無塵室的特性和管理培訓(xùn)課件

無塵室的特性和管理Ⅰ.CleanRoom的特性2無塵室的特性和管理何謂CleanRoom?CleanRoom的定義所謂的CleanRoom是完全沒有灰塵的房間。

也稱做清淨(jìng)室。超高密度集積回路就像操作遺傳因子一樣，對(duì)於在處理細(xì)胞內(nèi)很微小的遺傳因子的地方，環(huán)境條件的品質(zhì)有很大的影響。

如此的地方，環(huán)境中存有一點(diǎn)的灰塵就會(huì)造成問題產(chǎn)生，連以肉眼看不到的灰塵都不能存在。

為了防止灰塵進(jìn)入，從外部開始就要進(jìn)行隔離，要進(jìn)入的人員需在門外將灰塵清除之後才進(jìn)入，且為了在裡面的人員不要產(chǎn)生灰塵需要穿上無塵服，以及為了清除灰塵必須設(shè)置所需要的設(shè)備。3無塵室的特性和管理CleanRoom的六個(gè)原則以下是CleanRoom的六個(gè)原則防止particle的侵入CleanRoom的六個(gè)原則防止particle的累積維持所需的溫濕度及室內(nèi)壓清淨(jìng)的空氣送風(fēng)清除particle的產(chǎn)物防止particle的回收4無塵室的特性和管理

半導(dǎo)體

–晶片製造、處理，PHOTOLITHOGRAPHY,製造

IC晶片

電子機(jī)器

–磁性tape、SHADOWMASK

精密機(jī)械

–火箭零件,鐘錶,軸承,

儀器

光學(xué)機(jī)械

-lens,

直接回路mask,print板,film,

精密印刷

醫(yī)學(xué)

–特殊手術(shù),一般手術(shù),特殊治療,恢復(fù)室,新生兒室,藥劑室

藥品

–注射液，無菌動(dòng)物,普通藥品,調(diào)藥process

食品

–釀造,發(fā)酵,乳製品,

食肉加工,麵糰

農(nóng)林畜產(chǎn)

–姑類栽培,培養(yǎng)成長(zhǎng),養(yǎng)殖CleanRoom的活用領(lǐng)域CleanRoom的活用領(lǐng)域，精密產(chǎn)業(yè)以及需要無菌環(huán)境的產(chǎn)業(yè)。5無塵室的特性和管理清淨(jìng)度換氣

回?cái)?shù)(回/h)Class10020~600Class1,00050~70Class10,00030~40Class100,00020~30CleanRoom的各個(gè)

Class標(biāo)準(zhǔn)的

循環(huán)風(fēng)量以下是依據(jù)CleanRoom清淨(jìng)度的level，以小時(shí)為單位，循環(huán)換氣的回?cái)?shù)6無塵室的特性和管理Room壓力差

(mmAq)其他清淨(jìng)度

Class

CleanRoom20~600CleanRoom

與CleanRoom

走道,SmockRoom50~70CleanRoom

走道,SmockRoom與一般室走道30~40CleanRoom

與一般室20~30CleanRoom的各室之間所需的壓力差以下是CleanRoom內(nèi)部各室之間所需的壓力差7無塵室的特性和管理1feet1feet1feet1cubicfeet有關(guān)CleanRoom的用語(yǔ)※何謂

CleanClass?1立方feet(1cubicfeet,1ft3,CFT)的空氣中

依據(jù)包含

0.5?以上的

最大容許量的

particle數(shù)所形成的清淨(jìng)度

Level.例如)Class100:1cubicfeet空氣中

0.5?以上的particle數(shù)

100個(gè)以下的清淨(jìng)空間8無塵室的特性和管理1.清淨(jìng)(clean):沒有灰塵與污染物之乾淨(jìng)狀態(tài)

2.清淨(jìng)度(Cleanness):就空間的空氣中包含一定量的灰塵與污染物的程度而言

一般指，

標(biāo)示1ft3體積的空氣所包含的灰塵的數(shù)量3.清淨(jìng)等級(jí)(CleannessClass)為了區(qū)別清淨(jìng)室的清淨(jìng)度的規(guī)定4.污染(Contamination):指所有導(dǎo)致工程、產(chǎn)品機(jī)能及信賴性缺陷之物質(zhì)

