第二章 傳感器的功能材料及加工工藝

第2章傳感器的功能材料及加工工藝2.12.2第2章傳感器的功能材料及加工工藝傳感器使用的材料傳感器的加工工藝2.1傳感器使用的材料表2?1各類(lèi)材料在傳感器中的應(yīng)用情況材料的基本物理知識(shí)2.1.1.1基本粒子元素的電子層結(jié)構(gòu)表2?2鍵性與物性的關(guān)系材料的基本物理知識(shí)2.1.1.3固體的能帶圖2-11在氫分子中δ1S和δ*1S分子軌道的狀態(tài)能量與兩氫核之間距離的關(guān)系曲線圖2?2“金屬”氫的能態(tài)與氫核之間距離的關(guān)系曲線材料的基本物理知識(shí)導(dǎo)體和非導(dǎo)體的能帶圖2?3在金剛石中SP3雜化原子軌道所產(chǎn)生的價(jià)帶和導(dǎo)帶圖導(dǎo)體和非導(dǎo)體的能帶圖2?4金屬，絕緣體和半導(dǎo)體能帶圖導(dǎo)體和非導(dǎo)體的能帶圖2?5晶胞用空間點(diǎn)陣描述導(dǎo)體、半導(dǎo)體和電介質(zhì)導(dǎo)體（金屬和離子導(dǎo)體）敏感材料（2?1）

（2?2）電場(chǎng)使電子加速：平均速度或漂移速度為：電流密度為：（2?3）電導(dǎo)率為：（2?4）導(dǎo)體拳（金晚屬和游離子繪導(dǎo)體翻）敏網(wǎng)感材宅料圖2?勺6金屬午系溫禽度敏迫感元類(lèi)件的區(qū)物理完量變賞換方級(jí)式導(dǎo)體黃、半側(cè)導(dǎo)體鏡和電勝介質(zhì)半導(dǎo)毒體敏耕感材使料由于兔電子丈和空構(gòu)穴都暮影響堡總電梳流，云因此烘式（2-笑4）變貪換成視下面味的形耳式：電介嚴(yán)質(zhì)（2?歪5）半導(dǎo)到體敏裁感材亦料表2?倦3采用厚半導(dǎo)峽體材詢料制魚(yú)作傳倍感器映的例撒子陶瓷盤(pán)敏感余材料表2?蘇4利用振陶瓷矩敏感斧材料濤制作顏傳感撇器的困例子陶瓷薯敏感厚材料陶瓷憂敏感鹿材料物理坊敏感弟陶瓷摸材料陶瓷錫熱敏潮器件陶瓷權(quán)光敏奮電阻陶瓷干壓電遣元件陶瓷耍熱釋味電材龍料物理請(qǐng)敏感謹(jǐn)陶瓷影材料表2?稅5各種所熱釋治電體織的特廢性陶瓷慣敏感駁材料化學(xué)輔敏感芽陶瓷抗材料濕敏發(fā)陶瓷氣敏蝕陶瓷其他冷陶瓷兼材料表2?鎖6主要爭(zhēng)利用系化學(xué)扶現(xiàn)象觀的氧杯化物穩(wěn)載體增金屬取敏感際元件有機(jī)額高分奇子敏啦感材愚料有機(jī)奔敏感赤材料喇的種痰類(lèi)和慮特性表2?鞋7有機(jī)升敏感交材料有機(jī)傭敏感勒材料煩的種平類(lèi)和斬特性表2?怨8利用筍有機(jī)雙材料僅的敏劃感元傭件有機(jī)探敏感傍材料僚的種禾類(lèi)和圾特性2.授1.夾4有機(jī)輕高分永子敏躬感材肉料2.蒸1.裁4.反2有機(jī)工高分籠子濕殖敏材浩料2.番1.柴4.冤3有機(jī)話高分才子氣鑼敏材蟻料2.皆1.烘4.抓4有機(jī)抹高分昆子壓踢電材謝料表2?題9幾種型有代劇表性以的高竄分子搜氣體浪傳感闊器2.腎1.哪5磁性振材料真空興中的燥磁通材量與蠶外加攀磁場(chǎng)爬強(qiáng)度鞠成正殖比：其中截，M是每旅單位中體積夫的磁獸偶極喇矩或孩磁化福強(qiáng)度鬼，為感相對(duì)禿磁導(dǎo)獵率。2-移62-話7圖2?賀7由磁凍疇位卡移和摟定向怎引起銳的鐵鄭磁材龍料的碑磁化2.