新型傳感器原理課件

5.4核輻射傳感器5.4.1核輻射傳感的物理基礎(chǔ)

1.放射性同位素原子序數(shù)相同,但原子質(zhì)量數(shù)不同的元素,稱作同位數(shù)。當沒有外因作用時同位數(shù)的原子核會自動在衰變中放出射線。其衰減規(guī)律為

式中J、J0——分別為初始時與經(jīng)過時間t秒后的原子核數(shù)；

λ——衰變常數(shù)（不同放射性同位數(shù)有不同的λ值。上式表明放射性同位數(shù)的原子核數(shù)按指數(shù)規(guī)律隨時間減少，其衰變速度用半衰期表示。5.4核輻射傳感器5.4.1核輻射傳感的物理基礎(chǔ)式中J12.核輻射

放射性同位素衰變時，放射出具有一定能量和較高速度的粒子束或射線的放射性現(xiàn)象稱為核輻射。核輻射的方式主要有四種:α輻射、輻射、γ輻射和X輻射等。放出來的射線主要有α射線、β射線、γ射線和X射線。α、β射線分別是帶正、負電荷的高速粒子流；γ射線不帶電，是從原子核內(nèi)部放射出來的以光速運動的光子流；X射線是原子核外的內(nèi)層電子被激發(fā)而放射出來的電磁波能量。3.核輻射與物質(zhì)的相互作用

1）電離作用

具有一定能量的帶電粒子在穿透物質(zhì)時，在它們經(jīng)過的

2.核輻射2

路程上會產(chǎn)生電離作用，形成許多電子對。電離作用是帶電粒子和物質(zhì)相互作用的主要形式。一個粒子在每厘米路程上生成離子對的數(shù)目稱為比電離。帶電粒子在物質(zhì)中穿行時，能量耗盡前所經(jīng)過的直線距離稱為射程。

在輻射的電離作用下，每秒中產(chǎn)生的離子對的總數(shù)，即離子對形成的頻率可由下式表示：式中:為帶電粒子的能量;為離子對的能量；為輻射源的強度；為輻射源強度為1居里時，每秒鐘放射出的粒子數(shù)。利用上式可以測量氣體的密度等。路程上會產(chǎn)生電離作用，形成許多電子對。電離作用是帶電32）核輻射的吸收、散射和反射

α、β、γ射線在穿透物質(zhì)時，粒子或射線的能量將按下述關(guān)系式衰減：式中:、分別為射線穿透物質(zhì)前、后的輻射強度；為穿透物質(zhì)的厚度；為物質(zhì)的密度；為物質(zhì)的質(zhì)量吸收系數(shù)?？捎糜跍y量物質(zhì)的厚度。2）核輻射的吸收、散射和反射式中:、分45.4.2核輻射傳感器的分類1.電離室

圖5.1為電離室示意圖。電離室兩側(cè)設(shè)有二塊平行極板，對其加上極化電壓E使二極板間形成電場。當有粒子或射線射向二極板間空氣時，空氣分子被電離成正、負離子。帶電離子在電場作用下形成電離電流，并在外接電阻R上形成壓降。測量此壓降值即可得核輻射的強度。電離室主要用于探測α、β粒子，它具有堅固、穩(wěn)定、成本低、壽命長等優(yōu)點，但輸出電流很小。圖5.1電離室示意圖5.4.2核輻射傳感器的分類1.電離室圖5.1電離室5

2.氣體放電計數(shù)管

圖5.2所示，正離子鞘到達陰極時得到一定的動能，能從陰極打出次級電子。由于此時陽極附近的電場已恢復(fù)，次級電子又能再一次產(chǎn)生正離子鞘和電壓脈沖，從而形成連續(xù)放電。若在計數(shù)管內(nèi)加入少量有機分子蒸汽或鹵族氣體，可以避免正離子鞘在陰極產(chǎn)生次級電子，而使放電自動停止。圖5.2氣體放電計數(shù)管

