加速器說明書

:江蘇達(dá)勝制造

DD型高頻高壓型電子操作手冊目 錄\l“_TOC_250007“一、安全指示 2安全標(biāo)準(zhǔn) 2機(jī)器銘牌 4二、規(guī)格 4\l“_TOC_250006“Specification規(guī)格表 4\l“_TOC_250005“設(shè)備簡介 5\l“_TOC_250004“LegendoftheMachine主要部件 7\l“_TOC_250003“MachineDimension機(jī)器尺寸 17三、安裝 ………………………18SafetyRulesforMachineMovement搬運(yùn)安全事項(xiàng) 18LiftingtheMachine/Drawing搬運(yùn)方法………………18Installation/Drawing安裝方法/圖 18InstallationandLeveling安裝及水平校正 19PowerSupplyRequirement電源要求 20ConnectPowerSourceWires外部電源連結(jié) 22四、操作 23OperatorPosition操作位置 23電控柜及把握界面說明 23\l“_TOC_250002“EmergencyStop緊急停頓 28\l“_TOC_250001“OperationProcedure操作規(guī)程 28五、修理保養(yǎng) 355.1日常維護(hù)……………… 355.2設(shè)備檢修………………… 365.3故障排解……………… 42\l“_TOC_250000“六、Electric電氣安全 436.1SafetyRulesForElectricalControlSystem電控系統(tǒng)安全規(guī)章…… 436.2電路原理及電路圖…………………… 446.3備品備件清單………… 46一、安全指示安全標(biāo)準(zhǔn):DD型能安全有效地工作，請認(rèn)真閱讀并理解本說明書。危急1．安裝或操作前請認(rèn)真閱讀并理解本說明書。安裝、操作、修理及維護(hù)必需通過專業(yè)人員進(jìn)展。用戶應(yīng)對設(shè)備的保護(hù)接地的大量國際與國內(nèi)電內(nèi)電氣標(biāo)準(zhǔn)的全都性負(fù)責(zé)。不能觸摸未受保護(hù)的電器元件和帶電的接線端子螺釘。在通電或起動與停頓之前應(yīng)關(guān)閉電控箱或機(jī)柜門。在電器修理之前，斷開全部電源，并在操作面板處放上“嚴(yán)禁操作”標(biāo)記。電擊會導(dǎo)致死亡或嚴(yán)峻損害。危急1．安裝或操作前請認(rèn)真閱讀并理解相關(guān)的高頻振蕩器、ECS把握系統(tǒng)、水冷卻/恒溫系統(tǒng)等說明書。2．如需帶電作業(yè)，操作者必需穿戴絕緣手套、絕緣膠鞋，并有二人在場時(shí)才能工作。3．接觸高頻設(shè)備的人員，必需懂得高頻設(shè)備的原理和修理，并有高、低壓電器操作證。不正確操作會導(dǎo)致死亡或嚴(yán)峻損害。重要提示鈦窗射出，當(dāng)皮膚、眼睛等人體器官被電子照耀后，將導(dǎo)致嚴(yán)峻的射提示裝的加速管必需經(jīng)過熬煉才能正式投入使用。熬煉的通常步驟為：充分抽真空，到達(dá)或接近系統(tǒng)所能到達(dá)的最正確真空度〔10－6Pa范圍。②逐步上升端電壓，到真空度明顯變差時(shí)〔通常不應(yīng)差于10－5Pa范圍〕的高壓能夠穩(wěn)定在額定值的～1.1倍時(shí)，電壓熬煉完成。熬煉過程中加速熬煉中應(yīng)避開發(fā)生大擊穿〔聲光相伴、以及真空度大幅急劇下降，此時(shí)應(yīng)適當(dāng)調(diào)低電壓。③電壓熬煉完成后要進(jìn)展束流熬煉：將的高壓降低至額定值的～0.9倍，逐步引出束流，到真空度明顯變差時(shí)，等待真空回復(fù)后再進(jìn)一步增加穩(wěn)后，束流熬煉完成。而異，以真空度到達(dá)正常穩(wěn)定狀態(tài)為準(zhǔn)。:留意！斑在鈦窗上位置正確！提示SF6SF6分SF4、SOF2、SO2F2HF等有毒和腐蝕性成分，它們對人體和SF6氣體需要定期進(jìn)展循環(huán)處理，通過運(yùn)行的牢靠性是格外重要的。提示統(tǒng)應(yīng)當(dāng)連續(xù)運(yùn)行，使加速管內(nèi)保持高真空。必需利用旁抽管道先使兩面壓力平衡，否則會損傷插板閥和分子泵。以利用插板閥進(jìn)展分隔，從下到上，有序進(jìn)展。1．2機(jī)器銘牌二.Specification規(guī)格Specification規(guī)格表2.1.2Specification規(guī)格表DD1.5-60DD1.5-60DD2.0-50DD2.5-40DD3.0-30DD4.5-201.7MeV2.4MeV2.8MeV3.3MeV5.0MeV1.5MeV2.0MeV2.5MeV3.0MeV4.5MeV0.8-1.5MeV1.2-2.0MeV1.5-2.5MeV1.5-3.0MeV2.5-4.5MeV0.5-60mA0.5-50mA0.5-40mA0.5-30mA0.5-20mA(0.8MeV時(shí))(2.0MeV時(shí))(2.5MeV時(shí))(3.0MeV時(shí))(4.5MeV時(shí))0.5-60mA0.5-60mA0.5-50mA0.5-50mA0.5-30mA(1.5MeV時(shí))(1.5MeV時(shí))(2.0MeV時(shí))(2.0MeV時(shí))(3.0MeV時(shí))最大能量電子束能量可調(diào)范圍可調(diào)范圍(連續(xù)可調(diào))能量穩(wěn)定度

