美國熱電 146C 動態(tài)氣體校準器

PAGEPAGE7146C動態(tài)氣體校準器使用手冊美國熱電子與等離子有限公司

目錄TOC\o"1-5"第一章簡介 1工作原理 1精確氣體稀釋系統(tǒng) 1臭氧傳遞標準 2氣相滴定（GPT） 2滲透爐 2第二章儀器安裝 3安裝步驟 3遙控接頭 3狀態(tài)輸入端 4儀器狀態(tài)輸出 5第三章操作 7顯示屏 7按鍵 7RUN鍵 7MENU鍵 7ENTER鍵 7HELP鍵 7鍵 8軟件簡介 8開機屏幕 9自測試屏幕 9運行屏幕 10待機屏幕和零氣運行屏幕 10氣體稀釋運行屏幕 11滲透爐運行屏幕 13傳遞標準運行屏幕 14氣相滴定運行屏幕 15主菜單 16供氣方式 17待機狀態(tài) 18零氣 19A、B、C鋼瓶氣稀釋氣 20滲透爐 21傳遞標準 22氣相滴定（GPT） 23流量控制 24手動設置 25零氣，A、B、C稀釋氣 26自動設置 27A、B、C鋼瓶氣稀釋氣 28滲透氣體 31臭氧發(fā)生器控制 34儀器控制 35波特率 36儀器識別號 37屏幕亮度 38維修方式 39時間 40日期 41診斷 42程序號 43電壓 44溫度 45選擇開關 46報警 47機內(nèi)溫度 48臭氧燈溫度 50滲透爐溫度 52維修方式 54設置流量控制器 55校準氣體流量及校準零氣流量 57滲透爐 59滲透爐溫 60校準DTOA#4 61校準爐熱敏電阻、氣體熱敏電阻、設置氣體溫度 62外接電磁閥 63A/D頻率 65測試D/A 67置零 68滿度 69D/A轉(zhuǎn)換測試 70設置測試屏幕 71機內(nèi)選擇開關 72遙控 73RS－232 73臭氧發(fā)生器 73滲透爐 73參數(shù)鎖定 73第四章校準 74質(zhì)量流量控制器 74臭氧發(fā)生器 75使用49C和49CPS校準 75只使用49CPS校準 75在不同流量上校準臭氧發(fā)生器 76滲透管爐 76用水浴池設置測量溫度 76用已知的精確爐溫的滲透爐設置測量溫度 78根據(jù)滲透管的重量減少量決定滲透率 79根據(jù)傳遞標準確定滲透率 79第五章操作原理 81電子部分 81直流電源 81臭氧發(fā)生器電源 81滲透爐溫控板 82微處理器系統(tǒng) 82顯示組件 82處理器板 82D/A板 83A/D板 83C-LINK板 83氣路系統(tǒng) 83精確氣體稀釋 83臭氧發(fā)生器 84氣相滴定 84滲透爐 85第六章故障診斷和排除 87故障診斷與排除指導 88第一章簡介

第一章簡介146C動態(tài)氣體校準器可以提供精確濃度的各種氣體，如O3、CO、碳氫化合物（不包括CH4）、SO2、NOx、NO2等等。這些不同濃度的氣體被用來對各種測量儀器進行校準，包括校零、準確度檢查、單點檢查、審核及多點測量。146C的技術指標完全符合或超過美國EPA的有關準確度檢查，單點檢查，審核及多點測量的標準。所有146C的組件（包括質(zhì)量流量控制器、O3發(fā)生器、滲透爐、電源和電磁閥）一直以來都被用于儀器校準，并以其準確性和可靠性而著稱。在146C中，這些部件組成了一臺受微機控制的儀器，并提供了菜單驅(qū)動軟件，使用起來更為方便，且整個校準過程中可在屏幕上進行連續(xù)設置。此微處理器還能進行許多必要的計算，這樣操作者就不用在現(xiàn)場或?qū)嶒炇疫M行有關參數(shù)的計算了。146C可以接受數(shù)據(jù)采集器或微機的遙控，進行零點、標點的檢查或多點校準。工作原理146C有多達四種的供氣裝置，這四部分中只有氣體稀釋裝置是儀器的基本組成部分，其它三部分是可選的。這四部分如下（圖1-1）：氣體稀釋系統(tǒng)O3傳遞標準氣相滴定系統(tǒng)滲透爐校準系統(tǒng)精確氣體稀釋系統(tǒng)氣體稀釋通過使用兩個或更多的質(zhì)量流量控制器來實現(xiàn)。一個是高流量控制器（10slm），用來控制零氣的流量；另一個是低流量控制器（100sccm），用來控制被稀釋的氣體的流量。這兩部分氣體在一個Teflon混合室里充分混合。為能稀釋多種氣體，146C有三個獨立的進氣口，用哪種氣體決定于開放A、B、C中哪個電磁閥（圖1-1），必須注意的是一次只能打開一個電磁閥。O3傳遞標準146C可以裝一個內(nèi)置的O3發(fā)生器。O3是由空氣經(jīng)185nm的紫外線照射而生成的。儀器既可通過改變零氣的流量又可通過改變光強來改變O3的濃度。使用質(zhì)量流量控制器可以保持O3流量的穩(wěn)定。光強則可通過控制燈溫和使用高穩(wěn)定性的電源來控制。O3閥門裝于O3發(fā)生器之前，當03系統(tǒng)用于傳遞標準或氣相滴定時此閥門才開啟。氣相滴定（GPT）GPT是通過把已知濃度的NO和03相混合，并使用化學發(fā)光分析儀的NO通道測出NO的減少量來實現(xiàn)的。因為生成的NO2的量等于減少的NO的量，所以可知NO2的量。反應公式如下：NO+O3NO2+O2+hv在146C中，GPT是由氣體稀釋系統(tǒng)和O3發(fā)生器組成的。先使用氣體稀釋系統(tǒng)把已知濃度的NO鋼瓶氣和零氣相混合來實現(xiàn)NO的稀釋，然后加入少量的O3，接著NO和O3的混合氣進入反應室。此反應室的體積事先已選定以便符合美國EPA的關于動態(tài)參數(shù)規(guī)格的要求。氣體最終通過反應室及儀器輸出端輸出。滲透爐滲透爐是作為一個滲透氣體源。為達到輸出精度，必須保持滲透管恒溫。只允許少量的零氣進入加熱的滲透爐，可實現(xiàn)滲透管的恒溫。大部分的零氣不經(jīng)過滲透爐而直接進入反應室。在微處理器的控制下，可用閥門1和閥門2（圖1-1）改變通過滲透爐的氣流方向，使氣流進入反應室或到排空端。必須注意的是無論儀器處于何種方式，都應有零氣不斷地流入滲透爐，為此必須持續(xù)地將約每分鐘150cc的零氣通過毛細管送入滲透爐。第二章儀器安裝

