電子廠靜電防護管理規(guī)范

年5月29日電子廠靜電防護管理規(guī)范文檔僅供參考HYPERLINK目的HYPERLINK適用范圍HYPERLINK引用標(biāo)準(zhǔn)HYPERLINK名詞術(shù)語HYPERLINK防靜電工作區(qū)系統(tǒng)HYPERLINK人體防靜電系統(tǒng)HYPERLINK職責(zé)HYPERLINK培訓(xùn)HYPERLINK采購HYPERLINK文件生效日期HYPERLINK記錄HYPERLINK\l"l"附錄目的為避免靜電敏感元器件在生產(chǎn)、運輸、儲存、檢測等過程中受到靜電釋放的影響,從而產(chǎn)生短路、電阻漂移、開路、工作性能退化等不良現(xiàn)象。特建立<電子產(chǎn)品制造靜電防護技術(shù)要求>,以保證產(chǎn)品品質(zhì),增加可靠性,減低不良率,節(jié)省產(chǎn)品工時成本,降低維修費用?；?lt;電子產(chǎn)品制造靜電防護技術(shù)要求>文件的頒布,提高員工對ESD的認(rèn)識,加強員工自覺防止ESD現(xiàn)象之觀念,促進生產(chǎn)管理水平之提高。適用范圍本文適用于所有車間中生產(chǎn)制程及電子元器件的采購、運輸、儲存、檢測過程中的靜電防護。引用標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10694-1996 <電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法>GB/T15463-1995<靜電安全名詞術(shù)語>GJB3007–97 <防靜電工作區(qū)技術(shù)要求>GJB1649–93 <電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱>GB1–89 <防靜電工作服>SJ/T10533-94 <電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求>SJ/T10630-1995<電子元器件制造防靜電技術(shù)要求>ANSI/ESDSTM3.1-<靜電放電敏感產(chǎn)品防護用標(biāo)準(zhǔn):離子發(fā)生器>ANSI/ESDS20.20-1999<建立一個靜電放電控制方案—保護電氣和電子零件,裝置和設(shè)備>名詞術(shù)語靜電:一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。它所引起的磁場效應(yīng)能夠忽略不計(靜電可由物質(zhì)的接觸與分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生)。ESD:ElectronicStaticDischarge,原意是指靜電釋放,即經(jīng)過帶靜電區(qū)域直接接觸或感應(yīng)而引起的靜電電荷在不同電勢物體上的轉(zhuǎn)移。后常指靜電防護,即避免靜電釋放的發(fā)生。靜電感應(yīng):當(dāng)帶電物體靠近某一介質(zhì)時,在該介質(zhì)表面因感應(yīng)而帶電荷,并形成感應(yīng)電場。ESDS:ElectronicStaticDischargeSensitive,靜電放電敏感(的),一般見來指靜電敏感元器件。防靜電工作區(qū):由各種防靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場地。靜電敏感度:ElectrostaticSensitivity,元器件所能承受的靜電放電電壓值。表面電阻/點對點電阻:在與材料的同一側(cè)面相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極之間,直流電壓對于流過的電流的比值。該測量結(jié)果以歐姆為單位來表示。體積電阻/對地電阻/系統(tǒng)電阻:在與材料的相對兩面相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極之間,直流電壓對于流過的電流的比值。該測量結(jié)果以歐姆為單位來表示。摩擦起電:當(dāng)使兩種材料接觸或相互摩擦后分離時,產(chǎn)生靜電荷。摩擦電壓:物體被摩擦后,表面所帶靜電荷的電壓。ESD損傷:由靜電放電引起的電子元器件性能退化或功能失效。消電時間(DecayTime):一個靜電壓從其初始值降低到一個給定值(一般是初始值的10%)所需要的時間。注:國際慣例對于小于1E6歐姆的電阻使用10V電壓測量,大于或等于1E6歐姆的電阻使用100V電壓測量,防靜電工作區(qū)系統(tǒng)防靜電工作區(qū)的劃分:根據(jù)GJB1649規(guī)定的靜電放電電壓敏感的靜電放電敏感元器件\組件和設(shè)備的分級.