半導體IC切割SSS培訓教材課件

SSS培訓教材SSS培訓教材1第一章V2Handler的各部分機械調(diào)節(jié)的方法第一章V2Handler的各部分機械調(diào)節(jié)的方法2按下E-Stop，轉(zhuǎn)動Turret,檢查運動順序是否正確：外環(huán)下內(nèi)環(huán)下外環(huán)上內(nèi)環(huán)上

確定吸嘴的位置，在RejectBoat,GoodBoat以及Orientater處的位置是否在正中間。OrientatorRejectBoatGoodBoatSawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整按下E-Stop，轉(zhuǎn)動Turret,檢查運動順序是否正確：O38個吸嘴是否在同一個高度

方法：在XYTable上面確定一個固定點，轉(zhuǎn)動Turret,看每一個吸嘴接觸定點的高度是否相同，調(diào)節(jié)上方頂桿和桿套，選取高度平均值，使各吸嘴處于同一高度。檢查吸嘴在XYTable,RejectBoat,GoodBoat以及Orientater處的高度是否滿足要求：在XYTable上面放置一個Unit,如圖所示吸嘴UnitXYTableSawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整8個吸嘴是否在同一個高度在XYTable上面放置一個Uni4Orientator位置的高度標準：RejectBoat,GoodBoat上面高度標準：SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整Orientator位置的高度標準：RejectBoat,5檢查XYTable在XY軸向的平行度：固定一個吸嘴，轉(zhuǎn)動XYTable在X,Y軸向的馬達，移動XYTable檢查GoodArm在IndexTray和GoodBoat上面的高度，以在IndexTray上的高度為基準；RejectArm在RejectTray和RejectBoat上面的高度，以RejectTray上面的高度為基準。Turret速度設定：舊機器——50~100，新機器——100~120SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整檢查XYTable在XY軸向的平行度：檢查GoodAr6GoodBoat——802sensor,RejectBoat——801sensor