第二章儀器安裝安裝步驟把零氣源連接到儀器后面板的標有ZEROAIR的進氣端（圖2-1）。如果146C安裝了10lpm或20lpm的質(zhì)量流量控制器，零氣源必須能夠提供超過25psi壓力的至少10lpm或20lpm的零氣。把標準鋼瓶氣與標有A、B或C的端口相連接。如果146C安裝了滲透爐，按以下步驟安裝滲透管：移開儀器蓋，確認滲透爐的位置（圖2-2）。松開爐蓋兩面的鎖扣，并移開爐蓋。擰松玻璃管頂部的壓花螺釘，把玻璃管輕輕地拉出滲透爐（圖2-3）。旋轉(zhuǎn)著拔下玻璃管頂部的塞子（圖2-3），注意保持玻璃管的清潔，最好不要用手直接拿玻璃管。把滲透管放入玻璃管中，注意不要讓滲透管一下子落在玻璃管底部，以防滲透管將玻璃管底部擊碎。旋上玻璃管頂部的塞子（圖2-3）。把玻璃管組件推入滲透爐，直到玻璃管的塞子全部進入滲透爐（圖2-4）。用手擰緊壓花螺釘，注意不要擰得太緊。放回爐蓋，小心地把管道系統(tǒng)和電線裝于爐蓋的槽中。給儀器接上合適的電源。遙控接頭儀器背面有一個25針的接口可以用于對儀器的遙控。另外這個接口中還有對應控制輸入的輸出信號接頭。

（1）地（13）地（2）NC（14）NC（3）輸入-氣體濃度（15）輸入-氣體濃度（4）輸入-滲透爐（16）輸入-氣體濃度（5）輸入-配氣模式（17）輸入-配氣模式（6）地（18）輸入-配氣模式（7）繼電器公共端（19）地（8）輸出-報警（20）繼電器公共端（9）輸出-氣體濃度（21）輸出-氣體濃度（10）輸出-滲透爐（22）輸出-氣體濃度（11）輸出-配氣模式（23）輸出-配氣模式（12）繼電器公共端（24）輸出-配氣模式（25）繼電器公共端狀態(tài)輸入端狀態(tài)接口中的4、5、17、18號端子可輸入繼電器信號，用于選擇配氣方式。各接點信號見下表：PIN451718配氣方式打開打開打開待機打開打開關閉零氣打開關閉打開打開A路稀釋氣關閉關閉打開打開A路稀釋氣加滲透爐打開關閉打開關閉B路稀釋氣關閉關閉打開關閉B路稀釋氣加滲透爐打開打開關閉打開C路稀釋氣關閉打開關閉打開C路稀釋氣加滲透爐打開關閉關閉滲透爐關閉關閉打開03傳遞標準關閉關閉關閉GPT

狀態(tài)接口中的3、15、16號端子可輸入繼電器信號，用于選擇各種配氣方式下氣體的濃度。各接點信號見下表：PIN31516O3濃度氣體濃度打開打開打開↑↓手動打開打開關閉零氣零氣關閉打開打開濃度1濃度1關閉打開關閉濃度2濃度2打開關閉打開濃度3濃度3打開關閉關閉濃度4濃度4關閉關閉打開濃度5濃度5儀器狀態(tài)輸出PIN10112324配氣方式打開打開打開待機打開打開關閉零氣打開關閉打開打開A路稀釋氣關閉關閉打開打開A路稀釋氣加滲透爐打開關閉打開關閉B路稀釋氣關閉關閉打開關閉B路稀釋氣加滲透爐打開打開關閉打開C路稀釋氣關閉打開關閉打開C路稀釋氣加滲透爐打開關閉關閉滲透爐關閉關閉打開O3傳遞標準關閉關閉關閉GPT

PIN92122O3濃度氣體濃度打開打開打開↑↓手動打開打開關閉零氣零氣關閉打開打開濃度1濃度1關閉打開關閉濃度2濃度2打開關閉打開濃度3濃度3打開關閉關閉濃度4濃度4關閉關閉打開濃度5濃度5儀器狀態(tài)輸出中的8號端子是用于儀器的報警輸出。當儀器報警時，繼電器關閉。第三章操作

第三章操作本章介紹146C動態(tài)氣體校準器的面板顯示屏，按鍵和菜單驅(qū)動軟件。顯示屏屏幕顯示為4行，每行20個字符，可顯示流量、儀器參數(shù)、儀器控制及幫助信息。按鍵RUN鍵RUN鍵（圖3-1）用于顯示運行屏幕。運行屏幕顯示儀器的當前設置。MENU鍵MENU鍵用于從運行屏幕顯示主菜單，如果儀器不是正處于顯示運行屏幕狀態(tài)，按此鍵則返回上一級菜單。有時菜單所包括的內(nèi)容較多，屏幕不能同時顯示菜單的全部內(nèi)容，這時可用和鍵來移動光標以觀察菜單的每一項。要了解更多有關主菜單的情況，請閱讀后面有關“主菜單”的章節(jié)。ENTER鍵ENT鍵用于選擇菜單項，完成一項輸入或是觸發(fā)ON/OFF功能。HELP鍵HELP鍵是幫助說明鍵，提供當前顯示內(nèi)容以外的信息。按HELP鍵會顯示有關當前屏幕或菜單的簡單說明。幫助信息用屏幕底部的字符行顯示，因此很容易同操作屏幕區(qū)分開。如果想退出幫助屏，可按MENU鍵返回原先屏幕或按RUN鍵返回運行屏幕。鍵這四個箭頭鍵(和)用于向上、下、左、右移動光標。軟件簡介146C儀器的菜單驅(qū)動軟件流程圖如圖3-2所示。最上邊為開機和自測試屏幕，儀器每次開機時都顯示這兩屏幕內(nèi)容，在預熱階段或是做自檢過程中，也顯示這些內(nèi)容(可按RUN鍵或MENU鍵跳過這些屏幕顯示)。預熱過程結束后，儀器自動顯示運行屏幕。運行屏幕顯示儀器當前所處的方式，屏幕上選擇的是以前設置的氣體濃度（如果儀器顯示Can’t:RemoteMode”，按ENTER鍵將儀器轉(zhuǎn)換至LocalMode即本地狀態(tài)，便于選擇不同濃度的氣體）。在顯示運行屏幕時，按MENU鍵顯示主菜單。主菜單由子菜單的列單構成，子菜單中包括儀器相應的參數(shù)及功能。本章將詳細介紹每一個子菜單及其屏幕顯示。

開機屏幕每次146C儀器開機時,會顯示開機屏幕,如下圖所示，按RUN鍵或MENU鍵可跳過此屏幕顯示。THERMOENVIRONMENTALINSTRUMENTSMODEL146C開機屏幕自測試屏幕自測試屏幕，如下圖所示，在儀器預熱過程中或在儀器進行故障診斷時顯示。按RUN鍵或MENU鍵可跳過此屏幕顯示。MODEL146CSELFTEST10/10/9710：32自測試屏幕