5.灰塵(Particle):清淨(jìng)室內(nèi)所有存在的灰塵

6.清淨(jìng)室(CleanRoom):清除灰塵的管理，維持乾淨(jìng)的Room

7.無塵服(Smock,CleanRoomGarment):為了不讓人員身體上所產(chǎn)生的灰塵在清淨(jìng)室內(nèi)掉落所穿的衣服。

8.良率(Yield):生產(chǎn)完成的產(chǎn)品中良品所佔(zhàn)的比率9.管理清淨(jìng)度

:清淨(jìng)室的使用者在清淨(jìng)室運(yùn)作中，防止產(chǎn)品與其他物的污染之管理有關(guān)CleanRoom的用語(yǔ)9無塵室的特性和管理10.清淨(jìng)室施工完成狀態(tài)(As-BuiltCleanRoom):清淨(jìng)室可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)，無生產(chǎn)設(shè)備，也沒有作業(yè)人員之狀態(tài)

11.

清淨(jìng)室生產(chǎn)設(shè)備完成狀態(tài)

(At-RestCleanRoom):清淨(jìng)室設(shè)備可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)，有生產(chǎn)設(shè)備但沒有作業(yè)人員之狀態(tài)12.清淨(jìng)室操作狀態(tài)(OperationalCleanRoom):清淨(jìng)室設(shè)備可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)，生產(chǎn)設(shè)備可以開始運(yùn)作，也有作業(yè)人員之狀態(tài)13.清淨(jìng)度Monitoring(CleannessMonitoring):要定期測(cè)定/評(píng)價(jià)清淨(jìng)室內(nèi)的特定位置或是特定空間的清淨(jìng)度14.測(cè)定點(diǎn)

:評(píng)價(jià)清淨(jìng)室內(nèi)的性能時(shí)，所要測(cè)定的清淨(jìng)室的空間位置有關(guān)CleanRoom的用語(yǔ)10無塵室的特性和管理CleanRoom事例奈米pap

CleanRoom半導(dǎo)體工程11無塵室的特性和管理CleanRoom事例手術(shù)房LED照明用半導(dǎo)體CleanRoom12無塵室的特性和管理Class10,000食品公司CleanRoom事例13無塵室的特性和管理CleanRoom的分類CleanRoom的種類，按照室內(nèi)清淨(jìng)度、

氣流pattern、

控管對(duì)象、

天花板高度、

構(gòu)造上的特徵與

CleanRoom的平面規(guī)劃

CleanRoom的清淨(jìng)度

依照CleanRoom的規(guī)格，有

Class1,10,100,1000,10000,100000等分類氣流pattern

室內(nèi)氣流，按照層流分類有層流式與亂流式

控管對(duì)象

專門去除空氣中懸浮灰塵的工業(yè)用

CleanRoom,以及專門去除懸浮微生物的生物CleanRoom，此兩種分類。

天花板高度

天花板高度

3m以下的稱為L(zhǎng)owBay,超過3m稱為HighBay，此兩種分類。CleanRoom的平面規(guī)劃

建築結(jié)構(gòu)體的送風(fēng)設(shè)備是永久性組合稱為

HardWall式,以及另一種的

Unit

式，此兩種分類。14無塵室的特性和管理產(chǎn)業(yè)用

CleanRoom(ICR)有產(chǎn)品品質(zhì)問題與信賴性問題的工程，需要維持清淨(jìng)環(huán)境的管理電子工業(yè)、精密機(jī)械工業(yè)等

因?yàn)榧舛水a(chǎn)業(yè)的發(fā)達(dá)，生產(chǎn)產(chǎn)品時(shí)要求精密化、微小化、高品質(zhì)化與高信賴性。電子工廠、film工廠及精密機(jī)械工廠，在製造生產(chǎn)中因室內(nèi)的

