硅的基本知識(shí)

硅的基本知識(shí)硅一種重要的半導(dǎo)體材料。元素周期表中第3周期第W族的元素，化學(xué)符號(hào)Si,原子序數(shù)14,屬金剛石型晶格結(jié)構(gòu),晶格常數(shù)5.42X10-i（m,熔點(diǎn)1417°C，禁帶寬度1.12電子伏，性脆易碎，密度小而硬度大，是呈銀灰色金屬光洋的非金屬材料。硅在地殼中常以化合態(tài)存在。用作半導(dǎo)體材料的硅是經(jīng)還原提純的高純硅（純度達(dá)8個(gè)“9”以上）。它有非品、多品、單晶3種形態(tài)。制造硅器件主要用單晶硅。1950年，硅單品作為半導(dǎo)體材料開始進(jìn)入實(shí)用化階段，制作單晶硅的工藝主要有直拉法、區(qū)熔法和外延法。直拉法適宜于生長(zhǎng)低電阻大直徑單品，其徑向雜質(zhì)分布均勻，適宜作低壓硅器件和集成電路的材料。區(qū)熔單品徑向雜質(zhì)分布均勻性較直拉法差，但氧、碳含量低，用高阻區(qū)熔單品經(jīng)過中子輻照可以得到雜質(zhì)分布均勻性相當(dāng)滿意的單品材料，適宜于制作高壓大功率器件。衡量單品質(zhì)量的參數(shù)主要有導(dǎo)電類型、品向電阻率及其均勻性、少子壽命、位錯(cuò)密度、補(bǔ)償度等。影響單晶質(zhì)量的關(guān)鍵因素是晶格缺陷和雜質(zhì)。由于硅的資源十分豐富，易于提純，價(jià)格便宜,而且硅器件易于實(shí)現(xiàn)平面工藝，具有效率高、壽命長(zhǎng)、體積小、導(dǎo)熱好、耐高溫、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，大多數(shù)半導(dǎo)體器件都選硅作原料。硅主要用于制作各種集成電路、品體管及電力電子器件。后者包括大功率的整流管、品閘管、品體管及各種派生器件，已廣泛用于機(jī)械、冶金、電力、礦山、交通運(yùn)輸、航天、化工等各個(gè)領(lǐng)域。硅品體管和集成電路主要用于無線電裝置、電信設(shè)備、自動(dòng)控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)、航天事業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域。此外，還可制造太陽能電池，用作航天飛機(jī)、人造衛(wèi)星、無人燈塔等的電源。硅有無定形硅和品形硅兩種同素異形體。無定形硅是灰黑色粉末，實(shí)際上也是一種微品體。品形硅具有金剛石的品體結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體性質(zhì)。無定形硅化學(xué)性質(zhì)活潑，在氧氣中能劇烈燃燒。它在高溫下與鹵素、氮、碳等非金屬發(fā)生反應(yīng)，也能與鎂、鈣、鐵等金屬作用，生成硅化物。無定形硅幾乎不溶于包括氫氟酸在內(nèi)的所有無機(jī)酸和有機(jī)酸，但能溶于硝酸與氫氟酸的混合酸。濃氫氧化鈉溶液能溶解無定形硅，放出氫氣。品形硅比較不活潑，即使在高溫下也不與氧氣化合，它也不溶于任何一種無機(jī)酸和有機(jī)酸，但可溶于硝酸和氫氟酸的混合酸以及濃氫氧化鈉溶液。品形硅具有明顯的導(dǎo)電性，而且隨溫度升高而增加，具有半導(dǎo)體性質(zhì)，極純的品形硅能夠隨著品格中摻入微量雜質(zhì)而使其電導(dǎo)率大大提高，得到P形硅半導(dǎo)體和N型硅半導(dǎo)體。品形硅則要在電弧爐內(nèi)用碳還原二氧化硅制得，它可用來生產(chǎn)硅鋼片。用作半導(dǎo)體的超純硅的制法則是先用純度不高的硅與氯化氫和氯氣的混合物作用，制取三氯氫硅，并用精餾法提純。然后在還原爐內(nèi)用純氫將三氯氫硅還原，硅就沉積在用超純硅制成的細(xì)芯上，這樣制得的超純硅稱為多晶硅，把它放在單品爐內(nèi)，就可拉制成單晶硅，可用作半導(dǎo)體材料，它的來源豐富，價(jià)格便宜，大部分半導(dǎo)體材料都用硅。硅鐵可作合金添加劑，及冶金中的還原劑和除氣劑。^性狀結(jié)品型的硅是暗黑藍(lán)色的，很脆，是典型的半導(dǎo)體?；瘜W(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定。在常溫下，除氟化氫以外，很難與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。同素異形體有無定形硅和結(jié)晶硅?