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真空知識及漏率檢查培訓(xùn)CSG2015.06SHENZHEN真空知識及漏率檢查培訓(xùn)CSG2015.06真空:什么是真空??真空-從字面上解釋,就是把一定空間內(nèi)的空氣全部抽空,然而,至今為止,沒有人能成功地做到這一點(diǎn)。根據(jù)科學(xué)試驗(yàn)得出結(jié)論,最高真空也就在10-14torr范圍內(nèi)。這個(gè)結(jié)論是由美國紐約的一家名叫IBMThomasJ.Watson的研究中心,于1976年10月,在一個(gè)溫度降至華氏負(fù)269度的系統(tǒng)中得出的。甚至在如此低的壓力環(huán)境下,每平方厘米仍然存在成千上萬的分子,同時(shí),也測量出空氣的存在。因此,真空的定義是指低于大氣壓的稀簿氣體狀態(tài),通常用760mmHg或1013mbar表示。1958年美國真空協(xié)會定義:如果一個(gè)立方厘米內(nèi)的氣體分子個(gè)數(shù)少于2.5x1019。該狀態(tài)稱之為“真空”。?一個(gè)在給定的空間內(nèi)的氣體狀態(tài)低于一個(gè)大氣壓就稱之為“真空”

真空:什么是真空?真空的歷史真空的歷史真空范圍的劃分真空范圍的劃分真空的單位國際制單位:N/m21N/m2=1Pa=0,01mbar其它單位:mbar1mbar=100PaTorr1Torr=1,33mbarmmHG1mmHG=1Torr=1,33mbarAtmosphere1atm=1013mbarPSI1psi=0,0145mbar%Vacuum1%Vacuum=10mbar務(wù)必明確所用單位!有多種單位都在使用!

真空的單位真空泵?*真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理,基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。?由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用,只有根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。?1)真空泵的抽氣速率(體積流率)------當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí),從實(shí)驗(yàn)罩流過的氣體流量與在實(shí)驗(yàn)罩上指定位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。S=Q/p.(m3/h,l/s)P1V1/T1=P2V2/T2(設(shè)T1=T2,則P1/P2=V2/V1)?2)真空泵的抽氣量----流經(jīng)泵入口的氣體流量。(Pa.l/s)?3)真空泵的極限壓強(qiáng)----泵裝有標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作,在不引入氣體.正常工作的情況下趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。抽速為零時(shí)的壓強(qiáng)真空泵真空泵的用途分類?根據(jù)真空泵的性能,在各種應(yīng)用的真空系統(tǒng)中它可承擔(dān)如下一些工作?主泵----在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的泵。?粗抽泵----從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。?前級泵----用以使另一個(gè)泵的前級壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級壓強(qiáng)以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用?維持泵----在真空系統(tǒng)中,當(dāng)抽氣量很小時(shí),不能有效的利用主要前級泵,為此,在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級泵維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。?增壓泵---裝于高真空泵和低真空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級泵的容量要求的真空泵。真空泵的用途分類真空泵的抽氣范圍真空泵的抽氣范圍關(guān)于真空泵的問題1.有真空泵可以從大氣一直抽到超高真空的嗎?2.羅茨泵可以單獨(dú)使用嗎?3.分子泵可以單獨(dú)使用嗎?4.低溫泵的“再生”是什么?關(guān)于真空泵的問題1.有真空泵可以從大氣一直抽到超高真空的嗎?真空泵之——旋片泵1.旋片泵:真空泵之——旋片泵1.旋片泵:旋片泵的抽氣原理旋片泵的抽氣原理羅茨泵1.圖片羅茨泵1.圖片2.原理:2.原理:3.羅茨泵的類型1.帶旁通閥:3.羅茨泵的類型1.帶旁通閥2.直排大氣型。3.電機(jī)真空密封。4.羅茨泵使用維修保養(yǎng)中的注意點(diǎn)。1)不能大氣啟動。2)加油量。3)等等。2.直排大氣型。分子泵1.圖片:分子泵1.圖片:2.原理2.原理3.分子泵使用中的注意點(diǎn)1.分子泵在正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)絕對不能拔下電纜插頭!

2.要有前級泵。3.分子泵使用中的注意點(diǎn)1.分子泵在正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)絕對不能拔下電螺桿泵1.圖片:螺桿泵1.圖片:2.原理2.原理3.注意點(diǎn)1.無油。2.吹掃。3.注意點(diǎn)1.無油。其它真空泵1.擴(kuò)散泵。2.離子泵。3.分子篩泵。4.鈦泵。5.低溫泵。6.水環(huán)泵。7.往復(fù)泵。其它真空泵1.擴(kuò)散泵。真空檢漏·真空檢漏真空檢漏就是檢測真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過程。真空檢漏·真空檢漏漏氣對鍍膜線生產(chǎn)的影響1.工藝參數(shù)難以調(diào)整。2.工藝重復(fù)性不好。3.理化指標(biāo),超標(biāo)。4.影響均勻性。5.可鋼產(chǎn)品,鋼化出問題。6.脫膜。漏氣對鍍膜線生產(chǎn)的影響1.工藝參數(shù)難以調(diào)整。關(guān)于撿漏的相關(guān)概念1.漏率及其單位:PaL/s。2.最大容許漏率