最大束流強(qiáng)度〔mA〕最大出束能量〔MeV〕高頻高壓型電子優(yōu)于±1%::束流穩(wěn)定度掃描寬度掃描不均勻度束流穩(wěn)定度掃描寬度掃描不均勻度配備高頻機(jī)工作方式把握系統(tǒng)掃描窗冷卻優(yōu)于±2%1000-1700mm之間有多種規(guī)格掃描窗供客戶選擇〔掃描寬度在確定范圍內(nèi)可設(shè)定調(diào)整〕≤10%優(yōu)于7×10－5Pa〔需在出束工作一段時(shí)間前方能到達(dá)〕KF225-100KF225-120KF225-120KF225-120KF225-120>55%90KW100KW100KW100KW90KWPLC+工控機(jī)〔或觸摸屏〕的全自動計(jì)算機(jī)把握系統(tǒng)SF6氣體作為絕緣氣體供給風(fēng)冷、水冷配套系統(tǒng)〔滿足束下安裝翻轉(zhuǎn)磁鐵后使用要求〕功能DD型(DynamitronSF氣體處理系統(tǒng)、輻射防護(hù)6監(jiān)測系統(tǒng)和把握系統(tǒng)等。產(chǎn)品特點(diǎn)本公司生產(chǎn)的具有以下特點(diǎn)：維護(hù)便利，冗余設(shè)計(jì)的監(jiān)控和連鎖功能確保設(shè)備和人身的安全。：同一臺運(yùn)行在不同的能量時(shí)根本保持額定束功不變，比方2.5MeV-40mA1.8MeV50mA的不同靈敏把握，大大提高輻照效率。優(yōu)化產(chǎn)品配置：為了用戶便利和產(chǎn)品的穩(wěn)定牢靠性，增加了一些關(guān)心設(shè)備比方 臺離子泵，在真空正常后真空維持不需要開分子泵，在消滅意外停電時(shí)不會破壞真空，大大提高了真空系統(tǒng)的使用壽命?？眨纯s短了真空恢復(fù)的時(shí)間，又提高了加速管和電子槍的使用壽命。先進(jìn)的高頻機(jī)設(shè)計(jì)LC濾波電路，脈沖調(diào)制和輸出電路使得高頻輸出中形成水垢，電子管不需定期清理。加速管95氧化鋁與鈦材在真空焊接爐內(nèi)一次釬焊成型，與傳統(tǒng)膠接類〔高電壓、高真空、高氣壓〕特性好，使用壽命長，熬煉時(shí)了生產(chǎn)制造過程中所產(chǎn)生的有機(jī)成分。由置于高壓球帽內(nèi)的發(fā)電機(jī)供電。這樣的供電方式，束流和頻率單一對應(yīng)，跟隨快，便于和束下裝置聯(lián)動，有利于提高工作效率和輻照產(chǎn)品的質(zhì)量。為了提高牢靠性和穩(wěn)定性，我們承受了美國原裝進(jìn)口的發(fā)電機(jī)。SF6氣體處理系統(tǒng)：原構(gòu)造是落地管道現(xiàn)場安裝的形式，該形式的缺點(diǎn)是占地操作簡潔，外形美觀，占地空間小，自動化程度高。：國內(nèi)配套的冷卻水系統(tǒng)為開放式構(gòu)造，落地管道現(xiàn)場卻水處理系統(tǒng)改為集成的構(gòu)造形式，優(yōu)點(diǎn)為：穩(wěn)定耐用穩(wěn)定。安裝簡便在上面再用金屬軟管連接即可，不需要繁瑣的水管連接工作。操作便利設(shè)定自如，把握準(zhǔn)確。且可依據(jù)損耗功率自動調(diào)整流量。此系統(tǒng)除制冷壓縮機(jī)自身保護(hù)裝置外，還配有空氣開關(guān)、熱過載保護(hù)、制把握功能及自動復(fù)位運(yùn)行功能，確保此系統(tǒng)安全運(yùn)行。LegendoftheMachine主要部件真空、氣體處理、水處理等輔機(jī)系統(tǒng)組成。各主要局部概述如下〔1－4：高頻振蕩器120KHz打算著的最大束功與束功轉(zhuǎn)換效率。壓器〔L〕和半圓筒高頻電極與鋼筒內(nèi)壁和倍壓芯柱之間的分布電容〔C〕組成。振蕩管陽極與環(huán)形變壓器初級之間通過高頻電纜連接。柵極所需的正反響電壓則通過置于鋼筒與高頻電極之間的耦合電容板取得。件下工作，要求漏磁小、Q進(jìn)展冷卻。器和一個(gè)三相橋式整流濾波單元組成，可輸出0－18KV、0－25A的直流負(fù)高壓。可高壓測量單元取得信號，通過計(jì)算機(jī)把握來穩(wěn)定的能量。整流倍壓系統(tǒng)〔參見圖1Cse。半電暈環(huán)和高頻電極硅堆是的關(guān)鍵部件之一。它由整流芯子和帶保護(hù)球隙的金屬屏蔽盒組成，每個(gè)硅堆的平均輸出電壓為50KV。整流芯子由數(shù)百只硅二極管串聯(lián)而成，其電路設(shè)計(jì)實(shí)行了均壓和限流措施。0.65MPaSF6絕緣氣體，使得具有足夠安全的絕緣強(qiáng)度。束流加速系統(tǒng)。由加速管和電子槍組成。加速管穩(wěn)定牢靠地建立一個(gè)均勻的高梯度直流加速電場〔20KV/cm。由于真空中的擊穿放電機(jī)制簡潔，至今還不格外清楚，因此，加速管成為里最脆弱的環(huán)節(jié)，是各類高壓型提高端電壓的主要限制。在制造、運(yùn)輸、安裝和運(yùn)行時(shí)均須留神慎重。300mm的加速管機(jī)械強(qiáng)度高，真空性能好，電性能優(yōu)越，使用壽命也更長。加速管安裝在整流芯柱的中心，頂端與高壓球帽相接，底端接地。其電位分布每個(gè)絕緣環(huán)還裝有保護(hù)放電球隙，以防止過電壓沖擊。提示：裝的加速管必需經(jīng)過熬煉才能正式投入使用。熬煉的通常步驟為：①充分抽真空，到達(dá)或接近系統(tǒng)所能到達(dá)的最正確真空度〔10－6Pa范圍。②逐步上升端電壓，到真空度明顯變差時(shí)〔通常不應(yīng)差于10－5Pa范圍〕停頓壓能夠穩(wěn)定在額定值的～1.1倍時(shí)，電壓熬煉完成。熬煉過程中加速管內(nèi)部會發(fā)生大擊穿〔聲光相伴、以及真空度大幅急劇下降，此時(shí)應(yīng)適當(dāng)調(diào)低電壓。圖1 芯柱圖2 主體③電壓熬煉完成后要進(jìn)展束流熬煉：將的高壓降低至額定值的～0.9熬煉完成。以真空度到達(dá)正常穩(wěn)定狀態(tài)為準(zhǔn)。留意！在進(jìn)展束流熬煉前，必需確認(rèn)聚焦、導(dǎo)向、掃描均已調(diào)整到最正確狀態(tài)，束斑在鈦窗上位置正確！圖3 電子槍和加速管電子槍鎢絲直徑～0.8mm。陰極加熱后發(fā)出的電子被加速管上端的引出極〔也稱吸極〕引及整根加速管的電場要合理配置，經(jīng)計(jì)算確定。3掃描引出系統(tǒng)電子束離開加速管后經(jīng)漂移管進(jìn)入輻照廳。穿過掃描磁鐵組件時(shí)，在三角波磁場的作用下，進(jìn)展XY箔的厚度既要有足夠的強(qiáng)度以抵抗真空壓力，又要盡量削減電子束在穿越時(shí)的能量損耗。我們?nèi)?.04mm。即使如此，鈦箔上的能耗照舊相當(dāng)可觀，因此沿鈦窗安裝了一把風(fēng)刀，針對鈦箔進(jìn)展強(qiáng)風(fēng)冷卻。線圈，用以調(diào)整束流的聚焦和方向。掃描磁鐵由專用三角波激磁電源供電，X150Hz，Y3000Hz。引出掃描系統(tǒng)參見圖4。把握系統(tǒng)束下裝置聯(lián)動協(xié)作。啟動運(yùn)行的前提條件是：·冷卻系統(tǒng)風(fēng)、水工作正?！