2.氣體放電計數(shù)管

圖5.2所示，正離子6氣體放電計數(shù)管的特性曲線如圖5.3所示。圖中I1、I2代表入射的核輻射強度，I1＞I2。由圖可見，在相同外電壓U時不同輻射強度將得到不同的脈沖數(shù)N。氣體放電計數(shù)管常用于探測β粒子和γ射線。圖5.3特性曲線氣體放電計數(shù)管的特性曲線如圖5.3所示。圖中I1、I73.閃爍計數(shù)器當核輻射進入閃爍晶體時，晶體原子受激發(fā)光，透過晶體射到光電倍增管的光陰極上，根據(jù)光電效應(yīng)在光陰極上產(chǎn)生的光電子在光電倍增管中倍增，在陽極上形成電流脈沖，即可用儀器指示或記錄。圖5.4閃爍計數(shù)器示意圖3.閃爍計數(shù)器當核輻射進入閃爍晶體時，晶體原85.4.2核輻射傳感器的應(yīng)用1.核輻射流量計圖5.5核輻射氣體流量計圖5.6核輻射測厚儀2.核輻射在線測厚儀5.4.2核輻射傳感器的應(yīng)用1.核輻射流量計93核輻射物位計4.核輻射探傷儀圖5.7核輻射物位計示意圖圖5.8核輻射探傷儀a)工作框圖b)特性曲線1—被測管道2—放射源3—移動機構(gòu)4—焊縫3核輻射物位計4.核輻射探傷儀圖5.7核輻射物位計示105.5光纖傳感器5.5.1光學(xué)纖維的結(jié)構(gòu)和基本原理

1光纖基本結(jié)構(gòu)

光纖呈圓柱形，它由玻璃纖維芯(纖芯)和玻璃包皮(包層)兩個同心圓柱的雙層結(jié)構(gòu)組成。纖芯位于光纖的中心部位，光主要在這里傳輸。纖心折射率n1比包層折射率n2稍大些．兩層之間形成良好的光學(xué)界面，光線在這個界面上反射傳播。

圖5.10實際單根光纖的基本結(jié)構(gòu)1—光纖纖芯2—光纖包層3—塑料涂覆層4—松套管5—Kevlar繩6—聚乙烯護套圖5.9光纖的基本結(jié)構(gòu)和導(dǎo)光原理5.5光纖傳感器5.5.1光學(xué)纖維的結(jié)構(gòu)和基本112光纖傳感器結(jié)構(gòu)原理及分類

1）結(jié)構(gòu)原理

以電為基礎(chǔ)的傳統(tǒng)傳感器是一種把測量的狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y的電信號的裝置。它的電源、敏感元件、信號接收和處理系統(tǒng)以及信息傳輸均用金屬導(dǎo)線連接，見圖5.11。光纖傳感器則是一種把被測量的

狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y的光信號的裝

置。由光發(fā)送器、敏感元件(光纖或非光纖的)、光接收器、信號處理系統(tǒng)以及光纖構(gòu)成，見圖5.12。圖5.11傳統(tǒng)傳感器圖5.12光纖傳感器2光纖傳感器結(jié)構(gòu)原理及分類1）結(jié)構(gòu)原理圖5.112

2）光纖傳感器的分類

光纖分類纖芯和包層性質(zhì)折射率分布傳輸模式玻璃塑料階躍折射型梯度折射型多模光纖單模光纖按照材料性質(zhì)分類:

2）光纖傳感器的分類

光纖分類纖芯和包層性質(zhì)折射率分布傳輸13按照功能分類:類型功能型非功能型相位調(diào)制型光強調(diào)制型偏振態(tài)調(diào)制型光的傳輸回路傳輸光調(diào)制型反射光調(diào)制型單模光纖傳光作用敏感元件按照功能分類:類型功能型非功能型相位調(diào)制型光強調(diào)制型偏振態(tài)調(diào)145.5.2強度調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)

利用被測對象的變化引起敏感元件的折射率、吸收或反射等參數(shù)的變化，而導(dǎo)致光強度變化來實現(xiàn)敏感測量的傳感器。有利用光纖的微彎損耗；各物質(zhì)的吸收特性；振動膜或液晶的反射光強度的變化；物質(zhì)因各種粒子射線或化學(xué)、機械的激勵而發(fā)光的現(xiàn)象；以及物質(zhì)的熒光輻射或光路的遮斷等來構(gòu)成壓力、振動、溫度、位移、氣體等各種強度調(diào)制型光纖傳感器。

優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單、容易實現(xiàn)，成本低。缺點：受光源強度波動和連接器損耗變化等影響較大5.5.2強度調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)15