真空系統(tǒng)漏氣是絕對的,不漏氣是相對的。3.氦氣漏率和空氣漏率空氣的分子量約為29,而氦氣的分子量約為4,經(jīng)過計(jì)算得出:氦氣在穿過上述理想漏孔時(shí),其流速應(yīng)為空氣流速的2.7倍。這就意味著,空氣的最小可測漏氣率是氦氣的最小可測漏氣率的1/2.7。我們可以這樣講:在氦氣條件下所測量的漏氣率是相對保守的數(shù)值,空氣流率不會大于這個(gè)數(shù)值。關(guān)于撿漏的相關(guān)概念1.漏率及其單位:PaL/s。檢漏的方法1.氣泡檢漏:將空氣壓入被檢容器,然后將其浸入水中或者對其可凝表面涂上肥皂液,觀察氣泡確定漏孔位置。2.充壓檢漏法:在被檢件內(nèi)部充入一定壓力的示漏物質(zhì),如果被檢件上有漏孔,示漏物質(zhì)便從漏孔漏出。3.氦質(zhì)譜檢漏儀。4.氨撿漏法。5.高頻火花檢漏器6.用于質(zhì)譜分析的各種質(zhì)譜計(jì)檢漏的方法1.氣泡檢漏:將空氣壓入被檢容器,然后將其浸入水中氦撿漏1.原理:氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),是真空檢漏技術(shù)中靈敏度最高,用得最普遍的檢漏儀器。氦撿漏1.原理:氦質(zhì)譜儀原理圖氦質(zhì)譜儀原理圖原理說明在質(zhì)譜室內(nèi)有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由抑制柵、收集極及高阻組成收集器;第一級放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。

原理說明在質(zhì)譜室內(nèi)有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源氦檢漏工作1.開機(jī)。2.氣體準(zhǔn)備。3.氦氣的壓力。4.靈敏度。5.校準(zhǔn)。6.開始撿漏。7.示漏。8.反應(yīng)時(shí)間。9.清除時(shí)間。10.發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)11.確認(rèn)漏點(diǎn)。氦檢漏工作1.開機(jī)。檢漏案例1.成都A線撿漏。粗檢。材料漏:KF16。氣泡法不漏,就不漏嗎?(工藝氣)精檢。2.天津A撿漏。(檢漏精度)3.成都A地震后,鍍膜線的怪現(xiàn)象。檢漏案例1.成都A線撿漏。對檢漏人員的要求

1.檢漏技術(shù)主要依賴于操作員的技術(shù)和機(jī)敏性,操作員需要極大的耐心來查找是否存在漏孔以及最終定位漏孔。操作員在檢漏過程中必須認(rèn)真細(xì)致。具有高度的責(zé)任心和認(rèn)真的工作態(tài)度;2.具有豐富的檢漏實(shí)踐經(jīng)驗(yàn);3.具有一定的機(jī)械結(jié)構(gòu)、物理、化學(xué)、材料及焊接等方面的知識;4.了解被檢件結(jié)構(gòu)及其運(yùn)行工藝,熟悉所用檢漏方法或儀器的原理及性能;5.掌握所用示漏物質(zhì)的檢漏特性。例如,氦氣輕,采用噴吹法檢漏時(shí),應(yīng)遵守從上至下和從近至遠(yuǎn)的原則(即先從被檢件上部至下部和從靠近檢漏儀順序至遠(yuǎn)離的部位);采用吸槍法檢漏時(shí),應(yīng)遵守從下至上和從近至遠(yuǎn)的原則。但是,鹵素氣體重,除遵守從近至遠(yuǎn)的原則外,在噴吹法和吸槍法中,應(yīng)分別遵守從下至上和從上至下的原則。對檢漏人員的要求1.檢漏技術(shù)主要依賴于操作員的技術(shù)和機(jī)敏性檢漏實(shí)操過程的注意點(diǎn)1.氦氣流量的大小。2.檢漏點(diǎn)隔離原則。3.檢漏次序:采用噴吹法檢漏時(shí),應(yīng)遵守從上至下和從近至遠(yuǎn)的原則。4.確定漏點(diǎn)的耐心。(可重復(fù)性)5.注意避免氦氣的累積。6.檢漏時(shí)鍍膜線最好處于工作狀態(tài)。旋轉(zhuǎn)開、傳動開、加熱開。檢漏實(shí)操過程的注意點(diǎn)1.氦氣流量的大小。換靶后鍍膜線的檢漏部步驟一、陰極1.氦檢。陰極不通水,進(jìn)行氦氣撿漏,(含氦氣加壓撿漏)。2.氣檢。3.水檢。二、鍍膜線1.換靶動過的地方。(蓋板、分子泵管道接口、轉(zhuǎn)動部位)2.整體氦檢。(傳動開啟)換靶后鍍膜線的檢漏部步驟一、陰極真空表對我們檢漏的提示1

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