d與輻照廳送排風(fēng)啟動·廳與輻照廳防護(hù)門關(guān)閉·高頻機(jī)柜門關(guān)閉·鋼筒溫度、高頻機(jī)柜溫度和振蕩管冷卻水溫度達(dá)標(biāo)·7.5×10-5Pa〔5×10-4Pa〕1、加速管支架2、鋼筒底座34567、分子泵8、電磁真空截至閥9、電磁真空帶充氣閥10、機(jī)械泵11、聚焦線圈12、導(dǎo)向線圈13、漂移管14、芯管及掃描線圈15、氣動箱16、掃描盒17、束流擋板4真空抽氣與引出掃描系統(tǒng)鋼筒溫度超標(biāo)，高頻機(jī)內(nèi)部消滅過熱和過流，消滅過電壓……等等，當(dāng)上述參數(shù)特別時(shí)將自動封閉高頻。在進(jìn)入額定工作狀態(tài)、束下裝置運(yùn)轉(zhuǎn)正常之后，系統(tǒng)可以進(jìn)入閉環(huán)。當(dāng)束下暫?；驌Q卷時(shí)，束流自動降低或置零……等等。運(yùn)行時(shí)在把握屏上顯示的主要參數(shù)有：能量，流強(qiáng)，加速管分壓電流，高頻振蕩參數(shù)〔電子管屏極電壓和屏極電流真空抽氣系統(tǒng)4。FF160/620CSP-400獨(dú)任何一臺泵，即可滿足滿負(fù)荷工作的需要。為了滿足局部用戶的要求，多裝了一套機(jī)組備用。兩臺機(jī)組既可以同時(shí)工作也可以輪番工作。我們推舉先啟動分與真空度有關(guān)的連鎖把握?！踩绺鼡Q鈦箔〕必需對系統(tǒng)放大氣時(shí)，可以關(guān)閉四通上方的插板閥，保持加速管真空狀態(tài)。SF6環(huán)去除其中的水分和運(yùn)行中因放電生成的有毒有害分解產(chǎn)物。該系統(tǒng)的主要部件如下：儲氣筒,為檢修時(shí)儲存SF6氣體用。用于將氣體向鋼筒或向儲氣筒進(jìn)展壓縮。真空泵機(jī)組由真空泵、油過濾器及相應(yīng)的管道部件組成，用于對鋼筒和儲氣筒抽氣。在檢修翻開鋼筒前，它必需把鋼筒內(nèi)的SF6SF6的純度。上述各部件被緊湊地集成在一個(gè)帶有把握面板的機(jī)箱中，整個(gè)系統(tǒng)承受電動執(zhí)避開誤動作。提示：SF6的絕緣性能與其純度和含水量有關(guān)。當(dāng)氣體濕度太大時(shí)，可導(dǎo)致鋼筒內(nèi)的絕SF6分解生成SF4、SOF2SO2F2和HF害的。因此SF6氣體需要定期進(jìn)展循環(huán)處理，通過吸附塔去除其中積存的水分和放電產(chǎn)物，這對延長的使用壽命和提高其運(yùn)行的牢靠性是格外重要的。鋼筒和儲氣罐的生產(chǎn)加工均以GB150-89《鋼制壓力容器》為標(biāo)準(zhǔn)，焊接人員明文件，包括監(jiān)檢證明文件。工作條件電源:3相、380V、50HZ50T冷卻水塔工作原理與組成LSW-36S冷卻恒溫裝置是用于冷卻恒溫工作時(shí)關(guān)鍵零部件溫度的2分為低溫水箱和常溫水箱，低溫水箱的制冷量是78KW，常溫水箱的制冷量是一路通常溫水箱，假設(shè)常溫水箱的制冷量不夠，連接在低溫水箱回水管上的電磁閥當(dāng)溫度到達(dá)要求后，連接低溫水箱電磁閥翻開，連接常溫水箱電磁閥關(guān)閉，低溫水流回低溫水箱，由于低溫水箱和常溫水箱是連通的，所以不會存在水位差。低溫水箱主要冷卻鋼筒內(nèi)部和高頻機(jī)柜內(nèi)部，常溫水箱主要冷卻高頻機(jī)電子管和束流吸取板；由于鋼筒溫度要求較高，所以在該管路上安裝有周密流量把握閥門，依據(jù)鋼筒溫度自動調(diào)整管道流量，從而能根本到達(dá)恒溫效果；在每一個(gè)回路的回水口處，均安裝有流量把握器，當(dāng)消滅斷水或水壓不夠時(shí)，流量把握器發(fā)出報(bào)警信號，防止在無水或欠壓的狀況下工作，造成的順壞。技術(shù)參數(shù)型號型號LSW-36S制冷量117Kw制冷劑R22額定功率37.22Kw壓縮機(jī)功率32.82Kw凍水流量11m3電源不銹鋼水泵2.2KW 2臺壓縮機(jī)全密閉渦卷式冷凝器殼管式蒸發(fā)器外形尺寸1500*2700*2023重量1200Kg2.3.9輻射防護(hù)安全連鎖為防止在開機(jī)時(shí)發(fā)生輻射損害事故，設(shè)置了多重安全連鎖保護(hù)：①廳和輻照廳大門設(shè)有開機(jī)聯(lián)鎖，門未關(guān)好不能開機(jī)；②廳、輻留廳內(nèi)的人員患病照耀；③全部入口通道外裝有開機(jī)敏告紅燈。輻射防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)20mSv，1mSv。輻射防護(hù)劑量安全標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施取決于防護(hù)設(shè)施與安全治理兩個(gè)方面。防護(hù)設(shè)施方面土建設(shè)計(jì)要求設(shè)計(jì)，并且充分考慮客戶方的廠房狀況及特別要求等。安全連鎖為防止在開機(jī)時(shí)發(fā)生輻射損害事故，設(shè)置了多重安全連鎖保護(hù)：①廳和輻照廳大門設(shè)有開機(jī)聯(lián)鎖，門未關(guān)好不能開機(jī)；②廳、輻留廳內(nèi)的人員患病照耀；③全部入口通道外裝有開機(jī)敏告紅燈。安全治理方面猛烈建議客戶留意以下兩點(diǎn)：工作場所劑量監(jiān)測控：①在廳、輻照廳與輻照產(chǎn)品傳輸?shù)热幫ǖ廊肟谔幏謩e設(shè)置三個(gè)固定的監(jiān)測點(diǎn)，承受固定式劑量儀表進(jìn)展實(shí)時(shí)測量。②配備便攜式輻射儀，用于對工作場所其它地方作流淌探測。個(gè)人劑量監(jiān)測治理錄，嚴(yán)格治理，定期發(fā)放，定期回收。MachineDimension機(jī)器尺寸貨物部件單件重量〔噸〕數(shù)量尺寸〔米〕長×寬×高主機(jī)〔2.5MeV〕8.7012.8×2.8×6.61儲氣鋼筒4.7012.5×2.2×5.4氣體處理系統(tǒng)1.2011.8×0.65×1.5電子高頻機(jī)3.0012.3×1.0×2.0水處理系統(tǒng)1.5012.7×1.5×2.0把握柜1.620.6×0.5×2.0三、安裝SafetyRulesforMachineMovement搬運(yùn)安全事項(xiàng)LiftingtheMachine/Drawing搬運(yùn)方法Installation/Drawing安裝方法/圖InstallationandLeveling安裝及水平校正把加速管支架安裝在鋼筒底座上，測量加速管支架上平面的水平，把水平儀放水平的過程中還需使用鉛錘掉線對鋼筒預(yù)埋件中心進(jìn)展對中。