實例1：RIMFOS的工作原理圖如圖5.13所示。光源S發(fā)出的光經(jīng)過發(fā)送光纖照射到反射面，反射光再進入接收光纖，最后輸出由光電探測器D接收。當反射面相對于光纖端面的距離d發(fā)生變化時，反射回接收光纖的光強也會發(fā)生變化，在其它參數(shù)固定不變的情況下，探測器接收到的光功率Pr大小取決于距離d。圖5.13RIM-FOS的工作原理圖實例1：RIMFOS的工16實例2：

圖5.14所示的透射式，又稱遮光式。發(fā)射光纖與接收光纖對準，光強度調(diào)制信號加在移動的遮光板上，或直接移動接收光纖，使接收光纖只能收到發(fā)射光纖發(fā)出的部分光，從而實現(xiàn)光強調(diào)制。圖5.15。遮光屏是由等寬度、交替排列的透明區(qū)和非透明區(qū)的光柵組成，其中一支為固定光柵，另一支為可移動光柵。在此遮光屏的空間周期內(nèi)，光的透射率從50％（兩屏完全重疊）變到零。圖5.14透射式光強調(diào)制結(jié)構(gòu)示意圖圖5.15光柵遮光屏透射式強度調(diào)制結(jié)構(gòu)實例2：圖5.14所示的透射式，又稱遮光式。175.5.3相位調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)

其基本原理是利用被測對象對敏感元件的作用，使敏感元件的折射率或傳播常數(shù)發(fā)生變化，而導(dǎo)致光的相位變化，使兩束單色光所產(chǎn)生的干涉條紋發(fā)生變化，通過檢測干涉條紋的變化量來確定光的相位變化量，從而得到被測對象的信息。通常有利用光彈效應(yīng)的聲、壓力或振動傳感器；利用磁致伸縮效應(yīng)的電流、磁場傳感器；利用電致伸縮的電場、電壓傳感器以及利用光纖賽格納克（Sagnac）效應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角速度傳感器（光纖陀螺）等。這類傳感器的靈敏度很高。但由于須用特殊光纖及高精度檢測系統(tǒng)，因此成本高。5.5.3相位調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)其基本原理是利18

1光纖邁克爾遜干涉儀2光纖馬赫曾德干涉儀圖5.16邁克爾遜干涉儀的結(jié)構(gòu)圖圖5.17馬赫曾德干涉儀結(jié)構(gòu)圖1光纖邁克爾遜干涉儀2光纖馬赫曾德干涉儀圖5.16195.5.4偏振調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)1.光纖偏振調(diào)制的常用物理效應(yīng)---克爾效應(yīng)

如圖5.18所示，一個有平行玻璃窗的小盒稱為克爾盒內(nèi)封裝著一對平行板電極，兩偏振片的透振方向相互垂直。當電極間加上適當大小的電場時，就有光線透過正交的偏振片，這是因為克爾盒在強電場的作用下變?yōu)殡p折射物質(zhì)，而使進入其中的光分解為

尋常光和異常光，使它們之間

產(chǎn)生附加相位差，從而使透射

光一般成為橢圓偏振光。這個

現(xiàn)象稱之為克爾效應(yīng)。圖5.18克爾盒5.5.4偏振調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)1.光纖偏振調(diào)制的常用202.光纖偏振調(diào)制機理的典型應(yīng)用1）泡克爾斯效應(yīng)光纖傳感應(yīng)用（光纖型）圖5.19塊狀光纖電壓傳感器如圖5.19在外加電壓V的作用下，各向同性的電光晶體變?yōu)殡p軸晶體，產(chǎn)生人工雙折射。雙折射兩光束的相位差與外加電壓V成正比。下式中：λ為入射光波長；為電光晶體的折射率；γ為電光晶體的電光系數(shù)；l為電光晶體中的通光長度；d為施加電壓方向的電光晶體厚度；V為晶體的半波電壓。2.光纖偏振調(diào)制機理的典型應(yīng)用1）泡克爾斯效應(yīng)光21傳統(tǒng)型：如圖5.20集成光纖電壓傳感器的理論基礎(chǔ)仍然是泡克耳斯效應(yīng)，但它是利用平面光無源調(diào)制器件進行光調(diào)制。圖5.20傳統(tǒng)集成光學(xué)電壓傳感器結(jié)構(gòu)示意圖傳統(tǒng)型：如圖5.20集成光纖電壓傳感器的理論基礎(chǔ)仍然222)克爾效應(yīng)光纖偏振傳感應(yīng)用