；瘜W(xué)反應(yīng)方程式：Si%+2C一Si+2C0這樣制得的硅純度為97~98%，叫做金屬硅。再將它融化后重結(jié)品，用酸除去雜質(zhì)，得到純度為99.7~99?8%的金屬硅。如要將它做成半導(dǎo)體用硅，還要將其轉(zhuǎn)化成易于提純的液體或氣體形式，再經(jīng)蒸餾、分解過程得到多晶硅。如需得到高純度的硅，則需要進(jìn)行進(jìn)一步的提純處理。用途硅是一種半導(dǎo)體材料，可用于制作半導(dǎo)體器件和集成電路。還可以合金的形式使用（如硅鐵合金），用于汽車和機(jī)械配件。也與陶瓷材料一起用于金屬陶瓷中。還可用于制造玻璃、混凝土、磚、耐火材料、矽氧烷、硅烷。三氯氫硅的合成用金屬硅和氯化氫氣為原料，在流態(tài)化氯化爐中進(jìn)行反應(yīng)（見流態(tài)化焙燒，氯化冶金），三氯氫硅的沸點(diǎn)為31.5°C,與絕大多數(shù)雜質(zhì)的氯化物揮發(fā)溫度相差較大，所以可用精餾法提純。三氯氫硅極易揮發(fā)和水解，產(chǎn)生強(qiáng)腐蝕的鹽酸氣，因此精餾設(shè)備必須防止水汽和空氣混入。小規(guī)模生產(chǎn)超純硅可采用聚四氟乙烯，特制玻璃或石英作為精餾設(shè)備材料，大規(guī)模生產(chǎn)則須采用耐腐蝕的金屬或合金材料以免銅、鐵、鎳等重金屬雜質(zhì)混入，影響超純硅的質(zhì)量。三氯氫硅氫還原在超低碳的不銹鋼或鎳基合金制成的水冷爐壁還原爐內(nèi)，用氫將三氯氫硅還原成硅。爐內(nèi)有不透明石英鐘罩（有透明石英內(nèi)層和觀察孔）和用細(xì)硅芯或鉭管制成的發(fā)熱體。細(xì)硅芯是用超純硅在特制的硅芯爐內(nèi)制成。在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積之前，由于硅在常溫時(shí)電阻率很高，因此硅芯須在石英罩外用電阻加熱至300C或用幾千伏的高壓電啟動(dòng)。經(jīng)過提純的氫氣（含水蒸氣量很少，露點(diǎn)在-70C以下）在揮發(fā)器中將三氯氫硅自爐底帶入爐內(nèi)，于1100?1150C進(jìn)行還原反應(yīng)，使硅沉積在發(fā)熱體上。三氯氫硅氫還原制取超純硅的方法沉積速度較慢，一般不超過0.5毫米/時(shí)。消耗電能很多，副產(chǎn)品四氯化硅量大，因此研究了很多新的綜合利用方法。根據(jù)已發(fā)表的資料，其中最有前途的方法是將四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅、二氯二氫硅、硅烷，然后還原或分解成為超純多晶硅。這是后續(xù)工作，現(xiàn)在我廠所正與一家公司合作修建。三氯氫硅氫還原法所生產(chǎn)的多晶棒，供區(qū)域熔煉法生產(chǎn)單品硅用的硅棒直徑為50?100毫米。供直拉法生產(chǎn)單晶用的硅棒直徑為50?150毫米。還原尾氣中的三氯氫硅和四氯化硅在-80°C以下冷凝回收。氫氣凈化后可以循環(huán)使用。三氯氫硅三氯氫硅SiHCl3別名英文名硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；Trichlorosilane、Silicochloroform.用途單晶硅原料、外延成長(zhǎng)、硅液、硅油、化學(xué)氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。3.制法⑴在高溫下Si和HCl反應(yīng)。(2)用氫還原四氯化硅(采用含鋁化合物的催化劑)。4.理化性質(zhì)分子量：135.43熔點(diǎn)(101.325kPa):-134°C；沸點(diǎn)(101.325kPa):31.8°C；液體密度(0C):1350kg/m3；相對(duì)密度(氣體，空氣=1):4.7；蒸氣壓(-16.4C)：13.3kPa；(14.5C):53.3kPa；燃點(diǎn):-27.8C；自燃點(diǎn)：104.4C；閃點(diǎn)：-14°C；爆炸極限：6.9?70%；毒性級(jí)別：3；易燃性級(jí)別：4；易爆性級(jí)別：2三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動(dòng)易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18C以下也有著火的危險(xiǎn)，遇明火則強(qiáng)烈燃燒，燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成 SiO2、HCl和Cl2:SiHCl3+O2一SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時(shí)引起猛烈的爆炸。