運行屏幕運行屏幕在146C的操作中起著很重要的作用。它不僅能顯示儀器的當前設置，而且可以顯示以前在自動設置方式下所選擇的氣體濃度，或者是以前手動設置的氣體濃度。另外，傳遞標準方式下O3的濃度也是在運行屏幕上設置的。它還可以用來設定只允許零氣從儀器輸出端輸出。待機屏幕和零氣運行屏幕STANDBYSTANDBY10：32SERVICE待機運行屏幕ZEROAIR1.03slmZEROAIR1.03slmALARMREMOTELOCAL零氣運行屏幕以上第一幅圖是當儀器處于待機方式時的運行屏幕。第一行顯示了當前方式（待機）。第二行顯示了當前時間，且維修方式已打開。以上第二幅圖是當儀器處于零氣方式下的運行屏幕。第一行顯示了當前方式（零氣）及儀器中的零氣流量。第二行顯示儀器處于報警狀態(tài)。通常時間也顯示在此處。屏幕上第二行還顯示儀器正處于遙控方式。按ENTER鍵，LOCAL會代替REMOTE出現(xiàn)在屏幕上（表示儀器從遙控狀態(tài)轉(zhuǎn)換為當?shù)貭顟B(tài)）。

氣體稀釋運行屏幕ZEROAIR1.03slmZEROAIR1.03slmGASA30.2sccmOUTPUTPPM0.410SPAN110：32LOCALGASBGASC←SPAN2？←SPAN3？SPAN4？SPAN5？MAN？ZERO？氣體稀釋運行屏幕以上是氣體稀釋運行屏幕，第一行顯示了零氣流量。146C可選用三種外接標準氣。第二行顯示了當前是氣體A、B、C中的哪一種及其流量。第三行顯示了輸出氣體的濃度。第四行顯示所選擇的氣體濃度。選定的濃度之后不帶問號。（上例中，SPAN1即是所選定的濃度。）流量的設置如下：SPAN1—SPAN5是以前設置好的氣體稀釋濃度。氣體A、B、C均可設成五種不同的濃度。儀器可以根據(jù)所設定的標氣濃度，按照一定的配氣規(guī)則設定鋼瓶氣和稀釋氣流量。MAN也是一組已設置好的氣體參數(shù)。在這個狀態(tài)下所有的流量參數(shù)可手動設置。ZERO表示儀器只輸出零氣。儀器關閉了標氣A、B、C的進氣電磁閥，零氣流量也已設定。使用氣體稀釋運行屏幕：從流量方式菜單選擇氣體A、B或C。按RUN鍵可循環(huán)選擇標氣、手動或零氣設置。按ENTER鍵確定選擇。必須注意的是在運行屏幕上不能改變標氣、手動或零氣稀釋比。這些變化可在流量控制菜單的適當屏幕上設置。氣體稀釋也可以和滲透爐相結合。為同時使用滲透爐和氣體稀釋系統(tǒng)，滲透爐必須運行氣體A、B或C屏幕。當兩種方式被共同使用時，會顯示如下運行屏幕：ZEROAIR1.03slmZEROAIR1.03slmGASA30.2sccmOVENSPAN110：32LOCALGASBGASC←SPAN2？←SPAN3？SPAN4？SPAN5？MAN？ZERO？氣體稀釋/滲透爐運行屏幕氣體稀釋/滲透爐運行屏幕和氣體稀釋運行屏幕的區(qū)別在于第三行。“OVEN”這個詞表示滲透爐處于工作狀態(tài)。滲透爐的輸出取決于總流量、滲透率以及所安裝的滲透管的滲透系數(shù)。這個屏幕的使用方法和氣體稀釋屏幕是一樣的。

滲透爐運行屏幕ZEROAIR5.65slmZEROAIR5.65slmOUTPUTPPM0.432OVENPERM110：32LOCALPERM2？←PERM3？PERM4？PERM5？MAN？ZERO？滲透爐運行屏幕單獨使用滲透爐時顯示如上運行屏幕。第一行顯示了零氣流量。第二行顯示了儀器的輸出濃度。第三行表示滲透爐正處于工作狀態(tài)。第四行顯示選擇了哪個預設置的濃度。所選定的的濃度之后不帶問號（如上圖的PERM1即是所選定的濃度）。流量特征如下：PERM1-PERM5是以前設置好的氣體稀釋濃度。氣體A、B、C均可設成五種不同的濃度。儀器可以根據(jù)所設定的標氣濃度，按照一定的配氣規(guī)則設定稀釋氣流量。MAN也是一組已設置好的氣體參數(shù)。在這個狀態(tài)下所有的流量參數(shù)可手動設置。ZERO表示儀器只輸出零氣。儀器關閉了標氣A、B、C的進氣電磁閥，零氣流量也已設定。運用滲透爐運行屏幕時：從流量方式菜單選擇滲透爐。按RUN鍵循環(huán)選擇滲透爐輸出濃度、手動和零氣設置。按ENTER鍵確定選擇。必須注意的是自動設置或手動設置時滲透率的變化不能在運行屏幕上設置，但可從流量控制菜單的適當屏幕上設置。氣體稀釋可和滲透爐方式結合起來，前面的氣體稀釋運行屏幕描述了這兩種方式同時使用的情況。

傳遞標準運行屏幕ZEROAIR1.03slmZEROAIR1.03slmTRANSFERSTANDARDO3LEVEL84.0%LEVEL110：32LOCAL→？LEVEL2←LEVEL3LEVEL4LEVEL5↑↓ZERO傳遞標準運行屏幕如上圖所示，傳遞標準方式下，第一行顯示的是零氣流量。第二行表示校準器正處于傳遞標準方式下。第三行顯示O3的輸出幅度。注意此幅度與輸出的ppb濃度沒有直接聯(lián)系。屏幕上的百分數(shù)之后的問號表示當前并不處于此幅度上。第四行顯示了流量特征，如下：LEVEL1—LEVEL5是設定好的O3濃度，這些濃度在O3發(fā)生器控制屏幕設定?！梢杂脕碓趥鬟f標準屏幕中直接設定O3濃度ZERO表示儀器只輸出零氣。儀器關閉了標氣A、B、C的進氣電磁閥，零氣流量也已設定。使用傳遞標準運行屏幕時：從流量方式菜單上選擇傳遞標準方式。按RUN鍵循環(huán)選擇輸出幅度、↑↓和零氣設置。按ENTER鍵確定選擇。如果是在↑↓設置下，按↑鍵和↑鍵增加或減少O3濃度。按ENTER鍵確認其濃度。完成這些步驟后，百分數(shù)后的問號即消失。必須注意的是從LEVEL1到LEVEL5的O3的百分比變化不能在運行屏幕上設置。這些變化應在O3控制菜單的適當屏幕上設置。

氣相滴定運行屏幕ZEROAIR1.03slmZEROAIR1.03slmGPTGASA30.2sccmO3LEVEL75.2%LEVEL210：32LOCAL？LEVEL2LEVEL3LEVEL4LEVEL5ZERO氣相滴定運行屏幕如上所示，GPT方式下屏幕的第一行顯示了零氣流量。第二行顯示了儀器正處于GPT方式及哪種標氣（A、B或C）正在被O3滴定。第二行同時顯示了氣體流量。第三行顯示了輸出的O3幅度。注意此幅度與輸出濃度沒有直接聯(lián)系。以上屏幕上百分數(shù)之后的問號表示當前并不處于此幅度上。第四行顯示了流量特征，如下：LEVEL1—LEVEL5是設定好的O3濃度，這些濃度在O3發(fā)生器控制屏幕上設定?！脕碓趥鬟f標準屏幕上直接設定O3濃度。ZERO表示儀器只有零氣通過O3發(fā)生器，但O3燈是關閉的。零氣的流量是預先設置好的。。使用氣相滴定運行屏幕時：從流量方式菜單上選擇氣相滴定方式。按RUN鍵循環(huán)選擇輸出幅度、↑↓和零氣設置。按ENTER鍵確定選擇。如果是在↑↓設置下，按↑鍵和↓鍵增加或減少O3濃度。按ENTER鍵確認其濃度。此過程后，百分數(shù)后的問號會消失。必須注意的是從LEVEL1到LEVEL5的O3的百分比變化不能在運行屏幕上設定。這些變化應在O3控制菜單的適當屏幕上設定。

