傳感器電學(xué)式傳感器是應(yīng)用范圍較廣的一種傳感器，常用的有電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、磁電式傳感器及電渦流式傳感器等。2.磁學(xué)式傳感器磁學(xué)式傳感器是利用鐵磁物質(zhì)的一些物理效應(yīng)而制成。主要用于位移、轉(zhuǎn)矩等參數(shù)的測(cè)量。第二十頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五3.光電式傳感器光電式傳感器是利用光電器件的光電效應(yīng)和光學(xué)原理而制成。主要用于光強(qiáng)、光通量、位移、濃度等參數(shù)的測(cè)量。4.電勢(shì)型傳感器電勢(shì)型傳感器是利用熱電效應(yīng)、光電效應(yīng)、霍耳效應(yīng)等原理而制成。主要用于溫度、磁通、電流、速度、光強(qiáng)、熱輻射等參數(shù)的測(cè)量。第二十一頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五5.電荷傳感器電荷傳感器是利用壓電效應(yīng)原理而制成。主要用于力及加速度的測(cè)量。6.半導(dǎo)體傳感器半導(dǎo)體傳感器是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)、內(nèi)光電效應(yīng)、磁電效應(yīng)、半導(dǎo)體與氣體接觸產(chǎn)生物質(zhì)變化等原理而制成。主要用于溫度、濕度、壓力、加速度、磁場(chǎng)和有害氣體的測(cè)量。第二十二頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

7.諧振式傳感器諧振式傳感器是利用改變電或機(jī)械的固有參數(shù)來(lái)改變諧振頻率的原理而制成。主要用來(lái)測(cè)量壓力。8.電化學(xué)式傳感器電化學(xué)式傳感器是以離子導(dǎo)電原理為基礎(chǔ)而制成，可分為電位式傳感器、電導(dǎo)式傳感器、電量式傳感器、級(jí)譜式傳感器和電解式傳感器等。電化學(xué)式傳感器主要用于分析氣體成分、液體成分、溶于液體的固體成分、液體的酸堿度、電導(dǎo)率及氧化還原電位等參數(shù)的測(cè)量。第二十三頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五還有：按能量的關(guān)系分類，即將傳感器分為有源傳感器和無(wú)源傳感器；按輸出信號(hào)的性質(zhì)分類，即將傳感器分為模擬式傳感器和數(shù)字式傳感器。數(shù)字式傳感器輸出為數(shù)字量，便于與計(jì)算機(jī)聯(lián)用，且抗干擾性較強(qiáng)，例如：盤(pán)式角度數(shù)字傳感器，光柵傳感器等。第二十四頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.3傳感器的數(shù)學(xué)模型第二十五頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.3傳感器的數(shù)學(xué)模型傳感器作為感受被測(cè)量信息的器件，總是希望它能按照一定的規(guī)律輸出有用信號(hào),因此,需要研究其輸入-輸出之間的關(guān)系及特性，以便用理論指導(dǎo)其設(shè)計(jì)、制造、校準(zhǔn)與使用。理論和技術(shù)上表征輸入-輸出之間的關(guān)系通常是以建立數(shù)學(xué)模型來(lái)體現(xiàn)，這也是研究科學(xué)問(wèn)題的基本出發(fā)點(diǎn)。第二十六頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.3.1傳感器的靜態(tài)數(shù)學(xué)模型靜態(tài)數(shù)學(xué)模型是指在靜態(tài)信號(hào)作用下，傳感器輸出與輸入量間的一種函數(shù)關(guān)系。如果不考慮遲滯特性和蠕動(dòng)效應(yīng)，傳感器的靜態(tài)數(shù)學(xué)模型一般可以用n次多項(xiàng)式來(lái)表示：

y=a0+a1x+a2x2+···+anxn

式中x為輸入量；y為輸出量；

a0為零輸入時(shí)的輸出，也叫零位輸出；

a1為傳感器線性項(xiàng)系數(shù)也稱線性靈敏度，常用K或S表示；

a2,

a3,

···,an為非線性項(xiàng)系數(shù)，其數(shù)值由具體傳感器非線性特性決定。

第二十七頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五傳感器靜態(tài)數(shù)學(xué)模型有三種有用的特殊形式：1.理想的線性特性

通常是所希望的傳感器應(yīng)具有的特性，只有具備這樣的特性才能正確無(wú)誤地反映被測(cè)的真值。2.僅有偶次非線性項(xiàng)

其線性范圍較窄，線性度較差，靈敏度為該曲線的斜率，一般傳感器設(shè)計(jì)很少采用這種特性。第二十八頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五3.僅有奇次非線性項(xiàng)

其線性范圍較寛，且相對(duì)坐標(biāo)原點(diǎn)是對(duì)稱的，線性度較好，靈敏度為該曲線的斜率。使用時(shí)一般都加以線性補(bǔ)償措施，可獲得較理想的線性特性。第二十九頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.3.2傳感器的動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型在實(shí)際測(cè)量中，大量的被測(cè)量是隨時(shí)間變化的動(dòng)態(tài)信號(hào)。傳感器的動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型是指：在隨時(shí)間變化的動(dòng)態(tài)信號(hào)作用下，傳感器輸出-輸入量間的函數(shù)關(guān)系，通常稱為響應(yīng)特性。動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型一般采用微分方程和傳遞函數(shù)描述。第三十頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