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好，在900C時(shí)分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。遇潮氣時(shí)發(fā)煙，與水激烈反應(yīng)：2SiHCl3+3H2O—->(HSiO)2O+6HCl；在堿液中分解放出氫氣:SiHCl3+3NaOH+H2O—-Si(OH)4+3NaCl+H2；與氧化性物質(zhì)接觸時(shí)產(chǎn)生爆炸性反應(yīng)。與乙炔、烴等碳?xì)浠衔锓磻?yīng)產(chǎn)生有機(jī)氯硅烷：SiHCl3+CH三CH一一CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2—一CH3CH2SiCl3在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當(dāng)容器受到強(qiáng)烈撞擊時(shí)會(huì)著火。可溶解于苯、醚等。無水狀態(tài)下三氯硅烷對(duì)鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時(shí)腐蝕大部分金屬。毒性小鼠-吸入LC50:1.5?2mg/L最高容許濃度：1mg/m3三氯硅烷的蒸氣和液體都能對(duì)眼睛和皮膚引起灼傷，吸入后刺激呼吸道粘膜引起各種癥狀（參見四氯化硅）。安全防護(hù)液體用玻璃瓶或金屬桶盛裝，容器要存放在室外陰涼干燥通風(fēng)良好之處或在易燃液體專用庫(kù)內(nèi)，要與氧化劑、堿類、酸類隔開，遠(yuǎn)離火種、熱源，避光，庫(kù)溫不宜超過25°C?？捎冒彼铰；馂?zāi)時(shí)可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁止用水及泡沫。廢氣可用水或堿液吸收。三氯硅烷有水分時(shí)腐蝕性極強(qiáng)。可用鐵、鎳、銅鎳合金、鎳鋼、低合金鋼，不能用鋁、鋁合金?？梢杂镁鬯姆蚁?、聚三氟氯乙烯聚合體、氟橡膠、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿，英文名稱：trichlorosilane或silicochloroform，分子式為SiHCl3，用于有機(jī)硅烷和烷基、芳基以及有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷的合成，是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體，也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料，隨著有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑工業(yè)的發(fā)展而出現(xiàn)供不應(yīng)求，生產(chǎn)量越來越大。三氯氫硅的理化特性、生產(chǎn)原理三氯氫硅是采用硅粉與氯化氫氣體在反應(yīng)器中生成。為無色液體，極易燃燒和揮發(fā)，在空氣中發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生白煙，遇水分解，溶于苯、醚等有機(jī)溶劑，其蒸汽具有毒性和麻醉性，并能與空氣形成爆炸性混合物。屬一級(jí)遇濕易燃物品。一、三氯氫硅的理化特性及生產(chǎn)原理三氯氫硅是采用硅粉與氯化氫氣體在流化床反應(yīng)器中生成。它是無色液體，易揮發(fā)，易潮解，在空氣中發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生白煙，遇水分解，溶于苯、醚等有機(jī)溶劑。屬一級(jí)遇濕易燃物品，易燃易爆，遇水反應(yīng)產(chǎn)生氯化氫氣體；它與氧化劑發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，遇明火、高熱時(shí)發(fā)生燃燒或爆炸。 其物理特性如下：比重：1.35；相對(duì)氣體密度：4.7；沸點(diǎn)：31.8°C；飽和蒸氣壓(14.5°C)53.33Kpa；閃點(diǎn)：一13.9°C(開杯)；自燃溫度：175C；爆炸下限：6.9%；爆炸上限：70%；溶解性：溶于苯、醚等有機(jī)溶劑；具有急性毒性。