調(diào)節(jié)時Boat必須在Arm的正下方GoodBoatSensorSensorUnitArm2檢查Arm2Gripper和Carrier是否在同一個平面；跑機過程中檢查Gripper是否變形；Arm2在XYTable的馬達位置，Retainer活動順暢；Arm2在Flipper,Wash的位置是否正確，調(diào)節(jié)氣閥，使上下運動力度再合適的范圍之內(nèi)；SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整GoodBoat——802sensor,RejectB7Washing&Drying:Washing沖洗次數(shù)為3~6次，速度為80mm/sDrying烘烤次數(shù)為8~10次，速度為60mm/s,溫度設定為2~3若在正常設定下發(fā)現(xiàn)不能清洗干凈不能烘干，則必須檢查如下：清洗不干凈：檢查上下噴嘴是否堵塞；檢查高壓水壓力狀況；Carrier在Start,End的位置是否正確清洗不干凈：檢查上下噴嘴是否堵塞；檢查壓縮空氣的壓力；加熱泵是否工作；Carrier在Start,End的位置是否正確SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整Washing&Drying:清洗不干凈：檢查上下噴嘴是8發(fā)現(xiàn)鏈條活動常：檢查前后導矸是否平行；導桿前后距離太近導致鏈條過長刮到Wash底部；連軸器松動導致位置變化；Carrier托盤是否松動，檢查軸套是否破損，及時更換；長軸是否變形Flipper檢查檢查Flipper在Work,Home狀態(tài)下是否平衡，調(diào)節(jié)連軸器，使之達到平衡；Carrier兩頭的夾子是否松動，固定架子的桿是否松動；檢查Flipper在翻轉(zhuǎn)是是否順暢；檢查定位針是否磨損；調(diào)節(jié)氣閥大小，使之翻轉(zhuǎn)的動作平緩SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整發(fā)現(xiàn)鏈條活動常：檢查前后導矸是否平行；Flipper檢查檢查9Leadin檢查：檢查Sensor高度，皮帶是否磨損導致Substrate不能到位，檢查軌道寬度Arm1檢查檢查Arm1Left在Leadin位置是否平行，定位針是否破損，保證在吸料時，Substrate完好；檢查Arm1Left在Chucktable位置，檢查上下平面是否平行，確保放料位置正確；檢查Arm1Right在Chucktable位置，檢查平面度，下降高度不能太低，確保位置正確；方法：手動使Carrier在Chucktable位置下降到底，比較Chucktable與Carrier兩個平面，以Chucktable平面為基準，同時移動Arm1Right到一個定位銷與Chucktable平面平行，再檢查另外一個定位銷是否與Chucktable平面平行，若不平行，松開中間四個螺絲進行調(diào)整。SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整Leadin檢查：Arm1檢查檢查Arm1Left10檢查Arm1Right在Flipper位置:確保位置正確，當Arm1Right下降抓Carrier時，不能太低，剛好能抓到位最好檢查整機效率Saw機速度60Wash速度80，次數(shù)3-6Dry速度60，次數(shù)8-10Turret速度80-100在跑機時，觀察機器狀態(tài)，協(xié)調(diào)各參數(shù)，若發(fā)現(xiàn)異常，及時處理SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機械位置調(diào)整檢查Arm1Right在Flipper位置:檢查整機效率11SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Saw機機械位置調(diào)整鏡頭（7.4）確定鏡頭聚焦的零點，一般在Rubber孔邊緣面上，低倍鏡頭聚焦范圍在高倍鏡頭聚焦的范圍內(nèi)，達到High/Low拒交相一致；任何原因拆開鏡頭，安裝時要按照原次序安裝，有空襲是要涂上密封膠，保證鏡頭十字架與Substrate十字架平行；若發(fā)現(xiàn)鏡頭臟污時應及時清潔，用凈化紙棉簽與酒精清洗。斷片處理殘片切割采用半自動切割方式（3.4），在CH3方向，只能在切兩刀之后再重新對刀第一刀，第二刀和第三刀的距離不同???SawSortSystemTechnicianTra12SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Saw機機械位置調(diào)整保證切割殘片時，抬刀高度和貼Marking紙的厚度一般為5張，切完時最下面一層紙應不被切透。（4.1.2）Z-AxisAutoDownLength20mmDown0.01mm注意：每一次NCS測高報警時，應清理Sensor直至測高完成，發(fā)現(xiàn)損壞請及時更換WorkThickness1.1mmFocusStroke2.5mmFocusSetup0.05mm2.5mm1.1mm做PR時，θ-Level設置為45%~50%。十字架邊緣要清晰，斜光一般不要求太強，一臺機器的PR應該包括幾種不同型號的Substrate.SawSortSystemTechnicianTra13第二章?lián)Q刀程序第二章?lián)Q刀程序14退出主菜單.進入換刀菜單.如圖退出主菜單.進入換刀菜單.如圖15按F1進入換刀界面按F1進入換刀界面16二:用換刀工具把新刀換上.(重要部分,需現(xiàn)場指導和培訓)換刀工具如下:二:用換刀工具把新刀換上.(重要部分,需現(xiàn)場指導和培訓)17裝刀順序如圖裝刀順序如圖18換刀要按照以上順序進行安裝保證每部分要正確和到位.并保證每部分清潔 清潔未清潔換刀要按照以上順序進行安裝保證每部分要正確和到位.并保證每部19三:對BBD進行清潔已達到指定要求兩種情況:磨輪罩打開和關(guān)閉的狀態(tài).