1.微分方程忽略了一些影響不大的非線性和隨機(jī)變量等復(fù)雜因素后，可將傳感器作為線性定常數(shù)系統(tǒng)來(lái)考慮，因而其動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型可以用線性常系數(shù)微分方程來(lái)表示，其解得到傳感器的暫態(tài)響應(yīng)和穩(wěn)態(tài)響應(yīng)。

式中：x(t)為輸入量，y(t)為輸出量。

為結(jié)構(gòu)常數(shù)。第三十一頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五對(duì)上式兩邊取拉普拉斯變換，則得：

該系統(tǒng)的傳遞函數(shù)H(s)為：

2.傳遞函數(shù)第三十二頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

等號(hào)右邊是一個(gè)與輸入無(wú)關(guān)的表達(dá)式，只與系統(tǒng)結(jié)構(gòu)參數(shù)有關(guān)，可見(jiàn)傳遞函數(shù)H(s)是描述傳感器本身傳遞信息的特性，即傳輸和變換特性。由輸入激勵(lì)和輸出響應(yīng)的拉普拉斯變換求得。當(dāng)傳感器比較復(fù)雜或傳感器的基本參數(shù)未知時(shí)，可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)求得傳遞函數(shù)。第三十三頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.4傳感器的特性與技術(shù)指標(biāo)第三十四頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.4傳感器的特性與技術(shù)指標(biāo)傳感器測(cè)量靜態(tài)量表現(xiàn)為靜態(tài)特性，測(cè)量動(dòng)態(tài)量表現(xiàn)為動(dòng)態(tài)特性。1.4.1靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性主要由下列幾種性能來(lái)描述。1.線性度線性度是傳感器輸出量與輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離直線的程度，又稱非線性誤差。第三十五頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

圖1-5傳感器的線性度第三十六頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五由圖可見(jiàn)，除（a）為理想特性外，其它都存在非線性，都應(yīng)進(jìn)行線性處理。常用的方法有：理論直線法、端點(diǎn)線法、割線法、最小二乘法和計(jì)算程序法等。2.靈敏度靈敏度是傳感器在穩(wěn)態(tài)下輸出增量與輸入增量的比值。對(duì)于線性傳感器，其靈敏度就是它的靜態(tài)特性的斜率，如圖1-6（a）所示，其

sn=y/x第三十七頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五圖1-6傳感器的靈敏度第三十八頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五非線性傳感器的靈敏度是一個(gè)隨工作點(diǎn)而變的變量，如圖1-6（b）所示，其

sn=dy/dx=df(x)/dx3.重復(fù)性重復(fù)性是傳感器在輸入量按同一方向作全量程多次測(cè)試時(shí)，所得特性曲線不一致性的程度，如圖1-7所示。傳感器輸出特性的不重復(fù)性主要由傳感器的機(jī)械部分的磨損、間隙、松動(dòng)，部件的內(nèi)磨擦、積塵，電路元件老化、工作點(diǎn)漂移等原因產(chǎn)生。第三十九頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五圖1-7傳感器的重復(fù)性第四十頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五不重復(fù)性極限誤差由下式表示：

EZ=?MAX/yFS·100%

4.遲滯現(xiàn)象傳感器在正向行程（輸入量增大）和反向行程（輸入量減?。┢陂g，輸出-輸入特性曲線不一致的程度，如圖1-8所示。在行程環(huán)中同一輸入量xi對(duì)應(yīng)的不同輸出量yi和yd的差值叫滯環(huán)誤差，最大滯環(huán)誤差與滿量程輸出值的比值稱最大滯環(huán)率EMAX：

EMAX=?m/yFS·100%

第四十一頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五圖1-8傳感器的遲滯現(xiàn)象第四十二頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五5.分辨力傳感器的分辨力是在規(guī)定測(cè)量范圍內(nèi)所能檢測(cè)的輸入量的最小變化量。有時(shí)也用該值相對(duì)滿量程輸入值的百分?jǐn)?shù)表示。6.穩(wěn)定性穩(wěn)定性有短期穩(wěn)定性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性之分。傳感器常用長(zhǎng)期穩(wěn)定性，指在室溫條件下，經(jīng)過(guò)相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間間隔，如一天、一月或一年，傳感器的輸出與起始標(biāo)定時(shí)的輸出之間的差異。通常又用其不穩(wěn)定度來(lái)表征穩(wěn)定程度。第四十三頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五7.漂移傳感器的漂移是指在外界的干擾下，輸出量發(fā)生與輸入量無(wú)關(guān)的不需要的變化。漂移包括零點(diǎn)漂移和靈敏度漂移等。零點(diǎn)漂移和靈敏度漂移又可分為時(shí)間漂移和溫度漂移。時(shí)間漂移是指在規(guī)定的條件下，零點(diǎn)或靈敏度隨時(shí)間的緩慢變化；溫度漂移為環(huán)境溫度變化而引起的零點(diǎn)或靈敏度的變化。第四十四頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.4.2動(dòng)態(tài)特性在動(dòng)態(tài)（快速變化）的輸入信號(hào)情況下，要求傳感器能迅速準(zhǔn)確地響應(yīng)和再現(xiàn)被測(cè)信號(hào)的變化。也就是說(shuō)，傳感器要有良好的動(dòng)態(tài)特性。最常用的是通過(guò)幾種特殊的輸入時(shí)間函數(shù)，例如階躍函數(shù)和正弦函數(shù)來(lái)研究其響應(yīng)特性，稱為階躍響應(yīng)法和頻率響應(yīng)法。