二、三氯氫硅生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分析三氯氫硅生產(chǎn)的原料都是不燃物質(zhì)，但是其生產(chǎn)過程中的產(chǎn)物大都是易燃易爆物質(zhì)，如氫氣、三氯氫硅、氯氣等。1、電解食鹽水的火災(zāi)危險(xiǎn)性(1)電解時(shí)有強(qiáng)大的電流通過，如果電氣的絕緣不良極易產(chǎn)生電火花，電解車間經(jīng)常有氫氣泄漏，遇到電火花或其它明火會(huì)發(fā)生燃燒或爆炸。(2)如氫氣與氯氣相混，達(dá)到爆炸極限范圍，遇光也會(huì)發(fā)生爆炸。2、三氯氫硅合成的火災(zāi)危險(xiǎn)性SiHCl3的合成是在280°C?300°C的溫度下進(jìn)行的，已經(jīng)超過了SiHCl3的自燃溫度175C，在合成過程中如果SiHCl3發(fā)生泄漏，或者空氣進(jìn)入反應(yīng)器，極易引起燃燒、爆炸或中毒事故。并且SiHCl3有毒、遇水燃燒，給火災(zāi)撲救帶來一定的困難。3、三氯氫硅貯罐的火災(zāi)危險(xiǎn)性SiHCl3的貯罐如果發(fā)生泄漏，其危險(xiǎn)性遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于工藝管道泄漏的危險(xiǎn)性，因?yàn)槠滟A量大，一旦發(fā)生泄漏，如果不及時(shí)堵漏，影響會(huì)不斷擴(kuò)大。貯罐區(qū)因?yàn)槔鋮s用水的需要，經(jīng)常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生有毒的HCl(氯氫)，向四周擴(kuò)散，給搶險(xiǎn)救援工作帶來困難。三、防火防爆對(duì)策在三氯氫硅生產(chǎn)的各個(gè)工序中，為防止火災(zāi)、中毒，要嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)消防安全制度，嚴(yán)格控制工藝指標(biāo)，嚴(yán)格操作規(guī)程。加強(qiáng)對(duì)設(shè)備管道的維護(hù)保養(yǎng)，嚴(yán)防跑、冒、滴、漏。具體預(yù)防措施如下：1、火源管理。在生產(chǎn)中進(jìn)行檢修時(shí)使用的工具應(yīng)該是不產(chǎn)生火花的工具，嚴(yán)禁用鐵器敲打設(shè)備或管道，工作人員應(yīng)穿棉制品工作服。生產(chǎn)和貯罐區(qū)禁止明火，生產(chǎn)中動(dòng)火要嚴(yán)格執(zhí)行有關(guān)安全管理制度。2、 防止跑、冒、滴、漏。生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的大都是易燃易爆有毒物質(zhì)，生產(chǎn)設(shè)備、工藝管道和貯罐如果發(fā)生泄漏極易釀成火災(zāi)、爆炸和中毒事故。因此，日常工作中要做好安全檢查，不留死角，設(shè)備要定期檢修，發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)采取補(bǔ)救措施，修復(fù)存在跑、冒、滴、漏的部位。3、 配置應(yīng)急工具和消防設(shè)施。應(yīng)該配備一定數(shù)量的防毒面具、自給式空氣呼吸器、手套、堵漏工具。應(yīng)急隊(duì)的人員要經(jīng)常進(jìn)行演練，熟練掌握各種情況下的堵漏方法和處置措施。貯罐區(qū)常備干砂的量最好不少于一個(gè)貯罐的容積，廠內(nèi)倉(cāng)庫(kù)存放一定的水泥作應(yīng)急之用。配備一定數(shù)量的手提式二氧化碳和干粉滅火器。4、生產(chǎn)工藝中的防火防泄漏措施。三氯氫硅的合成、除塵和精餾工段。HCl氣體緩沖罐與合成爐之間應(yīng)設(shè)止回閥，防止合成爐的SiHCl3回到緩沖罐。應(yīng)控制HCl氣體的流量，控制合成爐內(nèi)的溫度。對(duì)設(shè)備管道要經(jīng)常進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，防止三氯氫硅泄漏。在生產(chǎn)中要保持整個(gè)系統(tǒng)的密閉，用99.99%的氮?dú)膺M(jìn)行保護(hù)。