鋼筒底座水平偏差：x<0.1mm y<0.1mm；鋼筒底座與鋼筒預(yù)埋件中心對準(zhǔn)偏差：x<1mm y<1mm ；先把托架柱安裝在鋼筒預(yù)埋件上，再依據(jù)裝配圖尺寸安裝托架梁，把掃描盒吊栓調(diào)整掃描盒，對準(zhǔn)掃描盒的上下法蘭中心。掃描盒與鋼筒底座中心對準(zhǔn)偏差：上法蘭x<1mmy<1mm；下法蘭x<1mmy<1mm；〔先將聚焦線圈套入漂移管〕、波浪管、分子泵、機(jī)械泵、低真空管件及離子泵安裝前先把全部的真空管件用丙酮清洗干凈，用熱風(fēng)槍吹干，檢查真空管件上〔銀絲圈和無氧銅密封墊〕均需用丙酮清洗，安裝后，應(yīng)承受塞尺檢查法蘭間隙是否均勻，安裝全過程均需配戴真絲手套和口罩。擰螺栓應(yīng)用力均勻，承受少擰多圈的原則，擰完了以后，應(yīng)承受塞尺檢查法蘭間隙是否均勻，安裝全過程均需配戴真絲手套和口罩。與真空系統(tǒng)整體撿漏：檢漏儀撿漏109 下無滲漏現(xiàn)象；；風(fēng)刀安裝，先把風(fēng)刀內(nèi)部擦洗干凈，然后把風(fēng)刀安裝在掃描盒上，依據(jù)現(xiàn)場情況配作連接風(fēng)管。安裝氣動箱組件和束流擋板組件，依據(jù)現(xiàn)場狀況配作連接束流擋板水管和氣動動作的狀況；；安裝線圈時(shí)應(yīng)留神，避開把線圈碰傷或刮損，掃描線圈安裝應(yīng)與芯管平直；a、傳動軸、發(fā)電機(jī)的安裝上全部的軸承座應(yīng)在始終線上，同步帶無上下串動現(xiàn)象；測量電壓輸出：變頻器頻率，發(fā)電機(jī)電壓, 變壓器電壓；b、測量電阻安裝調(diào)整每個(gè)電阻的距離c、電暈環(huán)、球帽的安裝吊線測量電暈環(huán)的安裝平坦?fàn)顩r：誤差<1mm；e、檢查鋼筒引出線球隙和電阻值；，高頻銅管配做、連接銅管與鋼筒壁尺寸>50mm，銅管與屏蔽電容板尺寸>50mm ，PowerSupplyRequirement電源要求把握室、高頻機(jī)房、廳、輻照廳8把握室、高頻機(jī)房、廳、輻照廳8備用20Kw5Kw從把握室配電柜供電9電動防護(hù)門~2Kw廳進(jìn)口如為手動門則不需要10照明及束下裝置依據(jù)需要實(shí)際耗電量為上述配置的一半左右。序號受電名稱負(fù)荷容量位置附注1把握臺10Kw把握室2高頻機(jī)330Kw高頻機(jī)房2.5MeV/40mA機(jī)型3氣體回收系統(tǒng)10Kw廳只在處理氣體時(shí)用4鈦窗冷卻風(fēng)機(jī)7.5Kw廳從把握室配電柜供電風(fēng)機(jī)房或煙囪5臭氧排風(fēng)機(jī)5.5Kw處從把握室配電柜供電6冷水機(jī)組30Kw冷水機(jī)房75噸行車7.5Kw廳,要求電壓波動小于±5%10kW三相電源要求電壓波動小于±2%，視電源穩(wěn)定狀況考慮是否配備三相穩(wěn)壓電源。，同時(shí)在把握室設(shè)電源柜一個(gè)，自動空氣斷路開關(guān)應(yīng)帶失壓過載保護(hù)。，各室地線間的連接不能借用建筑鋼筋連接。，防雷接地與地線系統(tǒng)分開。250∽300勒克司左右。輻照廳照明度在250勒克司左右。時(shí)人員能安全疏散。線系統(tǒng)〔可借用樁基。作與否。，信號通向把握室。ConnectPowerSourceWires外部電源連結(jié):Operation操作OperatorPosition操作位置電控柜及把握界面說明操作面板示意如下：〔即計(jì)算機(jī)把握系統(tǒng)關(guān)閉或出錯〕下操作。因而保障了系統(tǒng)更具確定的安全和牢靠性。上單獨(dú)供電的穩(wěn)壓電源。具體如以以下圖所示：:分子泵電源〔0－600Hz〕真空計(jì)X,Y掃描電源導(dǎo)向、聚焦電源濺射離子泵把握電源穩(wěn)壓電源采集，存儲，運(yùn)算以及輻照工藝配方的存儲和調(diào)用。外形如以以下圖：顯示器按鈕儀表區(qū)P制器硬件

I/O接口板:人機(jī)界面在客戶無特別要求時(shí)主要承受17寸液晶顯示器把握器是把握系統(tǒng)的核心局部，它實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)并把握整個(gè)的各項(xiàng)功300PLCCPU313C-2DP為處理器并配上多路開關(guān)量和模擬量輸入輸出模塊。模塊均為接插式，利于擴(kuò)展與維12bit。行時(shí)因鋼筒內(nèi)部打火而影響把握器的正常工作。軟件PROTOOL軟件為根底，在保證明現(xiàn)相關(guān)把握功能的根底上力求精簡，美觀且更加人性化。LOGIN畫面如下：用戶登錄點(diǎn)擊此按鈕輸入正確用戶密碼即可進(jìn)入運(yùn)行主界面廠家登錄廠家調(diào)試人員點(diǎn)擊此按鈕輸入正確密碼即可進(jìn)入廠家界面〔廠家界面不做具體介紹〕系統(tǒng)退出點(diǎn)擊此按鈕輸入即可退出運(yùn)行系統(tǒng)主控界面:1742853 96界面切換按鈕和流程圖。1：趨勢圖局部這一局部包括能量和束流的設(shè)定，開閉環(huán)把握，實(shí)時(shí)采樣及6～82：高頻機(jī)局部這局部主要指示高頻機(jī)的工作狀態(tài)。3：水系統(tǒng)局部這局部主要顯示運(yùn)行時(shí)各支路冷卻水連鎖保護(hù)信號。4：鋼筒總體局部這局部主要顯示主體局部的運(yùn)行狀態(tài)，各關(guān)心設(shè)備的正常運(yùn)行與否，內(nèi)部打火的監(jiān)測，內(nèi)部溫度和六氟化硫氣體壓力的實(shí)時(shí)測控。5：風(fēng)冷系統(tǒng)局部這局部主要顯示風(fēng)冷系統(tǒng)是否正常開啟以滿足的運(yùn)行條件。6：束下裝置這局部簡要指示當(dāng)前束下狀態(tài)及運(yùn)行時(shí)的實(shí)時(shí)跟蹤速度。7：操作按鈕操作人員只要依據(jù)界面提示按從上到下的挨次依次點(diǎn)機(jī)按鈕，待各局部都正常啟動后才能開啟高壓，預(yù)備出束。其各局部之間的聯(lián)鎖保護(hù)關(guān)系在程序中自動檢測，假設(shè)某部不能正常啟動左側(cè)對應(yīng)指示燈將不能正常點(diǎn)亮〔綠色指示。具體緣由可點(diǎn)擊“故障查詢”按鈕進(jìn)入查詢界面查看。8：關(guān)心參數(shù)設(shè)定關(guān)心參數(shù)主要有束流擋板自動關(guān)閉值和與輻照生產(chǎn)線換盤時(shí)束流自動下降到該框內(nèi)設(shè)定值。:9：界面切換按鈕這局部是引導(dǎo)操作人員進(jìn)入所需其他畫面。