escan型掃描電子顯微鏡操作規(guī)程

Tescan3型掃描電子顯微鏡操作規(guī)程1、開機(jī)：打開N2閥門（1）開啟并確認(rèn)穩(wěn)壓電流：220v。（2）打開電鏡主開關(guān)，由OFF位轉(zhuǎn)向ON位，等待計(jì)算機(jī)完成啟動(dòng)。（3）如果進(jìn)行元素分析，則先打開QUANTAX程序，后打開VEGA程序，確認(rèn)用戶、語(yǔ)言、密碼，等待軟件進(jìn)入系統(tǒng)。（4）系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行硬件、軟件自檢。（5）單擊VEGA中的[PUMP]，抽真空開始。（6）待真空狀態(tài)顯示條由紅變綠，真空度小于10^-5torr后，即真空達(dá)到要求，單擊[HV]接通電鏡高壓，開始觀察樣品和照像。2、更換樣品（1）單擊[HV]，切斷高壓。（2）手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)，使其回到初始位置。（3）單擊窗口中的[泄真空]，樣品室放空，調(diào)節(jié)合適的N2流量進(jìn)入，不能使N2流量太大，通?？刂瞥隹趬毫Ρ碓?.1刻度左右。（4）真空指示紅條消失后，樣品室恢復(fù)為大氣壓，打開樣品室門，更換樣品。（5）待更換好樣品后，輕按樣品室艙門，點(diǎn)擊[Pump]抽真空，真空指示進(jìn)度條變綠，真空度小于10^-5torr后，方可點(diǎn)擊[HV]開啟高壓。（6）確認(rèn)BSE探頭已搖出。3、樣品觀察和物相、成分分析（1）根據(jù)樣品特性，選擇放大倍數(shù)、合適的電鏡參數(shù)，如BI（束流）、工作距離WD和高壓HV，確認(rèn)高壓值和發(fā)射電流，若無(wú)電流或高壓，做adjustment》autogunheating（30kv（75±5）μA；紗20榨kv辰持(1奶00澤±5峽)責(zé)μA倚）滑，矛進(jìn)行透觀東察。神（2流）瀉按照頂操作嘩界面伯上抄軟件容的各政種功寒能菜右單，琴進(jìn)行搭調(diào)節(jié)勝、疊使或圖像過(guò)清晰米度至熔最佳撲。雁（3翅）搬根據(jù)捉放大科倍數(shù)范，響選擇貧合適貫的暈掃描俊速度兩采集爭(zhēng)圖鵝像并騙存儲(chǔ)拳（4永）如靠果對(duì)皺樣品促進(jìn)行煩成分舒分析作，焰應(yīng)該慢將W該D調(diào)湯至降15厲mm核左右坐，手恥動(dòng)調(diào)細(xì)節(jié)樣悶品臺(tái)執(zhí)高度眨，直望至清拿晰為撤止（騎空載秀時(shí)，柳物鏡委極靴框與樣友品臺(tái)雄的安鮮全高塊度為包3m瞎m；飼當(dāng)B言SE憲探頭紙搖進(jìn)戲時(shí)，鴿安全享高度壺為8斧mm勸）石。躺（5罪）遭在掃暈描窗顆口中慨，雙謎擊選加擇所紙要測(cè)澆量的協(xié)小區(qū)炭域，糠調(diào)整耐BI突，檢孩測(cè)計(jì)傷數(shù)率枝。還（6地）闖能譜揉分析拍時(shí)，端要課根據(jù)希樣品萄性質(zhì)仇，擴(kuò)選擇宴合適綢的電忌鏡加槽速電談壓，倘設(shè)置貓采譜投時(shí)間杰，E鐮DS米的時(shí)忍間常跨數(shù)，廉調(diào)整蜜束流市使畝能譜召計(jì)數(shù)微率館CP稼S為成適當(dāng)他值哀（一繁般，樸總數(shù)隨率=鵝采樣退時(shí)間拆*計(jì)收數(shù)率騙，總狹數(shù)率見的值陶大于鍵25銹萬(wàn)）億。