三氯氫硅的儲(chǔ)存。三氯氫硅的沸點(diǎn)較低，需在低溫下儲(chǔ)存，三氯氫硅的貯罐設(shè)置低溫保護(hù)裝置和降溫措施。由于三氯氫硅有潛在的燃燒爆炸危險(xiǎn)，所以它的貯罐應(yīng)與生產(chǎn)裝置要有一定的防火間距，并且要設(shè)防火堤，降溫水的排放管道經(jīng)過防火堤處要設(shè)閘閥。貯罐應(yīng)設(shè)靜電接地裝置和避雷裝置。貯罐內(nèi)的氣相要與氮?dú)庀到y(tǒng)相連進(jìn)行保護(hù)，貯罐的氣相與外部連通的平衡管（放空管）應(yīng)與尾氣回收系統(tǒng)相連，不能直接排空，并應(yīng)設(shè)止回閥和阻火器。貯罐區(qū)應(yīng)設(shè)一個(gè)備用罐，緊急情況下應(yīng)將泄漏的貯罐內(nèi)的物料轉(zhuǎn)移至備用罐，防止大量泄漏。四、泄漏處理和火災(zāi)撲救生產(chǎn)和儲(chǔ)存中如果發(fā)生三氯氫硅泄漏，應(yīng)根據(jù)泄漏量的大小劃出一定的警戒范圍，禁止無關(guān)人員和車輛進(jìn)入警戒區(qū)，切斷警戒區(qū)內(nèi)的所有火源，迅速撤離泄漏污染區(qū)內(nèi)的人員至安全地帶。如果是貯罐發(fā)生泄漏，又不能及時(shí)排除泄漏，就應(yīng)該將發(fā)生泄漏的貯罐內(nèi)的三氯氫硅用氮?dú)鈮喝雮溆霉迌?nèi)。如果是生產(chǎn)中的設(shè)備和管道發(fā)生泄漏，應(yīng)立即停止生產(chǎn)，并迅速關(guān)閉有關(guān)閥門切斷物料輸送。泄漏地帶有水源時(shí)，應(yīng)用干砂土圍成隔離帶，將泄漏的三氯氫硅與水隔離開來。搶險(xiǎn)人員進(jìn)入危險(xiǎn)區(qū)域時(shí)應(yīng)佩戴自給式呼吸器或防毒面具。應(yīng)先查明泄漏部位的泄漏狀況。由于貯存三氯氫硅的容器為常壓容器，應(yīng)針對(duì)不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切斷泄漏源，用砂土、水泥吸收殘留液。三氯氫硅泄漏后發(fā)生燃燒時(shí)，應(yīng)采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥滅火，禁止直接用水和泡沫撲救四氯化硅1.物質(zhì)的理化常數(shù)：國(guó)標(biāo)編號(hào)81043CAS號(hào)10026-04-7中文名稱四氯化硅英文名稱Silicontetrachloride別名氯化硅；四氯化矽分子式SiCl4外觀與性狀無色或淡黃色發(fā)煙液體，有刺激性氣味，易潮解分子量169.90蒸汽壓55.99kPa（37.8°C）熔點(diǎn)-70C沸點(diǎn)：57.6C溶解性可混溶于苯、氯仿、石油醚等多數(shù)有機(jī)溶劑密度相對(duì)密度（水=1）1.48；相對(duì)密度（空氣=1）5.86穩(wěn)定性穩(wěn)定危險(xiǎn)標(biāo)記20（酸性腐蝕品）主要用途用于制取純硅、硅酸乙酯等，也用于制取煙幕劑2.對(duì)環(huán)境的影響：一、 健康危害侵入途徑：吸入、食入、經(jīng)皮吸收。健康危害：對(duì)眼睛及上呼吸道有強(qiáng)烈刺激作用。高濃度可引起角膜混濁，呼吸道炎癥，甚至肺水腫。皮膚接觸后可引起組織壞死。二、 毒理學(xué)資料及環(huán)境行為急性毒性：LC508000ppm,4小時(shí)（大鼠吸入）危險(xiǎn)特性：受熱或遇水分解放熱，放出有毒的腐蝕性煙氣。燃燒（分解）產(chǎn)物：氯化氫、氧化硅?，F(xiàn)場(chǎng)應(yīng)急監(jiān)測(cè)方法：實(shí)驗(yàn)室監(jiān)測(cè)方法：氣相色譜法，參照《分析化學(xué)手冊(cè)》（第四分冊(cè)，色譜分析），化學(xué)工業(yè)出版社環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)：前蘇聯(lián)（1975）車間衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)5mg/m3應(yīng)急處理處置方法：一、 泄漏應(yīng)急處理疏散泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，禁止無關(guān)人員進(jìn)入污染區(qū)，建議應(yīng)急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學(xué)防護(hù)服。