依據(jù)不同客戶析”和“系統(tǒng)退出”六個(gè)切換開關(guān)。故障查詢：如有條件不滿足不能正常開機(jī)或正常開機(jī)后特別停機(jī)，均可參照主畫面上各相應(yīng)紅色方塊提示：示：聯(lián)鎖故障及其他故障。當(dāng)有故障時(shí)對應(yīng)故障內(nèi)容變成紅色且閃耀指示：治理畫面：治理人員〔或廠家〕在設(shè)備初次開機(jī)時(shí)或檢修恢復(fù)后可進(jìn)入治理畫面操作進(jìn)展設(shè)備調(diào)試。假設(shè)束下均由我公司配套，則在該畫面中增加輻照工藝配方項(xiàng)。調(diào)試主要操作功能有：試起振在初次安裝時(shí)或檢修恢復(fù)后測試用打束斑初次出束或出束局部有部件更換后重校準(zhǔn)束斑用測試發(fā)電機(jī)單獨(dú)測試燈絲供電系統(tǒng)用其余功能與主界面全都，具體畫面如以以下圖所示：〔也可依據(jù)客戶要求現(xiàn)場添加。進(jìn)入該畫面可具體查看近期故障和消息記錄內(nèi)容。生產(chǎn)線輻照運(yùn)行狀況，便利維護(hù)、生產(chǎn)工藝的分析及客戶生產(chǎn)資料的保存和跟蹤。受計(jì)算機(jī)硬盤存儲空間限制，運(yùn)行參數(shù)和生產(chǎn)工藝參數(shù)記錄一般可保存兩個(gè)月左右。用戶可依據(jù)實(shí)際使用需要定時(shí)更。查詢時(shí)在報(bào)表右側(cè)選擇框內(nèi)選擇所要查詢的記錄內(nèi)容，如以以下圖所示：在條件欄中選擇要查詢數(shù)據(jù)的起始時(shí)間，點(diǎn)擊時(shí)即可彈出時(shí)間選擇框如下：警聲音提示，然后進(jìn)入故障界面查詢具體故障內(nèi)容。運(yùn)行完畢點(diǎn)擊此按鈕即可退出系統(tǒng)，運(yùn)行時(shí)不宜使用。EmergencyStop緊急停頓在發(fā)生事故時(shí)使用把握柜左上方緊急停頓按鈕 供電的高頻振蕩器總電源緊急迫斷，能量和束流立急消逝。緊急停趕忙，::安全組件的供電不切斷空回路。OperationProcedure操作規(guī)程真空系統(tǒng)操作規(guī)程真空系統(tǒng)開機(jī)程序與留意事項(xiàng)〔1)整個(gè)系統(tǒng)從大氣開頭抽氣的步驟→啟動機(jī)械泵→開電磁閥，對系統(tǒng)抽氣。切忌：閥門決不行以在一邊側(cè)呈大氣狀態(tài)另一側(cè)呈真空狀態(tài)下開啟。檢查機(jī)械泵工作狀況，如聲響是否正常、泵體發(fā)熱程度等。5Pa左右，推斷系統(tǒng)無大漏，啟動分子泵〔啟動前開啟冷卻水，水流量4升/分，水壓0.2MPa油變棕黑色、混沌時(shí)需停機(jī)處理。③分子泵運(yùn)行20分鐘或再長一些時(shí)間后啟動電離規(guī)。測量真空度。④當(dāng)系統(tǒng)真空度到達(dá)10-5Pa量級時(shí)，可啟動離子泵。等離子泵正常工作后，〔切忌：單獨(dú)使用離子泵時(shí)，必需先關(guān)閉10分鐘后停冷卻水，關(guān)電〕〔2〕停機(jī)，系統(tǒng)保持低真空狀態(tài)時(shí)啟動真空系統(tǒng)時(shí)，步驟大體一樣，但需留意插板閥的狀態(tài)，應(yīng)在兩側(cè)氣壓相當(dāng)?shù)臅r(shí)候開啟，避開前級的氣體向加速管方向倒灌。真空系統(tǒng)關(guān)機(jī)程序關(guān)閉插板閥，按需要隔離系統(tǒng)。關(guān)分子泵。10分鐘后停冷卻水，關(guān)電磁閥和機(jī)械泵。真空連鎖號。當(dāng)系統(tǒng)真空度低于5×10-3Pa時(shí)，不能啟動。運(yùn)行過程中真空度差于5×10-3Pa時(shí)，將封閉高頻。提示：應(yīng)當(dāng)連續(xù)運(yùn)行，使加速管內(nèi)保持高真空。利用旁抽管道先使兩面壓力平衡，否則會損傷插板閥和分子泵。利用插板閥進(jìn)展分隔，從下到上，有序進(jìn)展。SF6氣體處理系統(tǒng)操作規(guī)程3CQ-0.6/30計(jì)算機(jī)把握系統(tǒng)操作規(guī)程開機(jī) 啟動把握系統(tǒng)之前，應(yīng)確認(rèn)開機(jī)的前提條件〔如開機(jī)預(yù)備①開啟相關(guān)電源設(shè)備〔X/Y掃描電源，導(dǎo)向電源，聚焦電源等。PLC把握系統(tǒng)，用鼠標(biāo)左鍵單“監(jiān)控”PLC監(jiān)控主程序。開機(jī)挨次1可實(shí)現(xiàn)的正常開機(jī)挨次：單擊“開排臭氧風(fēng)機(jī)”按鈕。假設(shè)排臭氧風(fēng)機(jī)正常開啟，則指示燈變綠。單擊“開鈦窗風(fēng)機(jī)”按鈕。假設(shè)鈦窗風(fēng)機(jī)正常開啟，則指示燈變綠。單擊“關(guān)主廳門”按鈕。假設(shè)主廳門正常關(guān)閉，則指示燈變綠。單擊“關(guān)輻照廳門”按鈕。假設(shè)輻照廳門正常關(guān)閉，則指示燈變綠。單擊“開束流擋板”〔注：束流擋板可設(shè)定為自動開關(guān)狀態(tài)，當(dāng)執(zhí)行自動開關(guān)程序后，束流擋板將在輸出束流大于“束流擋板自動開啟設(shè)定值”時(shí)自動翻開。單擊“開柜內(nèi)風(fēng)機(jī)”按鈕。假設(shè)柜內(nèi)風(fēng)機(jī)正常開啟，則指示燈變綠。單擊“開燈絲電源”按鈕。假設(shè)燈絲電源正常開啟，則指示燈變綠。單擊“開鋼筒風(fēng)機(jī)”按鈕。假設(shè)鋼筒風(fēng)機(jī)正常開啟，則指示燈變綠。單擊“開高壓電源”按鈕。假設(shè)高壓電源正常開啟，則指示燈變綠。3分鐘后操作，否則操作無效，請留意屏幕提示，如下所示。單擊“高頻解鎖”按鈕。假設(shè)高頻解鎖正常開啟，指示燈變綠?？梢蚤_頭提升能量。留意，高頻解鎖時(shí)“電子槍變頻器”0電位。假設(shè)“電子槍變頻器”沒有關(guān)閉，將不能實(shí)現(xiàn)高頻解鎖。11〕當(dāng)能量值升至某一設(shè)定值后，單擊“開電子槍變頻器”按鈕。假設(shè)開機(jī)程序完畢，進(jìn)入正常工作狀態(tài)。監(jiān)控“能量設(shè)定”、“能”、“束流采樣”“分壓電流”、“掃描電流”、“導(dǎo)向電流”和振蕩管“陽極電壓”、“陽極電流”等。