半導(dǎo)體制造工藝流程

(九)研究對(duì)象(ResearchObject)本報(bào)告的研究對(duì)象為半導(dǎo)體制造工藝流程中的制造、封裝、測試、凈化以及試驗(yàn)檢測設(shè)備等。一、2002年中國半導(dǎo)體設(shè)備市場環(huán)境綜述(一)半導(dǎo)體設(shè)備分類與技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀半導(dǎo)體的飛躍發(fā)展與其結(jié)構(gòu)和工藝技術(shù)的進(jìn)步分不開,尤其與半導(dǎo)體工藝設(shè)備的發(fā)展息息相關(guān)。半導(dǎo)體工藝設(shè)備是集成電路制造的物質(zhì)基礎(chǔ)，半導(dǎo)體設(shè)備的更新?lián)Q代，推動(dòng)半導(dǎo)體工藝，半導(dǎo)體產(chǎn)品及整個(gè)電子裝備的更新?lián)Q代。多年來,國際半導(dǎo)體集成電路發(fā)展的歷史充分說明:誰擁有先進(jìn)的工藝設(shè)備,誰就能在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)上處于領(lǐng)先地位。為此,要發(fā)展半導(dǎo)體集成電路工業(yè),必須優(yōu)先發(fā)展相應(yīng)的半導(dǎo)體專用設(shè)備。因此，從本質(zhì)上講，半導(dǎo)體設(shè)備不僅支撐集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時(shí)也支撐整個(gè)電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體制造工藝流程主體為設(shè)計(jì)——制造——封裝——測試，制造是指前道微細(xì)加工，主要包括對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行曝光、刻蝕、摻雜、薄膜生長等工藝加工流程，是最為關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體制造設(shè)備主要有材料制備設(shè)備、前道工序設(shè)備、后道工序設(shè)備、凈化設(shè)備、試驗(yàn)檢測設(shè)備等，半導(dǎo)體設(shè)備屬于高科技、高投入的范疇,其特點(diǎn)是光機(jī)電結(jié)合，在精度要求上較純機(jī)械要高得多。國際上集成電路發(fā)展40多年來，工藝技術(shù)發(fā)展相當(dāng)迅速。其集成度從十幾個(gè)元件的小規(guī)模,進(jìn)入到集成上億個(gè)元器件的特大規(guī)模的發(fā)展階段,其加工精度從十幾微米發(fā)展到亞微米、深亞微米階段。硅片尺寸從2英寸發(fā)展到6英寸、8英寸并正向12英寸規(guī)模發(fā)展，其生產(chǎn)集成電路的專用設(shè)備也更換了多代產(chǎn)品。目前國際上大生產(chǎn)工藝技術(shù)水平主流在8英寸、0.18~0.25微米水平,并已達(dá)到12英寸0.10~0.15微米工藝技術(shù)水平，世界主要半導(dǎo)體大廠英特爾、臺(tái)積電、摩托羅拉、德州儀器(TI)等，當(dāng)前均已投入0.10微米以下半導(dǎo)體制造工藝的研發(fā)，并力圖盡快投入量產(chǎn)，競爭日趨激烈。集成電路技術(shù)的高速發(fā)展對(duì)專用設(shè)備和儀器提出了更嚴(yán)格的要求,集成電路設(shè)備發(fā)展到今天，已經(jīng)不是一個(gè)傳統(tǒng)意義上的機(jī)器，而是集成電路工藝的固化物。表1集成電路制造工藝所需主要設(shè)備肢1．重材料夜制備奮設(shè)備藍(lán):瓶材料輕生長英設(shè)備績單晶挪爐鍛材料圾加工父設(shè)備槽研磨繩機(jī)、初拋光仙機(jī)、筑切片厘機(jī)等蹄2．還前工掏序設(shè)協(xié)備:義光刻農(nóng)設(shè)備給光刻遭機(jī)、加電子癢束曝逝光機(jī)餃蝕刻縮設(shè)備催：轎刻蝕含機(jī)皇摻雜報(bào)設(shè)備專離子聯(lián)注入何機(jī)、兆擴(kuò)散輔爐右薄膜寧生長授設(shè)備饑化學(xué)睬汽相鼠淀積脖(尚CV黨D稍)設(shè)咽備、買物理委汽相倡淀積疑(P畢VD賢)設(shè)郵備磁炸控濺界射臺(tái)推、電肚子束市蒸發(fā)鞋臺(tái)、缺其他參勻膠厘機(jī)、啞顯影未機(jī)、刑清洗霧機(jī)、姥快速賓熱處果理設(shè)菜備、烈氣柜顧、氣栗體質(zhì)哥量流碌量計(jì)浪等。夏3．離后工比序設(shè)城備像劃片印機(jī)、卷鍵合指機(jī)、或塑封薄機(jī)、材切筋遇打彎識(shí)機(jī)、居打標(biāo)家機(jī)、易編帶墳機(jī)、譯電鍍鼓設(shè)備蹄、模杰具等偵。賓4．涂凈化竭設(shè)備汽空氣賺凈化夸設(shè)備松、超宗純水只設(shè)備皇、氣巧體純鄰化設(shè)棚備、更5．勉試驗(yàn)材檢測搬設(shè)備痰試驗(yàn)拔設(shè)備允氣候歷環(huán)境鴿試驗(yàn)吊設(shè)備座、力屠學(xué)環(huán)販境試豪驗(yàn)設(shè)屯備、豆可靠偵性試宋驗(yàn)設(shè)癢備等孩檢測莖設(shè)備扯成品腎測試?yán)p設(shè)備甘及部逗分在膊線檢霞測設(shè)匆備等數(shù)據(jù)來源：CCID2003，02表2世界主要半導(dǎo)體企業(yè)12英寸廠工藝特征與工藝研發(fā)豐企業(yè)黑名稱個(gè)生產(chǎn)保線性美質(zhì)三工藝蜜特征寧工藝磚研發(fā)巖IN胞TE亞L繪CP慮U填0.臟13衫微米菌70熄納米概—紗90譽(yù)納米平TS驅(qū)MC呀Fo隆un康dr辱y串0.粉13莫微米所90擦納米載UM占C昆Fo駝un逃dr抄y授0.座13答微米溜65倡納米除TI瞞DS薯P靈0.撈13洋微米向90鹿納米加Mo狀to鉤ro曉la迎Fo縫un薦dr銅y錦0.密13羊微米姿32澡納米閣—蛾90柱納米話In圾fi歡ne臂on秋DR誦AM丙0.別14芹微米抖70朝納米倒—施90沾納米只Sa墻ms辛un絹g騰DR貧AM追0.柄12遺微米甲0.叛1微認(rèn)米數(shù)據(jù)來源：CCID2003，02前道微細(xì)加工設(shè)備技術(shù)的不斷發(fā)展已成為推動(dòng)集成電路迅速發(fā)展的主要因素之一。前道微細(xì)加工設(shè)備的主體是光刻設(shè)備、蝕刻設(shè)備、摻雜設(shè)備等。隨著設(shè)備水平的不斷提高,光機(jī)電的高度集成,半導(dǎo)體制造中的許多工藝技術(shù)已經(jīng)固化在設(shè)備之中,設(shè)備已經(jīng)代表了一種相對(duì)完整的解決方案。這將成為半導(dǎo)體專用設(shè)備的潮流。(二)世界半導(dǎo)體設(shè)備市場概況營20駱02裁年世早界半傳導(dǎo)體觀設(shè)備項(xiàng)市場蘇需求壇為2標(biāo)28動(dòng)億美掘元,享較2命00創(chuàng)1年撞市場偷衰退榨了1記9%巡,這軟是由抵于受賽世界蔽半導(dǎo)魄體市增場恢深復(fù)緩縮慢,記各大植半導(dǎo)耽體芯雕片廠獨(dú)商的問投資控額相猾應(yīng)減武少,蛇導(dǎo)致依設(shè)備魂市場添繼續(xù)爐萎縮停。盡天管2宋00優(yōu)2年斃世界暴半導(dǎo)頃體市屯場止烘跌回奏暖，貓重新雹開始拍增長舍，但朋增長四幅度搏較小測。2為00閉2年衰世界敲半導(dǎo)蝦體市沸場規(guī)隙模達(dá)燥到1板41庭0億磨美元牧，比腎20割01卡年1誼38晨8億撥美元士上升棋了1咱.6喝%，芒而亞漸洲地犁區(qū)是尺20昏02典年整旬個(gè)半專導(dǎo)體碼市場證的增占長的豬主要菌原因儲(chǔ)。隨平著世孟界半肯導(dǎo)體窮市場察的逐舊漸復(fù)逮蘇，映預(yù)計(jì)欺20羅03秒年半扛導(dǎo)體芳設(shè)備科市場爐將會(huì)餡突破金性增疑長。知表3贏19柿96獸－2洲00訂2年廢世界電半導(dǎo)依體設(shè)桿備年益銷售進(jìn)情況炊:嗽礙塘單慘位：固億美軌元喉19鍵96貍年尤19無97任年扁19駝98糟年表19爭99販年傭20它00債年妙20化01藝年科20懷02鼻年北銷售稿額誦23晌8夾18暑4派19停8.代7痰23扒4.盛5楚47鴉7薦2奔82乳22撇8脂增長種率桑5.妻8%顧－2它2.驢7療8.輕0%握18臟%陽10學(xué)3%樣－4豆0.樸9%鎖－1誼9％須數(shù)據(jù)蜂來源捎：C執(zhí)CI墓D禽2廈00附3，浴02遷圖1救樹19灘96爭－筑20偵02淋年世相界半婆導(dǎo)體負(fù)設(shè)備趨年銷木售額搏曲線以圖昂隙扶脂征師單椒位：悲億美冠元斤數(shù)據(jù)啟來源痕：C觸CI洋D肯2服00疊3，淺02令表4只哨20常01隆－惜20圣02購年世仁界半西導(dǎo)體舅設(shè)備刺銷售夸額盲貪基屬提匙楊挖單搬位：請(qǐng)億煤美元租設(shè)備她種類源20腰01芳年讀20凡02銅年居增長訓(xùn)率榜晶圓縣處理嶼設(shè)備協(xié)21逝5紹17顆1吊－2家0%綠封裝判設(shè)備復(fù)21瞞17墓－1披9%趟測試欄設(shè)備動(dòng)50追28涌－4漫4%論其它錫設(shè)備恒10譯1串2恩20遷%豬合計(jì)袖28戀2嚷22兼8攏－1肌9%絨數(shù)據(jù)幸來源牽：C紙CI墓D步2豎00章3，翁02趙20袋02院年世餡界半蘆導(dǎo)體麗市場毒的投扁資3棍02猴億美扶元，膛比2捏00障1年糊下降釋了2辟2%爺，國筋際半仰導(dǎo)體高大公丈司都睜下調(diào)挺了投劫資比休例，游英特奇爾、哀臺(tái)積珍電、及三星軍電子協(xié)20鮮02都年投涼資金無額最刺高的基3家至公司誦，其壁他芯某片廠屑商的鈴?fù)顿Y噴額都山不高服于1例0億甜美元?dú)w。與錢此相味應(yīng)的因是2倦00衛(wèi)2年忠主要挽的半?yún)枌?dǎo)體酷設(shè)備質(zhì)廠商藏的銷逆售業(yè)極績也修有所儲(chǔ)下降續(xù)，2蓮00補(bǔ)2年畫半導(dǎo)洋體設(shè)鞠備市散場的傘受技紛術(shù)工每藝的井驅(qū)動(dòng)示較強(qiáng)馬，以靈銷售卡端技扯術(shù)應(yīng)若用的反產(chǎn)品誼的設(shè)胖備供勺應(yīng)商腿的市勉場份雹額提澡升。轟表5拾遵20似01振—編20除02犬年世陽界主站要半斃導(dǎo)體偽企業(yè)也投資菌情況飲20悶01奸年(甜億貝$)幣20肢02持年(撿億械$)悄增長野率牙英特溪爾垮57搭51替—眾10份．5腥%鳳臺(tái)積妥電征21湖19幸.7道－6搭%急三星疑電子倚18貸19臺(tái).7勺1.森7%婆德州淘儀器臘、渡11里8.芹05銷－2赴6.電8%穿飛利竿浦疲13釘9碌－3懷0.捏7童Hy賤ni期x泄7繳8．勿8睬25枝.7脈NE帶C槐9穩(wěn)8．羞6算－4超.4戒日立跨12形8．腹4刃－3營0%訂東芝舞11竭.8堆8圍－3饞2椒So鋸ny訪10但7．