如圖5.21所示，同泡克耳斯效應(yīng)一樣，克爾效應(yīng)也被用來進行電壓、電場強度的測量，下面介紹一種激光－克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)。由于此激光—克爾效應(yīng)高壓測量系統(tǒng)具有較好的光電轉(zhuǎn)換關(guān)系，比較接近線性關(guān)系，而且響應(yīng)度很快，不僅用于工頻和沖擊場的測量，而且用于直流場的測量。圖5.21激光—克爾效應(yīng)光路及

測量系統(tǒng)2)克爾效應(yīng)光纖偏振傳感應(yīng)用如圖5.21所23

3）法拉第效應(yīng)的光纖偏振傳感應(yīng)用實例1：光纖電流傳感器如圖5.22，由安培環(huán)路定律，距導(dǎo)線軸心為R處的磁場為：當平面偏振光在強度為H的磁場作用下，線偏振光在物質(zhì)中通過的距離時電矢量E旋轉(zhuǎn)角為：圖5.22光纖電流傳感器結(jié)構(gòu)示意圖其中，V是物質(zhì)的費爾德常數(shù)。

3）法拉第效應(yīng)的光纖偏振傳感應(yīng)用實例1：光纖電流傳感24繞在導(dǎo)線上的光纖長度為：代入上式得：可見，通過光纖的光偏振面偏轉(zhuǎn)角與被測電流及光纖的匝數(shù)成正比，與光纖圈半徑大小無關(guān)。圖5.23所示，設(shè)載流導(dǎo)線中的電流時，線偏振光振動方向在檢偏器處的與Y軸平行，檢偏器P（普通檢偏器）的方位角為；時的方位為，在P上的投影（即光探測器的輸出信號強度）為，則：圖5.23檢偏器設(shè)置方向原理圖繞在導(dǎo)線上的光纖長度為：代入上式得：可見，通25

在附近，時檢測的靈敏度最高。也就是說，為了獲得較高的靈敏度，檢偏器的方位應(yīng)與時到達檢偏器的線偏振光的振動方向成45°角。此時：

通常很小，所以有

，由此可見，與成線性關(guān)系如上圖5.23所示：新型傳感器原理ppt課件26

實例2：法拉第效應(yīng)磁場測量傳感器

圖5.24法拉第效應(yīng)測量脈沖磁場的裝置原理圖

實例2：法拉第效應(yīng)磁場測量傳感器

圖5.24法拉第效應(yīng)274）彈光效應(yīng)的光纖偏振傳感應(yīng)用圖5.25為一典型的彈光效應(yīng)光纖壓力傳感器，設(shè)入射光通過起偏器和彈光晶體后的瓊斯矢量為：圖5.25彈光效應(yīng)壓力傳感器入射光通過1/4波片，再經(jīng)過偏振分光棱鏡后的透射光功率為：4）彈光效應(yīng)的光纖偏振傳感應(yīng)用圖5.25為一典型的28