懸浮particle黏附在產(chǎn)品上，而造成產(chǎn)品不良，成為生產(chǎn)合格產(chǎn)品的阻礙因素，因?yàn)閷?duì)產(chǎn)品的信賴性以及生產(chǎn)成本有巨大的影響，工廠全部，或是對(duì)於重要的作業(yè)部分，需要有維持環(huán)境清潔的因應(yīng)。

如此目的的清淨(jìng)空間稱為

IndustrialCleanRoom---即非常嚴(yán)格要求清淨(jìng)的狀態(tài)。15無塵室的特性和管理產(chǎn)業(yè)專用

CleanRoom的清淨(jìng)度以下是依據(jù)產(chǎn)品的精密度所需的環(huán)境清淨(jìng)度產(chǎn)業(yè)清淨(jìng)度VLSI製造Class1~10LSI,IC製造~Class00LSI,IC組合Class1,000~10,000CompactdiscClass100~10,000印刷基版製造Class1,000~10,000磁性

TapeClass100~10,000磁性discClass100~100,000精密gyroClass100~10,000Laser測(cè)試室Class100~10,000精密電力儀器Class100~10,00016無塵室的特性和管理生物專用

CleanRoom

(BCR)抑制菌的擴(kuò)散與滲透所需的空間

CleanRoom

製藥工廠、食品工廠、醫(yī)院手術(shù)房，為了防止產(chǎn)品污染、防止變質(zhì)以及防止患者感染，需要要求幾乎無菌的狀態(tài)。雖然一般的細(xì)菌可以經(jīng)由高性能的過濾器去除，但是病毒

比細(xì)菌還小，所以不容易去除。大部分的細(xì)菌或是病毒是附在懸浮的particle上，所以藉由去除空氣中的particle，就可以將細(xì)菌都清除?？梢越逵勺贤饩€或是鹽化鋰去除空氣中的細(xì)菌，雖然具有殺菌效果，但近來，經(jīng)由高性能的Filter，就可以淨(jìng)化空氣，保持幾乎無菌的狀態(tài)。這就是所謂的抑制菌的擴(kuò)散與滲透的清淨(jìng)空間---BiologicalCleanRoom。17無塵室的特性和管理生物專用

CleanRoom的清淨(jìng)度以下是依據(jù)產(chǎn)業(yè)所需之生物專用

CleanRoom的

清淨(jìng)度分類產(chǎn)業(yè)清淨(jìng)度無菌手術(shù)房Class100TissueBankClass100恢復(fù)室Class100一般手術(shù)房Class10,000~100,000無菌病房Class10,000~100,000無菌動(dòng)物飼育室Class100動(dòng)物飼育室Class10,000~100,000微生物實(shí)驗(yàn)室Class1,000~10,000藥品製造Class1,000~10,000化妝品製造Class100乳品製造Class100

~10,00018無塵室的特性和管理CleanRoom的方式CleanRoom的方式，原則上依照室內(nèi)的氣流可分成Nonlaminarairflow方式以及Laminarairflow方式。依照建築方法，現(xiàn)場(chǎng)施工的設(shè)施建築可分成永久性的HardWall

型與可移動(dòng)的unit型。方式的選定，可藉由check所需要的清淨(jìng)度、運(yùn)轉(zhuǎn)管理、設(shè)備費(fèi)用等來決定。

最近的趨勢(shì)，大多採(cǎi)用以上兩種型式能互相搭配的方式。(例如

:Cleanbench,Cleanbooth等)所需要的空氣清淨(jìng)度CleanRoom方式需要高清淨(jìng)度(Class1,10)垂直層流方式整體需要

Class100垂直/水平層流方式只有上流層需要

Class100水平層流方式一部份需要

Class

100亂流方式(CleanBooth方式的

並用)需要以上以外的清淨(jìng)度亂流方式19無塵室的特性和管理亂流方式

CleanRoom(TurbulentFlow,非單一方向氣流)非層流方式的CleanRoom稱作亂流方式，藉由使用空調(diào)設(shè)備的

HEPAfilter擁有清淨(jìng)的空間。此方式的室內(nèi)氣流是呈漩渦分散，所以在室內(nèi)產(chǎn)生的particle會(huì)漂浮上去稀釋之後排出。