關(guān)閉打開BBD:調(diào)節(jié)方法如下調(diào)節(jié)BBD的螺絲,使BBD的感光量在打開磨輪時在60%-80%之間關(guān)閉磨輪時在10%左右如果沒達到規(guī)定量,請用棉簽清洗傳感器部分三:對BBD進行清潔已達到指定要求兩種情況:磨輪罩打開和關(guān)20四:對非接觸測高進行清潔已達到指定要求在關(guān)閉清洗水和吹氣的情況下傳感器的電壓水平需達到90%-99%之間.如無法達到時.請用棉簽對傳感器清洗四:對非接觸測高進行清潔已達到指定要求在關(guān)閉清洗水和吹氣的21進入測高菜單進入測高菜單22選擇F3測高模式后進入選擇Z1或Z2需測高對應的選項進行自動測高選擇F3測高模式后進入選擇Z1或Z2需測高對應的選項進行自23進行刀痕校準校準前校準后進行刀痕校準校準前校準后24開始自動切割由技術(shù)員觀察切割質(zhì)量注意事項:1：換刀時,需對刀架周圍和刀架本身進行清潔.以防止sub殘渣卡在刀架上造成切偏缺陷和掉真空報警。2：清潔刀架兩側(cè)的冷卻水管。以防水管堵塞造成刀片冷卻不夠,使刀片變形導致刀痕變大產(chǎn)生的切偏缺陷.開始自動切割由技術(shù)員觀察切割質(zhì)量注意事項:25第三章打磨法蘭程序第三章打磨法蘭程序26在生產(chǎn)過程中.出現(xiàn)打刀后法蘭出現(xiàn)以下情況:1:刀片打碎后,有殘留在法蘭上的碎片無法取下(打磨或更換）2:在換刀時發(fā)現(xiàn)法蘭外蓋難以取下并感到有卡住的情況（更換）3:把新刀放在法蘭內(nèi)環(huán)時發(fā)現(xiàn)刀活動范圍過大,或發(fā)現(xiàn)刀無法輕松的放入內(nèi)環(huán)（更換）4:內(nèi)外環(huán)無法完好閉合.（打磨）請根據(jù)以上情況對法蘭進行打磨或?qū)Ψㄌm進行更換在生產(chǎn)過程中.出現(xiàn)打刀后法蘭出現(xiàn)以下情況:27進入打磨程序.如圖按F1進入菜單進入打磨程序.如圖按F1進入菜單28把工具按要求裝上.如圖工具如圖:安裝過程需現(xiàn)場培訓和指導把工具按要求裝上.如圖工具如圖:安裝過程需現(xiàn)場培訓和指導29打磨位置如圖側(cè)面圖正面圖打磨位置如圖側(cè)面圖正面圖30打磨高度和距離打磨高度和距離31進入設定程序.對各參數(shù)進行校對后開始打磨注意：打磨參數(shù)已經(jīng)設定，技術(shù)員只需選擇所要打磨的（動作軸）后按enter就開始自動打磨。在打磨完畢后根據(jù)打磨效果對（總次數(shù)）進行修改以達到最佳效果進入設定程序.對各參數(shù)進行校對后開始打磨注意：打磨參數(shù)已經(jīng)32第四章SawPR第四章SawPR33退到主菜單后選擇F2進入選擇選擇F2,進行TechPR程序第一步退到主菜單后選擇F2進入選擇選擇F2,進行TechPR程34如圖中所示，用綠色田字對準白色十字架后，在下列目錄，選擇F7或F8,進行燈光或聚焦設定，已確保到達最佳效果完成以上步驟后，按F5進行水平校準，（校對同一條直線上的兩個不同的十字架來達到水平）第二步CH1方向如圖中所示，用綠色田字完成以上步驟后，按F5第二步CH1方向35完成水平校準后，按”Enter”進行電腦自動teach如圖框所示，達到此標準后按Enter進入下一步第三步完成水平校準后，按第三步36確認切割道此步驟重點注意如圖：用3根綠線中，選擇中間的實體綠線來對應白色十字架的中心。（這是刀片切割的位置，請保證要對應到中心位置）后按Enter確認第四步確認切割道如圖：用3根綠線中，選擇中間的實體綠線來對應37CH2方向的方法請參考以上四個步驟進行Tech第五步CH2方向的方法請參考第五步38第六步校準目標確認切割道第六步校準目標確認切割道39完成PR完成PR40第五章HANMI更換程序。第五章HANMI更換程序。41?更換程序進入此鍵面進行程序選擇選定需要更換的程序后按（deviceChange)進行確認。產(chǎn)品選擇后成紅色狀態(tài)表示更換成功?更換程序進入此鍵面進行程序選擇選定需要更換的程序后按（de42?更換產(chǎn)品對應的模具SawblockDryblockTurntableTablepickerUnitpickerSQUAREPAD?更換產(chǎn)品對應的模具SawblockDryblockTu43?校準吸嘴先打開Specialkeyon,按AutoAlign進行自動校準吸嘴觀察吸嘴位置，以確定吸嘴已裝正確觀察此數(shù)據(jù)，確保X:0.001-0.005之間?校準吸嘴先打開Specialkeyon,按AutoA44?更換Saw程序退到主菜單后選擇F3(程序目錄）選擇需要更換的程序后，按F10確認?更換Saw程序退到主菜單后選擇F3(程序目錄）選擇需要45進行刀片測高請根據(jù)換刀程序步驟進行刀片測高進行刀片測高請根據(jù)換刀程序步驟進行刀片測高46?最后確認以上步驟做完后，請按以下幾點進行最后確認1：讓操作員把相對應的產(chǎn)品放入機器。2：由技術(shù)員檢查第一片產(chǎn)品的：刀痕確認，Vision，和擺放位置。并讓R/L操作員確認產(chǎn)品質(zhì)量?最后確認以上步驟做完后，請按以下幾點進行最后確認47第六章VISION第六章VISION48BGAHanmiSSSvision操作在HanmiSSS機器系統(tǒng)里,已存儲了原始的vision檢查程序C：\DB\TeachData.。根據(jù)不同的產(chǎn)品所做的程序也同時存在C:\Vision\DB\TeachData里.每次產(chǎn)品更換，除了更換相應的conversionkit外，必須根據(jù)不同的產(chǎn)品調(diào)用相關(guān)的程序。必須用無塵紙認真擦拭Dryblock,保證Dryblock的清潔.程序調(diào)用完畢，主程序中以紅色字體顯示當前運行程序，其已和Vision檢查程序完成自動連接。（見圖1）BGAHanmiSSSvision操作在Hanmi49檢查Vision端程序狀態(tài)，若在DatabaseIndex中和主機相同的程序通道顯示出來，則程序調(diào)用完成（見圖2）。否則，重新在主機中調(diào)入一次，或關(guān)閉Vision程序，再重新啟動