靜電放電敏感產(chǎn)品按敏感度電壓被分級為:靜電敏感度級別靜電敏感電壓(人體模型—HBM)I級0~1999VII級~3999VIII級4000~15999V根據(jù)該項標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定,所要求的ESD控制大綱一般只包含對I和II級敏感產(chǎn)品的防護?，F(xiàn)按照元器件靜電敏感度和生產(chǎn)線實際情況如下:高速器件(如藍(lán)牙耳機等含高頻器件的組件)、較大規(guī)模集成電路(如CMOS攝像模塊)的靜電敏感度相對較高,凡是含這些器件的半成品生產(chǎn)線均定為I級;普通器件如TI的計算器等,沒有用到上述類型器件的產(chǎn)品,則生產(chǎn)這些產(chǎn)品的生產(chǎn)線不需要嚴(yán)格的防靜電措施。僅僅是器件的存儲和運輸,也不需要嚴(yán)格的防靜電措施,理由是器件在這個時候沒有被操作。把這些生產(chǎn)線或車間定為II級;按照上述理由,現(xiàn)規(guī)定敏感級別為:級別區(qū)域I級BONDING車間、COB車間、SMT車間,含CMOS照相模塊或高頻通訊產(chǎn)品的電子產(chǎn)品(半成品)的裝配拉等II級不含CMOS照相模塊或高頻通訊產(chǎn)品的電子產(chǎn)品裝配拉,普通電子產(chǎn)品的半成品包裝區(qū)域、貨倉電子料區(qū)域,生產(chǎn)倉,收料倉等公司內(nèi)部由黃、黑雙色斑馬線圍起的區(qū)域或門口掛有靜電標(biāo)示牌的車間為防靜電工作區(qū)。元器件敏感度分級由QC1ESD工程師按后附錄1——<ESDS元器件分類>酌情分級,并確定。防靜電工作區(qū)基本環(huán)境要求防靜電工作區(qū)應(yīng)保持潔凈,避免有灰塵堆積或漂浮的狀態(tài)發(fā)生車間內(nèi)溫濕度的控制結(jié)合車間的實際情況定為:區(qū)域溫度濕度百級潔凈室21250%~60%千級潔凈室21260%~70%普通車間23340%~70%在不對產(chǎn)品造成有害影響的前提下,允許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水,以增加環(huán)境濕度。防靜電工作區(qū)應(yīng)清楚標(biāo)明區(qū)域界限以及警示標(biāo)志,見附錄14。要求使用防靜電地板或在普通地面上鋪設(shè)防靜電地墊,并保證有效接地。禁止直接使用木制地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。天花板及墻壁建議使用防靜電材料制品,一般情況下允許使用石膏制品或石灰涂料,禁止使用普通塑料制品。防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應(yīng)有獨立可靠的接地裝置,接地電阻一般應(yīng)小于10歐姆,為保證人員安全,在與人員直接接觸的地方應(yīng)加裝1兆歐姆限流電阻。接地線的要求如下:接地線截面積接地電阻要求接地總線不小于100mm2的銅制導(dǎo)線小于10歐姆ESD線不得直接接在電源零線上。ESD線不得與防雷地線共用。使用三相五線制供電,其大地線能夠作為ESD地線,但需保證電源地線與零線不能搭接。接地支干線不小于6mm2的銅制導(dǎo)線小于10歐姆設(shè)備和工作臺的接地線不小于1.25mm2的多股或單股的銅制絕緣套導(dǎo)線小于10歐姆或0.8兆歐~1.2兆歐新增的ESD地線應(yīng)用綠色絕緣套標(biāo)識,原來使用的黃綠色絕緣套標(biāo)識能夠繼續(xù)使用。臺墊等物品的接地配件按照來料的顏色使用。ESD接地詳情參閱<南太接地系統(tǒng)>。廠房接地總線的接地電阻小于10歐姆,由行政部負(fù)責(zé)定期檢查,周期為一個月一次。并填寫<廠房接地電阻測試記錄表>。車間內(nèi)部的設(shè)備和工作臺的接地線的接地狀況由PE負(fù)責(zé)定期檢查,周期為3個月一次。并填寫<工作臺地線接地電阻測試記錄表>。測試臺的防靜電設(shè)備,工器具的接地由TE負(fù)責(zé)定期檢查,周期為3個月一次。并填寫<工作臺地線接地電阻測試記錄表>。防靜電區(qū)域設(shè)備及輔料要求I級區(qū)域II級區(qū)域防靜電安全工作臺防靜電安全工作臺防靜電容器、運輸工具(料盒、料箱、運輸車)防靜電容器、運輸工具(料盒、料箱、運輸車)防靜電腕帶防靜電腕帶防靜電工衣(帽)防靜電工衣(帽)防靜電工鞋防靜電工鞋防靜電測試架防靜電烙鐵(如需使用烙鐵)離子風(fēng)機(離子棒/離子風(fēng)槍)(視工序而定)防靜電烙鐵(如需使用烙鐵)防靜電工作區(qū)的ESD技術(shù)要求防靜電地板用防靜電PVC地板專用清潔劑或中性清潔用品定期進行清潔,嚴(yán)禁使用強酸、強堿或能溶解PVC材料的化學(xué)溶劑進行清洗,如果屬于更嚴(yán)重的污漬,能夠使用異丙烯基乙醇清潔。