主菜單主菜單包含數(shù)個子菜單，如下圖所示。根據(jù)不同的功能，儀器的參數(shù)和特性被劃分到各個子菜單中。顯示主菜單：在運行屏幕上按MENU鍵。當從運行屏直接進入主菜單時，可用鍵跳至最近顯示的子菜單屏。使用主菜單：用和鍵可將光標移到各子菜單名上。用ENTER鍵選擇一個子菜單。MAINMENU10:32>FLOWMODES流量方式>FLOWCONTROLS流量控制OZONATORCONTROLSO3發(fā)生器控制INSTRUMENTCONTROLS儀器控制DIAGNOSTICS診斷ALARM報警SERVICE(在維修方式下才能見到此項)主菜單

供氣方式供氣方式菜單包括待機狀態(tài)、零氣、A稀釋氣、B稀釋氣、C稀釋氣、滲透爐、傳遞標準和氣相滴定方式。顯示供氣方式菜單：從主菜單中選供氣方式。供氣方式菜單的應用：按和鍵,把光標>移到所需要的項目名稱上。按ENTER鍵,以確認選項。按MENU鍵,可返回主菜單。按RUN鍵,可返回運行屏幕。FLOWMODES：>STANDBYZEROAIRGASADILUTIONGASBDILUTIONGASCDILUTIONPERMEATIONOVENTRANSFERSTANDARDGPT供氣方式菜單

待機狀態(tài)在待機狀態(tài)下，儀器不產(chǎn)生校準標準氣。處于待機狀態(tài)下及當儀器中裝有滲透爐選件時，少量的零氣（約每分鐘150cc）通過滲透爐排出儀器，除此之外沒有其它氣體流經(jīng)儀器。顯示待機狀態(tài)屏幕：從主菜單中選供氣方式菜單(FLOWMODE)。從供氣方式菜單中選待機狀態(tài)(STANDBY)。如果儀器處于其它供氣方式下，則屏幕上第一行的“STANDBY”將被別的字樣替代（如以下屏幕上的“ZEROAIR”），第二行會問是否要把儀器設置到待機狀態(tài)。MODE：ZEROAIRSETSTANDBY？待機狀態(tài)屏幕，儀器設置到零氣狀態(tài)要從其它方式下把儀器設置到待機狀態(tài)：按ENTER鍵，儀器通過屏幕上閃爍“SAVINGPARAMETER（S）”字樣來確認選擇，顯示屏第二行的問號也將消失。

零氣零氣方式是指只允許零氣流經(jīng)儀器。這種方式下，大部分的零氣被送至輸出端，少量的零氣流經(jīng)調(diào)壓器和滲透爐。零氣的流量可在流量控制菜單的手動設置屏幕上設置。顯示零氣屏幕：在主菜單中選供氣方式(FLOWMODES)。在供氣方式菜單中選零氣(ZEROAIR)。如果儀器是在其它方式下，則它將代替“ZEROAIR”顯示在屏幕第一行上（如以下屏幕上的“STANDBY”），第二行會問是否要將儀器設置到零氣方式。MODE：STANDBYSETZEROAIR？零氣屏幕，儀器設置到待機狀態(tài)將儀器從其它方式下設置到零氣狀態(tài)：按ENTER鍵，儀器通過屏幕上閃爍“SAVINGPARAMETER（S）”字樣來確認選擇，顯示屏第二行的問號也將消失。

A，B，C鋼瓶氣稀釋氣A、B、C稀釋氣方式解釋了A，B或C鋼瓶氣的氣體流量，以及是否要將其與滲透爐的輸出混合在一起。A、B、C氣體流量既可在流量控制菜單中的手動設置選項中設置，也可在自動設置選項中設置。顯示A、B、C稀釋氣體屏幕：在主菜單中選供氣方式（FLOWMODES）在供氣方式菜單中選A、B、C稀釋氣體（GASA，B，ORCDILUTION）A，B，C稀釋氣體屏幕的使用：用和鍵在選定的氣體稀釋方式中（如氣體A）結合或除去滲透爐輸出。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回供氣方式菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。MODE：STANDBYSETGASA/OVENIN？IN/OUT氣體稀釋屏幕，儀器設置至待機狀態(tài)

滲透爐滲透爐是提供儀器內(nèi)校準氣體氣源的一種選件。在這種方式下，少量的零氣流經(jīng)滲透爐并在混合反應室中與剩余的零氣流相混合。零氣流量可在流量控制菜單中的手動設置屏幕上設置。顯示滲透爐屏幕的方法：在主菜單中選供氣方式(FLOWMODES)。在供氣方式菜單中選滲透爐(PERMEATIONOVEN)。如果儀器是在其它方式下，則它將代替“PERMEATIONOVEN”顯示在屏幕第一行上（如以下屏幕上的“GASC”），第二行會問是否要將儀器設置到滲透爐方式。MODE：GASC/OVENINSETPERMEATIONOVEN？滲透爐屏幕，儀器設置到稀釋氣體A將儀器從其它方式下設置到滲透爐狀態(tài)：按ENTER鍵，儀器通過屏幕上閃爍“SAVINGPARAMETER（S）”字樣來確認選擇，并且顯示屏第二行的問號也將消失。

傳遞標準146C包括一個內(nèi)置式O3發(fā)生器。流經(jīng)O3發(fā)生器的O3流量的變化以及O3燈光強的變化均能使輸出的O3濃度發(fā)生變化。零氣的流量可在流量控制菜單的手動設置屏幕上設置。顯示傳遞標準屏幕：在主菜單中選供氣方式（FLOWMODES）。在供氣方式菜單中選傳遞標準（TRANSFERSTANDARD）。如果儀器是在其它方式下，則它將代替“TRANSFERSTD”顯示在屏幕第一行上（如以下屏幕上的“PERMEATIONOVEN”），第二行會問是否要將儀器設置到傳遞標準方式。MODE：PERMEATIONOVENSETTRANSFERSTD？傳遞標準屏幕，儀器設置到滲透爐將儀器從其它方式下設置到傳遞標準狀態(tài)：按ENTER鍵，儀器通過屏幕上閃爍“SAVINGPARAMETER（S）”字樣來確認選擇，并且顯示屏第二行的問號也將消失。