圖2圖1檢查Vision端程序狀態(tài)，圖2圖150第二步一般而言，程序調(diào)用完成，即可開始生產(chǎn)。存在C:\Vision\DB\TeachData里的Teach文件由PM或工程師完成并已優(yōu)化。在跑第一條產(chǎn)品時，若發(fā)現(xiàn)白點X-Mark未挑干凈,或很多Over-reject,操作員應通知當班負責技術(shù)員調(diào)整Teach光線或重做Teach第二步一般而言，程序調(diào)用完成，即可開始生產(chǎn)。存在C:\Vi51Ballteaching1.選擇檢查球的攝像頭,(見圖3),檢查是否有切過的package放在加熱板上,將檢查攝像頭移到加熱板下可顯示package內(nèi)一次檢查的區(qū)域。圖3Ballteaching1.選擇檢查球的攝像頭,(見圖522.選擇按鈕live,以獲得圖像。（見圖4）圖42.選擇按鈕live,以獲得圖像。（見圖4）533.選擇通道“#1”，在“Light”中可調(diào)節(jié)主光和側(cè)光的設定值，保持“CH1”設定為0。（見圖5,圖6.圖7）圖5圖6CH1主光側(cè)光3.選擇通道“#1”，在“Light”中可調(diào)節(jié)主光和側(cè)光的54圖7圖755光線的優(yōu)化對vision的檢測十分關(guān)鍵，優(yōu)化程度可放大圖象，通過快捷鍵“Ctrl+A”顯示各位置的灰度值來判斷。見下圖推薦值。在主光和側(cè)光的調(diào)節(jié)方面，建議先設定側(cè)光為0，逐步調(diào)節(jié)主光，使灰度值在以下的推薦范圍內(nèi)。圖8光線的優(yōu)化對vision的檢測十分關(guān)鍵，優(yōu)化程度可放大圖象56記住此主光設定值，在設定側(cè)光時，可先使主光為0，逐步調(diào)節(jié)側(cè)光，使灰度值在以下推薦范圍內(nèi)此后將兩者組合，得到較佳的光線組合。圖9圖10記住此主光設定值，在設定側(cè)光時，可先使主光為0，逐步調(diào)節(jié)側(cè)574.選擇通道“#2”，在“Light”中可調(diào)節(jié)“CH1”的設定值，保持主光和側(cè)光的設定值設定為0，“CH1”中的設定值是否恰當，可在整片“Strip”內(nèi)尋找有白點的區(qū)域，看在此燈光下，該白點是否清晰可見。見圖12.圖13.圖114.選擇通道“#2”，在“Light”中可調(diào)節(jié)“CH1”58圖12圖1259圖13調(diào)節(jié)此處光的數(shù)值,使該白點是否清晰可見圖13調(diào)節(jié)此處光的數(shù)值,使該白點是否清晰可見605.光線設定完畢，建議先退回到“SetupDBSheet”保存一次，防止燈光的設定因之后的“Teach”不成功而作廢。圖14圖145.光線設定完畢，建議先退回到“SetupDBShe616.回到“Teach”界面將指針指在圖象可視區(qū)域，右擊鼠標，顯示：圖156.回到“Teach”界面將指針指在圖象可視區(qū)域，右擊鼠標627.選擇ROIDragging，設定一次檢查區(qū)域。8.畫好一次檢查區(qū)域，左擊鼠標,確定檢查區(qū)域。注意確定的區(qū)域必須和主機設定的值一致，此后在“SetupDBSheet”中顯示的“Shot”值也是一樣的。見圖16圖167.選擇ROIDragging，設定一次檢查區(qū)域。8.63此處設定值與下圖一致此處設定值與下圖一致64與上圖設定相同與上圖設定相同659.若ROI設定有誤，可取消此次設定。10.確定檢查區(qū)域后，點擊“Teach”按扭。11.“Thresholdsetting”窗口會自動彈出，設定“X-Marklowvalue”and“X-Markhighvalue”。9.若ROI設定有誤，可取消此次設定。10.確定檢查66Vision檢查白點的原理是：在燈光的照射下，黑白灰度等級由0~255，但統(tǒng)計計算無法區(qū)分計算所有灰度等級，所以設定了“Thresholdvalue”,高于“Thresholdvalue”的灰度點，即判定為白象素點，低于“Thresholdvalue”的灰度點，即判定為黑象素點。Vision檢查白點的原理是：在燈光的照射下，黑白灰度等級67“X-Marklowvalue”是判定劃傷缺陷的閥值，若設定的過低，package上的一些稍亮的區(qū)域就會被判為白點，造成Overreject。若設定的過高，則劃傷形成的稍亮部分無法檢查出來，劃傷缺陷無法檢測。最佳設定可根據(jù)以下推薦圖象進行。<Lowvalue><Highvalue><Goodvalue>“X-Marklowvalue”是判定劃傷缺陷的閥值，若68“X-Markhighvalue”是判定白點缺陷的閥值，拖動滑標，設定值以白點剛可以顯示出來為準。該設定值和“SetupDBsheet”中“MaximumRejectMarkArea”配合使用，檢出白點?！癤-Markhighvalue”是判定白點缺陷的閥值，6912.“Thresholdsetting”設定完成后，Teaching區(qū)域若顯示綠色，則表示teach成功，保存“SetupDBsheet”,即完成Teach工作。