獄9羞－2資1向數(shù)據(jù)昂來源課：C陶CI婦D貫2庭00攔3，肺02皂20都02浙年世蟲界前縮十大駱半導(dǎo)霞設(shè)備愈及測復(fù)試與魄測量曬設(shè)備嫁供應(yīng)薯商情涉況見州下表糕。嘉表6烏階20畫02蒜年世反界前府十大得半導(dǎo)具體設(shè)漏備供般應(yīng)商裕排名調(diào)廠商臟名稱歇銷售沸額（割百萬稻美元依）貧1羅Ap綠pl茅ie振d手Ma獎(jiǎng)te玻ri舍al做s1緩21斃57凱.0您2每To付ky茶o旋E志le盤ct灘ro陡n下12喚61嚼.3序3初AS舞ML疑78侮9.恨6牧4誼Ni當(dāng)ko閑n呀78冠9.赤0駁5旦Da老in量ip父po意n吸Sc參re甚en奉M形fg商47海2.堪6市6奶N(yùn)o束ve駐ll葬us您S亞ys棕te囑ms皂39暑1.條8織7懸Ca驢no壤n固34茅6.欠1貴8登La就m效Re夾se剃ar境ch罰34蝴4.躍4幅9倆AS穿M昂In抱te余rn訪at強(qiáng)io握na攻l滅22等7.塔3甩10映Va世ri鑒a尿n曲Se懲mi起co腔nd沖uc河to漁r右Eq仗ui毫pm源en笛t似As浮so仁c.尺16納1.悼9寺資料卻來源糟：R泳EE問D肆RE直SE揉AR反CH賢G社RO崖UP奉表7痕哲20傘02縮年世娛界前連十大單半導(dǎo)錘體測燃試與飲測量龍?jiān)O(shè)備裳供應(yīng)醉商豐排名殲廠商視名稱慌銷售逃額（頃百萬穗美元猜）原1窄KL擦A－處T貫en惰co諸r卻73短0.在3廟2刮Ad諒va垂nt削es獵t壞31待2.檢3吳3垃Te構(gòu)ra救dy艙ne槳27懶9.惠0淡4奪Ag霜il獄en筒t嫁Te素ch剪no漸lo爺gi貴es病23傷0.假3率5浩Sc核hl蓮um尚be串rg伯er雹34慚.0止6燒Cr急ed幸en韻ce拒S身ys夸te哪ms叔73圣.3暮7疾LT流X伙5涂5.罵7統(tǒng)8棋Te繞kt受ro乓ni險(xiǎn)x罷41勻.2簡9作Na達(dá)ti鉆on嚼al燃I府ns巡tr薯um丘en玻ts忌37賄.6梢10史Ve銜ec稍o賄ns鈔tr眨um州en磁ts趨15健.8蜜資料洲來源奸：R抓EE掘D搖RE摟SE紡AR披CH歉G堤RO席UP頂(蜓三鄭)奧中育國半島導(dǎo)體偽設(shè)備背產(chǎn)業(yè)證及市敵場環(huán)廈境柏1、跨產(chǎn)業(yè)堤環(huán)境茄近年尸來，蜜在國高家大鞏力發(fā)攪展信水息產(chǎn)依業(yè)方鮮針的溝引導(dǎo)從下，臣北京朽、上頓海、姑天津欠、拳深圳謠等地拘引進(jìn)林了一哄批較摟為先草進(jìn)的劣IC逝生產(chǎn)文線，惹中國更微電舌子產(chǎn)謠業(yè)進(jìn)耐入了錄蓬勃齊發(fā)展醒的新看時(shí)期筆。列但隨露著世望界集期成電咐路的芹飛速靈發(fā)展票,戴半導(dǎo)庸體工跪藝設(shè)超備的沿快速糖更新喝及單帳晶硅等的大墳直化冒發(fā)展臘拉大臟了中歸國專高用設(shè)獻(xiàn)備和退儀器廟與國喚際水蘆平的霞差距匹,酬已制丈約了嶺國內(nèi)滋集成車電路挖的發(fā)匆展，灰缺乏姻自主播IC桌設(shè)電備的抖支撐壇，單蔽純依幸靠引腦進(jìn)生隆產(chǎn)線布，中草國I茶C產(chǎn)反業(yè)只衡能是塌“代茶代引全進(jìn)、挖代代灣落后截”，蔽中多國I數(shù)C產(chǎn)朝業(yè)的巡發(fā)展趣永遠(yuǎn)雅受制令于人長，難率以達(dá)暗到世晨界先佛進(jìn)水佛平，荒因此絹對(duì)半號(hào)導(dǎo)體呀工藝田設(shè)備桶水平威的提縱高與董國產(chǎn)揚(yáng)化的塔需求兩十分稀強(qiáng)烈量。練從事殃半導(dǎo)史體設(shè)戲備的究研制絞投資尋大，妨技術(shù)惑難度腥也高活，盡冒管中謝國對(duì)摔半導(dǎo)孕體設(shè)吸備研痰制很翼重視值，在魚“喘六五床”割、抽“勞七五珠”悼、瀉“債八五應(yīng)”沖、粉“指九五榨”遲及現(xiàn)"9士08鉛"轟、燙"9盛09掩"興等重偉大工胖程項(xiàng)灰目上肌都重歸點(diǎn)安宣排了快設(shè)備腐的?；表?xiàng)攻諸關(guān)與愧科研瘋試制湊任務(wù)植，但叼因國稍力所疲限長墳期以新來研穗發(fā)經(jīng)蹄費(fèi)不乏足仍，造如美弓國G覆CA浪公司封在研蠻制第鼓一臺(tái)冶分步嚴(yán)式重者復(fù)光凡刻機(jī)健(D沫SW什)時(shí)級(jí)，投慰入研陳制費(fèi)唉1億告美元塊，同基樣設(shè)計(jì)備國豪內(nèi)研災(zāi)制僅薪僅投挎入6幫00媽萬人漏民幣膊，中才國半防導(dǎo)體董設(shè)備聚全行冰業(yè)平貨均一氏年的屢開發(fā)新費(fèi)為忙10四00尚～2新00茶0萬木元，謀20叛世紀(jì)郵90竄年代延至今脾的技翼術(shù)履旨行費(fèi)然用加踏起來硬為2狐億元仆左右皇。構(gòu)由于嚼中國貴半導(dǎo)株體設(shè)雖備工穿藝技勒術(shù)水邁平落馬后，菠未形旱成一月定的魂產(chǎn)業(yè)及規(guī)模簽，生叮產(chǎn)成起本高深，從答而導(dǎo)膠致國飾產(chǎn)設(shè)職備缺謹(jǐn)乏市挺場競功爭力民。目葉前中譽(yù)國半菜導(dǎo)體都專用剝?cè)O(shè)備賠在技禮術(shù)水小平、宣穩(wěn)定柜性、朗可靠苗性、鋸自動(dòng)債化程嶄度方越面與炒國際渡水平幅相比折有征10星－1勻5政年的紐差距理，導(dǎo)雙致了凳中國醋半導(dǎo)嗓體設(shè)茄備市貞場由蔑國產(chǎn)幟設(shè)備延為主鬧轉(zhuǎn)變障為進(jìn)居口成煉套設(shè)斤備占役絕大克部分骨市場熄份額聞的局辭面。限國產(chǎn)跪半導(dǎo)都體設(shè)奮備只匪在中勵(lì)小型桃國有避企業(yè)映、地連方附IC黨廠家躁和生如產(chǎn)數(shù)隙量較版少的兩研究犬單位角仍然池發(fā)揮壩著重駁要作種用，弟半導(dǎo)遼體設(shè)劈備企石業(yè)為朋了生她存，搏采用笨的辦昆法是仁與其駁它的置設(shè)備碧開發(fā)規(guī)聯(lián)系守起來障，不賊單做擇半導(dǎo)西體設(shè)陶備，海還做接其它刃用途飽的設(shè)哨備。鋼中國極半導(dǎo)撤體設(shè)蛋備企鏈業(yè)也而存在兼著大啦發(fā)展蒸的契也機(jī)，浮這是突由于鳴IC可工藝寬及其泛設(shè)噴備遞罷進(jìn)發(fā)惑展、串多代走共存域，一伐個(gè)時(shí)起期存摔在豐崇富的吧工藝貌層次廢。在曠進(jìn)行弟大規(guī)鼻模生幟產(chǎn)前元3～飼4年襪進(jìn)行席試生勤產(chǎn)，遮開始陽投入關(guān)規(guī)模屯生產(chǎn)梅的最葬先進(jìn)輩生產(chǎn)鋒線僅誤占全新部I臘C生廁產(chǎn)線斷的一缺小部堪分，妙大部維分生鑼產(chǎn)線源的工株藝水筍平則望低一苗至兩焰代，旋而低賀好幾暑代的擠工藝肯裝備嫁會(huì)在膛較長咬時(shí)間腦內(nèi)繼渾續(xù)使址用孩。姨另外邀，集絞成電巴路設(shè)竹備已爛被列巷入科桂技部緒86灰3喘計(jì)劃葉進(jìn)行偵重點(diǎn)梨發(fā)展疑。中忠國集嶼成電希路設(shè)店備將吊會(huì)有慚一個(gè)率較大億的突估破和游發(fā)展趣。隙中國盲加入經(jīng)WT煩O，姜國際姓間的款交流棗日益尿緊密序，半增導(dǎo)體忍設(shè)備昨方面訪的展算覽會(huì)射、研喬討會(huì)殿以及矛出國序訪問菌團(tuán)將貪不斷妥增多角，在御半導(dǎo)宰體設(shè)拆備基上本要斬進(jìn)口書的同撥時(shí)，沸借鑒端學(xué)習(xí)傅國外義的先傾進(jìn)工墳藝水廉平，灣通過部交流新和抓撒住機(jī)段遇來拘跟上慌國際譜的步率伐。應(yīng)為盡漠快改陪善中典國集鐵成電問路生資產(chǎn)線鉆設(shè)備更基本銀依賴你進(jìn)口貍的局用面博,禮促進(jìn)衰中國積專用仁設(shè)備悟和儀麗器的威發(fā)展敢，國嶄家在艱政策迷和資魔金投在入上峽采取崗了相脈應(yīng)的仰舉措士,你制定宮了相覆關(guān)的禾政策釀,都大力舒支持帥扶植擋該產(chǎn)察業(yè)的紫發(fā)展警。目都前中床國北信京地在區(qū)、反上海荒地區(qū)逝、深汗圳地彩區(qū)正聰在規(guī)漫劃集免成電蹈路的逐發(fā)展遮，各艱自都伶在籌只建微退電子太研發(fā)晚基地溉，集璃成電斃路設(shè)濱備已肉被列生入發(fā)興展重卻點(diǎn)之貪一。州隨著刻中國區(qū)加入戚WT元O樹，這姓些基飼地建捕設(shè)將喂完全洲是開雹放性愧的并雜按新成體制廉和新步機(jī)制口運(yùn)行維。近乏幾年研國家翁不斷臥加大懲力度萄發(fā)展慮集成望電路膊，投送入了秧大量釘?shù)娜顺隽εc訂資金艷，對(duì)扣半導(dǎo)卡體設(shè)似備也芹提出眠了前梅所未貴有的船機(jī)遇圈和挑遙戰(zhàn)。系中國葛半導(dǎo)鏟體專資用設(shè)稼備制貓?jiān)鞓I(yè)訴起始咽于偶60湖年代罪，最謎多時(shí)括曾達(dá)增到香10圣0誕多個(gè)新單位購，插“耕九五池”注期間哀較為平蕭條刃，近俯年來懼，隨鼓著中茫國集織成電登路產(chǎn)怕業(yè)的替快速骨發(fā)展?jié)q，半學(xué)導(dǎo)體壘設(shè)備臨制造股業(yè)又檔開始遼回升風(fēng)，笨目前嬌涉足悲半導(dǎo)捐體設(shè)鞠備研戶究和鞋制造尺的單遭位恢魚復(fù)到郊40饞多個(gè)維，主經(jīng)要的芝骨干如單位練有十絲幾家罩。其套中大博部分說單位貫從事誤前工衛(wèi)序設(shè)腐備的既研制未，而胃后工筐序設(shè)逮備、合材料魚制備蕉設(shè)備謠、凈閱化設(shè)卵備、革試驗(yàn)著檢測臟設(shè)備挖也各護(hù)有一糖些單悶位在稿研究棋和生該產(chǎn)，巡但近雖年來貝新進(jìn)冶入半當(dāng)導(dǎo)體慘設(shè)備侵領(lǐng)域露的單絨位多婦數(shù)切巧入的無是后盒工序控設(shè)備府。虎目前就為止宏，中辭國半冷導(dǎo)體顫設(shè)備等企業(yè)擠已經(jīng)睜能夠忍自行棉提供疾0.而8微莊米、投6英勉寸以柿下舅的群主要摸專用錢設(shè)備謀,昏0.尼5微林米生即產(chǎn)線熊關(guān)鍵閣設(shè)備吹(包磚括電繩子束旨曝光衛(wèi)機(jī)、兔光刻裹機(jī)、剝離子閉注入潮機(jī)、撓金屬跳層間厲介質(zhì)芒CV候D終、震磁控鏡反應(yīng)庫離子抱刻蝕行、陰物理藝氣相從淀積櫻等陪)已楊研制悶出原保型樣啞機(jī)，摸0.偏25鑒微米簽以上捐設(shè)備垃中的粘某些旋單元秘技術(shù)性也泉有所肢突破略。中炭國半膏導(dǎo)體塘設(shè)備前的總窩體水手平與像國外橋相比池差距豐還很答大,泡但3脾0多廚年來侵，中嘉國集貍成電賠路專駐用設(shè)心備制腰造業(yè)蕩雖然侄幾經(jīng)麻波折曉，確潛實(shí)培悄養(yǎng)了者一批津具有伙較高層專業(yè)邪水平逝的技夫術(shù)隊(duì)筐伍，說為中想國集妖成電毛路專敏用設(shè)嬌備的凱進(jìn)一妨步發(fā)用展打唉下了罰相當(dāng)宮的專避業(yè)基勸礎(chǔ)。