（GPT）氣相滴定氣相滴定方式通過使用內(nèi)置式O3發(fā)生器從NO氣源上產(chǎn)生已知濃度的NO2。顯示氣相滴定屏幕：在主菜單中選供氣方式（FLOWMODES）。在供氣方式菜單中選氣相滴定。按MENU鍵返回到供氣方式菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。氣相滴定屏幕的應用：用和鍵設置適當?shù)臍怏w輸入。按ENTER鍵確認此輸入。如果儀器是在其它方式下，則它將代替“GPT”顯示在屏幕第一行上（如以下屏幕上的“STANDARD”），第二行會問是否要將儀器設置到氣相滴定，即GPT方式。MODE：TRANSFERSTDSETGPT/GASA？GASGPT屏幕，儀器設置到傳遞標準將儀器從其它方式下設置到GPT狀態(tài)：按ENTER鍵，儀器通過屏幕上閃爍“SAVINGPARAMETER（S）”字樣來確認選擇，并且顯示屏第二行的問號也將消失。

流量控制如下所示的流量控制屏幕，允許用戶手動或自動地設置流量。顯示流量控制屏幕：在主菜單中選流量控制（FLOWCONTROLS）。流量控制屏幕的應用：用和鍵移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按RUN鍵返回運行屏幕。FLOWCONTROLS：>MANUALSETTINGSAUTOMATICSETTINGS流量控制屏幕

手動設置手動設置被用來在零氣、滲透爐、傳遞標準和氣相滴定方式下控制零氣和稀釋氣流量。另外，手動設置也可在氣體稀釋方式下使用。顯示手動設置屏幕：在主菜單中選流量控制（FLOWCONTROLS）。在流量控制菜單中選手動設置（MANUALSETTING）。手動設置屏幕的應用：用和鍵移動光標。按MENU鍵返回流量控制菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。MANUALSETTINGS：>ZEROAIR7.05slmGASA10.2sccmGASB50.1sccmGASC20.0sccm手動設置屏幕

零氣，A，B或C稀釋氣這些屏幕用來進行零氣和稀釋氣流量的手動設置。顯示零氣、A、B或C稀釋氣屏幕：在手動設置屏幕上選擇零氣、A、B、C氣體中的任一種。零氣，A，B和C稀釋氣屏幕的應用：按和鍵選擇零氣、A、B或C中的任一種。按ENTER鍵確認選擇。零氣、A、B或C稀釋氣屏幕的應用：（以下的例子顯示了氣體A屏幕）用和鍵增加或減少零氣、A、B或C的流量。按ENTER鍵確認新的流量。按MENU鍵返回手動設置菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。GASA10.2sccmSETTO8.9sccm？INC/DEC零氣、A、B或C稀釋氣屏幕實例

自動設置自動設置被用來在氣體稀釋和滲透爐方式下設置流量。在氣體稀釋方式下，可設置五個標氣濃度。使用自動設置，需要輸入鋼瓶氣濃度、輸出濃度和流量。然后儀器自動計算出零氣及稀釋氣的流量以便達到所需的輸出濃度和流量的要求。氣體稀釋流量也可手動設置。在滲透爐方式下，可設置五種濃度。需要輸入滲透管常數(shù)，滲透率及所要求的輸出濃度。之后儀器會自動計算出零氣流量以達到所要求的輸出濃度。以下所示的屏幕，能夠用于自動設置A、B、C稀釋氣體和滲透爐氣體。顯示自動設置屏幕的方法：在主菜單中選流量控制（FLOWCONTROLS）。在流量控制屏幕上選自動設置（AUTOMATICSETTIGNS）。自動設置屏幕的應用：按和鍵移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回流量控制菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。AUTOMATICSETTINGS：>GASADILUTIONGASBDILUTIONGASCDILUTIONPERMEATIONGAS自動設置屏幕

A，B，C鋼瓶氣稀釋氣這些屏幕可用于A、B、C氣體流量的自動計算。操作員輸入鋼瓶氣PPM濃度、儀器輸出PPM濃度和總流量，儀器自動計算出鋼瓶氣流量、零氣流量以完成參數(shù)設置，并在屏幕上顯示所設定的參數(shù)，如下所示。這些參數(shù)被存儲起來以備將來的使用。顯示A，B，C氣體屏幕：在流量控制屏幕中選自動設置（AUTOMATICSETTING）。在自動設置菜單中按和鍵選擇氣體A、B、C或滲透氣體。按ENTER鍵確認選擇。A、B、C稀釋氣屏幕的應用：用和鍵移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回自動設置屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。CONCENTRATIONS：>SPAN1PPM100.1SPAN2PPM0.580SPAN3PPM2.20SPAN4PPM0.980SPAN5PPM4.95濃度屏幕

當選定一個標氣濃度后，會顯示如下的參數(shù)設置屏幕：PARAMETERSETTING：>TANKPPM2100.0OUTPUTPPM100.1TOTAL5.00slmZEROAIR4.76slmGASA238.3sccm參數(shù)設置屏幕在參數(shù)設置屏幕上進行選擇：按和鍵上下移動光標。按ENTER鍵選擇參數(shù)。按MENU鍵返回濃度屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。當選定鋼瓶氣濃度（TANKPPM）后，會出現(xiàn)以下顯示屏，在此屏幕中可輸入鋼瓶氣的PPM濃度：TANKPPM2100.000SETTOPPM2100.000INC/DECCURSOR鋼瓶氣濃度屏幕使用TANKPPM屏幕用鍵和鍵把下劃線移到要改變的數(shù)字上。用和鍵增加或減少下劃線上的數(shù)字。用鍵和鍵把下劃線移到另一個要改變的數(shù)字上。按ENTER鍵確認修正過的TANKPPM。按MENU鍵返回參數(shù)設置屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。

OUTPUT是指從146C儀器到分析儀的輸出。當選定輸出PPM（OUTPUTPPM）參數(shù)后，會顯示如下屏幕：OUTPUTPPM0100.000SETTOPPM0200.000INC/DECCURSOR輸出PPM屏幕改變輸出PPM屏幕：用鍵和鍵把下劃線移到要改變的數(shù)字上。用和鍵增加或減少下劃線上的數(shù)字。用鍵和鍵把下劃線移到另一個要改變的數(shù)字上。按ENTER鍵確認修正過的輸出PPM。按MENU鍵返回參數(shù)設置屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。TOTAL是指流經(jīng)146C儀器的總流量（例如零氣流量加上稀釋氣的流量）。當選定總量參數(shù)（TOTAL）后，會顯示如下屏幕：TOTAL5.00slmSETTO5.00slmINC/DEC總量屏幕使用總量設置：按和鍵增加或減少總流量。按ENTER鍵確認修正過的總流量。按MENU鍵返回參數(shù)設置屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。在參數(shù)設置屏幕上只能看到零氣和氣體A流量設置。零氣和氣體A流量通過輸入鋼瓶氣濃度、儀器輸出濃度和總流量自動算出。

滲透氣體如下所示的滲透氣體屏幕，可以自動計算出滲透爐的零氣流量。通過設置滲透管常數(shù)、氣體滲透率和輸出濃度，儀器可自動計算出零氣流量。顯示滲透氣體屏幕：在流量控制屏幕上選擇自動設置。在自動設置屏幕上按和鍵選擇滲透氣體。按ENTER鍵確認選擇。當在自動設置屏幕上選擇好滲透氣體后，會顯示如下的濃度屏幕：CONCENTRATIONS：>PERM1PPM0.200PERM2PPM0.050PERM3PPM0.360PERM4PPM0.100PERM5PPM0.120滲透濃度屏幕使用濃度菜單：按和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回自動設置屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。

