GB/T 10067.417-2023電熱和電磁處理裝置基本技術條件第417部分：碳化硅單晶生長裝置

ICS2518010

CCSK.61.

中華人民共和國國家標準

GB/T10067417—2023

.

電熱和電磁處理裝置基本技術條件

第417部分碳化硅單晶生長裝置

:

Basicspecificationsforelectroheatingandelectromagneticprocessing

installations—Part417Siliconcarbidecrstalrowthinstallations

:yg

2023-05-23發(fā)布2023-12-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T10067417—2023

.

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅴ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

產品分類

4…………………2

型號參數(shù)

4.1……………2

單晶爐形式加熱方法及代號

4.2、………………………2

主要參數(shù)

4.3……………3

技術要求

5…………………3

總體要求

5.1……………3

設計和制造的補充要求

5.2……………4

性能要求

5.3……………6

成套要求

5.4……………7

試驗方法

6…………………7

一般要求

6.1……………7

壓升率的測量

6.2………………………7

爐溫穩(wěn)定度的測量

6.3…………………7

運動參數(shù)相對偏差的測量

6.4…………8

速度百分偏差的測量

6.5………………8

爬行量的測量

6.6………………………8

同軸度的測量

6.7………………………8

工業(yè)生長晶體試驗

6.8…………………8

檢驗規(guī)則

7…………………9

一般要求

7.1……………9

出廠檢驗項目

7.2………………………9

型式檢驗項目

7.3………………………9

標志包裝運輸和貯存

8、、…………………9

一般要求

8.1……………9

其他要求

8.2……………10

訂購與供貨

9………………10

一般要求

9.1……………10

特殊要求

9.2……………10

Ⅰ

GB/T10067417—2023

.

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是電熱和電磁處理裝置基本技術條件的第部分已經發(fā)

GB/T10067《》417。GB/T10067

布了以下部分

:

第部分通用部分

———1:;

第部分電弧加熱裝置

———2:;

第部分大型交流電弧爐

———21:;

第部分感應電熱裝置

———3:;

第部分中頻無心感應爐

———31:;

第部分電壓型變頻多臺中頻無心感應爐成套裝置

———32:;

第部分工頻無心感應熔銅爐

———33:;

第部分晶體管式高頻感應加熱裝置

———34:;

第部分中頻真空感應熔煉爐

———35:;

第部分感應透熱裝置

———36:;

第部分間接電阻爐

———4:;

第部分網帶式電阻加熱機組

———41:;

第部分推送式電阻加熱機組

———42:;

第部分強迫對流井式電阻爐

———43:;

第部分箱式電阻爐

———44:;

第部分真空淬火爐

———45:;

第部分罩式電阻爐

———46:;

第部分真空熱處理和釬焊爐

———47:;

第部分臺車式電阻爐

———48:;

第部分自然對流井式電阻爐

———49:;

第部分單晶爐

———410:;

第部分電熱浴爐

———411:;

第部分箱式淬火爐

———412:;

第部分實驗用電阻爐

———413:;

第部分工業(yè)寶石爐

———414:;

第部分鋁材退火爐

———415:;

第部分多晶硅鑄錠爐

———416:;

第部分碳化硅單晶生長裝置

———417:;

第部分高頻介質加熱設備

———5:;

第部分電渣重熔爐

———8:。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國電器工業(yè)協(xié)會提出

。

本文件由全國工業(yè)電熱設備標準化技術委員會歸口

(SAC/TC121)。

本文件起草單位江蘇星特亮科技有限公司西安電爐研究所有限公司安徽瑞馳新能源有限公司

:、、、

Ⅲ

GB/T10067417—2023

.

河南天利熱工裝備股份有限公司廈門曉訊新能源科技有限公司成都粵海金半導體材料有限公司

、、、

常州市樂萌壓力容器有限公司河北同光半導體股份有限公司張家港市中亞特種變壓器制造有限公

、、

司西安慧金科技有限公司株洲瑞德爾智能裝備有限公司中山市合碩高品電器有限公司廣東飛成新

、、、、

材料有限公司西安福萊特熱處理有限公司

、。

本文件主要起草人李留臣余維江李琨曹姣謝萍張永武李明科趙然潘燕萍楊昆周正星

:、、、、、、、、、、、

李小杰陳佩嫻金星宇尹丹段春芳楊禎

、、、、、。

Ⅳ

GB/T10067417—2023

.