（見圖25）若Teach失敗，必須根據(jù)“Ballresult”的提示信息修改相關(guān)的設定值。12.“Thresholdsetting”設定完成后，T70常用的快捷鍵：“Ctrl+A”：顯示各點色素值,輔助光線設定“Ctrl+D”打開DBsheet“Ctrl+E”執(zhí)行Testrun“Ctrl+T”執(zhí)行Teach“Ctrl+I”顯示I/O控制界面“Ctrl+Alt+V”顯示主機和visionPC之間的局域網(wǎng)通訊連接信息?！癈trl+Alt+Shift+T”：顯示“Thresholdvalue”設定滑標,用于設定辨別package邊界分辨值?！癈trl+Alt+Shift+R”：Ini設定值寫入運行程序。常用的快捷鍵：“Ctrl+Alt+Shift+T”：顯71SetupDBsheet內(nèi)關(guān)鍵參數(shù)的含義及設定:SetupDBsheet內(nèi)關(guān)鍵參數(shù)的含義及設定:72IPINRemove:Package一角的方向標志,亮度大,可能被誤認為白點或Extraball。因此程序中定義了一個矩形區(qū)域，將這個區(qū)域屏蔽，即視而不見。矩形區(qū)域大小由此參數(shù)決定。PkgEdgethreshold:package放在加熱板上，切割道露出的區(qū)域和package產(chǎn)生的黑白對比是辨認package邊界的依據(jù)。黑白對比的原理和X-mark辨認原理一樣。IPINRemove:Package一角的方向標志,73所以，由于加熱板太臟，package邊緣黑白對比度小，難于辨認出package邊緣，會造成PKGAbsence的over-reject.或引發(fā)Missingball的over-reject。因為，系統(tǒng)程序中球的陣列是根據(jù)package邊界計算得到，在辨認package邊界后，計算得出理論上球的相對位置，若邊界確認有誤，則球的陣列就會出錯（見圖33）。這是必須保持加熱板清潔的又一原因。圖33所以，由于加熱板太臟，package邊緣黑白對比度小，難于74PkgEdgethreshold的設定原則：在Teach過程中，燈光設定完成后。通過快捷鍵“Ctrl+Alt+Shift+T”，顯示出“Thresholdvalue”設定滑標（見圖34）,通過調(diào)整滑標，使package邊界清晰可見（見圖35）。記下該值，進入到SetupDBsheet里修改PkgEdgethreshold為該值即可?？筛鶕?jù)最終Teach的結(jié)果適當調(diào)整。在Teach過程中的lowlimitandhighlimit的設置顯示窗口。即使teach成功,只表示程序已記錄相關(guān)的package信息，不可能100%合適。所以,在觀察白點的誤判機率時，可在較小的上下范圍內(nèi)調(diào)整，而不必重新調(diào)整光線或重做teach。如發(fā)現(xiàn)一些白點漏檢,可能是白點區(qū)域交暗，應將閥值減小一點。反之，如有太多的over-reject,可將閥值增大一點。當然，over-reject發(fā)生的原因還有package上有殘留水滓，建議適當加長加熱時間和空氣清潔次數(shù)。還有Package的表面臟污，加強Saw機內(nèi)的清洗。Illumination:顯示的是在做Teach過程中設置的光線值。PkgEdgethreshold的設定原則：在Tea75MaximumRejectMarkArea:定義的是白點檢查區(qū)域內(nèi)的白點象素閥值。圖38中藍色區(qū)域為X-mark的檢查區(qū)域，統(tǒng)計該區(qū)域內(nèi)所有判定為白色的象素。比如設定值為3000，正常情況下，Goodunit在該區(qū)域內(nèi)所有判定為白色的象素的總和小于3000，當有Ｘ-Mark時，判定為白色的象素的總和大于閥值3000，就可以被Vision檢查出來，若實際上因為光線不好或白點太暗，有Ｘ-Mark時該區(qū)域內(nèi)判定為白色的象素的總和仍然小于3000，比如為2900,Vision系統(tǒng)還是無法將其檢查出來。在這種情況下，修改該設定值為2800,即可判別出來。當然，在Ini文件中改變藍色區(qū)域的大小，使統(tǒng)計區(qū)域改變也可達到相同的效果。見下圖MaximumRejectMarkArea:定義的是76半導體IC切割SSS培訓教材ppt課件77X-mark白點Over-reject的情況：若發(fā)現(xiàn)很多好的Package被Over-reject，放大圖像，看是否有水的殘漬。因為其在燈光下顯白色，使得藍色區(qū)域內(nèi)的白色像素點總和已高于X-mark的閥值，造成Over-reject。此情況下，增大閥值，可解決。但是，同時又有可能將一些色澤較暗的白點漏檢。所以，調(diào)整加熱時間和清潔噴嘴的吹氣次數(shù)，保持噴嘴和加熱板真空孔的通暢，盡可能干燥package是最根本的辦法。X-mark白點Over-reject的情況：若發(fā)現(xiàn)很多78第七章常見問題,電路圖和機械原理第七章常見問題,電路圖和機械原理79