在濃度菜單上進行選擇之前，會顯示如下的參數(shù)設置屏幕，輸入滲透管常數(shù)、滲透率和輸出濃度。儀器自動計算出零氣的流量來達到這些參數(shù)的要求，并把設定的參數(shù)顯示在屏幕上，如下所示：PARAMETERSETTINGS：>CONSTANT0.382RATEng/m2240OUTPUTPPM0.200ZEROAIR4.28slm滲透參數(shù)設置屏幕使用參數(shù)設置屏幕：按和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回濃度屏幕。按RUN鍵返回運行屏幕。在參數(shù)設置屏幕選定常量之后，會顯示如下的屏幕。在此屏幕上可把儀器設置為使用的滲透管常數(shù)：CONSTANT0000.382SETTO0000.382INC/DEC滲透常數(shù)屏幕使用滲透管常數(shù)屏幕：按和鍵增加或減少常量。按ENTER鍵確認修正后的常量。

在參數(shù)設置屏幕選定滲透率之后，會顯示如下屏幕。在此屏幕上可設置使用的滲透管的滲透率：RATEng/min2240.000SETTO2300.000INC/DECCURSOR滲透率屏幕改變滲透率設置：用鍵和鍵把下劃線移到要改變的數(shù)字上。用和鍵增加或減少下劃線上的數(shù)字。用鍵和鍵把下劃線移到另一個要改變的數(shù)字上。按ENTER鍵確認修正過的比率。在參數(shù)設置屏幕選定輸出濃度之后，會顯示如下屏幕。在此屏幕上可設置所需的滲透氣體濃度：OUTPUTPPM00000.200SETTOPPM00000.200INC/DECCURSOR滲透輸出屏幕改變輸出設置：用鍵和鍵把下劃線移到要改變的數(shù)字上。用和鍵增加或減少下劃線上的數(shù)字。用鍵和鍵把下劃線移到另一個要改變的數(shù)字上。按ENTER鍵確認修正過的輸出。

O3發(fā)生器控制使用如下的O3發(fā)生器控制屏幕，可設置五種O3發(fā)生器輸出幅度。O3發(fā)生器控制屏幕的顯示方法：在主菜單中選O3發(fā)生器控制(OZONATORCONTROLS)。OZONATORCONTROLS>OZONATORLEVEL1OZONATORLEVEL2OZONATORLEVEL3OZONATORLEVEL4OZONATORLEVEL5O3發(fā)生器控制屏幕使用O3發(fā)生器控制屏幕：用和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。在作出選擇之后，會顯示如下屏幕：LEVEL190.7%SETTO90.7%INC/DECO3發(fā)生器幅度屏幕用和鍵增加或減少其輸出幅度。按ENTER鍵確認修正過的輸出。按MENU鍵返回O3發(fā)生器控制。按RUN鍵返回運行屏幕。

儀器控制在如下顯示的儀器控制菜單中，可設置波特率、儀器識別號、屏幕亮度、維修方式、時間和日期。顯示儀器控制屏幕的方法：在主菜單中選儀器控制(InstrumentControl)。INSTRUMENTCONTTROLS：>BAUDRATEINSTRUMENTIDSCREENBRIGHTNESSSERVICEMODETIMEDATE儀器控制屏幕使用儀器控制屏幕：用和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

波特率波特率表示與外部設備的通信速率。如下所示的波特率屏幕用于選擇不同的波特率，如：1200、2400、4800和9600。顯示波特率屏幕的方法：從主菜單中選儀器控制(InstrumentControl)。在儀器控制菜單中選波特率(BAUDRATE)。BAUDRATE9600SETTO9600INC/DEC波特率屏幕波特率屏幕的應用：按或鍵在1200到9600波特率之間循環(huán)選擇。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN返回運行屏幕。

儀器識別號儀器識別號用于定義不同的儀器，屏幕如下所示：儀器識別號屏幕的顯示方法：在主菜單中選儀器控制(InstrumentControls)。從儀器控制菜單中選儀器識別號(INSTRUMENTID)。INSTRUMENTID51SETTO51INC/DEC儀器識別號屏幕儀器識別號屏幕的應用：按或鍵增加或減少識別號。按ENTER鍵確認所選擇的號。按MENU鍵返回儀器識別號菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

屏幕亮度屏幕亮度屏幕，如下所示，用于改變屏幕的亮度，依次有25％、50％、75％和100％幾個等級。顯示屏幕亮度屏幕的方法：在主菜單中選儀器控制(InstrumentControl)。在儀器控制菜單中選屏幕亮度(ScreenBrightness)。BRIGHTNESS100%SETTO100%INC/DEC屏幕亮度屏幕屏幕亮度屏幕的使用：用和鍵增加或減少屏幕的亮度。按ENTER鍵確認。按MENU鍵返回儀器控制菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

維修方式維修方式屏幕如下圖所示，用于將維修方式打開或關閉。維修方式中含有在對146C儀器進行調(diào)整和故障診斷時有用的參數(shù)和功能。當儀器處于維修方式時，所采集的數(shù)據(jù)是無效的。顯示維修屏幕的方法：從主菜單中選儀器控制(InstrumentControl)。從儀器控制菜單中選維修方式(ServiceMode)。SERVICEMODEONTURNOFF？維修方式屏幕維修方式屏幕的使用方法：按ENTER鍵觸發(fā)維修方式的開或關。按MENU鍵返回儀器控制菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

時間下圖所示的時間屏幕可對儀器內(nèi)部的時鐘進行設置，屏幕上第一行顯示了當前時間。時間屏幕的顯示方法：從主菜單中選儀器控制(InstrumentControl)。從儀器控制菜單中選時間(Time)。時間屏幕的用法：按和鍵左、右移動下劃線光標___到所需改變的小時或分鐘上。按和鍵增加或減少小時和分鐘值。按和鍵左、右移動下劃線光標___到另一組所需改變的小時或分鐘上,并再次用和鍵增加或減少小時和分鐘值。按ENTER鍵確認更改。按MENU鍵返回儀器控制菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。TIME15：18SETTO15：18INC/DECCURSOR時間屏幕

日期如下所示的日期屏幕可對日期參數(shù)，即月、日、年作設置。屏幕上第一行顯示了當前日期。日期屏幕的顯示方法：從主菜單中選儀器控制(InstrumentControl)。從儀器控制菜單中選日期(Date)。日期屏幕的用法：按和鍵左、右移動下劃線光標___到所需改變的月、日或年上。按和鍵增加或減少下劃線上的值。按和鍵左、右移動下劃線光標___到另一組所需改變的值上，并再次用和鍵增加或減少下劃線上的值。按ENTER鍵確認更改。按MENU鍵返回儀器控制菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。DATE11/04/97SETTO11/04/97INC/DECCURSOR日期屏幕

診斷如下所示的診斷菜單上可顯示程序號、電壓、溫度和選擇開關的狀態(tài)。診斷菜單的顯示方法：從主菜單中選診斷(Diagnostics)。診斷菜單的使用方法：按和鍵上、下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。DIAGNOSTICS：>PROGRAMNUMBERSVOLTAGESTEMPERATURESOPTIONSWITCHES診斷屏幕