除此之外，它還能顯示各把握部件的開關(guān)狀態(tài)，以及提示消滅故障時(shí)相應(yīng)故障部位等。屏幕上方，有能量趨勢圖和6～8分鐘。主監(jiān)控界面11個(gè)開關(guān)量指示燈，依次往下為排臭氧風(fēng)機(jī)、鈦窗風(fēng)機(jī)、主廳門、輻照廳門、束流擋板、柜內(nèi)風(fēng)機(jī)、燈絲電源、鋼筒風(fēng)機(jī)、高壓電源、高頻解鎖，電子槍變頻器。假設(shè)它們被開啟，則燈顯示綠色，假設(shè)被關(guān)閉，則顯示紅色。任何一個(gè)故障報(bào)警均可在界面中相應(yīng)位置顯示出來，一旦有故障產(chǎn)生，就顯示警報(bào)字符為紅色閃耀，同時(shí)給出聲音報(bào)警，按“警報(bào)停頓”按鈕后聲音報(bào)警即可消逝，但屏幕上的故障信號需待故障排解后，才能消退。②主監(jiān)控界面的右下方其它按鈕的功能如下：·單擊“故障查詢”故障，鋼筒故障，束下故障和其它故障。并在此界面的右下方有如下復(fù)位按鈕：“可控硅復(fù)位”，單擊此按鈕可控硅故障可自行復(fù)位恢復(fù)正常?！白冾l器復(fù)位”“打火復(fù)位”·單擊“警報(bào)停頓”，可以解除因故障產(chǎn)生的報(bào)警聲音?！螕簟跋⒉樵儭薄沧钋懊嬗谩啊纭北硎尽沧钋懊嬗谩?！”區(qū)域清空。其次個(gè)是“返回”，用于返回到監(jiān)控界面?！螕簟跋到y(tǒng)退出”，返回登錄界面。故障警示監(jiān)控系統(tǒng)將馬上封鎖高頻，屏幕上提示相應(yīng)的故障部位紅色閃耀，并給出聲光報(bào)警。假設(shè)想取消報(bào)警聲音，可單擊“警報(bào)停頓”按鈕。依據(jù)發(fā)生故障的部位，當(dāng)全部故障被排解后，屏幕上故障提示消逝，才能重開啟。能量調(diào)整的能量輸出把握有“開環(huán)調(diào)整”和“閉環(huán)調(diào)整”兩種方式，把握方式的選留意！能量把握方式的轉(zhuǎn)變必需在高頻封鎖后進(jìn)展。能量的開環(huán)調(diào)整當(dāng)能量把握選擇開關(guān)選擇“開環(huán)”把握時(shí)，在系統(tǒng)主界面屏幕上方的能量設(shè)定值方框中輸入所要求的能量值，按“回車”鍵，再單擊能量“確認(rèn)”按鈕，則的能量當(dāng)前值中顯示的能量數(shù)值即漸漸地轉(zhuǎn)變，由于是開環(huán)把握，能量設(shè)定值與能量當(dāng)前值間會有較大的差異。能量設(shè)定值的轉(zhuǎn)變還可以通過其設(shè)定值旁邊的“增”按鈕或“減”按鈕來進(jìn)展，每按一次該按鈕，能量設(shè)定值就增加或削減輸出能量的過程中，假設(shè)按“暫?！辨I，能量轉(zhuǎn)變馬上停頓，并保持當(dāng)前值不變，再0～3.3MeV，超出此范圍的能量設(shè)定值，把握系統(tǒng)不予執(zhí)行，維持原值不變。能量的閉環(huán)把握當(dāng)能量把握選擇開關(guān)選擇“閉環(huán)”把握時(shí)，的能量輸出值會自動穩(wěn)定在按鈕，即漸漸地轉(zhuǎn)變能量輸出值，并穩(wěn)定在的能量設(shè)定值四周。在轉(zhuǎn)變輸出能量的過程中，假設(shè)按“暫?！辨I，能量轉(zhuǎn)變馬上停頓，并保持當(dāng)前值不變，再按一次“暫?！卑粹o，能量轉(zhuǎn)變連續(xù)，直至的設(shè)定值。能量輸出設(shè)定值的變。主掃描峰值電流隨輸出能量的自動跟蹤依據(jù)的工作要求，主掃描〔X掃描〕電流的大小將自動跟蹤，使之與輸出能量的凹凸相適應(yīng)，以獲得掃描窗的最大利用率，同時(shí)保證掃描寬度不管輸出能量多大均維持不變。輸出束流前的高壓熬煉1.1倍額定高壓的MeV的能量下輸出束流，則必需先將在空1.65MeV(1.5×1.1)1.5MeV出束。本1.5MeV1.65MeV。束流調(diào)整的輸出束流大小與變頻器的工作頻率亦即輸入的模擬電壓的大小相對應(yīng)。的束流調(diào)整有“內(nèi)控”和“外控”兩種工作模式，工作模式的選擇在束下把握系統(tǒng)的操作界面上確認(rèn)。束流內(nèi)控的自動操作默認(rèn)出束方式為“束流內(nèi)控”，此時(shí)，輸出束流的大小由束流設(shè)定值打算，把握系統(tǒng)自動穩(wěn)定束流輸出在設(shè)定值四周，束流穩(wěn)定度為3%，束流穩(wěn)定是通過PID0～50mA，超出此范圍的束流輸入設(shè)定值，把握系統(tǒng)不執(zhí)行，并給出相應(yīng)提示。在輸出束流轉(zhuǎn)變的過程中，假設(shè)單擊“暫?！薄皶和！卑粹o，則轉(zhuǎn)變連續(xù)；當(dāng)“暫?！庇行r(shí)，束流輸出的穩(wěn)定調(diào)整功能也將被停頓。束流外控操作輸出束流的大小即由束下傳輸系統(tǒng)操控，同時(shí)，該設(shè)定值也被顯示在主控屏幕中。在升/降束流至外控設(shè)定值的過程中，按束流“暫停”鍵也可實(shí)現(xiàn)的輸出束流暫停功能。關(guān)機(jī)過程的關(guān)機(jī)操作是開機(jī)的逆過程，關(guān)機(jī)操作步驟如下：降束流至零在“束流內(nèi)控”模式下，只需將束流設(shè)定值置零，按“確認(rèn)”鍵，輸出束1mA時(shí)，即可關(guān)閉電子槍變頻器。在“束流外控”模式下，同樣只需要將束流外控輸入置零，輸出束流即1mA時(shí)，可關(guān)閉電子槍變頻器。降能量至零在主控界面的能量設(shè)定值中輸入零，按“確認(rèn)”按鈕，能量即開頭下降至零。關(guān)機(jī)操作PLC10個(gè)開關(guān)量按鈕，即可完成關(guān)機(jī)操作。單擊“高頻封鎖”按鈕。假設(shè)高頻正常封鎖，則指示燈為紅色。單擊“關(guān)高壓電源”按鈕。假設(shè)高壓電源正常關(guān)閉，則指示燈為紅色。鋼筒風(fēng)機(jī)15分鐘內(nèi)，點(diǎn)擊按鈕不起作用。鋼筒風(fēng)機(jī)15分鐘后自動關(guān)閉，指示燈為紅色。單擊“關(guān)燈絲電源”按鈕。假設(shè)燈絲電源正常關(guān)閉，則指示燈為紅色。15分鐘后自動關(guān)閉，在這期間按鈕不起作15分鐘后正常關(guān)閉，則指示燈為紅色。單擊“關(guān)束流擋板”按鈕。假設(shè)擋板正常關(guān)閉，則指示燈為紅色。自動狀況下束流擋板已經(jīng)自動關(guān)閉。