嚴(yán)禁帶有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦劃、拖拉。不能將硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上,如發(fā)生以上情況,應(yīng)立即清潔。使用防靜電地板蠟水進行定期涂敷、養(yǎng)護,一般6個月一次。地板蠟的電阻小于1E9歐姆。地板安裝時應(yīng)滿足的ESD技術(shù)指標(biāo)包括:表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E4~1E9歐姆范圍以內(nèi)。生產(chǎn)部應(yīng)及時向行政部要求對防靜電地板進行打蠟維護,行政部做好地板打蠟后應(yīng)及時通知QC1部ESD工程師。對于K4潔凈室的地板,經(jīng)IE評估且經(jīng)過ESD工程師的認(rèn)可,能夠不做地板打蠟。QC1部ESD工程師應(yīng)在行政部對防靜電地板打蠟后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng)電阻測試,測試方法見附錄2,并填寫<防靜電地板電阻測試記錄表>。防靜電安全工作臺(含測試臺)各區(qū)域的防靜電安全工作臺由負(fù)責(zé)該區(qū)域的PE或TE確定范圍。例如:回流焊后的檢查臺、QC1檢查臺、修理臺和測試臺等。防靜電安全工作臺基本要求和禁止項目要求禁止工作臺表面鋪設(shè)防靜電臺墊,同時臺墊必須接地。特殊情況能夠沒有臺墊,但需經(jīng)ESD工程師認(rèn)可。工作臺上放置普通塑料盒(片)、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易產(chǎn)生靜電的雜物.配備腕帶接頭、ESD地線、離子風(fēng)機(可選)、防靜電工具(可選)和防靜電測試架距離ESDS元器件30厘米以內(nèi)有摩擦電壓高于200V的物件在防靜電區(qū)內(nèi)使用不符合防靜電要求的物料且必須時,必須得到QC1ESD工程師的評估和認(rèn)可。防靜電臺臺面應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E4~1E9歐姆范圍以內(nèi)。防靜電臺椅子應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均小于1E9歐姆范圍。防靜電膠簾的表面電阻應(yīng)在1E4~1E11歐姆內(nèi)。PE或TE應(yīng)每6個月做一次相應(yīng)的工作區(qū)域內(nèi)的防靜電臺墊和防靜電工椅電阻測試,防靜電臺墊測試方法見附錄3,填寫<防靜電臺墊電阻測試記錄表>。防靜電工椅測試方法見附錄8,填寫<防靜電工椅測試記錄表>,如果有不合格的,須及時更換。防靜電輔料/工具防靜電溶劑瓶:系統(tǒng)電阻在1E4~1E11歐姆范圍。防靜電烙鐵/焊接工具:從熱的端頭到地的電阻應(yīng)小于10歐姆。防靜電文件袋(夾):表面電阻在1E4~1E11歐姆范圍。PE應(yīng)每6個月做一次防靜電輔料電阻測試,測試方法見附錄7,填寫<防靜電輔料電阻測試記錄表>。防靜電包裝及容器防靜電容器包括——ESDS原料包裝袋(盒/盤)、裝板的料盒、等一切包裝、儲存ESDS的容器。允許使用局部抗靜電涂料對容器表面進行處理,但使用效果必須由相關(guān)PE定期檢查。防靜電容器應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo):表面電阻(包括內(nèi)外表面)在1E4~1E11歐姆范圍,系統(tǒng)電阻在1E4~1E10歐姆范圍。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品的金屬部分不直接與防靜電容器接觸,則允許防靜電容器的電阻小于1E4歐姆。PE應(yīng)每6個月做一次防靜電容器(包括吸塑、托盤、料箱等)表面電阻和體積電阻測試,測試方法見附錄4。填寫<防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測試記錄表>,測試結(jié)果由PE保存半年,并在符合標(biāo)準(zhǔn)的容器上做標(biāo)記。QC2應(yīng)按SEF對來料的包裝袋和容器進行測試,并填寫<防靜電包裝袋容器電阻測試記錄表>。