附件1光誘導(dǎo)力顯微光學(xué)測量系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

PAGE1PAGE3附件1：光誘導(dǎo)力顯微光學(xué)測量系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)項號貨物名稱數(shù)量技術(shù)參數(shù)及性能（配置）要求1光誘導(dǎo)力顯微光學(xué)測量系統(tǒng)1套介紹:在可見～紅外波段下，對于納米光子學(xué)、貴金屬納米結(jié)構(gòu)、二維材料以及范德華異質(zhì)結(jié)構(gòu)（諸如像激子極化、等離極化、聲子極化）等領(lǐng)域，進行電磁場強/極化強度成像及光譜采集。對于聚合物、生命科學(xué)、無機物等研究領(lǐng)域，進行化學(xué)成像及光譜采集。該探測系統(tǒng)也可以與拉曼-熒光光譜等進行聯(lián)用。技術(shù)指標：1.多視角光學(xué)顯微鏡平臺★1.1具備正置-倒置一體顯微鏡平臺，正置顯微鏡具備20X/0.42NA物鏡，倒置顯微鏡具備60X/0.9NA物鏡，該物鏡由13μm×13μm×100μm的壓電掃描器控制，用于準確對焦和物鏡/激光掃描。1.2電動樣品臺可移動范圍：6mm×6mm，位移傳感器精度：<100nm，重復(fù)性：<1μm。1.3最大樣品尺寸：75mm×25mm×5mm。1.4預(yù)留額外的光路接口，可連接其它遠場成像技術(shù)，例如：共聚焦拉曼-熒光光譜儀，超分辨熒光顯微鏡，單分子熒光成像系統(tǒng)等。2.檢測頭部：2.1檢測頭部具有多種成像模式，包括：形貌，電勢，電荷，電磁場強，光吸收?！?.2檢測頭部內(nèi)置由壓電陶瓷控制的拋物面鏡，可以將外置激光器由側(cè)面激發(fā)至針尖與樣品間。其中壓電陶瓷最大支持1mm×1mm×0.8mm的行程以及20μm×20μm×20μm的高精度掃描，拋物面鏡的數(shù)值孔徑約合0.5。2.3檢測頭部頭部檢測器噪音水平低于<50fm/√Hz（200KHz以上），系統(tǒng)噪音優(yōu)于70pm（RMSZ-noise）。2.4掃描器XY掃描范圍及噪音水平：80μm×80μm，<0.4nm（RMS@1KHz帶寬），在UltraQuiet模式下（10μm×10μm以內(nèi)），噪音水平<0.1nm。掃描器Z方向掃描范圍及噪音水平：10μm，<0.1nm（RMS）。2.5檢測頭部頭部內(nèi)置1μmZ方向上高速掃描器。2.6針座帶有定位槽，快速更換探針以及激光對準?！?.可見~紅外電磁場強成像及光譜采集：3.1可見~近紅外波長可調(diào)諧激光器：可見-近紅外光源覆蓋400~2400nm，波長可調(diào)諧范圍450~1450nm。光源總功率不低于6W。脈沖重復(fù)率可調(diào)，最高2MHz。光束發(fā)散角，<2mrad@633nm脈沖寬度：100ps3.2中紅外寬帶波長可調(diào)諧量子級聯(lián)激光器：中紅外波光源覆蓋5.37~13.15μm，波長可調(diào)諧范圍5.37~13.15μm。覆蓋范圍的三個交叉點能量不低于20mW，峰值功率150mW。脈沖重復(fù)率可調(diào)，最高3MHz。光束穩(wěn)定性，<1mrad（1100cm-1范圍內(nèi)）。脈沖寬度：30~50ns，步進單位10ns。冷卻方式：循環(huán)水自動冷卻。3.3具備可見~近紅外（450~1450nm）以及中紅外（5.37~13.15μm），電磁場強成像及光譜采集，無需遠場光學(xué)接收器或光譜儀，具備光學(xué)顯微鏡探測功能。3.4電磁場強空間分辨率：<10nm，光譜分辨率：2~10nm（可見~近紅外），<2cm-1（中紅外）?！?.拉曼-熒光光譜儀：4.1單模固態(tài)532nm激光器。4.2光譜范圍：200~1100nm。4.3拉曼范圍：100~2100cm-1。4.4光譜空間分辨率:360nm@532nm激光器&0.9NA物鏡，光譜波數(shù)分辨率：5cm-1?！?.帶電磁屏蔽罩的主動隔振系統(tǒng)：5.1主動隔振臺隔振范圍：0.6~200Hz，被動隔振范圍：200Hz以上，隔振效率：XYZ>5Hz,94.4%，XYZ>10Hz,99%。5.2電磁屏蔽罩內(nèi)置溫度控制系統(tǒng)，可將儀器所處的環(huán)境溫度控制在+/-0.2°C，降低熱漂移所帶來的影響。6.控制系統(tǒng)與軟件：6.1控制系統(tǒng)及軟件將所有功能模塊高度集成，可控制項目包括：可見-近紅外光源，原子力顯微鏡及其擴展功能和光譜采集及數(shù)據(jù)分析。★6.2控制系統(tǒng)具備4個優(yōu)質(zhì)雙相鎖相放大器，用于形貌，光誘導(dǎo)力成像，近場光學(xué)三者同時成像。6.3控制系統(tǒng)最大采樣率>500MHz，可調(diào)帶寬0~10MHz，ADC數(shù)量為12個，頻率分別為8×24-bit,156KHz，4×24-bit,156KHz，同時采集和顯示20個多通道數(shù)據(jù)?！?.4控制系統(tǒng)包含一臺計算機工作站、具備與儀器相連接的接口和網(wǎng)絡(luò)接口等附件，以便對儀器進行控制以及數(shù)據(jù)傳輸。兩臺高對比度彩色平板顯示器，用以同時顯示多個控制菜單和圖像。6.5提供成熟軟件包，用以采集、顯示及離線數(shù)據(jù)分析。6.6提供軟件系統(tǒng)終身免費升級。7.其他附件AFM鍍金探針210根?！?.配置要求：8.1多視角光學(xué)顯微鏡平臺（底部，側(cè)面，頂部）1套8.2閉環(huán)平板掃描器（80μmXYZ）1套8.3測量頭部1套8.4高速控制箱1套8.5開爾文探針力顯微鏡1套8.6控制系統(tǒng)與軟件（含1臺專用工作站及2個顯示器）1套8.7主動式隔振臺1套8.8中紅外寬帶波長可調(diào)諧量子級聯(lián)激光器(760~1860cm-1)1套8.9可見~近紅外激光器(400~2400nm，450~1450nm)1套8.10激光器多路切換系統(tǒng)1套8.11干燥空氣系統(tǒng)1套8.12帶有掃描器的底部物鏡1套8.13頭部真空罩