因此，要維持高清淨(jìng)度是不容易，

此清淨(jìng)度，在美國(guó)聯(lián)邦

209B稱為

Class10,000-100,000。

換氣回?cái)?shù)是

20～80回/hr,使用HEPABox或是

BFU(BlowerFilterUnit)

是從空調(diào)機(jī)

MakeUp

的空氣取出，讓維持清淨(jìng)所需的風(fēng)量循環(huán)。此方式的

CleanRoom

在同一的室內(nèi)條件裡，

即使換氣回?cái)?shù)是

80回以上

(例如，100回/hr)

也不會(huì)增加清淨(jìng)度的提升效果。

20無塵室的特性和管理

[特徵]-結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,設(shè)備費(fèi)用價(jià)廉

-按照室內(nèi)的結(jié)構(gòu)與設(shè)備裝置，在天花板設(shè)置

ReturnBox，

在室內(nèi)設(shè)置

Return風(fēng)度，讓空氣循環(huán)

-要擴(kuò)張Room相對(duì)容易(但,在AHU容量範(fàn)圍之內(nèi))

-使用CleanBench，能形成局部的高清淨(jìng)度

-容易發(fā)生渦流或是氣流的混亂，以及會(huì)發(fā)生污染的particle在室內(nèi)循環(huán)的情況。

亂流方式

CleanRoom(TurbulentFlow,非單一方向氣流)21無塵室的特性和管理層流方式

CleanRoom(LaminarFlow,單一方向氣流)垂直層流方式是清淨(jìng)空氣從天花板所裝置的

HEPAfilter層開始往地板的格子面垂直流出。以此方式，在室內(nèi)所產(chǎn)生的particle會(huì)往下流移動(dòng)

，因?yàn)樵谑覂?nèi)排出，所以與非層流方式一樣，particle不會(huì)在室內(nèi)滯留、堆積。因?yàn)橛刑旎ò宓恼彰髌骶咭约笆覂?nèi)的器具等，無法形成完全的層流狀態(tài)，但是卻有能將particle清除乾淨(jìng)的方法，那就是

Class100。

從天花板噴出風(fēng)速是

0.5m/s，換氣回?cái)?shù)是

200-300回/H以上就可以做到。

因?yàn)?/p>

Return的空氣一部份回到空調(diào)，所以要盡可能讓空氣循環(huán)，如此一來也可以降低建築費(fèi)用。

垂直層流方式22無塵室的特性和管理層流方式

CleanRoom(LaminarFlow,單一方向氣流)水平層流方式是從牆壁上所設(shè)置的

HEPAfilter層開始往對(duì)面牆方向，將清淨(jìng)空氣以水平方向流出。水平層流方式的

HEPAfilter層的下流作業(yè)位置上，

雖能擁有Class100的清淨(jìng)度，但是越往下流流動(dòng)，在上流產(chǎn)生的污染物的影響下，會(huì)發(fā)生高濃度的情況。

所以在牆壁面噴出的風(fēng)速

0.5m/s

以及換氣回?cái)?shù)

200-300回/H以上就可以避免。

因此，與垂直層流方式一樣，要常常讓Clean

Room內(nèi)部的空氣循環(huán)。水平層流方式23無塵室的特性和管理SuperCleanRoom_1/6在SuperCleanRoom採(cǎi)用的方式具有之前說明的各種

CleanRoom方式中的基本VerticalLaminarFlow的型態(tài),另外再採(cǎi)用按照空氣的循環(huán)型態(tài)以及溫濕度的控制方式的幾種

System。

近來，國(guó)內(nèi)外最常採(cǎi)用的

SuperCleanRoom方式有

OpenBay方式,FanFilterUnit方式,CleanTunnelModule方式等?；旧?/p>

AllDownFlow方式的一種循環(huán)

Fan(

D.F.U)設(shè)置在

ReturnPlenum

內(nèi)，讓空氣循環(huán),並依照清淨(jìng)度，

適當(dāng)?shù)嘏渲肍ilter與

Blindpanel，以維持清淨(jìng)的空間。在循環(huán)