防靜電運輸工具及存放架等防靜電運輸工具包括—ESD運輸車、ESD小推車等為保護ESDS不受到外部強靜電場的影響,運送ESDS的防靜電運輸工具應(yīng)由高導(dǎo)電性材料(建議使用不銹鋼)制作,車子經(jīng)常固定時要求硬接地。其對地電阻應(yīng)小于10歐姆。當(dāng)運輸車由不銹鋼組成時,且經(jīng)常移動時,其對地電阻應(yīng)小于1E9歐姆。存放架的表面電阻和對地電阻應(yīng)小于1E9歐姆。防靜電運輸工具應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo):表面電阻和對地電阻小于1E9歐姆。PE應(yīng)每6個月做一次防靜電運輸車、ESD小推車之臺面對輪腳系統(tǒng)電阻測試,測試方法見附錄5。填寫<防靜電運輸工具/存放架電阻測試記錄表>,測試結(jié)果由PE保存半年,并在符合標(biāo)準(zhǔn)的運輸工具上做標(biāo)記。除靜電離子風(fēng)機/離子棒當(dāng)防靜電區(qū)域內(nèi)不可避免的需要使用會產(chǎn)生高靜電的材料時,且該材料要求被放置在離ESDS30厘米內(nèi)時,必須使用離子風(fēng)機或離子棒。對于不能接地又直接接觸ESDS元件的物體,必須保證其保持在零電位狀態(tài),必要時,能夠使用離子風(fēng)機消除在這個過程中產(chǎn)生的靜電。離子風(fēng)機在使用的過程中會產(chǎn)生較大功率的RF信號,因此進行通信產(chǎn)品測試的車間不適用離子風(fēng)機。如果要用,則需要經(jīng)過QC1ESD工程師的評估。懸掛式離子風(fēng)機應(yīng)懸掛在離工作臺面60厘米的高度,(特殊工位可例外,但須經(jīng)ESD工程師認(rèn)可)離子風(fēng)機的出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機的平衡電壓保持在50V以內(nèi),消電時間(從1000V中和到100V)應(yīng)小于10秒(高風(fēng)速)。臺式離子風(fēng)機應(yīng)放置在工作臺上且離工作區(qū)域30~45厘米左右,以保證有足夠的覆蓋范圍和快速的靜電消除。離子風(fēng)機的出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機的平衡電壓保持在50V以內(nèi),消電時間(從1000V中和到100V)應(yīng)小于3秒(高風(fēng)速)。離子棒應(yīng)懸掛在合適的工作高度以保證除靜電效果,離子棒的平衡電壓應(yīng)保持在50V以內(nèi),消電時間(從1000V中和到100V)應(yīng)小于60秒。QC1ESD工程師應(yīng)每6個月做一次離子風(fēng)機平衡電壓和消電時間測試,填寫<除靜電離子發(fā)生器測試記錄表>,對不符合要求的離子風(fēng)機,應(yīng)及時處理。其它防靜電物料及相關(guān)要求不在上面列出來的物料則按一般防靜電要求,表面電阻在1E4~1E11歐姆內(nèi),系統(tǒng)電阻在1E4~1E11歐姆內(nèi)。特殊情況下,如果找不到合適的供應(yīng)商,又經(jīng)過ESD專員的評估,確認(rèn)不會對產(chǎn)品構(gòu)成ESD隱患的情況下,能夠引入表面電阻或體積電阻小于1E11歐姆的物料。人體防靜電系統(tǒng)防靜電腕帶直接接觸ESDS的任何人員都應(yīng)按規(guī)定佩帶防靜電腕帶(俗稱靜電帶),禁止使用無線防靜電腕帶。防靜電腕帶的接觸線應(yīng)內(nèi)置一個1兆歐姆電阻,以保證人體安全以及快速瀉放靜電,防靜電腕帶的腕帶應(yīng)是導(dǎo)電性的,表面電阻應(yīng)小于1E3歐姆。同時應(yīng)保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好的接觸,系統(tǒng)電阻應(yīng)小于35兆歐姆,且使用鱷魚夾或插頭座可靠的連接在ESD線上。應(yīng)每天一次測量防靜電腕帶的系統(tǒng)電阻,由拉長填寫<靜電帶檢查記錄表>,檢查不合格時應(yīng)交由修理檢修,不能修復(fù)時,應(yīng)及時更換。防靜電鞋/防靜電鞋套所有進入防靜電區(qū)域的人員都應(yīng)穿用防靜電鞋/鞋套,防靜電鞋/鞋套的使用要保證鞋的系統(tǒng)電阻在1E5~3.5E7歐姆范圍內(nèi)。應(yīng)每天一次測量防靜電鞋/鞋套的系統(tǒng)電阻,由拉長填寫<防靜電鞋/鞋套檢查記錄表>,檢查不合格時應(yīng)及時更換。