其中為通過起偏器P后的光功率，設(shè)為光源功率，為從光源發(fā)出的光到分束棱鏡入射面的傳輸損耗系數(shù)，

為從分束棱鏡出射面到探測器D的傳輸損耗系數(shù)，為探測器D的響應(yīng)度，則探測器D輸出的光電流可表示為：當時：將代入上式中，得：光電流和壓強具有線性關(guān)系，在各參數(shù)已知時，可測出外界壓強。其中為通過起偏器P后的光功率，設(shè)為光源功率，295.5.5頻率調(diào)制型光纖傳感技術(shù)頻率調(diào)制型是一種利用單色光射到被測物體上反射回來的光的頻率發(fā)生變化來進行監(jiān)測的傳感器。有利用運動物體反射光和散射光的多普勒效應(yīng)的光纖速度、流速、振動、壓力、加速度傳感器；利用物質(zhì)受強光照射時的喇曼散射構(gòu)成的測量氣體濃度或監(jiān)測大氣污染的氣體傳感器；以及利用光致發(fā)光的溫度傳感器等。5.5.5頻率調(diào)制型光纖傳感技術(shù)頻率調(diào)制型是一30實例1：血液流速測量實例2：振動測量圖5.26血液流速檢測工作原理圖圖5.27激光光纖多普勒測振系統(tǒng)實例2：振動測量圖5.26血液流速檢測工作原理圖圖5.315.5.6波長調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)波長調(diào)制光纖傳感器主要是利用傳感探頭的光頻譜特性隨外界物理量變化的性質(zhì)來實現(xiàn)的。此類傳感器多為非功能型傳感器。圖5.28波長調(diào)制型光纖傳感器的基本原理5.5.6波長調(diào)制型光纖傳感器技術(shù)波長調(diào)制光纖傳321光纖PH值探測技術(shù)這種技術(shù)利用化學(xué)指示劑對被測溶液的顏色反應(yīng)來測量溶液的pH值.圖5.29光纖PH值探測技術(shù)1光纖PH值探測技術(shù)這種技術(shù)利用化學(xué)指示劑對被測溶液的顏色332.光纖熒光探測技術(shù)

圖5.30光纖熒光測溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

上述系統(tǒng)包括三個部分：光學(xué)系統(tǒng)、光纖探頭和信號處理系統(tǒng)。此測量系統(tǒng)采用稀土熒光材料作為光纖探頭，其激勵光譜和熒光光譜如圖5.31所示，通過測量源于不同激發(fā)態(tài)的兩條譜線（540nm和630nm）的發(fā)光強度，就可以從光強比導(dǎo)出被測溫度。圖5.31熒光物質(zhì)激勵光譜與熒光光譜2.光纖熒光探測技術(shù)343.光纖黑體輻射探測技術(shù)

通過測量物體的熱輻射能量確定物體表面溫度是非接觸式測溫技術(shù)。物體的熱輻射能量隨溫度提高而增加。對于理想“黑體”輻射源發(fā)射的光譜能量可用熱輻射的基本定律之一普朗克(Plank)公式表述.所謂“黑體”、就是能夠完全吸收入射輻射，并具有最大發(fā)射率的物體。3.光纖黑體輻射探測技術(shù)通過測量物體的熱輻射35圖5.32是藍寶石光纖傳感系統(tǒng)的測溫原理，當傳感頭置于待測溫場中時，由于傳感頭熱容小，能迅速與待測溫場達到熱平衡，腔體輻射的能量經(jīng)石英光纖傳給光電檢測系統(tǒng)，通過檢測光電信號便能確定溫場的溫度。圖5.32藍寶石高溫光纖傳感系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖5.33光電探測器相對光譜靈敏度圖5.32是藍寶石光纖傳感系統(tǒng)的測溫原理，當傳感頭置于待測溫365.5.7分布式光纖傳感技術(shù)

分布式光纖傳感技術(shù)就是應(yīng)用光纖幾何上的一維特性進行測量的技術(shù)，它把被測量作為光纖位置長度的函數(shù)，可以在整個光纖長度上對沿光纖幾何路徑分布的外部物理參量進行連續(xù)的測量。

分布式光纖傳感分為兩類：1）以光纖的后向散射光或前向散射光損耗時域檢測技術(shù)為基礎(chǔ)的光時域分布式。2）以光波長檢測為基礎(chǔ)的波域分布式。5.5.7分布式光纖傳感技術(shù)分布式光纖傳感技術(shù)就是應(yīng)用371.基于背向瑞利散射的分布式光纖傳感技術(shù)

光纖中的光散射主要包括瑞利散射（RayleighScattering）、拉曼散射（RamanScattering）和布里淵散射（BrillouinScattering）三種類型的光散射。在利用后向瑞利散射的光纖傳感技術(shù)中，一般采用光時域反射（OTDR）來實現(xiàn)被測量的空間定位，典型傳感器的結(jié)構(gòu)如圖5.33所示。圖5.33基于背向瑞利散射的分布式光纖傳感系統(tǒng)1.基于背向瑞利散射的分布式光纖傳感技術(shù)光纖中的光散382.基于拉曼散射的分布式光纖傳感技術(shù)圖5.34基于拉曼散射的分布式光纖溫度傳感器2.基于拉曼散射的分布式光纖傳感技術(shù)圖5.34基于拉曼393.基于前向傳輸模耦合的分布式光纖傳感技術(shù)