膽中國筒半導(dǎo)返體產(chǎn)愁業(yè)的座快速熊發(fā)展塑促使賤在此唐領(lǐng)域盾耕耘胞幾十維年的期骨干次單位栽增強(qiáng)企了活側(cè)力，椒已經(jīng)酷離開銷多年尋的單敗位正羞在重誠新進(jìn)他入，期一些商行業(yè)榴外的壯單位黑看準(zhǔn)州時(shí)機(jī)如紛紛卡切入窮半導(dǎo)鍬體設(shè)母備領(lǐng)遣域，磁美國軍、日擠本、命韓國立等許蹤多海愚外半尼導(dǎo)體秤設(shè)備橫公司謝已經(jīng)扎或正屠在籌砌劃將品其制專造基講地移稻向中駛國，敲美國當(dāng)設(shè)備黑廠商童已經(jīng)昏捷足庫先登索。美監(jiān)國應(yīng)的用材俱料公憑司，彩已在專上海逐落成算了中愧國公身司新譜的總躁部。舌韓國喇設(shè)備恐廠商給對(duì)中塑國市喚場頗芒為關(guān)導(dǎo)注，綢富社卷公司絕與銅儲(chǔ)陵三帶佳電習(xí)子集增團(tuán)公唯司合賠資開蛋辦了藥半導(dǎo)肥體塑征封機(jī)秀生產(chǎn)謀企業(yè)帶，日屑本山脈田公姥司、燕韓國投豐山疤公司礙就合仍資建裕設(shè)集涼成電凝路專舍用模競具、撤引線絕框架間項(xiàng)目董已分燙別簽謝約。評(píng)2腔、市發(fā)場環(huán)祥境冰近年玻來中胞國集綱成電澡路市玻場發(fā)陣展迅紋速，遣20刪00疑年以統(tǒng)前中緒國集例成電副路市孝場平跨均增稿長速遙度達(dá)依到4叢0%班，2殊00雷1年碧以來征由于票受世奶界半對(duì)導(dǎo)體沾市場照衰退術(shù)的影榨響，展中國禾集成寺電路尊市場酸仍保駐持了稠20舍%以盜上的劑增長憲率，紋是世見界半驢導(dǎo)體失市場腰的一段枝獨(dú)租秀。有近幾喝年來歲，中綿國集近成電勇路市枕場的嚴(yán)總體寶規(guī)模者迅速挨擴(kuò)大公。2飯00筋1－吳20鴨02石年世咸界集速成電犁路市鉤場需令求不菌景氣類情況攤下,尊中國剛集成形電路夾市場掌保持馬了穩(wěn)黃步增伙長,捷成為蘿牽動(dòng)奉半導(dǎo)亮體亞漸太市退場復(fù)蛇蘇的襖重要油驅(qū)動(dòng)逆。下?lián)靾D是嫁19逐99蒼年以菠來中疫國集爭成電寫路市訓(xùn)場增獲長情害況曾圖2撤括19芒99辣－2昏00董2年彼中國馳集成兵電路貓市場杏規(guī)模白增長墻數(shù)據(jù)籠來源居：C敵CI僅D盼2攀00丈3，站02厘由于直半導(dǎo)毀體市焦場空銜間巨而大和咱不斷狀發(fā)展消的市榨場需只求，毫促使俊中國裁半導(dǎo)版體產(chǎn)堤業(yè)渴投資蒸火熱疼，許擋多國輩際大史公司首、特津別是機(jī)臺(tái)灣想省一撿些知桑名廠潤商紛辱紛到嗓中國決內(nèi)地咸投資之設(shè)廠煎，興余建半勉導(dǎo)體擋IC農(nóng)制造談或后兇段封垃裝測鐘試企幫業(yè)，裝促使懶中國酸集成愉電路談產(chǎn)業(yè)匙的規(guī)延?？旃馑贁U(kuò)土大。脅下圖傳是1咐99眠9年府以來伶中國暮集成黑電路煉產(chǎn)業(yè)哨規(guī)模邁情況尚。喚圖測3炕纏19沈99塌—戶20伴02鐮年中公國集振成電皂路產(chǎn)舒業(yè)規(guī)鼻模增塵長匆數(shù)據(jù)脫來源獨(dú)：C擴(kuò)CI醬D粒2鈴00蘋3，牙02悉中國如半導(dǎo)貍體產(chǎn)枕業(yè)與項(xiàng)市場蟲的高運(yùn)速增忽長為汁半導(dǎo)蛾體設(shè)淹備的串需求川提供量了良嗓好的拼外部胖環(huán)境所和巨停大的近發(fā)展柴空間堡，中餅國的燒半導(dǎo)候體設(shè)那備市浙場正縱在以畢前所撓未有迅的勢欣頭增漆長著稼。椒二、梨20脊02穿年中模國半釋導(dǎo)體景設(shè)備談產(chǎn)業(yè)貍現(xiàn)狀忌分析示(透一怨)馬中礦國半康導(dǎo)體批設(shè)備丘的現(xiàn)稠狀德中國薦的半盈導(dǎo)體童設(shè)備彼產(chǎn)業(yè)楊起步仔于2按0世迷紀(jì)6揉0年扭代，悔經(jīng)過尖幾十怨年的測發(fā)展貌(發(fā)鮮展情潛況見累下表城)，扣到目摟前中碎國涉侵足半墨導(dǎo)體西設(shè)備趙的企全業(yè)事罰業(yè)單罵位有貝近4嫩0個(gè)到左右刷，骨叔干企盞業(yè)有盒10籮多家場，碑其研漲究方遙向和裂研發(fā)幕產(chǎn)品耍涉及啟材料伍制備柜、制潔版設(shè)接備、框前工烏序設(shè)餓備、證后工他序設(shè)青備等也領(lǐng)域序，已禍形成敘一定主層次情的產(chǎn)槍品研表發(fā)能戀力和基相應(yīng)醉的技局術(shù)積緞累。廳表8痰幟國產(chǎn)她半導(dǎo)市體專己用設(shè)蘿備的騾研制調(diào)過程襲時(shí)間無技術(shù)宗水平原典型包產(chǎn)品查50幸年代悔中后兄期7虛0年顯代末貼期公φ遭50刮mm償，8擋μ宮m線辰寬送年產(chǎn)容30愉0萬算塊集怨成電鋼路成態(tài)套生涉產(chǎn)線肚設(shè)備模；多競管擴(kuò)差散爐惹、自謙動(dòng)勻送速膠閘機(jī)、撿自動(dòng)候顯影輕機(jī)、舌半自姻動(dòng)光酒刻機(jī)祝、電動(dòng)子束內(nèi)蒸發(fā)鑄臺(tái)、赴四頭鼠精縮爪機(jī)、疑凈化撞設(shè)備歪、檢乖測儀旁器、音1.壘2案μ扣和0沫.7錫μ侄m線雄寬電免子束拍曝光筋機(jī)，幅光學(xué)錘圖形連發(fā)生色器、右60撇0k薪ev留離子碌注入蒸機(jī)、公液相抗外延鬼爐尤80辨年代專初期肌80儉年代抓末期俱3~握4英梅寸、塔3~業(yè)5微景米線沈?qū)捄軎詹m75室線設(shè)忽備改寬進(jìn)提屯高項(xiàng)奧目及屬工藝碑設(shè)備桑項(xiàng)目互25位項(xiàng)，祖在線棉檢測怕設(shè)備孝15更項(xiàng)流90槍年代耳初期稠90序年代記末即5專寸、鍬2魂胡魂病喪蹈帳姑附乓陪橋負(fù)統(tǒng)嘉攻高唱鼻抖躺范宰縱蘭螞頑并孝滑掀艱恨影絞瘋休吼濁包聚歡看痕飲啊騾三霞狀告眼猜統(tǒng)罩怪嘴億愈睡生全臟最騰蔬興幼耕煤種遙怪漲棕謝深脊押蹦些浮肯緞胳換所象布芒誠浙貞撐彈聾兇辰侍頓致社微米爸立式挎LP今CV睬D設(shè)石備、雹多室俗組合棵式P育EC而VD客設(shè)備種、大婦數(shù)值預(yù)孔徑楚光刻敘物鏡午和抱φ搏0.睛81希mm微級(jí)分秋步重竊復(fù)光去刻機(jī)塵、0肆.1粥微米碧激光夫粒子哀粒子答計(jì)數(shù)給器、興可注吊入氧叨離子累的強(qiáng)田流離蛇子注臣入機(jī)議、干休法刻攻蝕設(shè)基備脆(陰70升0廠咽)、戒8英柿寸擴(kuò)砍散爐邁(4蓮8所疑)、雅LE爛D液迷相外謎延爐瞎(植48露所)鈴LE蜜D掃筍描檢禽測設(shè)危備菜(殲45乓所)術(shù)、8膝英寸泉單晶面爐終(幅西安丑理工誕大學(xué)王)壤數(shù)據(jù)乓來源乓：C貢CI堤D已2蹦00篇3，枝02口從產(chǎn)斥業(yè)規(guī)趴模和別基礎(chǔ)美上看損，中渣國殿半導(dǎo)漁體姨設(shè)備付的品黑種覆晨蓋面系較廣饒，簡有幾扭十類纏上百費(fèi)的品萍種，扇但由女于技漂術(shù)檔傳次低巖，缺陳乏形壽成產(chǎn)縣業(yè)的刑能力窗，腐不能鑼形成耗自有捷品牌收。今目前助來看末產(chǎn)業(yè)捷規(guī)模士小、關(guān)市場君競爭炮力弱協(xié)。奸但是固，近挺年來蟻中國柏半導(dǎo)垂體設(shè)自備產(chǎn)搶業(yè)發(fā)概展已扔經(jīng)開舟始呈級(jí)快速軌增長偶的勢表頭弄。撿20也02級(jí)年中迎國半掠導(dǎo)體沒專用仿設(shè)備同的銷禍?zhǔn)垲~薄為5財(cái).9肥9億芒元，寶比2續(xù)00港1年護(hù)4.占3億跳元增繼長了獨(dú)38棋.2伯%，拘其中臺(tái)材料俱制備眾設(shè)備臉、前善工序醋設(shè)備刃、后便工序荒核試智驗(yàn)檢房測設(shè)撕備增再長速慣度較進(jìn)快,軋分別牛為4瞞4%伯、5償3%蘿、3這2%慌與4日1%噴。澆表9暢富20摟01帶—怎20留02獄年中設(shè)國半幣導(dǎo)體躁設(shè)備軌銷售狂情況走困擁灶壁單盾位：峽萬元稈設(shè)備哭分類既20趙01息年銷替售額過20煎02脆年銷巖售額迅增長叼率麗材料腰制備招設(shè)備念60凍58買87父23省44扭%龜前工功序設(shè)穗備場10健90爸3甘16激68壟2貸53導(dǎo)%諸后工逃序設(shè)方備禾72鬼69轎95輔95俘32踢%陸凈化公設(shè)備柳58幟00右62演64醬8%基試驗(yàn)套檢測位設(shè)備裕83蠻66秘11截79攻6種41張%堅(jiān)其他刷46懲78料68已30辣46痛%哥合計(jì)卻43懲07此4堆59興89康0郵39巷%留數(shù)據(jù)泳來源找：C句CI爬D輝2頸00膨3，裳02癥圖4溪徒20匪02守年各產(chǎn)類半及導(dǎo)體屢專用堵設(shè)備司占有蔥比例棗數(shù)據(jù)刪來源極：C呢CI兇D鍋2泰00大3，即02除中國旋半導(dǎo)臺(tái)體設(shè)近備練技術(shù)劍水平搞與國葬外存哲在較幻大的喂差距湯，在蘋半導(dǎo)權(quán)體關(guān)盜鍵設(shè)甩備上嶺落后催于國指際水雅平1斥0殺——坡15閘年。嘗近幾蚊年新連技術(shù)仁、新艇工藝毫、新門材料授的陸弊續(xù)使紀(jì)用敗,重使國哭產(chǎn)設(shè)陪備、悠儀器的的設(shè)墊計(jì)制陪造水穩(wěn)平有燦了長繪足的戚進(jìn)步區(qū)。中勉國半去導(dǎo)體漏設(shè)備想企業(yè)女已基淘本具醋備為性0.榨5μ杏m償以下漏、6嶼英寸鋸IC改生產(chǎn)茶線提信供試頃生產(chǎn)巖樣機(jī)毀的能忠力，疲0黑.岡2芽5μ群m以講上水淹平設(shè)逃備的叼單元驕技術(shù)刑已有波一定慘突破執(zhí)。蹤表任1芹0陜中肝國微歷電子幼設(shè)備過水平大與世勸界水比平的形比較等世界晨微電教子設(shè)居備水船平周中國由微電村子設(shè)退備水挺平徑研發(fā)婦12欠″轎0.憤07浮μ物m鬧6哪″濁0.揉25樹μ較m駕生產(chǎn)昨水平頓8依″萬0.爐25總－0課.1崗8踐μ齡m遮3~軍6龜″景0.描8~監(jiān)0.膀5卸μ香m束數(shù)據(jù)隱來源盆：C縱CI尊D敲2浴00晉3，蛋02止在新棉產(chǎn)品暴研制界方面艙，中縫國電鎖子科驗(yàn)技集本團(tuán)韻45武所已扭于識(shí)20幻01應(yīng)年反儉8”頂硅片五自動(dòng)眾切片胡機(jī)、威自動(dòng)奸劃片披機(jī)、俗自動(dòng)鞋探針呈測試融臺(tái)和刷6”露雙面乏光刻往機(jī)列苦為重竟點(diǎn)開集發(fā)項(xiàng)浪目，水并正橡在進(jìn)蔬行自沙動(dòng)鍵留合機(jī)漸的技根術(shù)調(diào)此研；誘電子侄48肌所研妻制的制電子未束曝賣光機(jī)出和用捆于勢0.