Fan前後需要設(shè)置吸音設(shè)備以降低噪音及震動(dòng)。

為了抑制內(nèi)部發(fā)熱，要設(shè)置Drycoil

來處理。

對(duì)於導(dǎo)入的外氣，要設(shè)置外氣處理用的空調(diào)機(jī)。控制室內(nèi)到露點(diǎn)溫、濕度為止之後，讓

ReturnPlenum開始運(yùn)作。1.OpenBay方式-變更Layout有其限制。對(duì)於風(fēng)量的變更是有限界，所以清淨(jìng)度的變換有限制

。

需要Fan的吸音設(shè)備。

對(duì)於間歇性的

CleanRoom，要對(duì)應(yīng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間不容易。

施工容易。

循環(huán)

Fan故障時(shí)，整體的風(fēng)速會(huì)降低，導(dǎo)致清淨(jìng)度會(huì)降低。

OpenBay方式的特徵24無塵室的特性和管理SuperCleanRoom_2/625無塵室的特性和管理因?yàn)镕anFilterUnit採(cǎi)用個(gè)別方式的垂直層流型system，所以沒有設(shè)置為了ReturnAir的空調(diào)機(jī)，只有

FFU，進(jìn)行循環(huán)，是一種很經(jīng)濟(jì)的

CleanRoom方式。為了抑制內(nèi)部發(fā)熱，要設(shè)置Drycoil

來處理。

對(duì)於導(dǎo)入的外氣，要另外設(shè)置外氣處理專用的空調(diào)機(jī)。控制室內(nèi)到露點(diǎn)溫、濕度為止之後，讓

ReturnPlenum開始運(yùn)作。2.FFU(FanFilterUnit)方式-可以自由變更Layout。

-可以自由變換清淨(jìng)度。-Filter上部的污染源不可以流入

CleanRoom裡。依照中央集中式管理的風(fēng)速控管與

對(duì)數(shù)控管，對(duì)於「維持管理」會(huì)比較容易。

-按照Unit1，能產(chǎn)生多樣式的氣流。

因?yàn)榈驮胍簦圆恍枰粼O(shè)備，能減少工程費(fèi)用。

-既有的建築物如有適當(dāng)?shù)母叨鹊脑?，就可以裝置設(shè)備

施工期間短-從小規(guī)模

CleanRoom到大規(guī)模

CleanRoom能有多樣化運(yùn)用。FFU(FanFilterUnit)方式特徵SuperCleanRoom_3/626無塵室的特性和管理SuperCleanRoom_4/627無塵室的特性和管理SuperCleanRoom_6/629無塵室的特性和管理SMIF&FIMSSystemSMIF(StandardMechanicalInterFace)&

FIMS(Front-OpeningInterfaceMechanicalStandard)系統(tǒng)，在

整體

CleanRoom當(dāng)中，要求對(duì)露光與蝕刻等裝置之超清淨(jìng)的環(huán)境，藉由一部份空間以

Class1以下維持超清淨(jìng)狀態(tài)，如此能夠大大提升整體

CleanRoom設(shè)備的使用效率。次世代

CleanRoom的設(shè)備會(huì)設(shè)置在各各核心的半導(dǎo)體設(shè)備上，就是所謂的超小型

CleanRoom裝備(MiniEnvironment),組成密閉型晶片容器(Pod/FOUP),密閉型晶片容器開閉裝備(Indexer/Opener),以及移送晶片專用的robot系統(tǒng)

等。SMIF&FIMSSystem-進(jìn)行晶片工程，能最小化空間，藉由維持局部的高清淨(jìng)度，根本性切斷外部環(huán)境所產(chǎn)生的污染

-改善半導(dǎo)體的收益率與

收益性減少設(shè)備與

Running的Cost-維持Chamber內(nèi)氣流的平均分佈

SMIF&FIMSSystem的特徵30無塵室的特性和管理比較各個(gè)CleanRoom方式_1/2項(xiàng)目垂直層流方式水平層流方式亂流方式CleanTubeCleanTunnel清淨(jìng)度Class1~100Class100Class1,000~100,000Class1Class1~100作業(yè)中