Hanmi機器常見的問題—3PointAlignmentUnit在Tray上面擺放不好（針對做“三點”調(diào)試后仍不能解決擺放問題的情況），判斷方法：檢查吸嘴是否干凈，用酒精及無塵紙清潔；VisionsetupMarkLive檢查光線是否合適：正常：最佳光線應該是使吸嘴看起來呈現(xiàn)出白色正方塊，這一點對“三點”調(diào)試非常重要；檢查X1,X2上的吸嘴是否完好無損，如有損壞，應立即更換。請使用相同類型的吸嘴；

Hanmi機器常見的問題—3PointAlign80如果上面三個步驟仍然不能解決問題，請檢查吸嘴相對于Tray盤的高度是否合適。簡易測高方法——手動測試Z1-1打在Tray上面的高度：Motorsetup3pointsetupZ1value分別手動測量a,b,c,d點的高度，記錄Z1高度，得到四個數(shù)據(jù)，選取其中最小的數(shù)值然后減去0.1-0.5之間的數(shù)值，即為Z1-1在GoodTray上面的高度值。若四個數(shù)據(jù)比較接近，則減去0.1-0.2之間的數(shù)值。然后依次按照上面的方法測試:

Z2-1

--〉GoodTray

Z1-1

--〉ReworkTray

Z2-1

--〉ReworkTrayabdc

Hanmi機器常見的問題—3PointAlignmentMotorsetup

Z1-1的Vacuumofffromdown(offset)position1.0?ZPickervacuumoffconfirmtime(DevicesetupDeviceParameter)對于6X6以下的產(chǎn)品，此值設置為小于15，對于3X3的產(chǎn)品設置為0對于較大的產(chǎn)品，一般設置為30如果上面三個步驟仍然不能解決問題，請檢查吸嘴相對于Tray盤81控制信號流程馬達控制板位置感應器汽缸電磁閥信號接口輸入板信號接口輸出板Plc邏輯控制儲存器Cpu控制中心馬達解碼器步進馬達伺服馬達馬達驅(qū)動器HomesensorLimitsensorHomesensorLimitsensor控制信號流程馬達控制板位置感應器汽缸電磁閥信號接口輸入板信號82Wash/dry傳動裝置滑動套筒4滑動套筒3滑動套筒2滑動套筒1導桿2導桿1傳動鏈條傳動齒輪2傳動齒輪1支撐軸承4支撐軸承3支撐軸承2支撐軸承1聯(lián)軸器馬達變速器Wash/dry馬達傳動桿2傳動桿1聯(lián)動滑塊Wash/dry傳動裝置滑動套筒4滑動套筒3滑動套筒2滑動83Wash/dry控制圖加熱泵控制信號水泵控制信號風刀x4清洗噴嘴x4吹風泵高壓清洗水動力水電流斷路保護器延時繼電器直流繼電器1電磁閥壓縮空氣交流繼電器1加熱棒高壓水泵總電源交流繼電器2直流繼電器2壓縮空氣控制盒Wash/dry控制圖加熱泵控制信號水泵控制信號風刀x4清84V2真空流程圖RejectarmheadGoodarmhead吸嘴x8真空閥x8壓縮空氣電磁閥Arm1rightheadArm1lefthead真空儲氣罐出風口進風口V2真空泵真空泵控制信號交流繼電器總電源進風口出風口壓縮空氣交流繼電器V2吹風泵吹風泵控制信號管道Wash/dry風刀管道控制信號機械控制信號氣缸Rejectunit信號電磁閥V2真空流程圖RejectarmheadGoodar85SAW真空流程圖真空泵馬達聯(lián)軸器真空泵儲氣罐電磁閥角度馬達基座電源冷卻水進水口流量計

電磁閥流量感應器220v電壓儲水箱冷卻水排水口真空感應器真空指示表24v電源WorkvacuumsensorJigvacuumsensor真空發(fā)生器壓縮空氣工作臺底座工作臺橡膠墊來料工件SAW真空流程圖真空泵馬達聯(lián)軸器真空泵儲氣罐電磁閥角度馬86球壓傷故障分析檢查rejectboat;rejectarm;rejecttray的位置Rejecttray中有球壓傷的現(xiàn)象檢查Goodtray中是否有球壓傷的現(xiàn)象檢查X-Ytablecarrier上的units是否有壓傷的情況檢查吸嘴x8的高度是否一致，相對于table;orientator;goodboat的位置和高度檢查flipper翻轉(zhuǎn)前是否有壓傷的情況檢查flipper的水平；flippertable上的異物;clamperpin的磨損;

