外延工藝簡介

外延工藝簡介By趙仲鏞杭州士蘭集成電路有限公司杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)東區(qū)10號路308號HangzhouSilanIntegratedCircuitCo.,Ltd。308,No.10Road,EastHETZ,Hangzhou,Zhejiang,China3100182005.08.05

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1什么叫外延生長？硅外延的基本原理外延設(shè)備及所用的氣體在外延中應(yīng)注意的問題外延層中的晶體缺陷外延的質(zhì)量表征因子外延層測試設(shè)備目前國內(nèi)外延的動(dòng)態(tài)從事外延工作人員應(yīng)具備的基本素質(zhì)：敬業(yè)精神、一絲不茍的工作態(tài)度、質(zhì)量意識和安全意識。CompanyConfidential2

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