清淨(jìng)度作業(yè)人員的影響小上流振動(dòng)對(duì)下流有影響作業(yè)人員會(huì)有影響作業(yè)人員不會(huì)有影響作業(yè)人員的振動(dòng)

影響最小設(shè)備費(fèi)高中低低中運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高中低低中維修容易困難容易困難困難維持管理容易容易容易困難容易擴(kuò)展性困難困難可能性困難容易精密控制為了控管整體室內(nèi)會(huì)稍微不均衡上流振動(dòng)對(duì)下流有影響有不均衡維持高清淨(jìng)度比操作有更高的精密度控管31無塵室的特性和管理項(xiàng)目垂直層流方式水平層流方式亂流方式CleanTubeCleanTunnel系統(tǒng)比較各個(gè)CleanRoom方式_2/232無塵室的特性和管理CleanRoom構(gòu)造要求事項(xiàng)項(xiàng)目要求部分要求內(nèi)容天花板牆壁地板耐荷重性O(shè)重量材料不能損壞，以大型車輛運(yùn)行時(shí)不能掉落耐震性O(shè)OO地震等的振動(dòng)時(shí)，有其安全構(gòu)造,以及不要失去平衡氣密性O(shè)OO對(duì)於內(nèi)部的壓力要維持其氣密性,對(duì)外部灰塵有防止效果的結(jié)構(gòu)耐壓性O(shè)OO對(duì)一般的壓力，不會(huì)變形的結(jié)構(gòu)耐衝擊性O(shè)落下所造成的衝擊，不會(huì)發(fā)生分裂、分解或脆裂

隔熱性O(shè)OO維持溫濕度，沒有結(jié)露問題之隔熱性構(gòu)造遮音性O(shè)OO在內(nèi)外部所產(chǎn)生的聲音不容易穿透的構(gòu)造防火性O(shè)OO依照建築標(biāo)準(zhǔn)法、消防法的構(gòu)造居住性O(shè)OO地板不會(huì)滑，色調(diào)及天花板的高度不會(huì)有壓迫感吸音性O(shè)OO所產(chǎn)生的聲音不會(huì)有回音的構(gòu)造33無塵室的特性和管理34CleanRoom設(shè)置裝備_1/5裝備名稱內(nèi)容PictureAirShower進(jìn)入CleanRoom時(shí)，為了防止外部的污染物質(zhì)流入，要設(shè)置

25m/SEC以上的

清淨(jìng)空氣機(jī)阻斷微塵/

微生物流入

CleanRoom的

CLEANUP裝置。PassBox為了一方面能維持CleanRoom內(nèi)部的清淨(jìng)度，一方面能方便從外部搬進(jìn)與搬出物品的

CLEANUNIT。PASSBOX是

CleanRoom與非

CleanRoom的邊界之設(shè)施，以防止污染空氣的混入。34無塵室的特性和管理裝備名稱內(nèi)容PictureHEPAFilterUnit亂流型

CleanRoom或是

CLEANBOOTH的

CLEANUNIT設(shè)置。

不只有在

CleanRoom的天花板設(shè)置，

擴(kuò)散在四方的UNIT之間

設(shè)置，看起來就變小了。因?yàn)槟芤孕〉脑O(shè)置COVER

大的面積，所以能夠節(jié)省空調(diào)

DUCT與

UNIT的設(shè)置費(fèi)用。設(shè)置FAN，讓室內(nèi)空氣能自行循環(huán)，且能夠訂做在空調(diào)

DUCT設(shè)置具有冷暖房的CLEANUNIT

。

ReliefDamper經(jīng)由維持室內(nèi)的一定壓力，控管空氣的流動(dòng)方向，控制室內(nèi)外以及與鄰近房間的壓力差的機(jī)器，可以防止室外污染空氣污染

CleanRoom。

CleanRoom設(shè)置裝備_2/535無塵室的特性和管理36裝備名稱內(nèi)容PictureCleanLocker(SmockRoom)在要求高清淨(jìng)度的