防靜電工作服防靜電工作服包括——防靜電連體衣、防靜電大褂、防靜電工鞋(鞋套)和工帽,防靜電工作服要求使用導(dǎo)電網(wǎng)格防靜電綢制作,制造要求應(yīng)符合GB1之規(guī)定,其各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計應(yīng)能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。進入防靜電區(qū)域時,防靜電工作服、工鞋和工帽要求穿著整齊,全部紐扣(拉鏈)要系好(拉完全),頭發(fā)必須包在工帽內(nèi),不能有外露。不同使用人員之防靜電工作服按顏色區(qū)分:人員普通工作區(qū)域及千級潔凈室百級潔凈室生產(chǎn)部作業(yè)員工艷藍(lán)色的防靜電服(帽)白色防靜電連體服+淺藍(lán)色條紋的披肩帽品質(zhì)部員工粉紅色的防靜電服(帽)白色防靜電連體服+粉紅色條紋的披肩帽工程人員深藍(lán)色的防靜電服(帽)白色防靜電連體服+深藍(lán)色條紋的披肩帽生產(chǎn)管理人員黃色的防靜電服(帽)白色防靜電連體服+黃色條紋的披肩帽外來人員白色的防靜電服(帽)白色防靜電連體服+無條紋的披肩帽購買防靜電工衣時應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo):表面電阻值(1E5歐姆~1E10歐姆)。生產(chǎn)部應(yīng)每半年做一次防靜電工衣表面電阻測試,測試方法見附錄6,并填寫<防靜電工衣表面電阻測試記錄表>,對于不符合指標(biāo)要求的防靜電工衣,予以更換。防靜電手套/指套由消散性材料制成,人體穿戴對地電阻在1E5~1E11歐姆范圍,摩擦電壓小于50V。人體綜合接地測試系統(tǒng)要求手腕帶-人體工鞋-人體指示燈電阻下限7.5E5歐姆1E5歐姆電阻上限3.5E7歐姆3.5E7歐姆電阻在范圍以內(nèi)綠燈電阻不在范圍以內(nèi)紅燈每個進入防靜電區(qū)域的人員須進行人體綜合接地效果測試,如果亮紅燈,則表明測試失敗,應(yīng)更換工鞋/鞋套或手腕帶重新進行測試并通知相關(guān)人員。人員防靜電一般要求要求進入防靜電區(qū)的人員盡量穿著棉質(zhì)衣物,盡量避免穿著尼龍等合成纖維制品,以免產(chǎn)生強電場導(dǎo)致靜電感應(yīng)放電現(xiàn)象。在防靜電工作區(qū)內(nèi)不得大聲喧嘩,坐立姿勢端正,避免不必要的走動,以及不必要的大幅度身體運動,如彎腰、晃動手臂等,在防靜電工作區(qū)內(nèi)如有必要走動,應(yīng)緩步行走,禁止奔跑。接觸靜電敏感器件及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶,防靜電腕帶再接入防靜電地線系統(tǒng),要保證腕帶與皮膚接觸良好,在戴腕帶處皮膚上不得涂護膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。手持靜電敏感器件及組件時應(yīng)避免接觸其導(dǎo)電(金屬管腳)部分,操作過程中應(yīng)盡量減少對靜電敏感器件及組件的接觸次數(shù)。按需要逐一取用,不得一次倒出一堆IC散亂地放在工作臺面上,已裝貼有元器件的PCB板不得裸露疊放,確需暫時疊放時必須用防靜電材料隔離開。外來人員參觀,必須有本公司人員全程陪同,按參觀路線行進,不得隨意走動,不得進入機器外圍的斑馬線地標(biāo),更不得隨意觸摸產(chǎn)品。職責(zé)生產(chǎn)經(jīng)理、主管、科文等管理人員,職責(zé)包括:負(fù)責(zé)做好物料、作業(yè)員、及其它進出防靜電工作區(qū)人員及物品的出入管理,確保其按ESD要求正確著裝,確保作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內(nèi)的人員正確使用ESD設(shè)備,包括防靜電工衣、防靜電工帽、防靜電工鞋、防靜電腕帶、防靜電臺墊、離子風(fēng)機、ESD料盒和ESD地板等;確保無關(guān)人員不接觸產(chǎn)品,不對產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放;對懷疑是靜電損傷的產(chǎn)品,需要保存樣品并報告給相應(yīng)的部門作失效分析;定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶的ESD品質(zhì),如有品質(zhì)異常,及時向采購部提出采購申請更換;每天檢查ESD設(shè)備、臺墊等的接地狀況(目視),確保接地線正確的連接到ESD總線上;每六個月要求服務(wù)組對防靜電地板進行打蠟。