軌（7旦）E其DS繳的定約性分襪析，買不能傷完全敬依靠察自動(dòng)野，要餡人為編參與臂，檢江查結(jié)離果的棵正確淡性。牛4、柳關(guān)機(jī)獅（1濟(jì)）惜在圖參像中囑，偷點(diǎn)擊井鼠標(biāo)背右鍵害，選拖菜單恨中的扣最小下化掌按鈕貸，喉使S勁EM房回到扎最小四放大盒倍數(shù)高，盯BI賊調(diào)到推10書，樣廳品愉臺(tái)降僵至最錘低位舒置（致手動(dòng)拋調(diào)節(jié)街），翁將B客SE莫探頭姨搖出呀，撒然后妄再菊切斷動(dòng)高壓俯按鈕后。特稍開粥N陣2著閥，慌通入趴N其2址.匯（2努）集關(guān)閉重高壓護(hù)大約皇3m認(rèn)in處后，傲開始渴泄真分空，葬取出足樣品善，裳單擊令VE遵GA咳中的往[P繞UM算P]棵，傘抽真緣空開盟始顧，膽關(guān)閉倚VE集GA疼。?。ńo3偶）禽點(diǎn)擊難用戶卸界面薪的闖關(guān)閉過(guò)或文跌件菜籮單中俗的色sw蜜it辨ch迅o拋ff息a料nd魄e銀xi碧t河，岔退出叫SE揚(yáng)M操懸作界攤面針。陵（堂4弱）堵正常榆關(guān)閉瓦電腦爬主機(jī)供。膽（腥5顫）將分SE結(jié)M北主譽(yù)機(jī)下致方面撫板上育的開緩關(guān)洗，磁由O餃N轉(zhuǎn)猾向O鍵FF典。屢（屋6你）關(guān)甚閉赤N簽2術(shù)閥門餐。惱（嬸7秩）拔墾下電事源插灘頭。借5、牌安全妥操作凍注意施事項(xiàng)農(nóng)（1子）進(jìn)冤行觀飯察的俯塊狀碧樣品柄，必堡須有暈一定啦的尺國(guó)寸要師求，念必須拉干凈拼，不炭能有箏油漬花或揮耍發(fā)性丘氣體托放出燭，避運(yùn)免污判染電市鏡。綢（2肅）綠樣品扭放置裂或移質(zhì)動(dòng)時(shí)勞，宋必須蛙確保金不會(huì)認(rèn)碰觸帶各種惑探頭遲。嫁（3稅）調(diào)柿整試需樣的渣工作炕距離是時(shí)，偽注意已報(bào)警枯器報(bào)詠警，痕防止貝碰觸避物鏡朽。擇（4為）樣衣品室嫩的真厭空虜達(dá)到口要求甩（1遷0^授-5紹to爺rr之）忌后，艇才棟可訪加透燈絲饞高壓耀。思（5畫）操要作者扭不觀乏察樣武品或達(dá)離開壯崗位繞時(shí)，驅(qū)一定宣切斷桃高壓穩(wěn)?？龋?淺）粗退出腰SE免M刑分析乓軟件弊時(shí)，遲一定難使系層統(tǒng)真酬空達(dá)懂到要猴求，譜保持德綠條趕提示鉛才關(guān)躺閉軟舍件拆。狼（旱7偷）踏為防追止遼該套壩系統(tǒng)供電腦閣主脅機(jī)航受擱病毒能侵害奔，醒數(shù)據(jù)趣導(dǎo)出毅時(shí)，穗只能教使用序光盤皺或格努式化燦了的波U盤燃。爹（漿8畝）現(xiàn)粗粉弓體可涼以直迅接撒答在試犬樣座面的雙按面碳禮導(dǎo)電漿膠上尿，用慕干凈蜓表面題平的讀物體擺，例澆如玻貫璃板坑壓緊唯，然浸后用駛洗耳堵球輕注輕吹財(cái)去粘積結(jié)不許牢固輝的顆懸粒。木細(xì)粉侄體可娛用無(wú)斤水乙菜醇分藝散于糖試樣災(zāi)面座姜上，跡待液梁體烘貓干或?yàn)⒆匀怀愿稍锱灪螅绶垠w幸靠表釀面吸工附力慌即可私粘附推在試熔樣座張上。驗(yàn)用洗懂耳球臥輕輕爆吹去竭粘結(jié)您不牢直固的欺顆粒盡，樣磨品量亂必須但少。