程序號程序號屏幕，如下圖所示，顯示儀器所裝程序的版本號。程序號屏幕的顯示方法：在主菜單中選診斷(Diagnostics)。在診斷菜單中選程序號(ProgramNumber)。程序號屏幕的用法：這只是一幅顯示程序號的屏幕。按MENU鍵返回診斷菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。INSTRUMENTPROGRAM：C000100PCOMMUNICATIONS：146C000100L程序號屏幕

電壓電壓屏幕如下圖所示，顯示直流電源的電壓。使用此屏幕可對電源板的輸出電壓低或電壓波動等故障做快速檢查，而無需用電壓表進行測量。電壓屏的顯示方法：從主菜單中選診斷(Diagnostics)。在診斷菜單中選電壓(Voltages)。電壓屏的用法：這只是一幅顯示電壓值的屏幕。按MENU鍵返回診斷菜單。按RUN鍵返回運行屏。+5SUPPLY4.9V+15SUPPLY14.9V-15SUPPLY-14.5VBATTERY3.0V電壓屏幕

溫度溫度屏幕如下圖所示，顯示機內(nèi)溫度、O3燈溫度和滲透爐溫。溫度屏幕的顯示方法：從主菜單中選診斷(Diagnostics)。從診斷菜單中選溫度(Temperatures)。溫度屏幕的用法：這只是一幅信息顯示屏幕。按MENU鍵返回診斷菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。TEMPERATURES：INTERNAL28.1CO3LAMP71.2CPERMGAS45.00C溫度屏幕

選擇開關選擇開關屏幕，如下圖所示，使用戶能看到機內(nèi)開關的設置。用軟件不能改變選擇開關的設置。選擇開關屏幕的選用方法：從主菜單中選診斷(Diagnostics)。從診斷菜單中選選擇開關(OptionSwitches)。選擇開關屏的使用方法：這只是一幅顯示屏。用和鍵上、下移動光標。按MENU鍵返回診斷菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。OPTIONSWITCHES：>#1REMOTEON#2RS-232ON#3OZONATORON#4PERMOVENON#5SPAREOFF#6LOCKOFF#7SPAREOFF#8SPAREOFF選擇開關屏幕

報警報警菜單，如下圖所示，顯示儀器所監(jiān)測的項目。如果所監(jiān)測的項目超出了上下限，該項目的狀態(tài)就會從“OK”分別變?yōu)椤癏igh”或“Low”。報警屏幕第一行顯示了超出范圍的項目數(shù)。這個菜單還允許為每個項目設定一個可接受的范圍。顯示報警菜單的方法：從主菜單中選報警（Alarm）。ALARMSDETECTED：1>INTERNALTEMPOKO3LAMPTEMPLOWPERMOVENTEMPOK報警屏幕報警菜單的使用方法：按和鍵上、下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

機內(nèi)溫度機內(nèi)溫度屏，如下圖所示，顯示機殼內(nèi)的當前溫度和工廠設定的最小和最大報警極限值。調(diào)出機內(nèi)溫度屏幕的方法：在主菜單中選報警(Alarm)。在報警菜單中選機內(nèi)溫度。INTERNALTEMP：ACTUAL28.4C>MIN18.5CMAX47.0C機內(nèi)溫度屏幕機內(nèi)溫度屏幕的用法：按和鍵上、下移動光標。按ENTET鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。按ENTER鍵會進入如下屏幕，如果維修方式被開啟，在此屏幕上可進行最大和最小溫度值的修改：MIN18.5CSETTO18.5CINC/DEC最小機內(nèi)溫度屏幕

MAX47.0CSETTO47.0CINC/DEC最大機內(nèi)溫度屏幕最小和最大機內(nèi)溫度屏幕的用法：按和鍵增加或減少溫度值。按ENTET鍵確認修正后的機內(nèi)溫度。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

O3燈溫度如下所示的O3燈溫度屏幕顯示了當前的03燈溫度和允許的最小和最大溫度值。調(diào)出O3燈溫度屏幕的方法：在主菜單中選報警(Alarm)。在報警菜單中選O3燈溫度。O3LAMPTEMP：ACTUAL68.9C>MIN65.0CMAX75.0CO3燈溫度屏幕O3燈溫度屏幕的用法：按和鍵上、下移動光標。按ENTET鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。按ENTER鍵會進入如下屏幕，如果維修方式開啟，在此屏幕上可進行最大和最小燈溫度值的修改：MIN65.0CSETTO65.0CINC/DEC最小O3燈溫度屏幕

MAX75.0CSETTO75.0CINC/DEC最大O3燈溫度屏幕最小和最大O3燈溫度屏幕的用法：按和鍵增加或減少溫度值。按ENTET鍵確認修正后的O3燈溫度。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

滲透爐溫度如下所示的滲透爐溫度屏幕顯示了當前的滲透爐溫度和允許的最小和最大溫度值。調(diào)出滲透爐溫度屏幕的方法：在主菜單中選報警(Alarm)。在報警菜單中選滲透爐溫度。PERMEATIONGASTEMP：ACTUAL45.00C>MIN44.90CMAX45.10C滲透爐溫度屏幕滲透爐溫度屏幕的用法：按和鍵上、下移動光標。按ENTET鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。按ENTER鍵會進入如下屏幕，如果維修方式開啟，在此屏幕上可進行最大和最小滲透爐溫度值的修改：MINTEMP44.90CSETTO44.90CINC/DEC最小滲透爐溫度屏幕

MAXTEMP45.10CSETTO45.10CINC/DEC最大滲透爐溫度屏幕最小和最大滲透爐溫度屏幕的用法：按和鍵增加或減少溫度值。按ENTET鍵確認修正后的滲透爐溫度。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

維修方式維修方式菜單僅當儀器處在維修方式時才出現(xiàn)。讓儀器進入維修方式的步驟是：從主菜單中選儀器控制(InstrumentControls)，再從儀器控制菜單中選維修方式(ServiceMode)。當儀器處在維修方式時，主菜單中即增加一個維修菜單。從如下所示的維修方式屏幕，可進入質(zhì)量流量控制器設置、氣體和零氣流量控制器校準、滲透爐溫設置屏幕。顯示維修方式菜單的方法：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。SERVICEMODE：>SETCONTROLLERSCALIBRATEGASFLOWCALIBRATEZEROFLOWPERMEATIONOVENEXTERNALSOLENOIDSA/DFREQUENCYTESTD/ASETTESTDISPLAY維修方式屏幕維修方式菜單的用法：按和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MWNU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

設置流量控制器如下所示的設置控制器屏幕，顯示了零氣和氣體質(zhì)量流量控制器的滿度值。儀器用這些值來進行機內(nèi)校準。注意：只有在工廠里或當換一個不同范圍的流量傳感器時才能改變滿度值。隨意改變儀器的出廠設置值將產(chǎn)生錯誤的校準結果。顯示設置控制器屏幕：從主菜單中選擇維修方式。從維修方式中選擇設置控制器。SETCONTROLLERS：>ZEROAIR10.00slmGAS100.0sccm設置控制器屏幕如下所示的零氣和氣體控制器屏幕可從設置控制器屏幕通過移動光標到其中一個選項并按ENTER鍵進入。（但是，在試圖修改其值前請先看一下以上的注意事項。）ZEROAIR10.00slmSETTO10.00slmINC/DEC零氣控制器屏幕