QC1ESD工程師/技術(shù)員,職責(zé)包括:統(tǒng)籌全廠的ESD控制,定期對生產(chǎn)線的靜電防護水平做出評估,并給出改進意見,提高其靜電防護水平;負(fù)責(zé)尋找新的防靜電用品的供應(yīng)商,評估新購的防靜電用品的性能;協(xié)助人力資源部進行ESD培訓(xùn);監(jiān)督各個部門的ESD管理情況,及時反映ESD狀況;對生產(chǎn)線的靜電損傷樣品作失效分析,解決工序中的ESD情況;定期檢查除靜電離子發(fā)生器的性能,確保其正常工作;負(fù)責(zé)對打蠟后的地板進行測量。行政部/維修組,職責(zé)包括:行政部負(fù)責(zé)派人做好清潔工作,保證車間內(nèi)的相對空氣濕度在各車間規(guī)定的范圍內(nèi);維修組定期檢查ESD總線的接地狀況,確保其狀況良好;服務(wù)組根據(jù)生產(chǎn)部的要求派人定期使用專用的防靜電地板蠟水對防靜電地板打蠟,打完蠟后通知QC1ESD工程師進行電阻測試。人力資源部,職責(zé)包括:負(fù)責(zé)對新進廠的員工進行初步的防靜電知識培訓(xùn);定期對員工進行防靜電知識培訓(xùn),并進行培訓(xùn)的再審核。開發(fā)部,職責(zé)包括:開發(fā)部在設(shè)計新產(chǎn)品時應(yīng)考慮到器件的靜電敏感度,盡量選用具有最大靜電抗擾度的元件;在新產(chǎn)品設(shè)計階段應(yīng)盡量引入防靜電網(wǎng)絡(luò)到電路設(shè)計中去,以保護產(chǎn)品里面的靜電敏感元件;要求供應(yīng)商提供元器件靜電敏感度的級別。包括人體模型(HBM)、機器模型(MM)和帶電器件模型(CDM)(應(yīng)列明何種標(biāo)準(zhǔn));做好SEF(包括防靜電指標(biāo),partnumber等)給QC2部,供QC2部抽測來料。QA及QC2部,職責(zé)包括:確定ESDS敏感級別,對成品進行靜電放電模擬測試,確認(rèn)靜電敏感度;根據(jù)SEF負(fù)責(zé)抽測、監(jiān)控靜電敏感器件來料和靜電敏感器件產(chǎn)品的品質(zhì),如發(fā)現(xiàn)異常,應(yīng)及時反饋信息給QC1ESD工程師或相應(yīng)的部門。PE工程師/技術(shù)員,職責(zé)包括:定期檢查防靜電設(shè)備,確保其能夠正常使用,包括防靜電臺墊、地墊、防靜電容器、運輸工具和其它輔助工具的表面電阻和系統(tǒng)電阻測試等;定期檢查臺墊和機器的接地狀況,確保接地良好。TE工程師/技術(shù)員,職責(zé)包括:負(fù)責(zé)測試架,測試臺的接地和測試工位內(nèi)的防靜電設(shè)備的定期檢查與控制。貨倉工程師/技術(shù)員,職責(zé)包括:負(fù)責(zé)貨倉防靜電措施的維護和管理。定期通知QC1ESD工程師進行檢測使用中的防靜電用具。培訓(xùn)對所有可能接觸或接近ESDS的人員,必須進行相關(guān)的ESD知識培訓(xùn),并加以教育與訓(xùn)練,使之樹立有效的ESD防護觀念。培訓(xùn)的有效期為一年。人力資源部應(yīng)填寫<員工防靜電知識培訓(xùn)考核記錄表>。防靜電培訓(xùn)的內(nèi)容包括:靜電學(xué)基礎(chǔ)和靜電損害靜電性能測試防靜電的標(biāo)示與包裝防靜電控制防靜電設(shè)備的使用和檢測(相關(guān)人員)采購所有防靜電用品的采購均須要按照附錄16<防靜電制品采購流程圖>執(zhí)行文件生效日期本文件從文控中心正式發(fā)行日起開始生效。記錄序號記錄名稱責(zé)任部門測量周期保存期限1防靜電地板電阻測試記錄表QC1部6個月抽測6個月2防靜電臺墊電阻測試記錄表PE/TE部6個月抽測6個月3靜電帶檢查記錄表生產(chǎn)部每天1個月4防靜電包裝袋容器電阻測試記錄表QC2部每一批抽測6個月5防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測試紀(jì)錄表PE部6個月抽測6個月6除靜電離子發(fā)生器測試記錄表QC1部6個月抽測6個月7防靜電手套指套電阻測試記錄表QC1部每一批抽測6個月8防靜電運輸工具存放架電阻測試記錄表PE部6個月抽測6個月109防靜電工衣表面電阻測試記錄表生產(chǎn)部6個月抽測6個月1210員工防靜電知識培訓(xùn)考核紀(jì)錄表人力資源部一年一年1311防靜電輔料電阻測試記錄表PE部6個月抽測6個月1412防靜電鞋鞋套測試記錄表生產(chǎn)部每天6個月1513廠房接地電阻測試紀(jì)錄表行政部1個月抽測一年1614工作臺地線接地電阻測試紀(jì)錄表PE/TE部3個月抽測1個月1715防靜電椅子電阻測試記錄表PE部6個月抽測6個月附錄a附錄1:<ESDS元器件分類>I級:(0V~1999V)序號元器件類別條件及說明1微波器件包括肖特基二極管,點接觸二極管,頻率大于1GHz