檢查物料在chucktable上的定位是否正確檢查arm1righthead相對于chucktable的位置，arm1righthead相對于flipper的位置檢查arm1lefthead相對于chucktable的位置檢查arm1lefthead相對于leadin的位置檢查物料相對于leadin的位置無有有有有無無無馬達位置參數(shù)旋轉(zhuǎn)的角度上下的高度前后的位置左右的位置活動范圍的線平行裝配的角度機械位置參數(shù)面平行位置參數(shù)前后的位置部件傳動時相互之間的配合球壓傷故障分析檢查rejectboat;rejecta87散units的故障分析檢查wash/dry之前units在carrier的定位是否良好檢查flipper翻轉(zhuǎn)前units在carrier的定位是否良好換向器處報警頻繁X-ytable中的units是否散掉Rejecttray中的units散掉Goodtray中的units散掉Units散掉的故障檢查nozzle;rejectboat;rejectarm;rejecttray的相互配合位置檢查nozzle;goodtray;goodarm;goodboat的相互配合位置檢查nozzle;x-ytable;orientator的相互配合位置檢查wash/dry的傳動是否平穩(wěn)，加熱棒的溫度設定是否太高，Arm2righthead的相對位置，retainer與carrier分開時的相對位置檢查flipperclamp,flipper,flippertable的動作是否正常，翻轉(zhuǎn)中carrier,units,retainer之間是否有松動的情況檢查units被吸起后在arm1righthead的位置是否正常檢查arm1righthead相對于flipper的位置是否正常檢查substrater在chucktable的位置是否正常檢查arm1righthead相對于chucktable的位置是否正常檢查arm1lefthead相對于chucktable的位置是否正常檢查arm1lefthead相對于leadin的位置是否正常檢查substrater相對于leadin的位置是否正常無有否是是否是是否否是是散units的故障分析檢查wash/dry之前units88V2機械傳動流程UnitinturretnozzleUnitsretainerinx-ytableUnitsinx-ytableUnitsinarm2rightheadUnitsinarm2leftheadUnitsinwash/dryblockUnitsinflippertableccwUnitsinflippertablecwUnitsinarm1rightheadUnitsinchucktableSubstrateinchucktableSubstrateinarm1leftheadSubstrateinlead-inpositionSubstrateinmagazineUnitinorientatorUnitinrejectboatUnitinrejectarmUnitinrejecttrayUnitingoodboatUnitingoodarmUnitingoodtrayTrayinmachineUnitinvisioncheckV2機械傳動流程Unitinturretnozzle89V2vision接線圖CAMERAPLCHUBVISIONPCUIPC網(wǎng)線網(wǎng)線通訊線通訊線視頻信號24v電源線觸發(fā)信號V2vision接線圖CAMERAPLCHUBVIS90Hanmi位置故障判斷MarkingCamera顯示units位置是否正常，Packagepicker1,2；turntable1,2；Z-picker的真空表顯示是否正常IntelCamera顯示substrate的位置是否正常，Substrate在chucktable的位置是否正常。BallCamera顯示units位置是否正常,Unitpicker的真空表顯示是否正常檢查substrate進料時的高低位置檢查substrate在lead-in的前后位置檢查substrate在lead-in的左右位置檢查strippicker和它的定位針是否損壞檢查substrate在lead-in的活動范圍檢查strippicker和saw的A點位置檢查unitpicker與dryblock的配合位置檢查unitpicker與Saw的B電位置檢查DryBlock的定位和真空密封情況檢查unitpicker的橡膠墊是否損壞檢查packagepicker與turntable1，2的位置檢查packagepicker的橡膠墊是否損壞檢查turntable與底座的真空密封情況檢查Z-picker的臟堵,橡膠嘴的清潔和破損情況檢查Z-picker的三點校準檢查Z-picker與turntable;good/rejectfeeder高度是否正常Hanmi位置故障判斷MarkingCamera顯示un91常見問題匯總常見問題匯總92刀切偏影響的方面有哪些法蘭冷卻水殘渣PR真空鏡頭刀架程序還能想到哪些？刀切偏影響的方面有哪些法蘭93能影響PR的幾個要素是什么鏡頭位置燈光框格大小……還能想到哪些？能影響PR的幾個要素是什么鏡頭94那些相關(guān)的部件能影響真空水泵水管電磁閥來料……還能想到哪些？那些相關(guān)的部件能影響真空水泵95切割水或水壓和那些部件有關(guān)

漏水

泵管子電磁閥調(diào)節(jié)閥水簾殘渣堵塞還能想到哪些？切割水或水壓和那些部件有關(guān)

漏水

泵96程序你都知道哪些？列出你所知道的參數(shù)：

程序你都知道哪些？列出你所知道的參數(shù)：97以下問題你知道嗎?以下問題你知道嗎?98SAW機的真空產(chǎn)生原理及正常值的確立標準安全門的問題VISION的作用和使用規(guī)定.整個機器的電壓標準值和相應的安全措施.DRY/BLOCK傳動的工作原理.關(guān)于機器信號線和電源線的連接標準及整理.工具的保管和使用問題機器后面的換向器的功能使用和SKIP的可能性切割水,壓縮空氣的總閥開關(guān)的位置和標準數(shù)值.測高原理SAW機的真空產(chǎn)生原理及正常值的確立標準99壓縮泵,真空泵的結(jié)構(gòu)原理和控制原理V2做程序VISION做程序如何準確判斷馬達的好壞機器上的顯示表(感應器的調(diào)整)V2SAW機的信號流程V2SAW機側(cè)面的電路板控制哪些東西?HANMI機器的水壓不足該怎么查找?HANMI怎樣重新做VISION繼電器的控制原理?壓縮泵,真空泵的結(jié)構(gòu)原理和控制原理100真空泵的工作原理?TURRET的調(diào)節(jié)原理?(怎樣確定機械的零點位置和馬達的零點位置)VISION的TECH,怎樣重新做一個程序?SAW的PR(怎樣做好SAW機的PR)UNITS的壓傷問題怎么解決?從哪些方面來檢查?加熱棒和清洗馬達的控制原理?I/O通訊接口馬達的異常走動馬達不工作V2做程序真空泵的工作原理?101V2/HANMIVISION有哪些重要的參數(shù)需要更改的?HANMI和VISION連接不上的原因?HANMI的PICKER吸不起UNITS的調(diào)整方法和順序(確定位置的標準)HANMI馬達復位不正常SAW機和HANDLE的連接(DAD641

