摻雜工藝?yán)铊F強(qiáng)

摻雜工藝熱噴涂熱擴(kuò)散離子注入熱噴涂

利用某種熱源將涂層材料加熱到熔融或半熔融狀態(tài)，同時(shí)借助于焰流或高速氣體將其霧化，并推動(dòng)這些霧化后的粒子噴射到基體表面，沉積成具有某種功能的涂層技術(shù)氧氣-燃料高速火焰噴涂電弧噴涂

利用兩根預(yù)噴涂的金屬線穿過特別設(shè)計(jì)的噴槍，金屬線帶電形成電弧，溫度高于7200℉，熔解金屬線并利用壓縮空氣或氮?dú)鈱⑵潇F化噴在已處理過的基材上，形成涂層。熱噴涂工藝(1)工作表面的預(yù)處理亦稱表面制備，它是保證涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度的重要工序。①凹切②表面清理。油污、油漆用溶劑或清洗劑清除。③表面粗化。表面粗化的方法有噴砂、切槽或車螺紋、滾花紋、拉毛等(2)涂層噴涂涂層噴涂在表面預(yù)處理后進(jìn)行。首先對工件預(yù)熱，然后噴涂粘結(jié)層，工作層，噴后進(jìn)行工件冷卻。

(3)噴涂層的后處理

①封孔

②涂層的機(jī)械加工。采用熱噴涂技術(shù)，以A1．CuO為主反應(yīng)體系，在純銅表面制備A1：03基復(fù)合陶瓷涂層

工藝流程及參數(shù)從左到右一次是陶瓷涂層、Ni-Al過渡層和純銅基體結(jié)果表明，在涂層間及涂層內(nèi)部有NiCu及AlxCuy。化合物生成，其有助于增強(qiáng)涂層的結(jié)合性能，實(shí)現(xiàn)了復(fù)合陶瓷涂層與過渡層為機(jī)械、微區(qū)冶金和化學(xué)結(jié)合并存的結(jié)合方式,有利于提高涂層的致密性、結(jié)合強(qiáng)度等性能。擴(kuò)散在半導(dǎo)體制造中。利用高溫?cái)U(kuò)散驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)穿過晶格，是一個(gè)化學(xué)過程。受時(shí)間和溫度的影響固態(tài)雜質(zhì)的熱擴(kuò)散需要三個(gè)步驟：預(yù)沉積:為整個(gè)擴(kuò)散過程建立濃度梯度推進(jìn)：是一個(gè)高溫過程，用以使沉積的雜質(zhì)穿過晶體，形成期望的結(jié)深。激活：使雜質(zhì)原子與晶格中的原子鍵合。擴(kuò)散工藝在硅片制造過程中的擴(kuò)散工藝步驟：進(jìn)行質(zhì)量測試保證工具滿足生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)使用批控制系統(tǒng)，驗(yàn)證硅片特性下載包含所需擴(kuò)散參數(shù)的工藝菜單開啟擴(kuò)散爐，包含溫度分布清洗硅片并浸泡氫氟酸，去除自然氧化層預(yù)沉積：把硅片裝入擴(kuò)散爐，擴(kuò)散雜質(zhì)推進(jìn)：升高爐溫，推進(jìn)并激活雜質(zhì)，撤除硅片測量、評價(jià)、記錄結(jié)深和電阻選用具有較低熔點(diǎn)的鋅作過渡層，采用熱噴涂工藝在AZ91D鎂合金表面制備了鋅鋁涂層，并分析熱擴(kuò)散對鋅鋁涂層界面組織和性能的影響。上述結(jié)果表明：經(jīng)熱擴(kuò)散處理后，涂層與基體界面處形成擴(kuò)散熔合區(qū)，擴(kuò)散熔合區(qū)由Mg-Zn-Al金屬間化合物及其固溶體組成;由于擴(kuò)散熔合區(qū)的形成，使涂層的顯微硬度和耐磨性能均顯著提高。離子注入技ionimplantation通過高壓離子轟擊把雜質(zhì)引入固體材料中是一個(gè)物理過程。離子注入的優(yōu)點(diǎn)精確控制雜質(zhì)含量注入離子時(shí)襯底溫度可自由選擇單一離子束保證純凈摻雜注入離子的濃度和深度分布精確可控?fù)诫s離子濃度不受平衡固溶度的限制大面積均勻注入注入的離子能穿過薄膜缺點(diǎn)高能的雜質(zhì)離子轟擊材料時(shí)將對晶體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生損傷——輻射損傷注入設(shè)備復(fù)雜

通過離子注入技術(shù)將高劑量的Mn離子注入到ZnO體材料中，研究了未退火和退火樣品的Raman譜

Mn離子注入的能量為220eV，注入深度約為100nm，注入劑量為

1×1015—1×1017/cm2，得到ZnMnO的固溶體.熱退火是在N2氣氛中進(jìn)行，700℃下退火5min.上述實(shí)驗(yàn)可以認(rèn)為：Mn離子注入過程在材