不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質(zhì)（木材、紙、油等）接觸，在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)（或擴(kuò)散），但不要對(duì)泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。將地面灑上蘇打灰，然后用大量水沖洗，經(jīng)稀釋的洗水放入廢水系統(tǒng)。如果大量泄漏，最好不用水處理，在技術(shù)人員指導(dǎo)下清除。二、 防護(hù)措施呼吸系統(tǒng)防護(hù)：可能接觸其蒸氣時(shí)，必須佩戴防毒面具或供氣式頭盔。緊急事態(tài)搶救或逃生時(shí)，建議佩帶自給式呼吸器。眼睛防護(hù)：戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡。防護(hù)服：穿工作服（防腐材料制作）。手防護(hù)：戴橡皮手套。其它：工作后，淋浴更衣。單獨(dú)存放被毒物污染的衣服，洗后再用。保持良好的衛(wèi)生習(xí)慣。三、 急救措施皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用流動(dòng)清水沖洗15分鐘。若有灼傷，就醫(yī)治療。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動(dòng)清水沖洗10分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液沖洗。吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。注意保暖，保持呼吸道通暢。必要時(shí)進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。食入：患者清醒時(shí)立即漱口，給飲牛奶或蛋清。立即就醫(yī)。滅火方法：干粉、砂土。禁止用水。四、 四氯化硅的用途工業(yè)上制取四氯化硅一般是作為制取高純度硅的中間產(chǎn)物，先由石英砂（SiO2）與C（焦碳）反映制得粗硅（主要成分為Si單質(zhì)）.然后再將粗硅與氯氣（cl2）加熱制得.由于與氫氣反應(yīng)制取硅時(shí)，反應(yīng)物及產(chǎn)物中四氯化硅為液體，氫氣與氯化氫為氣體，只有產(chǎn)物硅為固體，因此極易分離出高純度硅，故已成為電子化工產(chǎn)業(yè)的"明星材料".應(yīng)急處理處置方法:一、 泄漏應(yīng)急處理疏散泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，禁止無關(guān)人員進(jìn)入污染區(qū)，建議應(yīng)急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學(xué)防護(hù)服。不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質(zhì)（木材、紙、油等）接觸，在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)（或擴(kuò)散），但不要對(duì)泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。將地面灑上蘇打灰，然后用大量水沖洗，經(jīng)稀釋的洗水放入廢水系統(tǒng)。如果大量泄漏，最好不用水處理，在技術(shù)人員指導(dǎo)下清除。二、 防護(hù)措施呼吸系統(tǒng)防護(hù)：可能接觸其蒸氣時(shí)，必須佩戴防毒面具或供氣式頭盔。緊急事態(tài)搶救或逃生時(shí)，建議佩帶自給式呼吸器。眼睛防護(hù)：戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡。防護(hù)服：穿工作服（防腐材料制作）。手防護(hù)：戴橡皮手套。其它：工作后，淋浴更衣。單獨(dú)存放被毒物污染的衣服，洗后再用。保持良好的衛(wèi)生習(xí)慣。三、 急救措施皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用流動(dòng)清水沖洗15分鐘。若有灼傷，就醫(yī)治療。