搜5段μ著m循、障6”姐生產(chǎn)摧線的室大束費(fèi)流離近子注壞入機(jī)趙和氧掘離子享注入旁機(jī)已駕通過奇驗(yàn)收遍，用駐于曬LE秋D劫生產(chǎn)蹤的第像二批嗎Ga沾P質(zhì)液相先外延蝕爐正嘴在生近產(chǎn)，何以滿循足用刃戶新壓的需威要；叼中科舍院光晴電子乳所利簽用在芒分步劈重復(fù)冠光刻匹機(jī)、梳X朝射線退光刻信機(jī)等錫方面升取得鐵的進(jìn)委展，京開發(fā)賣用于慎ME踩MS揉等領(lǐng)羽域的雪I稀線深遇度曝誰光機(jī)音，曝毯光膠盯厚可軌達(dá)戰(zhàn)1m凳m當(dāng)，已駁經(jīng)形乳成系巷列，賠7警00溉廠(權(quán)已進(jìn)慕入七宰星華肯創(chuàng)公訓(xùn)司)宅推出槽了平問坦化段IM平D信設(shè)備靠、鐘M－東RI圓E夜設(shè)備替、全呆自動(dòng)湯清洗嗓機(jī)、躺超凈包工作柱臺(tái)、菊新型分質(zhì)量傻流量望控制繭器等刊十幾洽項(xiàng)新掉產(chǎn)品鑒；蘇旺凈集普?qǐng)F(tuán)的磨“絞九五爺”毅國家撕重點(diǎn)霸科技能攻關(guān)狼項(xiàng)目倦“妥亞微辣米級(jí)汗集成暢電路排生產(chǎn)斃微環(huán)侄境系酷統(tǒng)設(shè)有備通”頃通過被了國必家驗(yàn)界收，渣解決拔了六18守項(xiàng)關(guān)爹鍵技筒術(shù)；母西北礦機(jī)器貫廠新蟲開發(fā)謠的蛋6”戲勻膠博顯影推設(shè)備質(zhì)去年想已在花展覽臟會(huì)亮進(jìn)相；歉南光送機(jī)器販廠和察北京僚儀器且廠在遣PV涉D五和電努子束儉蒸發(fā)陪設(shè)備商方面斑也都漏有新濤產(chǎn)品擁推出楚；蘭灘新通你信設(shè)普備集約團(tuán)公樹司研費(fèi)制的譯6”特硅片娘研磨吼機(jī)、鹽拋光優(yōu)機(jī)和澡倒角隙機(jī)等事共十屢項(xiàng)新呈產(chǎn)品裁去年潮已陸貨續(xù)投烏放市爛場，北并將播開發(fā)誦8”意產(chǎn)品梳；三塵佳公物司研跪制的王MG告P洲(多屬注射平頭)薪塑封方模，劉適應(yīng)靈了莖SM抹T磨發(fā)展鉛的需題要，曉可以都適應(yīng)戲SO異T牌、穴QF資P稻等集群成電幕路封啄裝的邀要求李；廣矮州愛受斯佩婚克公愁司生筆產(chǎn)的配高低悶溫試巡驗(yàn)設(shè)肌備近癢年來羊已在斤用戶伍中取橫得了鍵良好麻的信盟譽(yù)。譜表1拋1愚中坊國寧半導(dǎo)變體涼工藝賣設(shè)備示技術(shù)那水平警及研中制單繡位按設(shè)備私門類卻技術(shù)陳水平遮及種班類逐主要洽研制壯單位犁材料能制備殼設(shè)備穴8英廁寸孔及鞭6英側(cè)寸以鞠下材姻料制泰備設(shè)識(shí)備,閱如單譜晶爐迎、切遠(yuǎn)、磨開、拋來等廳45科所、漆蘭新槐設(shè)備犬公司當(dāng)、西陡安理刺工大俊學(xué)、容上海蔽匯盛蚊公司動(dòng)等程前工警序設(shè)牲備欣光刻途機(jī)蹄：年0.率5μ擁m、停6英鴉寸—財(cái)——錯(cuò)生產(chǎn)盛樣機(jī)植膏0.戶2寺5μ靠m—暖—部損分技右術(shù)突免破旬其他驕裝備繼：厭磁增予強(qiáng)金奏屬刻辟蝕機(jī)派、大示束流沉離子題注入睡機(jī)、旬平坦移化I總MD脈、磁色控測療射、盲立式癥LP們CV劉D、宏多室原PE各CV繪D、石Ga岔As回汽相大外延潑設(shè)備決、快遣速熱掘處理版等俗45癥所、幟48筍所、寨中科老院光劫電所上、清彎華大悟?qū)W、畜北京烏七星俊華創(chuàng)浩、7燙08響廠、霧西北梅機(jī)器忘廠、咽北京犯儀器堡廠、院中科眼院微土電子廊中心嘉、恨上海配機(jī)械泰廠、盆豐德首公司抖等綠后工和序設(shè)仇備緩塑封鋸機(jī)、傘粘片脆機(jī)、油金絲葛球焊刷機(jī)、讀鍵合乖機(jī)、口打標(biāo)顯機(jī)、握劃片昆機(jī)、份切筋臘打彎食機(jī)、撓IC牧編帶墓機(jī)、月電鍍叛線設(shè)懇備等弟45踐所、紹70廁9廠云、4庭50尼6廠計(jì)、漓抹江無暮線電棗專用肢設(shè)備晴公司雁、銅奉陵三桐佳公欠司等語凈化書設(shè)備蓬空氣漏凈化槽設(shè)備捏、氣圣體純寇化設(shè)杠備、延超純段水設(shè)循備襖蘇凈面集團(tuán)昨、重舒慶無錯(cuò)線電如專用怖設(shè)備他廠寺試驗(yàn)料檢測恭設(shè)備足探針罵臺(tái)悠45毛所音數(shù)據(jù)烈來源敢：C茶CI翁D伯2厘00快3，揚(yáng)02士表許1調(diào)2疾20傳01兵—道20壯02誕中國椒主要后的半穿導(dǎo)體語設(shè)備嘗生產(chǎn)債企業(yè)末銷售值情況者：贊咳單位己：萬急元鋼企業(yè)羅名稱凝20糟01拍年銷奔售額雙20航02蠶年銷托售額愈增長賢率聲蘭州憶蘭新卷高科奏技產(chǎn)護(hù)業(yè)股陵份有繪限公虎司病25嘉71競9懂28碌41觀2宗10啦.4帳%串西北或機(jī)器屈廠周14怨12扣0胸16芹23頌0慰14罩.9蔬%擦北京奴七星核華創(chuàng)背電子傍股份捐有限疏公司教10屈17殿3篩13許54旦0繭33東%戲中國豈電子宗科技腳集團(tuán)鄉(xiāng)第四蕩十五貞研究緩所頭56得00慨80提00顫42父.8肌%構(gòu)銅陵晶富社釘三佳名機(jī)械繭有限鏈公司冶11廊22奧4蛛14妥11塘0作25著.7鞭%鮮中國沖電子叫科技董集團(tuán)漂第四玻十八勁研究心所姨46先00供56檢30堡22嶺.4句%結(jié)北京也北儀愛創(chuàng)新置真空駕技術(shù)蒙有限筑責(zé)任刪公司皮68療07淚71匹30伙4.創(chuàng)7%單西安咸理工分大學(xué)研晶體磚生長優(yōu)設(shè)備筆研究柳所希45極00脆51碧00襲13王.3音%逢中國幕科學(xué)絕院光漏電技南術(shù)研檔究所面(季成都盤光電熟所饑)婆32仁00腔35乓00繡9.滲4%靜北京洲華興滴微電梢子有塔限公萬司規(guī)24槳60齡28國00瘋13殊.8莫%齊江蘇蓬蘇凈壤集團(tuán)討有限吹公司見29忍32因1下32莫58啦0哭11柴.1能%園廣州銀愛斯巾佩克羨公司庭66注07息65杠00緒－1攔.6謊%丘45認(rèn)08耗廠必75火91歇74銅00缺－2仍.5歐%政深圳能波達(dá)雕超聲催工程爪設(shè)備類公司即55涼00菌61江10漏11位%競國營綱第七鑄0妨八廠創(chuàng)31途00沒32滅30齒4.爹2%透南光冬機(jī)器誼廠搶42儀30監(jiān)45壁60機(jī)7.碰8%猴青島篇亞光際儀表警設(shè)備姥有限苦公司麻12役30辱14業(yè)50戀17撈.9勢%耍青島渠旭光悶儀表懼設(shè)備徐有限修公司晨11叨40謊12腸30爭7.澡9%追數(shù)據(jù)緩來源敗：C指CI將D險(xiǎn)2樸00通3，政02云目前井中國四半導(dǎo)崖體設(shè)膨備產(chǎn)音業(yè)具傳有如垮下特區(qū)點(diǎn)：駕(沃1督)棗產(chǎn)業(yè)聯(lián)規(guī)模預(yù)小，擇發(fā)展悼速度鑰較快其。菜二十錦世紀(jì)裹九十抓年代掌以來傻，中蛛國集撫成電唉路業(yè)滑的引當(dāng)進(jìn)項(xiàng)規(guī)目中威，整枯線生怠產(chǎn)工段藝設(shè)毯備要威從國伸外進(jìn)途口，格國內(nèi)俊集成任電路婦生產(chǎn)紗設(shè)備仗市場顛幾乎移全部風(fēng)被國份外汽企業(yè)芝占領(lǐng)豆，中患國半蜻導(dǎo)體帳專用殲設(shè)備粱企業(yè)炎銷售勺所占裝國內(nèi)彎市場墻份額麥極小蝦，但端近年休來中羞國半壇導(dǎo)體虜設(shè)備魔產(chǎn)業(yè)奴發(fā)展吼呈快匙速增枕長的秘勢頭匠，傘集成扛電路收生產(chǎn)煌用關(guān)爹鍵設(shè)彩備年餃增長仇率達(dá)臭到4別0%倘——市50提%，嫂從事鋒半導(dǎo)都體設(shè)狡備生取產(chǎn)的鍬企業(yè)母也在初不斷委加。膀(淚2兇)床半導(dǎo)航體設(shè)去備品弱種齊便全，張新品滋研制然有一擴(kuò)定的鴉基礎(chǔ)脆。毅目前挑中國趣半導(dǎo)武體設(shè)壘備企呼業(yè)已朗初步幼具備芳從材搞料、堆IC戀前道既工序扛、封忍裝、秘測試化的關(guān)醒鍵設(shè)斃備的提生產(chǎn)勺能力派。一裁些骨逗干企惡業(yè)和磚原電庫子部侄系統(tǒng)畢的科誦研院徑所具報(bào)有較池強(qiáng)開宇發(fā)與掃研制瑞能力成，如曉北京序七星陽華創(chuàng)硬電子感股份萌有限飾公司椅、中予國電訪子科融技集高團(tuán)第夸四十伏五研踏究所程、第況四十妥八所白、成初都光央電所蔽等單割位在怠新品茶研制避生產(chǎn)酸方面串都積殃累了梢一定添的技瓜術(shù)經(jīng)嫩驗(yàn)與懼基礎(chǔ)好。螞(猛3械)低具備瓣了相犧關(guān)產(chǎn)熱業(yè)的校良好們條件目。夏在研棗究集穩(wěn)成電栗路專宏用設(shè)險(xiǎn)備發(fā)擾展前裝景時(shí)期，還孩必須顛考察完中國六機(jī)器僅制造津等其撓他相篇關(guān)產(chǎn)滔業(yè)的居發(fā)展敢狀況嗚。根婚據(jù)國閱外設(shè)你備制厲造公麗司的鑰初步丟調(diào)查傍，在孤制造父中國俱所需組要的底集成久電路絹設(shè)備膀中，頑大約撥有8剖0％希左右塞的零酷部件唱可以天利用押中國閣的企憲業(yè)進(jìn)院行加疼工。大從而客表明閥中國柔有了雞一個(gè)晌相關(guān)叉產(chǎn)業(yè)搬基礎(chǔ)偉的良倡好條迅件。伐(未4頸)郵半導(dǎo)沃體設(shè)火備產(chǎn)盲業(yè)滯懲后于恥半導(dǎo)促體產(chǎn)譽(yù)業(yè)的芒發(fā)展嘉。冷中國刷半導(dǎo)齡體設(shè)掩備工紫藝水枯平落府后。低半導(dǎo)剖體設(shè)援備制客造主企業(yè)濾不能保及時(shí)申供應(yīng)哨與全步球同傍步的少關(guān)鍵上生產(chǎn)紹與實(shí)句驗(yàn)設(shè)壺備給邀國家干級(jí)的雷研究拋院、五所、襲大學(xué)錘，奉半導(dǎo)鞭體騎研究刷部門綠就不雨可能絲將領(lǐng)棟先技童術(shù)注魄入給萬生產(chǎn)私企業(yè)瞧。中盞國集徐成電戲路珍生產(chǎn)鞠企業(yè)樓沒有茄雄厚輛資金旨來購筍買國鐘外先拒進(jìn)的斤當(dāng)代堪的和贏將要軌成為俯當(dāng)代貪的主卷流生瘡產(chǎn)設(shè)脂備，或國產(chǎn)殺集成際電路板關(guān)鍵咬生產(chǎn)慧設(shè)備旗跟不譜上，覆致使遞中國香半導(dǎo)料體產(chǎn)畢業(yè)發(fā)碼展滯顏后于邁世界卸水平啊，缺姑乏國均際競獨(dú)爭力浩。料(她二撈)款國惰內(nèi)各皺主要街半導(dǎo)蓬體設(shè)艦備生欲產(chǎn)情殖況新1霸、材禽料制腰備設(shè)糟備紀(jì)隨著蘋中國粉半導(dǎo)夏體工種業(yè)的瞞迅猛耀發(fā)展強(qiáng)，對(duì)裙半導(dǎo)戀體材陷料的肅要求相越來序越高梁。特織別是絡(luò)單假產(chǎn)8排″伐硅片日晶硅笨片的坦直徑腔越來名越大歪，世爐界各蘭國競盞相向翼大直競徑發(fā)豪展。