的二極管2分立MOS場效應(yīng)管包括VWOS及VDMOS等等3表面聲波(SAW)器件4結(jié)型場效應(yīng)管5電荷耦合器件6精密穩(wěn)壓二極管7運算放大器包括雙極型工藝及MOS工藝8超高速集成電路包括ECL、HCMOS、FAST等工藝9其它集成電路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等10薄膜電阻器11混合電路使用I級靜電敏感元器件組裝的混合電路12可控硅TA=100℃TO≤II級:(V~3999V)序號元器件類別條件及說明1分立MOS場效應(yīng)管包括VMOS、VDMOS等2結(jié)型場效應(yīng)晶體管3運算放大器包括雙極工藝和MOS工藝4超高速集成電路5其它集成電路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等6精密電阻網(wǎng)絡(luò)包括ECL、HCMOS、FAST等工藝7混合電路使用II級靜電敏感元器件組裝的混合電路8低功率雙極工藝晶體管PT<100mW,IC<100mA附錄2:<防靜電地板表面電阻/系統(tǒng)電阻測試方法>按下圖確定防靜電地板測試點每一個方格均代表一塊地板,測試用的電極一個放在中間的地板上,另外一個電極依次放在此地板相對角的四塊地板上面,測量其表面電阻值。隨機抽樣測試點不少于20個區(qū)域,按下圖所示,每點測量地板4點表面電阻值,并記錄數(shù)據(jù)隨機抽樣測試點不少于5個區(qū)域,按下圖所示測量地板系統(tǒng)電阻,并記錄數(shù)據(jù)附錄3:<防靜電臺墊/地墊電阻測試方法>按下圖所示,每張臺墊/地墊測量2組表面電阻值,并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示,每張臺墊/地墊測量2組對地電阻值,并記錄數(shù)據(jù)附錄4:<防靜電容器電阻測試方法>按下圖所示,測量容器表面電阻值,并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示,測量容器體積電阻值,并記錄數(shù)據(jù)附錄5:<防靜電運輸工具/存放架測試方法>按下圖所示,測量運轉(zhuǎn)車/存放架電阻值,并記錄數(shù)據(jù)附錄6:<防靜電工衣表面電阻測試方法>將防靜電工衣平坦展開放置在光滑的絕緣電阻大于1E12歐姆的平板表面上測試用兩電極應(yīng)順著導(dǎo)電絲放置按上圖所示,測量3個測試點:同片測試(褲腰以上一點對褲腰以下一點);袖對腰下部位測試(袖對褲腰以下一點)(對于連體服,用袖對腳測試取代袖對腰測試);袖對袖測試。其中連體服需要加測鞋套的對地電阻。附錄7:<普通防靜電材料電阻測試方法>對于新引入的物料要求隨機抽樣至少三個樣品,每一個樣品至少隨機測量三次。材料的測試紀(jì)錄應(yīng)包括表面電阻和體積電阻。表面電阻的測試方法:將材料放置在一個光滑、平整、潔凈,且表面絕緣電阻大于1E12歐姆的臺面。在材料表面放置兩個測試電極(30cm是建議值,如果材料小于這個尺寸,則電極放在兩對角面上),如下圖所示:體積電阻的測試方法:將材料放置在一個光滑、平整、潔凈,且表面電阻小于10歐姆的金屬面上,一個電極放置在金屬面上,另外一個電極放置在被測物上。對于烙鐵,只需要測量熱的金屬頭到地之間的電阻。附錄8:<防靜電工椅的測試方法>要求隨機抽樣至少5個樣品,每一個樣品至少隨機測量三次(三個點)。防靜電工椅的測試紀(jì)錄應(yīng)包括表面電阻和體積電阻。表面電阻的測試方法:在表面放置兩個測試電極,如下圖所示:體積(對地)電阻的測試方法:一個電極放置在金屬面上,另外一個電極放置在椅子上。注意,在生產(chǎn)線進行定期檢測的時候,允許直接把一個電極放置在防靜電地板上,另外一個電極放置在椅子上。附錄9:<物體表面的靜電壓測量方法>使用SimcoFMX002靜電壓表去測量物體表面的靜電壓,要注意以下幾點:儀表的紅外燈指示器要兩個重合,才算對焦,此時儀表距離被測物大約2.5厘米。靜電壓表在使用的過程中需要接地。否則讀數(shù)不準(zhǔn)確。靜電壓表的讀數(shù)的單位為KV。測試圖例如下:附錄10:<懸掛式/臺式離子風(fēng)機測試方法>測量懸掛式離子風(fēng)機應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機測試儀,在評估新引入的離子風(fēng)機時候需要測量標(biāo)準(zhǔn)的12個點的平衡電壓和消電時間。在平時的定期測量時,只需測量3個風(fēng)扇口正下方的平衡電壓和消電時間。標(biāo)準(zhǔn)的12個點(以小網(wǎng)格表示)如下所示:對每一個點均應(yīng)測量不少于三次。