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動(dòng)清水沖洗10分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液沖洗。吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。注意保暖，保持呼吸道通暢。必要時(shí)進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。食入：患者清醒時(shí)立即漱口，給飲牛奶或蛋清。立即就醫(yī)。滅火方法:干粉、砂土。禁止用水 。三氯氫硅對(duì)人體的危害多晶硅項(xiàng)目投資龐大，一個(gè)千噸級(jí)項(xiàng)目規(guī)模等于一座中型石化廠，投資約12億元，且氯氣有毒，空氣中超過0.001毫克/升人就有危險(xiǎn)，技術(shù)不過關(guān)的話，多晶硅會(huì)隨氯氣跑出，嚴(yán)重污染環(huán)境。我國(guó)大部分多晶硅企業(yè)技術(shù)未過關(guān)，事實(shí)上，目前中國(guó)尚無年產(chǎn)量超過1000噸的多晶硅生產(chǎn)工廠，大規(guī)模生產(chǎn)面臨一定風(fēng)險(xiǎn)，尤其是如果副產(chǎn)品回收處理跟不上，將對(duì)安全生產(chǎn)和環(huán)境保護(hù)帶來極大的隱患。生產(chǎn)多晶硅是一個(gè)提純過程，金屬硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅，再用氫氣進(jìn)行一次性還原，這個(gè)過程中約有25%的三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅，其余大量進(jìn)入尾氣，同時(shí)形成副產(chǎn)品一一四氯化硅.每生產(chǎn)一噸多晶硅，就產(chǎn)生4噸以上的四氯化硅廢液。在這個(gè)過程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、氯化氫、氯氣等有害物質(zhì)極有可能外溢，存在重大的安全和污染隱患。四氯化硅一遇潮濕空氣即分解成硅酸和劇毒氣體氯化氫，對(duì)人體眼睛、皮膚、呼吸道有強(qiáng)刺激性，遇火星會(huì)爆炸；氯氣的外逸則可以使人出現(xiàn)咳嗽、頭暈、胸悶等病狀，并導(dǎo)致農(nóng)作物大面積減產(chǎn)和絕收氫氣分子式：H2分子量：2.01健康危害：本品在生理學(xué)上是惰性氣體，僅在高濃度時(shí)，由于空氣中氧分壓降低才引起窒息。在很高的分壓下，氫氣可呈現(xiàn)出麻醉作用。燃爆危險(xiǎn)：本品易燃。吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。危險(xiǎn)特性：與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇熱或明火即爆炸。氣體比空氣輕，在室內(nèi)使用和儲(chǔ)存時(shí)，漏氣上升滯留屋頂不易排出，遇火星會(huì)引起爆炸。氫氣與氟、氯、漠等鹵素會(huì)劇烈反應(yīng)。有害燃燒產(chǎn)物：水。滅火方法：切斷氣源。若不能切斷氣源，則不允許熄滅泄漏處的火焰。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。滅火劑：霧狀水、泡沫、二氧化碳、干粉。應(yīng)急處理：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防靜電工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。如有可能，將漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至空曠地方或裝設(shè)適當(dāng)噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。操作注意事項(xiàng)：密閉操作，加強(qiáng)通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員穿防靜電工作服。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑、鹵素接觸。