尺目前壺國際惜上目以賊8″截硅圓妙片擔(dān)晶體隙生長熊設(shè)備關(guān)為主統(tǒng)，中揚(yáng)國晶姻體生望長設(shè)稍備以稅生產(chǎn)尋6獸″虎硅單蛛晶為戴主，摟已達(dá)題到生波的樣崗機(jī)的俊水平跑。隨角國內(nèi)謠近年雁單晶太生產(chǎn)陽廠家遺的擴(kuò)鏡產(chǎn)以異及新白的中繞外合途資單阿晶生布產(chǎn)廠響建成當(dāng),鋒投資談規(guī)模猛較大北,繡單晶伯制造桑設(shè)備撐需求昌數(shù)量刃增多寒,館國內(nèi)少重點(diǎn)攪的單竄晶爐效生產(chǎn)村企業(yè)貢是西爬安理喂工大鞭學(xué)晶慘體生塌長設(shè)啟備研羽究所村、中霸國電鑰子科隱技集晝團(tuán)4緒5研論究所澆。西刃安理誤工大量學(xué)晶烏體生峽長設(shè)償備研亦究所龍?jiān)诎攵蓪?dǎo)體舉材料鑼設(shè)備選方面虧已能遠(yuǎn)滿足盡10莫種以擔(dān)上的冰生產(chǎn)末方法徹的設(shè)尸備，華形成果了直耍拉硅棋單晶絡(luò)、磁底場硅持單晶慘、直植拉鍺塑單晶濫、區(qū)苗熔硅麻單晶吳4大潮類，詳近2囑0個(gè)注品種這，9羞0%傲以上丟的產(chǎn)討品以坦國內(nèi)北半導(dǎo)綠體材脂料企掛業(yè)、來科研宣院所按為銷宵售對(duì)閣象，近部分伶產(chǎn)品獎(jiǎng)銷往攻國外勺。約研磨察機(jī)、綿拋光裁機(jī)、穗切片眼機(jī)等雨材料巴設(shè)備厭生產(chǎn)喊企業(yè)棚較多摟，有倘西北簡機(jī)器顧廠、演蘭州烈蘭新災(zāi)高科垂技產(chǎn)恰業(yè)股鹽份有番限公標(biāo)司、本第4墨5所秀、鞏45喇02純廠、影匯盛恩電子塞機(jī)械哭設(shè)備雪公司缺、宋錫山東市日商升機(jī)露械廠眨、旱無錫碧泰源拔機(jī)器純制造熄有限側(cè)公司周以及使宜興化市鍛產(chǎn)壓機(jī)歇床廠氣等等銷。程45么所自篩行研村制的愉首條勉國產(chǎn)螺強(qiáng)力慶磨削檔大直潛徑金巷剛石討超薄假刃具吃自動(dòng)川生產(chǎn)體線高,扛已于皆19苗98負(fù)年在非平?jīng)鐾┙ǔ蓽?zhǔn)投產(chǎn)掘,靜解決點(diǎn)6呆英寸局直徑徑以下凍的泄SI累材料途、惕GE累材料碌等切管割導(dǎo)。學(xué)表有13串曠國內(nèi)睡滿足釀不同春晶體溜的生進(jìn)長設(shè)紋備雁生長侄方法橋生長嶺設(shè)備坦CZ輔(提悄拉法殼)事Si燥G晃e水YA森G際Al票2O嚼3(型Cr呼)堡Li妻Nb鬼O3驢L膚iT膏aO絕3葵FZ在(區(qū)還熔法辣)承Si見LE配C(芝高壓夕液封遺提拉孔法)串Ga躬As裹I鼓nP吸G滾aP棋VG毒F(還溫度泰梯度可法)烘Ga郊As戶EF刪G(返導(dǎo)模彩法)版а興－－槍Al備2O球3恒HT栽S(誕高溫沈溶液縣法)局BB核O暖LB成O柏DC辜M(彈下降偵法)哪Ca窩F2網(wǎng)M慎gF慘N貝aC艘1活Bi捧4G塔e3劣O1沉2添JG棕T(伏溫梯憶法)煉Ti嫂：別Al庸2O范3崖MC為Z(狠磁場班提拉福法)灰Si消G菌aA腐s坐SM碗(升離華法油)使Si鵲C霸Zn憂S臣Cd籃S倦其它年方法疼根據(jù)潛用戶褲的特禾殊設(shè)磨計(jì)，哈滿足兄晶體恥生長奪工藝或要求灰數(shù)據(jù)當(dāng)來源啦：C寧CI虛D杰2竿00填3，碑02勁表污14妥衫20故02聽年半臘導(dǎo)體鏈材料刑制備羨設(shè)備電的典盤型產(chǎn)桶品恐典型貪產(chǎn)品膊型號(hào)豪和名須稱般生產(chǎn)釘廠廈TD筍R－她Z5混0鍺越單晶冬直拉廁法生牙長設(shè)臘備泰西安嫌理工梢大學(xué)置晶體跪生長茄設(shè)備蕩研究流所工妄廠提TD殺R－毯Z8哭0鍺題單晶芬直拉額法生腐長設(shè)參備刺J5岡03侄00貝—院1／套ZF構(gòu)多刀端切割匠機(jī)捆西北聞機(jī)器短廠衰J5昏08駐5／喊ZF梅微控背內(nèi)圓迫切割狐機(jī)拖QP吃－6奧12天大直辰徑內(nèi)般圓切繩片機(jī)頓45浪所閃X6栗1革39域0B巧—鏡1研曬磨機(jī)沉(6斷．4卡B)氣蘭州鞭蘭新貪高科毀技產(chǎn)恒業(yè)股窗份有鎮(zhèn)限公誠司副X6脈1口60濁0B詢－1眾研磨乓機(jī)(濁9．泉6B賀)近X6項(xiàng)28做15移—淺1單擱面拋責(zé)光機(jī)進(jìn)X6圍2廚83紙0怪—嘴1單極面拋功光機(jī)痛X6病1齒81生5需—通1單顛面減茂薄機(jī)正X6霧1捎83釀0玉—丟1單琴面減議薄機(jī)雀X6梯41箏50而－1壁硅片賀倒角額機(jī)軟數(shù)據(jù)扒來源陪：C蒜CI牽D茂2但00值3，蝕02釀2昂、前賤工序座設(shè)備耳光刻區(qū)機(jī)是均IC重制造意業(yè)的榨關(guān)鍵征,姓其圖盞形套師刻精恥度和陸線條蓋寬度靜是制撲約集噴成電斧路集堆成度姐提高胸的關(guān)煤鍵宵,中欠國在料傳統(tǒng)豈光刻胃技術(shù)滴上較廣為落窩后，鴿但由江于近詳年來病國家吃有關(guān)團(tuán)方面軍的大騾力支忠持，蝦中國章已經(jīng)徐進(jìn)行余了X宇RL過、S渠CA肆LP菠EL初、E怖UV袋L、忠EB鍵等下桿一代貼光刻遠(yuǎn)技術(shù)角的研均究，伙并掌鼓握了偵一些海核心土單元梅技術(shù)敢。由狂于國擁外也遷剛剛駐起步約，因螞此中饒國在剪NG素L方悅面與圣國外寫的差腐距并含不大剩，蘊(yùn)與含著緣較大原的發(fā)己展機(jī)渾遇。咽由科柳學(xué)院淹成都掌光電獲所研些制生懇產(chǎn)的柏1.市5－反2夜微米粘,侄實(shí)用老型分盲布重姻復(fù)投攤影光冠刻機(jī)傻,姓首先我在中富國完刺成蹄CM應(yīng)OS裂20徐00遙萬門健陣電瞎路工視藝考氏核添,0甘.8蜂－1剝微米跟光刻廣機(jī)于邀19斥97縫年完堤成工真藝考嫁核戀.夜中國煎電子怠科技優(yōu)集團(tuán)駛四十黎五所岔研制涼生產(chǎn)隆的分圓布投咐影光權(quán)刻機(jī)倍分辯鎖率達(dá)柔1挑微米恭;芹大面推積自飄動(dòng)曝友光機(jī)夸及雙肝面對(duì)堵準(zhǔn)曝怠光機(jī)蹈的技焦術(shù)水策平也炮有大江的突蒙破婦,削中國斃電子另科技轉(zhuǎn)集團(tuán)甘四十臨八所緞研制疲生產(chǎn)佳的亞歸微米蛾電子述束曝綁光機(jī)芳最小概線寬尊實(shí)現(xiàn)雅了臭0.甩5－胳0.植3征微米勞,嘩圖形呆光刻拿精度翁達(dá)辛±曉0.唐12您5座微米縮。反近幾鑰年來怖,趙經(jīng)過剝"彎九五瑞"字科技種攻關(guān)目和重裝大工丙程項(xiàng)辨目重費(fèi)點(diǎn)攻多關(guān)壤,鴉中國架研制揉開發(fā)稻能力哄有較長大提騾高叔,轟離子蜜注入奉機(jī)、辟擴(kuò)散先爐、蜻濺射餅臺(tái)、尼離子呼刻蝕冤等關(guān)圓鍵設(shè)辜備上博都開紅發(fā)出拼自己窩的產(chǎn)泛品宏,釀其技創(chuàng)術(shù)水類平接今近國土際先稍進(jìn)水勇平。傻中國折電子溜科技南集團(tuán)岔四十杯八所遞離子含注入閉機(jī)拳,糾能夠昌達(dá)軌20罵0K治ew嗚,賢束流母強(qiáng)度懶>1岸00減0u稠A;教國營相七勞00勞廠生銳產(chǎn)的黃5－拒6洞英寸翻多管孔微控談全功介能擴(kuò)衰散系枝統(tǒng)已堪投入砌生產(chǎn)界使用澇;糊北京怨儀器涂廠、躲國營譽(yù)七術(shù)0亮八廠務(wù)生產(chǎn)鉛的多乳靶磁隊(duì)控濺長射臺(tái)雙,咽功率哨已達(dá)閥4K除w/被個(gè)的釀水平婆。蹈48傾所研棋制成游功的派LC井－1姑1浪型砷晉化鎵開專用槳強(qiáng)離治子注乒機(jī)反,M裕43林1－油4/辰UM擴(kuò)型雙吸離子邀刻蝕量機(jī)等驅(qū)六個(gè)蹲項(xiàng)目刮,逆其中葉三項(xiàng)犯填補(bǔ)輔了國攻內(nèi)空暢白育,跪兩項(xiàng)漿達(dá)國梳內(nèi)先鵝進(jìn)水絮平勸。男目前咐國內(nèi)豬半導(dǎo)電體微澤細(xì)加蓮工設(shè)樸備的尚研制鼻已經(jīng)怎完成忍:搶圖和形線參寬善0.與8－捐1譯m奸分步牲重復(fù)輪投影潔光刻原機(jī)、答1.框5皺μm蔑深紫喜外接虧觸式叮光刻狡機(jī)、統(tǒng)能量偏20席－1言60丸Ke愁v揪強(qiáng)束否流離賞子注雄入機(jī)聾、圖斃形線插寬礙1櫻m以反應(yīng)倍離子邀刻蝕糠機(jī)、錦立式疲熱壁野LP蔥CV某D差、單侍片雙稱室摸PE濤CV例D酷、這方些設(shè)差備可低用于旬4"眾－6線"勻硅片鋤加工顫。這標(biāo)些設(shè)漆備大福部分龜還沒景有投憶入大躺批量始生產(chǎn)貫，在悶國內(nèi)沈還處基于小斗型化圓，計(jì)摟劃型盜生產(chǎn)腥，隨正著半坡導(dǎo)體傍產(chǎn)業(yè)置的迅花速發(fā)壯展，戚中國予半導(dǎo)順體前浙工序廊生產(chǎn)評(píng)設(shè)備肢將很奔快成碧長起袍來。限表1懸5弄前繁工序蜓關(guān)鍵朽設(shè)備塵儀器丑技術(shù)等水平卷產(chǎn)品呈大類傍技術(shù)角水平女生產(chǎn)豈廠家梨一、曠光刻徒機(jī)桑1.妻亞微錄米電叨子束塘曝光挖機(jī)愉(D聰B－汽7)瘡最小峽線條鵝寬度鐘為濁0.筒5－跡0.駝3肝微米槳,備圓形民套刻黑精度謊±指0.嫁12凱5段微米壟,依最大統(tǒng)掩膜橫尺寸訴4撕英寸聯(lián)48挎所輸2.棟分步席投影頁光刻矮機(jī)違(B錄G－毫10額5)五(B繼G－慘10育2)屆分辨冰率為級(jí)0.賀5微色米璃,看曝光劉范圍永Φ逼1拆50籮mm譜分辨綢率為依1.鴨0微鞏米細(xì),稅曝光匠范圍字Φ筒1鉗25匪mm絡(luò)45副所運(yùn)3.傻高分秒辨率禍接觸庭式曝楊光機(jī)帝(B浴G－殺40候1)前精度責(zé)為惑1.曠5總微米怖,晃曝光爛范圍尤Φ妨11盛0m雪m舒"謙4.絨雙面晝對(duì)準(zhǔn)孟曝光嬌機(jī)抽(S速B－庸40余1)偶精度滅為課2悄微米慰,日曝光親范圍獸Φ輸11借0m澤m唉"逐二、炒.敘離子貫注入缸機(jī)歐1.斥中束呀流離摧子注桶入機(jī)求,L僵C－霸2F榨能量號(hào)20尿－2惹00折Ke鋒v堅(jiān)束流絲強(qiáng)度樣B壘≥征60旦0u廈A,伏P.著As沒≥搖10遞00槍uA扒最大如尺寸陰Φ粉10逼0m朋m陜48箱所百2.廟強(qiáng)流葬氧離委子注信入機(jī)吃LC抱－1根3敞能量司20難－2橋00磁Ke鋪v里最大傅束流同0.餓1M瞞A命最大山尺寸背Φ欄15拘0m男m萬"涼3.辰強(qiáng)流辛離子耕注入鈔機(jī)犧LC樸－1燦1協(xié)能量趣5－狗16金0K揀ev廈最大躍束流攔5m惕A求"陜?nèi)⑿哟趴剡f濺射共臺(tái)烤1.土多靶劍磁控傳濺射陵臺(tái)役H4朱62光00位－1亦3嬸個(gè)績DC閥磁控希源硅適片尺購寸距4午英寸翁國營腦70釣8蘇廠尖2.避自動(dòng)赴磁控蕩濺射餐臺(tái)性JC想60修0－忠2/穩(wěn)D醉4目個(gè)剝DC絹磁控滲源夸,甲功率鈴4K譯W/莖個(gè)硅殃片尺感寸墓,4援英寸躲"掌3.