照（9籠）關(guān)縮機(jī)前嗽確定右放大妖倍數(shù)剩最小介，B眉I值悟?yàn)?統(tǒng)0。踐（1伙0）撥硬件兵方面歌：關(guān)率機(jī)前憑確認(rèn)樸BS腹E探本頭是責(zé)否搖掛出，鐮樣品史臺(tái)降類到最鄉(xiāng)低。萌（1質(zhì)1）遍確認(rèn)重BS當(dāng)E探候頭搖陸進(jìn)時(shí)盟，逐睛步升殊高樣軋品臺(tái)征，防臺(tái)止與扇物鏡超碰撞丑。膽（1益2）第在焦證距調(diào)粘好的腔情況崗下，劍可用肢工作曠距離聾判斷歡樣品羽表面餡與物皇鏡極挑靴的埋距離狗。梅（1匠3）式能譜壞的工豪作距縮離規(guī)倆定為曬15庫(kù)mm丟左右之。東（1輝4）波進(jìn)樣志后就，使蹈樣品貸位于灘掃描個(gè)窗口存正中乏間，刺放大振合適蹦倍數(shù)齡，右膛擊窗泰口，搞自動(dòng)扒調(diào)焦窄（倍鋸數(shù)越掏大越送接近月實(shí)際嚼的工汽作距底離）算。均（1糟5）擔(dān)高倍大數(shù)調(diào)扔焦距由，低瘋倍數(shù)栽照?qǐng)D俗。鞠（1自6）夏要用僑導(dǎo)電待膠把脫小樣奉品臺(tái)配與固伍體樣挎品導(dǎo)擦通，濕導(dǎo)電鈴膠要址一次欺性使亂用。咽（1軌7）罵一般嬸的能莫譜電微壓設(shè)壞置為嫩20外kv果（衡復(fù)合地材料捎的能末譜電外壓為戀10冤kv祝；狠水泥世、玻鬧璃、磁氧化龜物、另礦石非、陶土瓷類除、鹽稼類的貸能譜擱電壓說(shuō)為1乎5k受v；氧鑒定麻真假座峰的攪能譜柿電壓瀉為3駕0k紫v）場(chǎng)。雄（1想8）榜線掃銜時(shí)，鴿1擊μ醬m很內(nèi)至藝少有皇一個(gè)色點(diǎn)，些點(diǎn)數(shù)仔越密貧，獲觸得的腹曲線巷越平蠢滑。宰（1悼9）姻大視娘野模諷式圣和估背散手射不調(diào)需要恰調(diào)焦邁。眨（2包0）節(jié)au躲to液g宮un判h涂ea倍ti倘ng卷封燈絲厭飽和唉電流唇調(diào)整居；期au農(nóng)to黎g稅un曉c刺en額te第ri顛ng卸電抓子槍切的對(duì)歪準(zhǔn)；戒au初to匯c拆ol拿um緒n濫ce經(jīng)nt歸er怨in蚊g濃鏡筒唱的對(duì)襲準(zhǔn)。厚胞（預(yù)21膚）B意SE泄顯示輔的高埋低明襪暗圖鞭像不佩是樣早品外丈部形都貌，瞞而是強(qiáng)元素降差異政（原途子序濁數(shù)越位高，俯亮度懸越亮黃）；伯SE松顯示競(jìng)的是餡樣品部外部休形貌遵，與落元素輝成分監(jiān)無(wú)關(guān)劍。帽（2黑2）盆能譜藏分析銀時(shí)，備主體挪元素顧（占鴿總含瘡量的乓10陽(yáng)%以門上）暗的r政ea兩l匹ti本me適為鏡十幾爐秒，烤次要烈元素裹（占釘總含薦量的桑0.錫5-三10蒼%）脊為幾策十秒例，微釋量元事素（婦占總扒含量潮的0在.5日%以鐮下）互為一銹百多淹秒。滴（2書3）宮非歸子一化愛(ài)用來(lái)伐判斷回結(jié)果澆的正釘確性芽（（躍10之0泄±眨5）端%為肆合適倒范圍險(xiǎn)）。艙（2翠4）逼SE全M的妹放大糞倍率勇大于匠10離00明0倍魂時(shí)，謙BI雁值小弦于1妥0，章反之燦，大織于1法0。盾SE幼M的浸最大爭(zhēng)放大智倍率牽為1隱0萬(wàn)道倍。導(dǎo)（2括5）淹調(diào)整槍象散從時(shí)，難