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V2;EAD6340

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HANMI)做三點校準時,MARKING鏡頭的燈光特別亮,吸嘴不去檢查的故障?怎樣重新做一個HANDLE的程序?測高不能通過的原因有哪些?如何區(qū)別馬達和驅(qū)動器的損壞故障?如何調(diào)整PR水平校準時兩點的移動距離?V2/HANMIVISION有哪些重要的參數(shù)需要更改的?102UNITS烘不干怎樣解決TURRET的高度如何調(diào)節(jié)?REJECTBOOT的位置如何調(diào)節(jié)?SAW機的真空不夠,如何解決?接線端子如何接線?測高測過后,在做刀痕校準時卻切不出刀痕的原因?CHUCKTABLE吸不住料的原因和解決辦法?JIG的校準機器各個部件的位置調(diào)整的基準和順序?SAW機有時會報XY角度錯誤,怎么解決?V2VISION電腦的連接線有哪些?怎樣連接的?ALARM:VISIONINSPECTIONSNAPFAILED/TIMEOUTDURINGCOMMUNICATIONBETWEENPLCANDVISIONPC怎么解決?UNITS烘不干怎樣解決103ALARM:FLIPTABLENOTATCW(WORK)POS(1)/FLIPTABLECCWSENSORNOTON(OXD0310)/FLIPTABLECW/CCWSENSORINVERED(OXD0311OXD0310)/SENSORERROR怎么解決?WASH洗完后,ARM2抓不起CARRIER是什么原因造成的.ALARM:ARM1RIGHTHEADZ-AXISPOSITIONLIMITHITS(OXD0604)的原因是什么,該怎么解決?復位之后,GOODBOOT不能到位CARRIER上殘留有許多的UNITS的原因換向器總是報警是什么原因?進料不順暢的原因有哪些?SAW機復位完成后與之前的位置有很大的角度偏差水泵的水打開和關(guān)閉的時序,正常時的狀態(tài)是?HANMI的VISION光線是怎樣調(diào)整的?ALARM:FLIPTABLENOTATCW(WO104檢修的步驟和方法確定標準------

尋找問題-------

順藤摸瓜(線索)-------

判斷排除--------

解決問題.問題處理的原則:記錄故障的初始狀態(tài)和處理過程避免故障的進一步擴大培訓的目的:縮短維修時間,節(jié)省備件成本.位置標準的確立:馬達的位置是建立在機械位置之上的.思維方式:根據(jù)工作的實際需要來確定機器需要滿足的功能檢修的步驟和方法確定標準------尋找問題------105EAD6340

廢料收集時的注意事項廢料箱不可有廢料堆積裝廢料的抽屜下面不可有廢料堆積，出水口必須保持通暢。檢查積水槽，廢料排出箱有沒有漏水，有異常情況須記錄并反映給技術(shù)員處理。EAD6340

廢料收集時的注意事項廢料箱不可有廢料堆積106換刀后須確定的事項刀痕寬度和位置必須正確。切割工作臺及周圍不可堆積廢料。前后水濂兩旁兩旁廢料排泄通道不可堵塞，折縫中不可殘留過多廢料。機器后面的廢料收集箱的頂部不可被廢料堵塞。鏡頭的照明光圈和透鏡外表面保持清潔換刀后須確定的事項刀痕寬度和位置必須正確。107DAD641

廢料收集時的注意事項廢料箱不可有廢料堆積。裝廢料的抽屜下面不可有廢料堆積，出水口必須保持通暢。左右水濂兩旁廢料排泄通道不可堵塞。檢查積水槽，廢料排出箱有沒有漏水，有異常情況須記錄并反映給其他技術(shù)員處理DAD641

廢料收集時的注意事項廢料箱不可有廢料堆積。108非接觸性測高時必須保證感應器的固定架周圍不可堆積廢料。感應器的感應面必須清潔。切割時感應面必須有水再清洗。調(diào)整該光纖放大器的動作應放在最后一步。當操作員不能做到上面要求的幾點時請先PASS該報警，然后通知技術(shù)員進行測高工作。（Disco刀片，測高間隔：100m，刀具補償：0.01mm/20m）非接觸性測高時必須保證感應器的固定架周圍不可堆積廢料。109交接班時的注意事項清理廢料的技術(shù)員必須在上班的第一時間清理廢料。（先EAD6340后DAD641）交接班機器出現(xiàn)故障時，技術(shù)員可以處理的，由上一個班的技術(shù)員留下來處理。技術(shù)員不會處理的，有上一個班的技術(shù)員聯(lián)系領班叫PM技術(shù)員來處理。交接班技術(shù)員必須第一時間了解機器的運行狀況，保證產(chǎn)品質(zhì)量不出現(xiàn)問題。對遇到的異?，F(xiàn)象（產(chǎn)品質(zhì)量缺陷，頻繁的同一報警，故障停機，暫時未處理故障，異常響聲，味道，漏水等）請依狀態(tài)的輕重緩急區(qū)別對待，對不能處理的問題請及時聯(lián)