第四十五頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

1.階躍響應(yīng)特性給傳感器輸入一個(gè)單位階躍函數(shù)信號(hào)：

其輸出特性稱為階躍響應(yīng)特性，如圖1-9所示。由圖可衡量階躍響應(yīng)的幾項(xiàng)指標(biāo)。

第四十六頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五圖1-9傳感器階躍響應(yīng)特性第四十七頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五(1)最大超調(diào)量(2)延遲時(shí)間(3)上升時(shí)間(4)峰值時(shí)間(5)響應(yīng)時(shí)間第四十八頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五2.頻率響應(yīng)特性給傳感器輸入各種頻率不同而幅值相同初相位為零的正弦信號(hào)，其輸出的正弦信號(hào)的幅值和相位與頻率之間的關(guān)系，則為頻率響應(yīng)曲線。例子：下圖為一彈簧阻尼器組成的機(jī)械壓力傳感器，分析該傳感器的頻率響應(yīng)。第四十九頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五圖1-10機(jī)械壓力傳感器第五十頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五系統(tǒng)輸入量為作用力，令其與彈簧剛度成正比，。

系統(tǒng)輸出量為彈簧形變產(chǎn)生的位移。

根據(jù)牛頓第三定律，作用力與阻尼器磨擦力、彈簧力的反作用力相等，即：

；

。

式中：；第五十一頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五可得一階機(jī)械壓力傳感器動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型：左右兩邊取拉普拉斯變換，移項(xiàng)后可得系統(tǒng)的傳遞函數(shù)：

，

令可得頻率響應(yīng)函數(shù)、幅頻特性、相頻特性分別為：式中：為時(shí)間常數(shù)。第五十二頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五

幅頻特性、相頻特性如圖1-11所示。由圖可見(jiàn)，時(shí)間常數(shù)τ越小，頻率特性越好。時(shí)間常數(shù)τ很小時(shí)，幅頻特性為常數(shù)，相頻特性與頻率成線性關(guān)系。第五十三頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五圖1-11一階傳感器的頻率特性在時(shí)間常數(shù)τ很小時(shí)，輸出位移能真實(shí)地反應(yīng)輸入作用力的變化規(guī)律，與作用力頻率無(wú)關(guān)。第五十四頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.5傳感器的材料與制造第五十五頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.5傳感器的材料與制造傳感器是利用材料的固有特性或開(kāi)發(fā)的二次功能特性，再經(jīng)過(guò)精細(xì)加工而成的。傳感器的材料和制造是傳感器性能和質(zhì)量的關(guān)鍵。1.5.1傳感器的材料1.半導(dǎo)體材料（1）單晶硅（2）多晶硅（3）非晶體硅第五十六頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五（4）硅藍(lán)寶石（5）化合物半導(dǎo)體2.陶瓷材料3.石英材料4.金屬氧化物及合金材料（1）ZnO薄膜（2）非晶態(tài)磁性合金材料（3）形狀記憶合金材料5.無(wú)機(jī)材料6.有機(jī)材料第五十七頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五7.生化材料8.高分子敏感材料9.合成材料10.智能材料（1）能夠檢測(cè)并且可以識(shí)別外界或內(nèi)部的刺激強(qiáng)度的感知功能；（2）能夠響應(yīng)外界變化的驅(qū)動(dòng)功能；（3）能夠按照設(shè)定的方式選擇和控制響應(yīng)；（4）反應(yīng)比較靈敏、及時(shí)和恰當(dāng)；（5）當(dāng)外部刺激消除后，能夠迅速恢復(fù)到原始狀態(tài)。第五十八頁(yè)，共六十五頁(yè)，編輯于2023年，星期五1.5.2傳感器制造技術(shù)傳感器制造技術(shù)主要是微系統(tǒng)技術(shù)，也叫微機(jī)械加工技術(shù)。不僅微系統(tǒng)的部件是用微機(jī)械加工制成，而且用這些部件組合成系統(tǒng)也是用微機(jī)械加工的。1.部件及子系統(tǒng)加工2.系統(tǒng)的集成包括底盤(pán)、組裝和連線加工3.