假設(shè)需要進(jìn)入輻照廳，單擊“開輻照廳門”按鈕。假設(shè)輻照廳門已正常開到位，則指示燈為紅色。則指示燈為紅色。單擊“關(guān)鈦窗風(fēng)機(jī)”按鈕。假設(shè)鈦窗風(fēng)機(jī)正常關(guān)閉，則指示燈為紅色。按鈕。假設(shè)臭氧風(fēng)機(jī)正常關(guān)閉，則指示燈為紅色。7～10可以單獨(dú)操作。鋼筒風(fēng)機(jī)和柜內(nèi)風(fēng)機(jī)關(guān)閉后〔指示燈為紅色“退出系統(tǒng)”WINDOWS系統(tǒng)。安全操作規(guī)程放射性輻射的安全開機(jī)前的安全檢查：①全部的安全連鎖系統(tǒng)、警告燈和劑量儀表是否正常；②大廳及輻照大廳是否有人，確認(rèn)無人后封閉通道；③全部進(jìn)入工作場所人員，是否佩戴個(gè)人劑量計(jì)；便攜式劑量儀作巡回檢測；必需關(guān)閉，不容許有人進(jìn)入。正常運(yùn)行時(shí)，嚴(yán)禁人員進(jìn)入大廳和輻照廳。重要提示：重要提示：線灼傷。高頻與高電壓安全〔通常主斷路器應(yīng)斷開；必需進(jìn)展帶電測試時(shí)，應(yīng)實(shí)行牢靠的安全措施。高頻機(jī)運(yùn)行時(shí)，柜門應(yīng)牢靠密閉，防止高頻泄漏對人身的損害。SF6氣體安全啟動前，應(yīng)確認(rèn)通風(fēng)系統(tǒng)己經(jīng)正常工作，避開臭氧對人體和設(shè)備的危害。6 SF含量，留意有無SF6 長期運(yùn)行后開筒檢修時(shí)，要留意開筒后剩余SF6氣體中的放電有害物質(zhì)對人體的損害。開筒后通常主廳應(yīng)排氣一段時(shí)間后進(jìn)人。如感到廳內(nèi)仍有明顯刺激性氣味，要延長排氣時(shí)間。五、Maintenance修理保養(yǎng)日常維護(hù)壽命。運(yùn)行留意描述、應(yīng)急處理過程等，以備后續(xù)的分析、爭論和實(shí)行措施之用；于正常工作狀態(tài)；對主廳和輻照廳以外的設(shè)備，還應(yīng)定期巡回檢查其運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，特別是：高頻機(jī)和冷卻水系統(tǒng)的工作狀態(tài)；③不允許任憑斷開連鎖；④定期檢查輻射安全的檢測儀器與安全連鎖是否正常。停機(jī)檢查〔留意：進(jìn)入輻照廳時(shí)須0，室內(nèi)已足夠換氣，無射線和臭氧存在〕①檢查掃描磁鐵上下法蘭及掃描盒外外表有無特別的發(fā)熱；〔長度和走向特別的色斑〔特別色斑通常反映鈦箔內(nèi)部或外部粘有臟物，可造成鈦箔局部過熱突然破損；③檢查鈦窗風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)和鈦窗冷卻風(fēng)量是否正常；④檢查各冷卻水管是否有漏；⑤從運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)和聲響推斷真空抽氣系統(tǒng)是否正常。設(shè)備檢修主體機(jī)械修理整個(gè)鋼筒有兩層密封面。上鋼筒與中鋼筒為第一層；中鋼筒與鋼筒底座為其次層。僅檢修冷阱或高頻變壓器時(shí)只需翻開第一層；僅檢修整流倍壓芯柱時(shí)只需翻開其次層。鋼筒的翻開和閉合左右，然后經(jīng)由空氣過濾器對鋼筒0MPa。②水泵停機(jī)或關(guān)閉冷阱進(jìn)水閥門，拆下冷阱的進(jìn)出水管。③拆下鋼筒1?！怖溱屣L(fēng)機(jī)電源箱、2?！碴枠O電纜接線箱、3?！舱错戨娎|接線箱〕配電箱上的全部連接線。④用鋼筒螺栓專用扳手?jǐn)Q下鋼筒連接處的全部螺栓。⑤用行車緩慢地吊起鋼筒，起吊時(shí)應(yīng)格外認(rèn)真，確保鋼筒平衡地垂直上升。三等分處用螺栓將鋼筒固定在支撐底腳上。-0.1MPaSF6氣體。冷阱的維護(hù)和檢修〔一般為一年〕后，由于水質(zhì)及氣體清潔度影響，會使水管內(nèi)外外表產(chǎn)生確定的污垢，影響傳熱效果，因此必需進(jìn)展清洗除垢工作。②為防止風(fēng)扇振動影響，應(yīng)檢查全部連接件有無松動、脫落的現(xiàn)象。③清洗后，在使用前必需檢查焊口，進(jìn)展水壓試驗(yàn)，試驗(yàn)合格才可使用。其它①安裝修理中應(yīng)留意清潔，嚴(yán)禁將垃圾、灰塵、油污等帶入主體各部件。變形，絕緣柱〔由前后兩塊絕緣板與拉桿組成〕的強(qiáng)度比較脆弱，在吊裝、搬運(yùn)時(shí)要留意受力方向，確保安全。③發(fā)電機(jī)傳動系統(tǒng)中的絕緣軸應(yīng)妥當(dāng)處理，防止劃傷和碰斷。高頻變壓器修理例行檢查與處理維持正常狀態(tài)，每隔確定時(shí)間〔如一年左右一次全面的檢查：隙的固定是否牢靠，尺寸有無變化，必要時(shí)應(yīng)重調(diào)整。拋光。導(dǎo)線接頭被燒傷的線圈盤應(yīng)予更換?；芈酚袩o泄漏。洗。污染嚴(yán)峻的線圈需更換。檢查冷卻馬達(dá)轉(zhuǎn)軸的密封。⑤檢查全部硬件和線圈的連接，確保結(jié)實(shí)牢靠。⑥全面檢查整個(gè)組件，確認(rèn)整體完好。大修人解決。高壓硅堆修理例行檢查與處理當(dāng)翻開鋼筒時(shí)，應(yīng)對硅堆進(jìn)展一次例行檢查。，必要時(shí)用塞規(guī)檢查各球隙的距離，如有變化應(yīng)調(diào)整之。據(jù)不對需檢查緣由。假設(shè)確認(rèn)硅堆已經(jīng)損壞則應(yīng)更。檢查硅堆鏈上下兩端的電抗線圈目測外表無擊穿現(xiàn)象，用萬用表測量線圈的電阻值正常即可電子槍修理具體步驟如下：拆卸電子槍提示：當(dāng)無法引出束流時(shí)，故障往往不愿定在電子槍本身，只有經(jīng)過認(rèn)真檢查分析，排解其他可能的故障后〔如電子槍供電系統(tǒng)故障等統(tǒng)放氣拆卸電子槍。拆卸電子槍的步驟如下：位。N20MPa?！布锤邏呵蛎钡鬃?。④松開電子槍壓板8只螺釘，取下槍體和電子槍罩殼，馬上蓋好加速管，以防異物落入。更換燈絲主要工具：鑷子、螺絲刀、定位塊、綢布等，各用具均用丙酮或酒精清洗，熱風(fēng)吹干，操作時(shí)應(yīng)戴真絲或尼龍手套。①觀看電子槍整體狀況，確定需要檢修或更換的部件〔如燈絲、柵極等；②卸下柵極固定螺釘，撤除柵極；③松開燈絲壓板螺釘，取下舊燈絲；④將拆卸的電子槍零部件進(jìn)展必要的更后，清洗備用；⑤安裝燈絲或酒精清洗，熱風(fēng)吹干?！?