扮無油漿超高暑真空碎磁控誕濺射增設(shè)備映JP委GD居－4掃50添功率剩2K趨W澆"火四、巡刻蝕退機(jī)載1.歪反應(yīng)限離子戶干法券刻蝕皺系統(tǒng)逐40泰系列田刻蝕費(fèi)精度沉1－餐3扁微米療,我硅片橫尺寸鋸3－桿6歲英寸蘇北京末七星群華創(chuàng)盤電子岡有限顏公司踐2.剃干法恨刻蝕串系統(tǒng)恩48槍所借五、嘗擴(kuò)散防爐征1.亡微控凳全功釣?zāi)軘U(kuò)銜散系亂統(tǒng)咐40餅系列蝕晶片篇尺寸掀Φ摧5－高6岔英寸殘七星糕華創(chuàng)故電子滋有限護(hù)公司銹2.創(chuàng)智能捕程控探擴(kuò)散窗系統(tǒng)刃51來系列掀硅片愛尺寸筐Φ煮3－裹6舅英寸思"袋六、州氣相斑淀積病設(shè)備矮1.稼臥式雞等離木子增沙強(qiáng)化神學(xué)氣年相淀岔積榮(P漲EC震VD邪)4關(guān)0蠶系列屑硅片陵尺寸黨Φ材3－毫4健英寸接"幼2.午臥低悼壓化垃學(xué)氣約相淀芹積設(shè)千備棟(L錢PC電VD認(rèn))6綁0眉系列股硅片岸尺寸汪Φ坡3－喇4鼠英寸襯"尸3.比低壓怨/等儀離子長體增足強(qiáng)化櫻學(xué)氣上相淀貌積鵝(息LP獻(xiàn)/P音EC徐VD宗)號(hào)48般所傭七、躁鍍膜欠機(jī)系睛列麗1.趣真空淺鍍膜猾機(jī)壤ZZ謝S5肚00飲－Z稿ZS刺15舞0遇蒸發(fā)柏室盡Φ牛50僚0－肚15告00弟毫米飲70工8逆廠睬2.叨電子養(yǎng)束鍍悄膜機(jī)燦H4蝶4憐Φ園50肌0紋"收數(shù)據(jù)寨來源顧：C君CI肯D未2亦00勻3，刮02站表1兼6先前豐工序秀關(guān)鍵俊設(shè)備役及主疏要生問產(chǎn)廠置家偉設(shè)備狐類別閑生產(chǎn)看廠家校光刻繞機(jī)生45續(xù)所、估48銷所、幅上海遲機(jī)械祖廠、決國營膏70摩8賢廠鼠刻蝕哥機(jī)液北京值儀器難廠受北京煙七星但華創(chuàng)戰(zhàn)電子帳有限性公司海離子圾注入彈機(jī)寧國營缺70界8畜廠落北京處儀器廉廠鍛澆48任所循磁控頓濺射尊臺(tái)棚國營垃70役8攝廠響北京燙儀器豬廠易擴(kuò)散檔爐畝北京司七星挺華創(chuàng)糕電子延有限截公司遣、4提8所膚、青前島亞智光儀遠(yuǎn)表設(shè)鉗備有潛限公矮司、濾青島富旭光煎儀表蜻設(shè)備孔有限于公司需氣相掛淀積鄙(C隸VD驅(qū))漸48漏所、戲北京薪七星礙華創(chuàng)洪電子帽有限節(jié)公司杰、北駛京華雖興微款電子訪公司彩、資刻蝕殊機(jī)討北京寨儀器唉廠躲北京廁七星證華創(chuàng)惑電子倦有限修公司勿鍍膜準(zhǔn)機(jī)萄真空目鍍膜哄電子雨束鍍廁膜黃國營負(fù)70愿8柳廠心數(shù)據(jù)駐來源洋：C間CI村D叫2俘00坑3，析02健3子、后裁工序爺設(shè)備用近年淚來半圣導(dǎo)體障封裝連企業(yè)團(tuán)發(fā)展以較快旨，半芳導(dǎo)體病后工獄序設(shè)出備業(yè)跑技術(shù)伐水平鐮要求電相對(duì)邀不高羅，吸妄引了界一些繞新興夠企業(yè)棄介入板這一忌領(lǐng)域凝。后博工序窄設(shè)備汽主要贊是封堪裝設(shè)恩備，項(xiàng)包括員劃片乓機(jī)、月鍵合灘機(jī)、隔塑封柄機(jī)、違燒結(jié)或爐、崖切筋陵打彎格機(jī)、越打標(biāo)律機(jī)、湯編帶層機(jī)、躍電鍍圖設(shè)備蹈、?；叩仍础Ｄ坑爸鳙C要的別生產(chǎn)枯廠家刃除原密有4梳5所國、上閘海匯稠盛電溜子機(jī)扭械設(shè)庫備公筍司、霞北京柱光電輔技術(shù)揮研究艘所、興武漢申華工垂激光憂工程糖有限族責(zé)任果公司戶外，通還增揚(yáng)加了書大族肌激光遣公司糟、錦北京計(jì)創(chuàng)科豆源光筍電技悼術(shù)有肯限公稀司閱、沈完陽啄儀器干儀表海工藝擁研究托所、繪蘇州槐眾和孟電子插有限濃公司酬、筒北京棒德雷撕射科膛科技雷開發(fā)馳公司稈、珠青島臥旭光益儀表禮設(shè)備簽有限嬌公司祝青島鄭亞光冰儀表編設(shè)備辭有限嘗公司鞠、青普島旭才升專想用儀紐表設(shè)利備有緩限公熊司等盒。進(jìn)表1剃7今主且要的凡后工孔序設(shè)識(shí)備及薦生產(chǎn)咽廠家芒設(shè)備歡名稱省生產(chǎn)散企業(yè)醫(yī)典型框產(chǎn)品相型號(hào)寨塑封丸機(jī)栗匯盛溉電子挽機(jī)械早設(shè)備嘆公司蜓、銅剩陵富準(zhǔn)社三獎(jiǎng)佳機(jī)票械有化限公蝶司三FS套TM酒20騎0－滋7T責(zé)AN屬M(fèi)(委20型0噸譽(yù)電腦起型)叉、F淋ST嗽M2蘆50慨－7盤TA柴N(壤25禾0噸偵一般猾型)張劃片因機(jī)飛45植所、廢大族幕激光蓄公司映、掘北京寄創(chuàng)科欣源光主電技板術(shù)有廁限公玩司篇、沈渡陽儀錘器儀挺表工踩藝研旅究所亞S－夫50走、陰鍵合租機(jī)瞎45垮所燈YJ答H－雞85揪0、應(yīng)切筋效打彎虎機(jī)、惠打標(biāo)劫機(jī)、魯編帶耀機(jī)、腐45澡所、鵝大族釘激光滾公司鏡、蘇竄州眾乒和電倚子有辦限公帽司、李北京通德雷參射科墨科技飼開發(fā)踩公司境QD苗－1膀00跌1切舒筋打軌彎機(jī)智53醬2－壟D2棉0/巴D2脅0B城、D蓮P－墳R5老0/滾DP迷－R院75頭打標(biāo)則機(jī)、煉DY上－1論A罩/赴DY呆－2奔型獎(jiǎng)打標(biāo)冷機(jī)彎BD岡－6初01游/8劍01究/9褲01污編帶饅機(jī)、趁燒結(jié)急爐陪48低所、電青島候旭光穴儀表洽設(shè)備射有限腐公司吸青島蠟亞光建儀表策設(shè)備拆有限逮公司悠、青亂島旭儀升專逃用儀戚表設(shè)號(hào)備有團(tuán)限公刷司猛ZL逢H1尼2系程列、婦L4呢9系宏列鏈跨(舞帶)冠、L鍛46沙19夜／X楊S、唯L4遭98抗00筍－5雹數(shù)據(jù)瓜來源犬：C禁CI豈D騾2阿00線3，戲02假20鬼02午年晨全球供最大描的半福導(dǎo)體月封裝渾設(shè)備聞制造算商日典本T套OW待A株炊式會(huì)儀社進(jìn)砌駐浦敞東張勺江高襯科技幕園區(qū)物，由訊其投焦資設(shè)灘立的殖東和塵半導(dǎo)滑體設(shè)丙備(駁上海駕)有運(yùn)限公銷司戰(zhàn)正式嫁投入挑運(yùn)營膛。住而且裹TO約WA托半導(dǎo)巨體設(shè)匆備(些蘇州評(píng))有午限公團(tuán)司式也已階奠基天。判TO林WA申株式璃會(huì)社唇目前脂在中趟國市土場已顏擁有阿摩托簽羅拉太、樂旦山－戀菲尼盟克斯抗、南夜通富著士通射、東暈芝半召導(dǎo)體滲(無芝錫)儀以及撥中國巷華晶嚷集團(tuán)計(jì)等循。福4鑒、其匯他設(shè)考備辜中國防半導(dǎo)房體生歪產(chǎn)加膊工過無程中摟的試障驗(yàn)測間試設(shè)按備、跨凈化炕設(shè)備化生產(chǎn)歇還十跑分薄夾弱，迅處于睜起步創(chuàng)階段象。國時(shí)內(nèi)市趴場基而本為明外國鏡設(shè)備幟企業(yè)橫所占嘴領(lǐng)。掘中國安集成副電路婦測試神業(yè)經(jīng)榜過二盛十多否年的糕努力目，積瘦累了奮10槐MH底z—音40王MH鳴z須數(shù)字湊測試賽系統(tǒng)寄的相鉤關(guān)技占術(shù)和涼中低敢檔模恰擬測野試系植統(tǒng)相豆關(guān)技供術(shù)。密已經(jīng)駐裝備峰集成赴電路柳生產(chǎn)姐線的斃測試壁系統(tǒng)參，主程要是挑低檔腳的數(shù)羞字測密試系沉統(tǒng)、初模擬廣測試峰系統(tǒng)拒和數(shù)沈?；爝b合測費(fèi)試系悟統(tǒng)。選從事抬測試團(tuán)設(shè)備倒研制良的企羊業(yè)主默要是象45嚇?biāo)退冶本┩酒咝菧厝A創(chuàng)殼電子唐有限跨公司士。廊45納所研吹制低戶溫探昏計(jì)測終試系電統(tǒng)衰,梅特種端器件慢用雙餃面曝紹光機(jī)僚,她全自籍動(dòng)探哥計(jì)中浸測臺(tái)圍,拔自動(dòng)要開槽華劃片福機(jī)李,賤自動(dòng)她內(nèi)圓遣切片銳機(jī)等冷六個(gè)革項(xiàng)目聲,束已經(jīng)首通過長鑒定畢并達(dá)缸到傻90軌年代環(huán)初國族際技料術(shù)水鉗平。漠表1艱8文測度試設(shè)喇備及聲主要舅生產(chǎn)舅廠家撿測試技儀器竊名稱糾技術(shù)辱特點(diǎn)愿生產(chǎn)款企業(yè)敘低溫細(xì)陣列韻探針膊測試績臺(tái)找TZ捉－1當(dāng)10襖測試像片徑葛Φ道75駛mm幕，行塘進(jìn)分噴辨率辜0.蒸00剃5m慚m廚45貍所處全自風(fēng)動(dòng)探恒針測愈試臺(tái)哄T－弦Z1稀09癢A棕測試拴片徑車4透英寸自－6石英寸禽，分仙辯率雄0.網(wǎng)00汁38五mm筐微控漸試探敬針電推阻測暖試儀滋D4苦1－蕉10諒/Z敵M昌片徑?jīng)]3－投8嚴(yán)英寸醬北京與七星柄華創(chuàng)柜電子券有限愉公司塔TZ萬－6頌01蛋自動(dòng)律探針濤測試藥臺(tái)擺用于已3準(zhǔn)″令、4獻(xiàn)″示、5爭″強(qiáng)、6市″勤標(biāo)準(zhǔn)仿晶片袍的自固動(dòng)測水試?yán)UTZ癢—鬼10膏9B盟自動(dòng)批探針尚測試龜臺(tái)燒用于帥2詢″兼、3讓″道、4虛″論、5向″黎、6苦″費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)藝晶片伍的自闊動(dòng)測展試。擋四探式針測佳試儀賺數(shù)據(jù)且來源盾：C餐CI偉D桑2兼00恰3，啞02號(hào)表1嚷9兔環(huán)陪境模侮擬及作可靠耽性試雙驗(yàn)設(shè)障備及哲生產(chǎn)射廠盯產(chǎn)品恨型號(hào)斯和名充稱贏生產(chǎn)懲廠瓦K系盾列高梅低溫矮(交完變濕診熱)關(guān)試驗(yàn)氣箱彎廣州晝愛斯湖佩克與環(huán)境惰儀器探有限勾公司弄GG纏V系鏈列高備低溫談低氣漠壓試址驗(yàn)箱俊高低耗溫濕飯熱試瑞驗(yàn)箱根無錫西蘇南遠(yuǎn)試驗(yàn)除設(shè)備孔有限篩公司曲氙燈狠耐氣內(nèi)候試構(gòu)驗(yàn)箱步Y(jié)5減23較0／龍ZF坡30小00純g沖盟擊試請(qǐng)驗(yàn)臺(tái)甲西北尸機(jī)器緩廠西輸安捷跳盛電顏?zhàn)蛹脊苄g(shù)有撈限責(zé)恒任公畜司裙Y5品13挑00鑼／Z所F2腳00開00直N電曾動(dòng)臺(tái)扎DC晝－2稈00手0－遇21被電動(dòng)嗚振動(dòng)架系統(tǒng)渴蘇州虹試驗(yàn)肺儀器呢總廠格DC厭－3圍00艘0－愿26岡電動(dòng)絲振動(dòng)秤系統(tǒng)盆數(shù)據(jù)為來源礙：C蜓CI舅D凳2賀00鐮3，雁02銷表2周0順凈儀化設(shè)遵備及裕生產(chǎn)蛇廠抵產(chǎn)品族型號(hào)傭和名直稱描生產(chǎn)暴廠慘標(biāo)準(zhǔn)殊機(jī)械鍵接口地系統(tǒng)魄(S吃MI剖F)筑設(shè)備爛江蘇斷蘇凈邀集團(tuán)贏有限沖公司厚F2胖3膜魂分離定制氮怠機(jī)均凈化噸工作洲臺(tái)韻北京紡七星高華創(chuàng)寶電子鎖股份霞有限址公司啟潔凈獅烘箱窗石英碼管清急洗機(jī)駐SK路系列縫裝配賀式潔明凈室從上海蜜金堰蓄空氣堅(jiān)凈化頓設(shè)備伶廠企WJ哲—笨l無志菌護(hù)翠理室執(zhí)數(shù)據(jù)恐來源?。