CleanRoom，因?yàn)橐路奈廴臼莗article與

bacteria

的起源，所以需要維持保管場(chǎng)所的清淨(jìng)度。以更衣室為中心，適當(dāng)配置廁所,作業(yè)鞋,殺菌盒,AIRShower等的

CleanLocker是

CleanRoom裡最能夠抑制particle之重要設(shè)備。CleanUnitCLEANUNIT是

HEPAFilter與

Fan的

送風(fēng)部分，是以Package型所製造的空氣清淨(jìng)機(jī)。

可以維持Class1000，適合實(shí)驗(yàn)室、手術(shù)室、無菌室使用。

考慮到RoomSpace，能夠以最淺的深度製作，最能善用室內(nèi)的活用空間。

CleanRoom設(shè)置裝備_3/536無塵室的特性和管理37裝備名稱內(nèi)容PictureCleanBooth在CleanRoom裡部分要求高清淨(jìng)度(CLASS10-1,000)的區(qū)域使用，有天花板固定式與移動(dòng)式兩種。

AirControlUnit裝置高性能

Filter，傑出的集塵效果與控制溫濕度，是

CleanRoom專用的

恆溫恆濕機(jī)。

CleanRoom設(shè)置裝備_4/537無塵室的特性和管理裝備名稱內(nèi)容PictureCleanBench在局部的空間

Class100以下的空氣是以

0.5m/s風(fēng)速流動(dòng)，維持作業(yè)空間

Class100以下的無塵無菌的狀態(tài)。

氣流水平型

–從作業(yè)空間上方的氣流

向作業(yè)人員的正面水平方向Flow。氣流垂直型

–氣流從作業(yè)面上方垂直

Flow，設(shè)置正面的SlideDoor，以維持內(nèi)部經(jīng)常性壓力

，也可以防止污染的空氣流入。

氣流循環(huán)型

–已經(jīng)Clean的空氣

，作業(yè)時(shí)藉由持續(xù)在下方循環(huán)的TypeHEPAFilter的壽命會(huì)延長(zhǎng)。作業(yè)時(shí)使用，可以防止灰塵產(chǎn)生，但是作業(yè)時(shí)內(nèi)部的溫濕度可能會(huì)上升。CleanRoom設(shè)置裝備_5/538無塵室的特性和管理CleanRoom規(guī)格以ICR(工業(yè)用CleanRoom)的規(guī)格，

1963年制定

美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格

209B(FederalStandard209B)。

除了清淨(jìng)度以外，依據(jù)壓力、氣流速度、溫度、濕度、照度

制定規(guī)格。FS209是1988年的

209D與1992年的

209E數(shù)次變更而成。其他國(guó)家參考

FS209，採(cǎi)用自訂的規(guī)格。在日本

，1?的空氣中包含粒子徑

0.1?以上的粒子數(shù)以

10的平方

來標(biāo)示指數(shù)

(10N/?的

N)

Class

。

關(guān)於1999年發(fā)表清淨(jìng)度的國(guó)際規(guī)格

ISO14644，是邁向統(tǒng)一世界規(guī)格的一步。

參考美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格

FED209E，採(cǎi)用自訂的規(guī)格，1999年

所發(fā)表的ISO14644

制定為世界規(guī)格

39無塵室的特性和管理按照清淨(jìng)度等級(jí)的規(guī)格_美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格依據(jù)GSA(GeneralServicesAdministration)

所制定的美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格，

從209開始到最新的

209E，已經(jīng)有做修訂。

1963年

12月發(fā)表

F.S209,1966年

8月發(fā)表

209A,1973年

4月發(fā)表

209B,1987年

10月發(fā)表

209C,1988年

6月發(fā)表

209D,1992年發(fā)表

209E。以下是聯(lián)邦規(guī)格裡所規(guī)定的

ClassLimit的

定義。

(NA:NotApplication)Class測(cè)定粒徑(?)0.10.20.30.551357.531NA10350753010NA100NA750300100NA1,000NANANA1,000710,000NANANA10,00070100,000NANANA100,000700(粒子數(shù):/ft3)40無塵室的特性和管理清淨(jìng)度測(cè)定規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)