步安裝柵極，保證其同心度；·2步安裝燈絲：將燈絲兩腳嵌入燈絲桿槽中，用壓板輕壓，用定位塊確0.65mm〔燈絲放射面應(yīng)與柵極平面平行壓板。留意！安裝過程中應(yīng)避開燈絲受到機(jī)械應(yīng)力；殼、槍體及壓板，抽真空，檢漏。⑦安裝散熱片和供電連接線，重調(diào)整保護(hù)球隙；10－5Pa量級，對燈絲逐步加熱放氣，直到系統(tǒng)的真空度不再隨加熱電流的增加而明顯變〔留意!去氣過程要緩慢，要確定避開加熱電流超過電子槍的最大使用電流。議整體更換一個(gè)完好的備用電子槍。拆卸下來的電子槍另行檢修備用。加速管修理例行檢查與處理下步驟檢查：①用2500V搖表測量每串均壓電阻值，并做好記錄；覺察問題進(jìn)展整修，損壞的要更換；確。如有不符，需進(jìn)展調(diào)整；④檢查加速管的絕緣環(huán)有否打火痕跡，并作記錄；⑤檢查加速管與倍壓系統(tǒng)之間的連接是否完好結(jié)實(shí)，連接電阻有無損壞；留意！操作時(shí)帶真絲或尼龍手套，不要污染加速管的絕緣環(huán)。加速管的拆卸和安裝裝步驟如下：①拆卸加速管的步驟·取下高壓半球，撤除電子槍和加速管與頂板及整流柱其他局部之間的全部連接導(dǎo)線，取下頂板；·4根絕緣拉桿端部的螺帽；·對加速管內(nèi)充入枯燥N2氣至0MPa，然后拆卸電子槍，并馬上用盲板蓋住加速管上部端口，以防污染和異物落入加速管內(nèi)；·拆卸加速管與加速管支座之間的固定螺栓；·用吊車留神地吊起加速管，加速管吊起10-20CM后需用盲板分別蓋住加速管下部端口和加速管支座端口。在吊起過程中要嚴(yán)防加速管和其它部件相碰。②加速管組件的解體與重安裝留意！加速管組件的解體必需在格外干凈的房間進(jìn)展?！ぜ铀俟芙M件和其它零部件從加速管中拆卸時(shí)必需保護(hù)好法蘭密封面不受機(jī)械損傷和污染?！すに嚩蝺?nèi)電極的折裝、清洗和工藝段內(nèi)部的清洗規(guī)程需依據(jù)污染的具體狀況打算，內(nèi)電極的拆裝需防止電極片的機(jī)械擦傷?！ぜ铀俟芙M件的重安裝必需依據(jù)加速管總裝圖上規(guī)定的要求進(jìn)展。·加速管組件在重安裝過程中必需分步進(jìn)展真空檢漏。③加速管重安裝的步驟·加速管在搬運(yùn)過程中必需用盲板蓋住其上下端口?！ぜ铀俟茉诎惭b之前可以先裝上電子槍?！び玫踯噷⒓铀俟艿醯郊铀俟苤ё稀Ｔ诰嘀ё?0-20cm時(shí)拆去下部盲板和支座上的盲板，放上密封圈，然后留神緩慢地對準(zhǔn)法蘭的密封口就位，再擰緊法蘭固緊螺栓；吊裝過程中要嚴(yán)防加速管與其他部件相碰。·抽真空，檢漏；·裝上頂板?！みB接電子槍和加速管上的全部連接導(dǎo)線，重加固并校準(zhǔn)放全部放電球隙。·裝上高壓半球。員參與，并由公司在技術(shù)上負(fù)責(zé)。鈦窗更換鈦箔的拆裝·拆下鼓風(fēng)吹管，移開束擋板；·拆下全部鈦窗壓板，卸下密封框、舊鈦箔及密封鋁絲；·清洗鈦箔，留意外表不得有劃痕、折痕或其他缺陷；·清洗密封框，將清洗好的鈦箔用真空硅脂粘在密封框上，〔留意：油脂要均勻涂抹在密封框上，不得溢出密封框；·清洗法蘭面，將密封絲按需要長度紋接后張緊在四只彈簧定位柱上，并使其盡量平直；·把粘好鈦箔的密封框用四個(gè)小螺釘安裝在掃描盒的下部法蘭上；·裝上全部壓板，先不加力。待全部壓板就位后，再用扭力扳手逐步加力，加力要均勻，要從掃描盒中心線向外逐步將全部螺栓上緊；·加力完成后，用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏。如覺察有漏，可適當(dāng)局部加力；·操作過程中要留意保護(hù)鈦窗，不要劃傷，并留意清潔；·完成操作后鈦箔外外表要再清洗一次；·恢復(fù)鼓風(fēng)吹管原來位置；恢復(fù)束擋板機(jī)構(gòu)。鈦箔清洗工藝·用清潔軟布覆在平滑的桌面上；·平坦放下鈦箔，不能皺折或折疊；·按一個(gè)方向輕摩擦拭鈦箔外表，直到全部外表清潔為止；·留神翻轉(zhuǎn)鈦箔，避開皺折，以同樣方法擦拭清潔另一面。提示：損傷，以防止因局部過熱而發(fā)生突然破損；鈦窗有確定的正常使用壽命，應(yīng)當(dāng)記錄鈦窗的使用時(shí)間，在壽命終結(jié)之前主的，例如嚴(yán)峻污染甚至損壞加速管和真空泵。真空系統(tǒng)的拆裝與清洗部件的裝拆和清洗，以下是一些一般的提示。狀態(tài)前，決不要拆卸任何部件。真空系統(tǒng)和部件的拆卸①拆卸前預(yù)備：·預(yù)備一個(gè)安放或保存拆下零件的處所，如足夠大的清潔平臺或容器；·預(yù)備專用盲板，以便拆開的真空部件可以用盲板將其封閉，避開受到外界的污染。假設(shè)開啟時(shí)間很短，也可用清潔的鋁箔或塑料膜代替。②拆卸前對相關(guān)的真空系統(tǒng)放入枯燥N2氣或空氣；〔不起毛應(yīng)置真空枯燥箱內(nèi)保存；硬質(zhì)工具去撬動密封環(huán)。真空系統(tǒng)和部件的安裝留意！安裝真空系統(tǒng)時(shí)必需遵守相應(yīng)的真空衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。①全部待安裝的零部件應(yīng)確保清潔；尼龍手套，用經(jīng)過清潔處理的工具進(jìn)展操作；③防止損傷密封外表及密封刀口；應(yīng)均勻?qū)ΨQ，緊固后還應(yīng)留有確定的壓縮余量。⑤一時(shí)不能封閉的管口，要用盲板封上，安裝完成后應(yīng)進(jìn)展真空檢漏。真空部件的清洗以下是真空清洗時(shí)應(yīng)當(dāng)留意之要點(diǎn)：然后用自來水將洗滌劑的剩余沖盡，最終用去離子水沖洗干凈后，用無水酒精脫水，熱風(fēng)吹干〔或烘干；丙酮、無水酒精等，溶劑的質(zhì)量必需保證，否則反而可能被溶劑中的雜質(zhì)污染，特別是加速管和電子槍等關(guān)鍵部件。和效率；它們通常只適合金屬件的清洗；此外，有機(jī)溶劑還會傷及人體皮膚，因此操作時(shí)要使用工具，或帶適宜的防護(hù)手套。TroubleShooting故障排解在的操作過程中，可能消滅的故障有：檢查束流擋板的“氣閥”是否翻開、氣壓是否適宜。假設(shè)束流擋板始終開著或關(guān)著，則應(yīng)檢查氣動裝置以及限位開關(guān)是否卡住，檢查中間繼電器是否動作正常。及相關(guān)器件，否則須由專人檢修。應(yīng)首先檢查“電子槍變頻器故障”是否顯示在屏幕上，再檢查束下裝置是否正常，或者是否有其它故障提示?！按_認(rèn)”不變，應(yīng)檢查輸入設(shè)定指示是否正