篊惰CI孫D佛2猾00單3，沙02永(轉(zhuǎn)三憶)亞國內(nèi)老主要欲半導(dǎo)途體設(shè)雞備生航產(chǎn)廠間家壩1捏、西甚安理禮工大昆學(xué)晶雄體生晨長設(shè)懶備研罵究所宅(艷1筋)錢企業(yè)朝概況稻西安修理工坑大學(xué)版晶體動(dòng)生長魔設(shè)備酒研究謊所研踢制生屬產(chǎn)單掘晶爐客及其股它晶犁體生哨長設(shè)勞備已率有四嘩十余帶年的湯歷史遠(yuǎn)，具澤有較潛強(qiáng)的鋒科研李實(shí)力敲，是稍國內(nèi)咳單晶增爐生輩產(chǎn)的蘭主導(dǎo)截廠家痰及晶疤體生款長設(shè)永備研扒制、勾開發(fā)恭重要艇科研蟲基地顯?，F(xiàn)抱有職液工耍23許9鑼人室,憤其中辭各類廟專業(yè)釋技術(shù)館人員散80畏余人彩，有鉆各類沒機(jī)加孟設(shè)備戚60街0余喊臺(tái)，芳各類這儀表夏30朱0余庸臺(tái)，岔具有利年產(chǎn)垮50召余臺(tái)匠套大陳型單閉晶爐德的能掏力，夾每年換銷售句收入悅在3膠00膠0萬辛元左莊右。左西安營理工擊大學(xué)脂晶體裂生長井設(shè)備既研究產(chǎn)所工池廠以矮生產(chǎn)寸6司英寸伏單晶磚爐設(shè)頂備為絡(luò)主，緣近年狠又雜投資絲10予00背萬元獎(jiǎng)開發(fā)遇8″泄單晶役爐設(shè)婆備乒，年點(diǎn)產(chǎn)1租0框—臘15疊臺(tái)，朋為國淋家節(jié)摘約外移匯5核00棋萬美姐元以柔上，多對(duì)中恩國半御導(dǎo)體磨電子委工業(yè)槽的發(fā)簽展起毫到強(qiáng)班有力免的推找動(dòng)作故用。券自1博96權(quán)1年褲研制毫成中寒國第錯(cuò)一臺(tái)控單晶像爐以仁來，蟻累計(jì)檔產(chǎn)量嬸近千靠臺(tái)，缸產(chǎn)值遲近打2脫億元除，已敗定型尾生產(chǎn)內(nèi)了四煮大系駕列、憲五十螞余個(gè)歡品種蜓的晶雄體生關(guān)長設(shè)夾備。常它涉輩及了講半導(dǎo)訪體、綠光學(xué)械、化撲合物估、氧竊化物齊、氟杯化物著等晶浩體材夕料、要合金勁材料本及高匆純金死屬等遭高科音技領(lǐng)剪域。博其中歪TD較R系洞列單臘晶爐碧中的臂80乳型、辦70夫型、頌62菠型和看TD斤L(fēng)系扒列激巨光爐樣中的掛J6繳0型員、J啟50而型等繩設(shè)備腦的性附能已帳接近繭和達(dá)豎到國根際同蒙類產(chǎn)稅品水稅平，焰多項(xiàng)訪產(chǎn)品灣榮獲兵國家塊、部非、省厭級(jí)科勻技成盆果獎(jiǎng)慌。產(chǎn)紐品的冊(cè)國內(nèi)委覆蓋蝴面積佛達(dá)9誓5%葛以上燙，并蹤有四蕉個(gè)品貓種、賢二十旗余臺(tái)罷設(shè)備偷遠(yuǎn)銷奧歐、鍵美等影地。痕(采2毛)衡主要腸產(chǎn)品盜1)窗直觀拉硅緩單晶撲(酒CZ燈－S伏i煎)讀——敲TD斥R－設(shè)40醉A苗、奇7D蝕R－脹50友、槳TD土R－尿60聾、深TD羅R－磁62半CP社、外TD聲R－進(jìn)40組A極(卵B飼)、干TD爛R－臂80篩、岡TD常R－鑼70真A酷(就B碰)型社單晶頃爐萬2)甘蜂磁場冶硅單均晶(甲MC律Z－依Si呆)掛——灶TD策R－揭50割A(yù)C殺型單復(fù)晶爐應(yīng)3)稱掙直拉魂鍺單速晶(牌CZ蛇－G痰e辦)盛——借TD宅R－殃60膽CP耕、蒜TD語R－急62填CP草A尼、演TD撥R－穿Z5侮0至、申TD挎R－諒Z8州0胃型單妹晶爐洋4)臂閥敞區(qū)熔坡硅單態(tài)晶(賤FZ芽－S臥i不)憐——社TD危R－衛(wèi)FZ使35疲型區(qū)粉熔單臺(tái)晶爐傲(哨3佳)悠產(chǎn)品呢研發(fā)違目前沸正進(jìn)絡(luò)行T誕DR顏－1仰20畝大型帶單晶能爐(乞CZ編法，納投料穗量1范50掠kg援，晶權(quán)體直菊徑1冒2歲″泰)、底TD腹R－斃GY羨60糞型高蝕壓單纏晶爐糧(L兄EC青法、桌Ga良As模晶體素直徑犁4走″兔～6緞″項(xiàng))，乎具有谷上稱掏重等首徑控此制系批統(tǒng)的鋪大型蹲激光害晶體甜爐等冊(cè)具有烤世界險(xiǎn)先進(jìn)身水平餡的新欺爐型場研制聯(lián)、開鵝發(fā)。器2、品中國惕電子集科技廣集團(tuán)范第四瞎十五劈研究筋所堂(沈1席)扁企業(yè)貪概況孔原電鏡子部臘45娛所于框19儀66搭年建僚所薪,殊是從沈事各腦類電亡子專尸用設(shè)寇備研鹽究、暑開發(fā)弟和制貢造的晴綜合槽性研溜究所銜，答是國真內(nèi)主貿(mào)要從茅事光縱學(xué)微訪細(xì)加想工設(shè)壞備研犯究與慕生產(chǎn)吼的科勾研單年位識(shí)。救該所開為中竭國國赴防工巴業(yè)電暮子元命器件乎及其鑰他行吐業(yè)研晶制各掙類設(shè)綢備醉30市0偉多項(xiàng)獅，為蹄各行出業(yè)提權(quán)供大扛型關(guān)使鍵高啊技術(shù)五設(shè)備進(jìn)30霞00舅余臺(tái)贈(zèng)，取爸得科刑研成伍果稍30階0林多項(xiàng)梁，其脹中供10附0舞多項(xiàng)亡分別攝是獲竭得國瞞家和臺(tái)省部呼級(jí)科瘡技進(jìn)次步獎(jiǎng)悼。池現(xiàn)有雖職工日14瀉00槐余人齒，其膠中各指類專沿業(yè)技忍術(shù)人深員7繳0魄0李余人歷,現(xiàn)擋有資傭產(chǎn)1偉.4艘億元熊。諒第四慢十五惠所無已形盤成以彩超大驗(yàn)規(guī)模林集成五電路梯關(guān)鍵待工藝圾設(shè)備靜和電舅子元渠件生懲產(chǎn)設(shè)創(chuàng)備為廉主導(dǎo)夸的兩史大產(chǎn)督品門孤類。掙該所膏研制排的分跑步投綁影光蒜刻機(jī)炭分辨棵率從鴿2微奸米、畫1.驕5微甚米、置0.朵8微誓米到沃目前蠢已完雀成的搶0.礎(chǔ)5微陳米，如為中狂國I串C研紋制和哪打破開國外撿禁運(yùn)犯起到煮了重粥要作使用。絲研制街的S蝶B－端40勺1A悉雙面舍曝光險(xiǎn)機(jī)、借TZ干－1晨09夜B型休自動(dòng)陰探針蒼測試遍臺(tái)、液HP鞭－6嫌02膀精密助自動(dòng)冠劃片役機(jī)、腥QP倚－6智13悶型大還直徑牛切片鬧機(jī)、欲WY灘－1盜55悠型絲烤網(wǎng)印訓(xùn)刷機(jī)義、集悔成電床路切辟筋打逢彎機(jī)歪等均夸為填載補(bǔ)國仙內(nèi)空愈白的丑首創(chuàng)斃成果銜。間四十往五所親在燕絞郊開壺發(fā)區(qū)巴投資逮70敘00團(tuán)萬元害興建卡的燕湖郊信交息產(chǎn)歲業(yè)園蛋發(fā)展區(qū)有限梅公司赤正在澇建設(shè)駱中?？渖a(chǎn)些能力剪將達(dá)飽到光榆刻機(jī)倒配套頃的光似學(xué)系鵲統(tǒng)1希00配套、革微電宿子設(shè)途備6渾0臺(tái)悲、光版電設(shè)埋備4劍0臺(tái)稅。麗(活2柿)存主要幼產(chǎn)品止1)奇光刻路設(shè)備懷：分件步投禮影光鑄刻機(jī)經(jīng)，接序觸/苦接近楚式單隊(duì)面、瞧雙面蓬曝光惰機(jī)睡2)尾IC仆后封沉裝設(shè)瀉備：虜自動(dòng)吉?jiǎng)澠驒C(jī)，侄激光愿、油拼墨印腫字機(jī)排3)農(nóng)中測姓設(shè)備也：探扔針測帖試臺(tái)雪4)崇材料征加工淘設(shè)備劈：內(nèi)動(dòng)圓切伙片機(jī)煌、外字圓切柳割機(jī)塑5)奮清洗壯設(shè)備培：自沒動(dòng)沖滿洗甩煩干機(jī)竹6)視電子錢元件遵設(shè)備繼：各廈類元制器件遭編帶柏機(jī)，駱片鉭刃電容副粘接薦、編賤帶機(jī)對(duì)，陶唉瓷濾叫波器批焊裝懇機(jī)壟7)肌晶體女振蕩檢器生稱產(chǎn)設(shè)寄備：魚自動(dòng)續(xù)帶式酒多刀泡切割陡機(jī)，頌點(diǎn)膠鞋機(jī)、坡中間志測試夸機(jī)等睜(雨3舊)寫產(chǎn)品走研發(fā)是該所帆計(jì)劃結(jié)加大姜研制要集成灣電路伏設(shè)備婚的投督入，衰把目扎標(biāo)瞄煩準(zhǔn)8槽英寸土劃片順機(jī)、鋒測試娛臺(tái)、壟切片可機(jī)等欄集成輩電路望設(shè)備示，還仙將擴(kuò)畫大0宣.5芽~0彈.6探微米帶投影卡光機(jī)煉、各蒸型號(hào)砌探針政測試盡臺(tái)等滔產(chǎn)品繩生產(chǎn)撞規(guī)模役。目勁前，基45溫所正啄在開方發(fā)集查成電身路后碼工序陶中用運(yùn)最大王的設(shè)坐備域——疑鍵合額機(jī)，摘它將奮成為要該所泛的另沿一經(jīng)主濟(jì)增牽長點(diǎn)揮。糾3榴、中施國電趕子科許技集網(wǎng)團(tuán)第世四十劍八所甩(旁1篇)母企業(yè)盤概況研電子刊科技的集團(tuán)抗第四懼十八泛研究撲所建鋪于1甚96擋4年域，燦是以娃“三臺(tái)束”鍋(電懶子束掙、離飲子束柄、分秤子束闊)為猜主的駛半導(dǎo)忌體微部細(xì)加領(lǐng)工設(shè)攏備研顧究開糠發(fā)的懼綜合烤性研塘究所鐮，是瓦國內(nèi)茶具備輕較強(qiáng)型電子幕專用唐設(shè)備紙研發(fā)蒸力量斯的單覆位之勸一。洪全所芬現(xiàn)有籌職工晉90弟0漢余人竹,釀科技兔人員弟占職余工總聚數(shù)的潔50答%葉以上狐，全黨所占魄地面莫積撓14律00擾00怨平方封米副,斥固定四資產(chǎn)晌20那00隙多萬煤。御四十街八所鍬主要割從事都大規(guī)覽模集鄙成電槐路及逐各類烤電子紹元器建件關(guān)物鍵工訪藝設(shè)獅備的搖研發(fā)初和生即產(chǎn)，說目前套開發(fā)高和生南產(chǎn)的哭專用繁設(shè)備陶主要漿有三恐大系諒列：旅一是墓微電枝子專奏用設(shè)藝備，俗主要躲包括食離子字注入除機(jī)、嗎電子濃束曝壞光機(jī)俱、擴(kuò)櫻散—滴氧化漂系統(tǒng)演、外耕延系庸統(tǒng)、竄蝕刻邁與鍍膝膜設(shè)下備等透；二唇是用慮于磁累性材幸料、發(fā)陶瓷備、P船DP山、粉兄末冶哈金生冠產(chǎn)的根電子供工業(yè)鳴窯爐豪等高膜溫?zé)X結(jié)設(shè)壤備；伶三是陸用于仰彩管闖、發(fā)極光二自極管膊及超汁大容打量電典容器橋等生密產(chǎn)的共電子炊元器顆件設(shè)鍋備。膚20織02集年鵲第四污十八筑所研茶制的盛七項(xiàng)享產(chǎn)品摸通過圣了信雷息產(chǎn)仆業(yè)部丈主持蜻的抽設(shè)計(jì)較定型余鑒定乖會(huì)，舞鑒定錄委員默會(huì)認(rèn)車為，前這七燈項(xiàng)產(chǎn)局品均紀(jì)代表色了目距前國思內(nèi)同杯類產(chǎn)寬品的藥先進(jìn)性水平販，其擺中鐘串罩式趟氮?dú)庾》毡Ｐ刈o(hù)燒嚴(yán)結(jié)爐桃屬國伏內(nèi)首伴創(chuàng)，菌性能邊上達(dá)沫到了腸國際活先進(jìn)究水平極。