對每一個測試點的平衡電壓的測量時間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電壓的最大(偏移零點最遠(yuǎn))值。消電時間應(yīng)紀(jì)錄最大值。對新引入的懸掛式離子風(fēng)機的要求列表:(ANSI/ESDSTM3.1-/ANSI/ESDS20.20-1999只對平衡電壓提出了要求,未強制規(guī)定消電時間,因此,下表的平衡電壓是強制執(zhí)行,消電時間只是建議值)位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時間(S)平衡電壓(V)消電時間(S)CenterTP5&TP80+50V<15s0+50V<10sTP2&TP11<25.0s<20.0s30cmTP1&TP100+50V<25.0s0+50V<20.0sTP4&TP7<20.0s<15.0s30cmTP3&TP120+50V<25.0s0+50V<20.0sTP6&TP9<20.0s<15.0s測量臺式離子風(fēng)機應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機測試儀測試,在評估新引入的離子風(fēng)機時候需要測量標(biāo)準(zhǔn)的12個點的平衡電壓和消電時間。在平時的定期測量時,只需測量正對風(fēng)扇口30厘米和60厘米兩個點的平衡電壓和消電時間。標(biāo)準(zhǔn)的12個點(以黑豎條表示)如下所示:對每一個點均應(yīng)測量不少于三次。對每一個測試點的平衡電壓的測量時間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電壓的最大(偏移零點最遠(yuǎn))值。消電時間應(yīng)紀(jì)錄最大值。對新引入的臺式離子風(fēng)機的要求列表:(ANSI/ESDSTM3.1-/ANSI/ESDS20.20-1999只對平衡電壓提出了要求,未強制規(guī)定消電時間,因此,下表的平衡電壓是強制執(zhí)行,消電時間只是建議值)位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時間(S)平衡電壓(V)消電時間(S)center1ft(TP2)0+50V<5.0s0+50V<3.0s2ft(TP5)<8.0s<6.0s3ft(TP8)<12.0s<10.0s4ft(TP11)<20.0s<15.0s30cm1ft(TP1)0+50VNA0+50VNA2ft(TP4)<30.0s<25.0s3ft(TP7)<15.0s<12.0s4ft(TP10)<25.0s<20.0s30cm1ft(TP3)0+50VNA0+50VNA2ft(TP6)<30.0s<25.0s3ft(TP9)<15.0s<12.0s4ft(TP12)<25.0s<20.0s附錄11<手套/手指套的測量方法>穿戴對地電阻測試:操作員把測試儀的兩個電極分別放在兩塊互相絕緣的金屬板上面,然后操作員戴上手套/手指套。操作員把戴有手套/手指套的大拇指和食指分別按住那兩塊金屬板,然后按下測量開關(guān),并等讀數(shù)穩(wěn)定后讀出測試儀上的讀數(shù),并記錄下來。操作員分別用大拇指和其它的手指按住金屬板,然后讀出測試儀上的讀數(shù),并記錄下來。每一種手套/手指套均需要測量5個(含)以上的樣品,每次測量均記錄最大值。表面摩擦電壓測試:操作員戴上1兆歐的標(biāo)準(zhǔn)手腕帶,鱷魚夾夾在接地線上面并確認(rèn)接地良好。操作員戴上手套/手指套。一只手拿取高絕緣的塑料板,另一只手/手指摩擦塑料板十次,然后測量手套/手指套上面的靜電壓,記錄最大值。注意:儀器要離絕緣板30厘米以上,以免影響讀數(shù)。每一種手套/手指套均需要測量5個(含)以上的樣品,每次測量均記錄最大值。附錄12防靜電標(biāo)準(zhǔn)列表:表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電地板1E4~1E91E4~1E9防靜電臺墊/地墊1E4~1E91E4~1E9防靜電包裝袋/容器1E4~1E111E4~1E10防靜電小推車/周轉(zhuǎn)車小于1E9小于1E9防靜電鑷子/吸鉗/吸錫器1E4~1E111E5~1E10防靜電文件袋(夾)1E4~1E11防靜電烙鐵小于10防靜電溶劑瓶1E4~1E11防靜電架子/元件架小于1E9小于1E9防靜電椅子小于1E9小于1E9設(shè)備/工作臺接地電阻(直接)小于10設(shè)備/工作臺接地電阻(帶電阻)0.8E6~1.2E6廠房接地電阻小于10一般防靜電物料1E4~1E111E4~1E11防靜電工作服1E5~1E10小于1E9防靜電工作鞋小于1E9防靜電手腕帶小于1E3