績(jī)2傳感弓器的騎加工兩工藝結(jié)構(gòu)梢型傳揮感器也的加底工工評(píng)藝圖2?絨8應(yīng)用閱不同筍的加拐工方絕法所孔能得年到的陵加工齒精度結(jié)構(gòu)肺型傳幫感器游的加阿工工拒藝圖2?鵝9懸臂抵梁式通稱重但傳感陶器結(jié)構(gòu)盲型傳耳感器肌的加沈工工冰藝1．彈大性體剪的加占工和案處理2．應(yīng)嘆變計(jì)弊的粘擋貼與陷固化3．組轉(zhuǎn)橋、本布線摩衛(wèi)性忠能檢滴查4．傳莫感器圈的性偵能補(bǔ)誕償與券老化5．防礙潮密逝封工繭藝6．性莫能檢登測(cè)和斯標(biāo)定趨工藝結(jié)構(gòu)尚型傳帳感器未的加崇工工狂藝圖2?劍10電阻強(qiáng)應(yīng)變則式傳貞感器斬的防沙護(hù)密徑封結(jié)稱構(gòu)示納意圖微機(jī)患械加鄭工工形藝微傳滋感器捎與微眼機(jī)電罵系統(tǒng)圖2?梨11核ME儀MS所涉豪及到粉的技面術(shù)領(lǐng)童域微傳援感器玩與微名機(jī)電即系統(tǒng)圖2?驢12啊M憐EM蠶S的應(yīng)厚用微機(jī)螞械加俊工工畝藝2.軍2.瞞2.自2ME狐MS所用袖材料1．單各晶硅味與多懷晶硅圖2?副13單晶跪硅的桿硅胞音及常何用晶王片微機(jī)佩械加假工工逗藝2．氧虜化硅帥與氮味化硅3．金狠屬材搬料4．光管刻膠圖2?閥14光刻且膠用哭于平蟻面光就刻微機(jī)敗械加充工工問(wèn)藝傳統(tǒng)爆超精攀密與華特種患加工罷技術(shù)超精術(shù)密機(jī)珠械加懼工微鉆宴孔加此工微銑蛇削加尊工微細(xì)辭磨削偵（超棒精密漸磨削嘴）微細(xì)吩電火琴花加材工傳統(tǒng)拾超精訂密與標(biāo)特種宜加工徹技術(shù)圖2?茫15線電記極電去火花鑼磨削輪法原哥理示鄙意圖2?賓16采用趨線電高極電肌火花咱磨削狂加工號(hào)的微肚結(jié)構(gòu)微機(jī)隊(duì)械加技工工社藝高能訓(xùn)束微賽機(jī)械尤加工蹈技術(shù)激光技束加磚工電子峰束加屢工電偶子束書(shū)加工圖2?糠17激光狠束加盼工示榮意圖2?或18熱型搖電子混束加斗工示須意微機(jī)舟械加守工工女藝離子劣束加盜工圖2?素19非熱替型電坐子束蓋加工梳示意微機(jī)柔械加呢工工游藝微機(jī)淡電系截統(tǒng)常碗用的映集成推電路參工藝薄膜歸成形氧化圖2?慎20濕氧階氧化答法示諒意微機(jī)兼電系選統(tǒng)常予用的斤集成近電路監(jiān)工藝金屬獲化圖2?鞭21真空訂蒸鍍純法示上意圖2?胸22濺射嶼法示腿意微機(jī)濕電系沸統(tǒng)常喉用的繼集成慢電路旱工藝化學(xué)刮氣相奪淀積圖2?奮23常壓梨化學(xué)漢氣相筋工藝販裝置儲(chǔ)的示碗意圖2?疫24等離覽子化閑學(xué)氣相工渾藝裝蠻置的安示意微機(jī)哪電系轎統(tǒng)常插用的侮集成怠電路觀工藝外延旋涂縮慧法厚膜舟工藝圖2?航25厚膜濫壓力摟傳感醫(yī)器工淹藝流預(yù)程示僅意圖微機(jī)屋電系桌統(tǒng)常司用的瞧集成誰(shuí)電路搞工藝摻雜軟技術(shù)擴(kuò)散柜雜質(zhì)離子嘩注入圖2?質(zhì)26離子揭注入穗機(jī)示巧意圖微機(jī)旺電系降統(tǒng)常辨用的迷集成席電路鎖工藝光刻匠技術(shù)圖2?扮27光刻壞工藝港流程微機(jī)扎電系妖統(tǒng)