院根據(jù)簽國家駛微電碌子產(chǎn)烏業(yè)的憑發(fā)展笨目標(biāo)寒，四澡十八亦所相箱繼研膛制開場發(fā)了禽3英唇寸、檔4英鴿寸、品6英針寸、罪8英句寸硅紙片用炭擴(kuò)散遷系統(tǒng)項(xiàng)。為岡了完枕善擴(kuò)呼散技宅術(shù)需臟求，物四十不八所恒還研戀制出森了磷刊、硼濕固態(tài)允、液讓態(tài)源喇?dāng)U散朝系統(tǒng)役和鋅探的雙虧溫區(qū)喚隱埋壓擴(kuò)散梢系列耀設(shè)備莖；為秀適應(yīng)編氧化糟工藝倘上的避技術(shù)便進(jìn)步析，四鞋十八役所研膜制的伍濕氧朵、氫段氧合討成氧冤化系交統(tǒng)已班成系犯列。均(倍2原)指主要楚產(chǎn)品眨1)吩亞微析米電拿子束穿曝光滔機(jī)眾最小佩圖形哀線寬揮為萄0.害5－涌0.餐3撲微米牽2)似中束借流離獎(jiǎng)子注須入機(jī)墓注片賓尺寸經(jīng)為楊4?。?盤能量鹽20繳－2僻00閱Ke到v,煩束流安0.未06埋－0胞.1靠mA抬3)敏強(qiáng)流起離子練注入前機(jī)睬注片尚尺寸烈為治3閉＂，澆能量弦5－焰16答0K剝ev賊,賓束流饒5m條A繼4)幣強(qiáng)流煉氧離費(fèi)子注靈入機(jī)仍注入晴尺寸搖4癢＂尊－6趨＂能錫量牽20端－2值00歌Ke悉v,吉束流能5m菠A宣5)升高能結(jié)離子厭注入普機(jī)庸6)辮立式淹雙功雁能網(wǎng)TE雄OS盼－C溝VD跑系統(tǒng)竭加工姐基片頁尺寸駱3罩＂血－4污＂輔7)漲液相橫外延輪系統(tǒng)縱8)遺汽相盈外延挪系統(tǒng)總9)濱高溫鏡擴(kuò)散損系統(tǒng)并10電)對(duì)鐘罩給式高侮溫?zé)Y(jié)爐淡11譽(yù))斗臥式荒真空餡爐團(tuán)12帳)頂發(fā)光匪二級(jí)竭管自數(shù)動(dòng)封喪裝機(jī)妄13咽)熊離子方束蝕棉刻設(shè)繩備載14購)胸離子斥束鍍構(gòu)膜設(shè)粱備績(河3送)伍產(chǎn)品穗研發(fā)咸第四獄十撫八所頌研制券的L激C1港3、踩LC奮14尺型強(qiáng)虎流氧蟻離子正注入違機(jī)，枕是研責(zé)制生待產(chǎn)S筆OI炮材料導(dǎo)的關(guān)某鍵設(shè)撇備，饒能夠坡使中要國快灑速成插為少扇數(shù)采敲用S沿IM騾OX驕法制獄備S傻OI唐材料恭的國洞家之格一，衡該所貝研制住的L亮C1援5大乒束流軋離子耽注入沸機(jī)具敬有束名流大拜、自筑動(dòng)化逗程度蔑和生峽產(chǎn)效四率高立、潔儀凈度淹好的批特點(diǎn)爬，是飛中國甩首臺(tái)映能滿糾足6址英寸姑0.引5微貴米超辮大規(guī)急模集鋪成電攏路生紅產(chǎn)需指要的描實(shí)用洋化生廣產(chǎn)型罷離子術(shù)注入陷機(jī)。嘉四十雁八過所最確新推渣出的蹄DB玉8型毀電子進(jìn)束曝切光系艇統(tǒng)能練夠制步作的抓特征申線寬帖小于劍0.扒3微去米，蒸在國部內(nèi)首滲次實(shí)絲現(xiàn)直置寫功乞能且胖生產(chǎn)柔效率沫可滿閱足實(shí)味用化醒要求奸。燕4名、護(hù)北京聽七星薦華創(chuàng)士電子臺(tái)股份港公司池(媽1普)隨企業(yè)鳥概況秀北京汪七星聲華創(chuàng)齊電子阻股份絕有限撐公司翼(簡嘉稱胞“于七星悔華創(chuàng)疊”鐵)成修立于繩20汪01突年9谷月，淋是由蛙北京蒸七星測華電泰科技兼集團(tuán)當(dāng)有限愿責(zé)任節(jié)公司厲和北擱京吉顛樂電龍子集毒團(tuán)有糕限公先司為各主發(fā)隨起人拒，集太中部冶分優(yōu)睛良資詢產(chǎn)整獵合重執(zhí)組成弟立的們高新紡技術(shù)扔企業(yè)叫。七恭星華是創(chuàng)總啊部位弱于中槳關(guān)村勞高科泳技產(chǎn)欄業(yè)開澡發(fā)區(qū)忽的電苗子城謙科技傍園，波占地涼面積貍50沙12慚7平投方米能。公檔司下刺設(shè)八蛋個(gè)分同公司寨、四質(zhì)個(gè)子匹公司免，總翻資產(chǎn)祝3.升4億畏人民替幣，躲現(xiàn)有哪職工憐11啊63呼人。蓋北京或七星捐華創(chuàng)奇電子惡股份甘公司身微電棗子設(shè)徑備分蹄公司撥(裂70觸0孟廠)憤，殺由原美北京襯建中色機(jī)器崖廠微氧電子嚴(yán)分公別司改街制而誦成傍，佳是一幣家集釀微電冷子專貢用設(shè)粘備的要設(shè)計(jì)咱、開利發(fā)、根生產(chǎn)嘉、銷諒售、祝服務(wù)陡為一罷體的男實(shí)業(yè)臥公司戰(zhàn)。公割司擁易有四鞏個(gè)專叮業(yè)設(shè)禁計(jì)研砌究所石和一葡個(gè)凈右化制祖造車難間，瓣強(qiáng)大籮的科炭研實(shí)之力與朽精良倡的制零造工配藝使售公司挺成為殺了國吃內(nèi)微己電子逃專用爽設(shè)備貍研制緊重點(diǎn)陣企業(yè)串。哥七星笨華創(chuàng)女主導(dǎo)躬產(chǎn)品館涉及攜微電褲子專般用設(shè)宗備、卸微組截裝、呀和微買電子醫(yī)元器張件等董領(lǐng)域恐，包濾括片旱式元潑件、剝微電翅子器糞件、慚晶體添器件早等新樸型電僑子元廉器件癥，以出及與攻現(xiàn)代鄉(xiāng)微電智子制阻造組患裝技奧術(shù)密語切相賞關(guān)的絞專用直設(shè)備叼、儀尋器。半微電呀子專找用設(shè)垮備產(chǎn)費(fèi)品是斤七星厲華創(chuàng)哭的核嘗心業(yè)壯務(wù)之搜一，兩能夠勝提供奔擴(kuò)散驕爐、挽清洗梅機(jī)、匯CV骨D、運(yùn)刻蝕棕機(jī)等厚產(chǎn)品眼，這抄些產(chǎn)唉品是拼集成勁電路魚前工霜序關(guān)友鍵設(shè)捕備，現(xiàn)此外咱微電鋒子專禍用設(shè)砍備產(chǎn)都品還蓋廣泛造應(yīng)用尺于半泳導(dǎo)體仍分立激器件昂、光恩電子悶、電遺力電逢子、用太陽低能電愧池等集領(lǐng)域盒。多蚊年來晴，微鵲電子唯專用廈設(shè)備交產(chǎn)品價(jià)的質(zhì)主量、響種類拳、技榮術(shù)在派國內(nèi)側(cè)處于疫領(lǐng)先勁地位贊，在潤市場愧競爭洗中確裳立了壇重要稀地位蓮。2頂00寶2年才北京棵七星鈴華創(chuàng)沿電子睬股份貍有限咬公司汁與韓黃國工從事孕磁控湊濺射扛系統(tǒng)治、清刪洗設(shè)澆備研含發(fā)和抖生產(chǎn)射的A陳－T攪ec賊h公功司簽油署產(chǎn)仆品代糊理合醬同及者合資裳合作怪意向啊書靜，辱標(biāo)志糞著七好星華茫創(chuàng)正營式進(jìn)稈入磁睜控濺妥射設(shè)蛋備市驅(qū)場領(lǐng)辯域。智(串2沿)扛主要霜產(chǎn)品受1)勇微控遷擴(kuò)散叉系統(tǒng)搖、尾程控簡擴(kuò)散擺系統(tǒng)帥：仗應(yīng)用遺于大呼規(guī)模柱集成士電路血、分糧立器身件、拔光電采子器怠件、飾電力語電子圍器件層、太沸陽能譽(yù)電池籍等領(lǐng)反域，食適用起4”好～6每”硅瘡片退浩火、股氧化球、擴(kuò)虜散、垃預(yù)沉睜積等系工藝忽2)公臥救式熱伍壁型酒等離秒子增尼強(qiáng)化查學(xué)氣伏相淀尋積系肢統(tǒng)(蝕PE柄CV允D)腫解：吧供6搖”硅樓片淀盟積P接ol萄y－雨Si抄、S店i3斤N4?；騍睛iO奮2薄醋膜用閥。催3)晴平板抬型等躁離子仍增強(qiáng)爽化學(xué)蝴氣相臨淀積油系統(tǒng)漿(P蠢EC址VD壩)加：誰用于矛2”惑～6揭”硅攝片淀輩積S掙iO牛2、峰Si雹3N價(jià)4等職工藝當(dāng)。自4)拳低壓指化學(xué)終氣相挨淀積憂系統(tǒng)閣(L浩PC況VD韻)L奔43看80業(yè)：眠用于漸4”唉硅片岔Po寨ly攜－S粉i、霞Si堂O2汗、P憲SG尾、B評(píng)PS度G等麗薄膜忽生長辯工藝?yán)m(xù)。蒼5)銀M－望RI虛E金礙屬刻穿蝕系阿統(tǒng)吼：郊用于譯6”令、0基.5煉μm險(xiǎn)集成辮電路廣工藝獄金屬匹反應(yīng)鹽離子牧刻蝕番，可含刻蝕洞Al要、T稍i、授Ti歲N等程金屬覺?？?)角四絮探針朱測試頑儀醒(拜D4啞1－俘11穴A片)：奧主要假用于訊測量焦硅片錢的薄盆層電沉阻和越電阻頃率，叔也能渠測量勿其他竟半導(dǎo)洽體片唐、膜塔的薄酬層電摟阻和老電阻亂率，若且可壞對(duì)擴(kuò)當(dāng)散、柳外延利、離瞇子注灣入等墊工藝恒設(shè)置舉進(jìn)行冊(cè)監(jiān)測碰和評(píng)符估。敞7)佩筒式層等離健子去帆膠機(jī)憂：備用于錄半導(dǎo)到體集型成電犯路、披太陽傳能電搜池以農(nóng)及功淡率器執(zhí)件等祥刻蝕怎、去劉膠工犯藝，旗刻蝕干方式博為等充離子壤體各撲向同叨性刻橫蝕。煉8)罩全自灣動(dòng)清悼洗機(jī)然：泥設(shè)備羽用于診6”脖硅片質(zhì)的半掛導(dǎo)體屋清洗資過程徐中，負(fù)去除堡工件憤表面拌的油窮污及盛其它傭有機(jī)刻物、蝕除膠聯(lián)、去微金屬金離子布等。候9)伯石英士管清榆洗機(jī)可：饅為浸轟泡式鈴清洗腥機(jī)，暈用于遇擴(kuò)散云爐等塵設(shè)備艙的石覽英管絨、碳疏化硅散管清營洗謠10曉)屯臺(tái)論面腐垂蝕機(jī)塔：擠用于蠅半導(dǎo)盞體工齡藝中戀4”賽、5邪”硅怒片周宰邊進(jìn)夏行濕帥法化埋學(xué)腐呆蝕形崇成均粘勻一慘致的景斜角壯。詠11陡)誤顯影慈機(jī)青：頁用于見半導(dǎo)嫩體工餡藝中晨對(duì)硅抄片進(jìn)缸行顯脾影和祝定影再。適釣用4徑”、堤5”誤硅撤片譽(yù)12晴)桌凈化賤存儲(chǔ)哭柜殲：雖該設(shè)羞備為覽高潔草凈度紙通風(fēng)毀保管艙柜，邁適用膀于半彩導(dǎo)體煙生產(chǎn)湊工藝臺(tái)過程要中存圈放成農(nóng)品、星半成自品和悲材料嫌等收，吐凈化姐級(jí)別解：1束00誠級(jí)吃，幟裝片畏能力蹄：5蕉0片研/批盯。脈13園)仙雙灣人凈瞇化臺(tái)割：劈提供園局部岡高潔測凈度絨區(qū)域逼的雙致人標(biāo)速準(zhǔn)凈機(jī)化工懶作臺(tái)才。旋(析3介)塊產(chǎn)品筐研發(fā)迎隨著醒技術(shù)悟的發(fā)旬展，款該公俱司自因主研獵發(fā)的陪8英燦寸立隱式擴(kuò)圖散/每氧化積爐已耳經(jīng)進(jìn)定入實(shí)伏質(zhì)性炕階段滴。8貓英寸哲立式韻擴(kuò)散寸/氧旨化爐黑擁有無完全偏自主佛知識(shí)盞產(chǎn)權(quán)慚，在版國內(nèi)陶處于瓜領(lǐng)先蹲水平昏。七鵝星華替創(chuàng)正乘在研臥制的站8英辱寸硅賄片多季工位演清洗方腐蝕光機(jī)也蹈是擁界有先蛇進(jìn)技沈術(shù)、域擁有頑完全妖自主阻知識(shí)囑產(chǎn)權(quán)諸產(chǎn)品椅，處居于國棵際先討進(jìn)水傭平。喪5僻、逮北京拾北儀停創(chuàng)新敲真空尋技術(shù)逢有限技責(zé)任德公司幕(屯1昨)旗企業(yè)罪概況愿北京士儀器浩廠創(chuàng)卻建于臉19廟54臥年詳，搖于2群00敗2年躍1月啦完成浴有限披責(zé)任矮公司塘的改它制，做正式炭更名芹為北修