引言

電熱和電磁處理裝置是國民經濟各工業(yè)部門的重要熱工藝裝備該裝置主要按不同電加熱方式和

。

電磁處理分類也可按不同應用不同工作頻率和不同工作氣氛等分類為了保證該裝置的開發(fā)生產

,、。、、

使用和銷售有序進行促進其技術進步和產品質量的提高更好滿足熱工藝的要求有必要制定該裝置

,,,

的基本技術條件這也為制定其安全和試驗方法標準提供了必要條件在這方面我國已建立了

,。,

電熱和電磁處理裝置基本技術條件系列標準由通用部分及其補充和按上述分類的各專

GB/T10067《》,

用部分組成旨在規(guī)定電熱和電磁處理裝置的產品分類以及在設計制造安全節(jié)能和

。GB/T10067、、、

環(huán)保性能和成套等方面需要滿足的要求并且描述用于判定該要求是否得到滿足的證實方法擬由以下

、,

個部分構成

39。

第部分通用部分目的在于規(guī)定各類電熱和電磁處理裝置的通用技術要求

———1:。。

第部分真空電熱和電磁處理裝置的通用要求目的在于規(guī)定真空電熱和電磁處理裝置

———1101:。

的通用技術要求

。

第部分電弧加熱裝置目的在于規(guī)定電弧加熱裝置的特殊技術要求

———2:。。

第部分大型交流電弧爐目的在于規(guī)定大型交流電弧爐的特殊技術要求

———21:。。

第部分真空重熔電弧爐目的在于規(guī)定真空重熔電弧爐的特殊技術要求

———22:。。

第部分感應電熱裝置目的在于規(guī)定感應電熱裝置的特殊技術要求

———3:。。

第部分中頻無心感應爐目的在于規(guī)定中頻無心感應爐的特殊技術要求

———31:。。

第部分電壓型變頻多臺中頻無心感應爐成套裝置目的在于規(guī)定電壓型變頻多臺中頻無

———32:。

心感應爐成套裝置的特殊技術要求

。

第部分工頻無心感應熔銅爐目的在于規(guī)定工頻無心感應熔銅爐的特殊技術要求

———33:。。

第部分晶體管式高頻感應加熱裝置目的在于規(guī)定晶體管式高頻感應加熱裝置的特殊技

———34:。

術要求

。

第部分中頻真空感應熔煉爐目的在于規(guī)定中頻真空感應熔煉爐的特殊技術要求

———35:。。

第部分感應透熱裝置目的在于規(guī)定感應透熱裝置的特殊技術要求

———36:。。

第部分超導直流感應透熱裝置目的在于規(guī)定超導直流感應透熱裝置的特殊技術要求

———37:。。

第部分間接電阻爐目的在于規(guī)定間接電阻爐的特殊技術要求

———4:。。

第部分網帶式電阻加熱機組目的在于規(guī)定網帶式電阻加熱機組的特殊技術要求

———41:。。

第部分推送式電阻加熱機組目的在于規(guī)定推送式電阻加熱機組的特殊技術要求

———42:。。

第部分強迫對流井式電阻爐目的在于規(guī)定強迫對流井式電阻爐的特殊技術要求

———43:。。

第部分箱式電阻爐目的在于規(guī)定箱式電阻爐的特殊技術要求

———44:。。

第部分真空淬火爐目的在于規(guī)定真空淬火爐的特殊技術要求

———45:。。

第部分罩式電阻爐目的在于規(guī)定罩式電阻爐的特殊技術要求

———46:。。

第部分真空熱處理和釬焊爐目的在于規(guī)定真空熱處理和釬焊爐的特殊技術要求

———47:。。

第部分臺車式電阻爐目的在于規(guī)定臺車式電阻爐的特殊技術要求

———48:。。

第部分自然對流井式電阻爐目的在于規(guī)定自然對流井式電阻爐的特殊技術要求

———49:。。

第部分單晶爐目的在于規(guī)定單晶爐的特殊技術要求

———410:。。

第部分電熱浴爐目的在于規(guī)定電熱浴爐的特殊技術要求

———411:。。

第部分箱式淬火爐目的在于規(guī)定箱式淬火爐的特殊技術要求

———412:。。

第部分實驗用電阻爐目的在于規(guī)定實驗用電阻爐的特殊技術要求

———413:。。

Ⅴ

GB/T10067417—2023

.

第部分工業(yè)寶石爐目的在于規(guī)定工業(yè)寶石爐的特殊技術要求

———414:。。

第部分鋁材退火爐目的在于規(guī)定鋁材退火爐的特殊技術要求

———415:。。

第部分多晶硅鑄錠爐目的在于規(guī)定多晶硅鑄錠爐的特殊技術要求

———416:。。

第部分碳化硅單晶生長裝置目的在于規(guī)定碳化硅單晶生長裝置的特殊技術要求

———417:。。

第部分高頻介質加熱設備目的在于規(guī)定電熱和電化學用等離子體設備的特殊技術要求

———5:。。

第部分工業(yè)微波加熱裝置目的在于規(guī)定工業(yè)微波加熱裝置的特殊技術要求

———6:。。

第部分具有電子槍的電熱裝置目的在于規(guī)定具有電子槍的電熱裝置的特殊技術要求

———7:。。

第部分電渣重熔爐目的在于規(guī)定電渣重熔爐的特殊技術要求

———8:。。

第部分高頻介質加熱設備目的在于規(guī)定高頻介質加熱設備的特殊技術要求

———9:。。

第部分半熱系統(tǒng)目的在于規(guī)定半熱系統(tǒng)的特殊技術要求

———10:。。

第部分電磁處理裝置目的在于規(guī)定電磁處理裝置的特殊技術要求

———11:。。

第部分紅外電熱裝置目的在于規(guī)定紅外電熱裝置的特殊技術要求

———12:。。

本文件和各專用部分根據(jù)通用部分制定針對各類裝置的特點分別對通用部分的有關規(guī)定進行完

,

善和補充

。

Ⅵ

GB/T10067417—2023

.

電熱和電磁處理裝置基本技術條件

第417部分碳化硅單晶生長裝置

:

1范圍

本文件規(guī)定了碳化硅單晶生長裝置的產品分類技術要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸和

、、、、、、

貯存以及訂購與供貨

。

本文件適用于在真空或保護氣氛下采用間接電阻加熱生長碳化硅單晶的電熱裝置采用高頻感

,。

應加熱的生長碳化硅單晶的裝置參照使用

。

本文件適用于物理氣相輸運法碳化硅單晶生長裝置其他方法的碳化硅單晶生長裝置參照使用

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

所有部分