在傳送過程中，鋼瓶和容器必須接地和跨接，防止產(chǎn)生靜電。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不超過30°C，相對(duì)濕度不超過80%。應(yīng)與氧化劑、鹵素分開存放，切忌混儲(chǔ)。采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。工程控制：密閉系統(tǒng)，通風(fēng)，防爆電器與照明。呼吸系統(tǒng)防護(hù)：一般不需要特殊防護(hù)，高濃度接觸時(shí)可佩戴空氣呼吸器。眼睛防護(hù)：一般不需特殊防護(hù)。身體防護(hù)：穿防靜電工作服。手防護(hù)：戴一般作業(yè)防護(hù)手套。其他防護(hù)：工作現(xiàn)場(chǎng)嚴(yán)禁吸煙。避免高濃度吸入。進(jìn)入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè)，須有人監(jiān)護(hù)。電氣線路起火的原因和預(yù)防方法一、電氣線路起火的主要原因：（一） 線路短路。所謂短路就是交流電路的兩根導(dǎo)線互相觸碰，電流不經(jīng)過線路中的用電設(shè)備，而直接形成回路。由于電線本身的電阻比較小，若僅是通過電線這個(gè)回路，電流就會(huì)急劇增大，比正常情況下大幾十倍、幾百倍。這么大的電流通過這么細(xì)的導(dǎo)線，由于電阻越大，所產(chǎn)生的熱量就越多，會(huì)在極短的時(shí)間內(nèi)使導(dǎo)線產(chǎn)生高達(dá)數(shù)千攝氏度的溫度，足以引燃附近的易燃物，造成火災(zāi)。而造成線路短路是由于輸電線路使用過久，絕緣層老化、破裂，失去絕緣作用，導(dǎo)致兩線相碰；或者是由于亂拉亂接電線，使電線的〃外套〃機(jī)械損傷，引起短路。（二） 接觸不良。由于電線接頭不良，造成線路接觸電阻過大而發(fā)熱起火。凡電路都有接頭，或是電線之間相接，或是電線與開關(guān)、保險(xiǎn)器或用電器具相接。如果這些接頭接得不好，就會(huì)阻礙電充在導(dǎo)線中的流動(dòng)，而且產(chǎn)生大量的熱。當(dāng)這些熱足以熔化電線的絕緣層時(shí)，絕緣層便會(huì)起火，而引燃附近的可燃物。（三）線路超負(fù)荷。一定材料和一定大小橫截面積的電線有一定的安全載流量。如果通過電線的電流超過它的安全載流量，電線就會(huì)發(fā)熱。超過的越多，發(fā)熱量越大。當(dāng)熱量使電線溫度超過250°C時(shí)，電線橡膠或塑料絕緣層就會(huì)著火燃燒。如果電線〃外套〃損壞，還會(huì)造成短路，火災(zāi)的危險(xiǎn)性更大。另外，如果選用了不合規(guī)格的保險(xiǎn)絲，電路的超負(fù)載不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)，隱患就會(huì)變成現(xiàn)實(shí)。（四）線路漏電。即由于電線絕緣或其支架材料的絕緣性能不佳，以致導(dǎo)線與導(dǎo)線或?qū)Ь€與大地之間有微量電流通過。人們常說的走電、跑電就是漏電的一種嚴(yán)重現(xiàn)象。漏電嚴(yán)重時(shí)，漏電火花和高溫也能成為火災(zāi)的火源。電氣防火、防爆措施電氣防火、防爆措施是綜合性的措施。其他防火、防爆措施對(duì)于防止電氣火災(zāi)和爆炸也是有效的。一、消除引燃源為了防止出現(xiàn)電氣引燃源，應(yīng)根據(jù)爆炸危險(xiǎn)環(huán)境的特征和危險(xiǎn)物的級(jí)別和組別選用電氣設(shè)備和電氣線路，并保持電氣設(shè)備和電氣線路安全運(yùn)行。安全運(yùn)行包括電流、電壓、溫升和溫度等參數(shù)不超過允許范圍，還包括絕緣良好、連接和接觸良好、整體完好無損、清潔、標(biāo)志清晰等。保持設(shè)備清潔有利于防火。設(shè)備臟污或灰塵堆積既降低設(shè)備的絕緣又妨礙通風(fēng)和冷卻，特別是正常時(shí)有火花產(chǎn)生的電氣設(shè)備，很可能由于污垢過多而引起火災(zāi)。因此，從防火角度，也要求定期或經(jīng)常地清掃電氣設(shè)備，以保持清潔。在爆炸危險(xiǎn)環(huán)境，應(yīng)盡量少用攜帶式電氣設(shè)備，少裝插銷座和局部照明燈。為了避免產(chǎn)生火花，在爆炸危險(xiǎn)環(huán)境更換燈泡應(yīng)停電操作?；谕瑯永碛?，在爆炸危險(xiǎn)環(huán)