該傳感器的一般形式是，光的入射與探測分別處于光纖的兩端。如果傳感光纖支持不同傳播速度的兩種傳輸模，那么在一定外界條件的作用下，光纖本征傳輸模的一部分能量就會耦合到另一傳輸模中去。因此在光纖另一端輸出的耦合模的強度就能反映出被測量的大小，兩傳輸模之間的延遲時間則反映出耦合點的位置。3.基于前向傳輸模耦合的分布式光纖傳感技術(shù)該傳感器的404.基于布里淵散射的分布式光纖傳感技術(shù)1）基于布里淵光時域反射（BOTDR）技術(shù)的分布式光纖傳感技術(shù)：圖5.35基于BOTDR的分布式光纖傳感系統(tǒng)4.基于布里淵散射的分布式光纖傳感技術(shù)1）基于布里淵光時域41傳統(tǒng)方法測量布里淵譜線是利用法布里－珀羅干涉儀，但由于干涉儀工作不穩(wěn)定且自發(fā)布里淵散射信號相當微弱（比瑞利散射約小兩個數(shù)量級）檢測比較困難，因此，測得的布里淵頻移往往不夠準確。改進相干檢測方法得到了相干自外差BOTDR系統(tǒng)，其原理圖示于圖5.37。圖3.37相干自外差BOTDR系統(tǒng)原理框圖傳統(tǒng)方法測量圖3.37相干自外差BOTDR系統(tǒng)原422）基于布里淵光時域分析（BOTDA）技術(shù)的分布式光纖傳感技術(shù)

當兩束泵浦光在光纖中反向傳播，并且二者的頻差等于布里淵頻移時，弱的泵浦信號將被強的泵浦信號放大，稱之為布里淵受激放大作用。BOTDA技術(shù)便應(yīng)用了這一原理，采用兩個光源分別作為泵浦脈沖光和探測連續(xù)光，其信號可以是布里淵增益信號，也可以是布里淵損耗信號。其基本框圖如圖5.38所示。圖5.38基于BOTDA的分布式光纖傳感系統(tǒng)框圖2）基于布里淵光時域分析（BOTDA）技術(shù)的分布式光纖傳感技433）基于布里淵光時域分析技術(shù)（BOFDA）分布式光纖傳感技術(shù)

基于布里淵頻域分析技術(shù)（BOFDA）的分布式光纖傳感技術(shù)是由德國D.Garus等人提出的一種新型的分布式光纖傳感技術(shù)，實驗系統(tǒng)基本框圖如圖5.39所示。圖5.39基于BOFDA的分布式光纖傳感系統(tǒng)3）基于布里淵光時域分析技術(shù)（BOFDA）分布式光纖傳感技術(shù)445.6微機電傳感器

傳感器微型化，是當今傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向之一，也是微機械電子（微機電）系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanicalSystems,MEMS）技術(shù)發(fā)展的必然結(jié)果。MEMS技術(shù)，是當前蓬勃發(fā)展的前沿技術(shù)，微傳感器是目前最為成功、最具有實用性的微機械電子系統(tǒng)裝置。主要從三個層面介紹：5.6.1基礎(chǔ)理論在微機電系統(tǒng)中，涉及多種基礎(chǔ)理論方面的研究。包括微機械學(xué)、微電子學(xué)、微流體力學(xué)、微熱學(xué)、微摩擦學(xué)、納米生物學(xué)等。在具體的微機電系統(tǒng)中，需要參考物理參數(shù)的關(guān)系式及尺寸效應(yīng)（見課本296頁表5-4）。5.6微機電傳感器傳感器微型化，是當455.6.2基礎(chǔ)技術(shù)5.6.2基礎(chǔ)技術(shù)465.6.3幾種典型的微機電感器

如上圖所示：該加速度計有一個與兩端固定的梁帶動中央的質(zhì)量塊構(gòu)成，質(zhì)量塊的位移由其上下金屬電極的電容信號讀出。該系統(tǒng)中的串聯(lián)電容為：圖5.40電容式硅微加速度計截面圖1.力微傳感器5.6.3幾種典型的微機電感器