GAS100.0sccmSETTO100.0sccmINC/DEC氣體控制器屏幕用和鍵增加或減少值。按ENTER鍵確認新的值。

校準氣體流量，校準零氣流量每個質(zhì)量流量控制器都在工廠中進行了校準以確認其線性。如下所示的校準流量屏幕用來輸入新的校準因素。每一臺質(zhì)量流量控制器出廠時，都有各自的校準因素。注意：用戶可以在廠方的指導下修改氣體流量校準系數(shù)，隨意改變氣體流量校準系數(shù)會產(chǎn)生錯誤的結果。顯示校準氣體流量屏幕或校準零氣流量屏幕：從主菜單中選擇維修方式。從維修方式中選擇校準氣體流量或校準零氣流量。CALIBRATEGASFLOW：>100%OFFULLSCALE80%OFFULLSCALE60%OFFULLSCALE40%OFFULLSCALE20%OFFULLSCALE校準氣體流量屏幕CALIBRATEZEROFLOW：>100%OFFULLSCALE80%OFFULLSCALE60%OFFULLSCALE40%OFFULLSCALE20%OFFULLSCALE校準零氣流量屏幕

如下所示的每一個滿度百分數(shù)的氣體和零氣校準屏幕可通過移動光標到其中一個百分數(shù)選項并按ENTER鍵進入。（但是，在試圖修改其值前請先看一下以上的注意事項。）GASSETTO100%STDFLOW98.0sccmINC/DEC氣體流量輸入屏幕ZEROSETTO100%STDFLOW9.8slmINC/DEC零氣流量輸入屏幕使用零氣和氣體控制器屏幕：用和鍵增加或減少值。按ENTER鍵確認新的值。

滲透爐146C可配備一個溫度固定在30C、35C或45C的滲透爐。如下所示的滲透爐屏幕可把儀器設置到與滲透爐相應的溫度。注意：每一臺146C型儀器已在工廠中設好了滲透爐溫度，如不與廠方聯(lián)系就任意改變滲透爐溫度會使?jié)B透爐溫度設置和濃度讀數(shù)出錯。顯示滲透爐屏幕：從主菜單中選擇維修方式。從維修方式中選擇滲透爐。PERMEATIONOVEN：>PERMOVENTEMPCALDTOA#4CALOVENTHERMISTORCALGASTHERMISTORSETGASTEMPERATURE滲透爐屏幕滲透爐屏幕的用法：按和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回主菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。

滲透爐溫滲透爐溫可在如下所示的滲透溫度屏幕上設置。在試圖改變工廠設置之前請注意前一頁的警告。使用滲透溫度屏幕：按和鍵在溫度值中選擇。按ENTER鍵確認新的值。PERMTEMPAT45.0CSETTO45.0CINC/DEC滲透溫度屏幕

校準DTOA#4146C使用爐溫校正信號（D/A）以保持滲透爐內(nèi)溫度的恒定。以下過程用于校準D/A4。顯示校準DTOA#4屏幕：在主菜單中選擇維修方式。在維修方式中選擇滲透爐。在滲透爐中選擇校準DTOA#4。使用校準DTOA#4屏幕：按ENTER鍵設置D/A為0伏特，會顯示如下屏幕。在D/A板上調(diào)整Z4直到量出D/A板上J1的插頭2和插頭4之間的電壓為0伏特。按ENTER鍵設置D/A4為10伏特。調(diào)整D/A板上的SP4直到量出插頭2和插頭4之間的電壓為10伏特。按MENU鍵返回滲透爐菜單。DTOA#40SETTO1000？AdjZ4for0.000VBetweenpins2and4校準DTOA#4屏幕

校準爐熱敏電阻、氣體熱敏電阻、設置氣體溫度如下所示的的校準爐熱敏電阻、校準氣體熱敏電阻和設置氣體溫度屏幕被用來校準滲透管爐。顯示校準爐熱敏電阻、校準氣體熱敏電阻或設置氣體溫度屏幕：在主菜單中選擇維修方式。在維修方式中選擇滲透爐。在滲透爐中選擇校準爐熱敏電阻、校準氣體熱敏電阻或設置氣體溫度。OVENDRIVE4.876VReplaceoventhermWith4369ohms,AdjR2for5.000V校準爐熱敏電阻屏幕PERMGAS44.99CReplacegasthermWith4369ohms,AdjR4for45.00C校準氣體熱敏電阻屏幕PERMGAS44.99COVENDRIVE4，873VAdjR2，wait10min,Repeatuntil45.0C設置氣體溫度屏幕

外接電磁閥如下所示的外接電磁閥屏幕列出了146C所驅(qū)動的八個24V的外接電磁閥。如果146C配備了其所有的可選組件，電磁閥1到電磁閥5將根據(jù)儀器處于哪種供氣方式而被啟動。例如，如果146C是在A氣體稀釋方式下，外接電磁閥1將工作；如果146C型是在氣相滴定方式下，電磁閥5將工作。電磁閥6到電磁閥8可被用戶分配于任何可能的供氣方式。如果沒有配備所有的組件（例如滲透爐或O3發(fā)生器），與這些組件相關聯(lián)的電磁閥將不被使用并可被用戶分配于可能的供氣方式。EXTERNALSOLENOIDS：>SOLENOID1GASASOLENOID2GASBSOLENOID3GASCSOLENOID4OVENSOLENOID5OZONESOLENOID6NONESOLENOID7NONESOLENOID8NONE外接電磁閥屏幕

外接電磁閥所對應的驅(qū)動端子號如表3-1所示：Solenoid12345678Pin12345678↑↓↑↓↑↓↑↓↑↓↑↓↑↓↑↓910111213141516表3-1外接電磁閥驅(qū)動端分配外接電磁閥驅(qū)動端子的位置如圖3-3所示，端子號為1-8的端子對應位于上面的一排插座，端子號為9-16的端子對應位于下面的一排插座。

A/D頻率A/D頻率屏幕，如下表所示，顯示A/D板上12個模數(shù)轉(zhuǎn)換器每個模數(shù)轉(zhuǎn)換器的頻率。每個A/D轉(zhuǎn)換器的頻率范圍從0到100,000Hz。該頻率范圍對應0－10VDC的電壓。A/D轉(zhuǎn)換器的分配如下：A/D轉(zhuǎn)換器功能AN0備用AN1滲透氣體溫度AN2零氣流量AN3氣體流量AN4備用AN5備用AN6備用AN7滲透爐溫AN8O3發(fā)生器燈溫AN9備用AN10備用AN11機內(nèi)溫度表3－2A/D轉(zhuǎn)換器

顯示A/D頻率屏的方法：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。在維修方式菜單中選A/D頻率。A/D頻率屏的用法：按和鍵增加或減少A到D的數(shù)值。按MENU鍵返回維修方式菜單。按RUN鍵返回運行屏。ATODFREQ0ATODNUMBERNONEINC/DECA/D頻率屏幕

測試D/A測試D/A菜單包括三種選擇，如下所示。為了適當?shù)卣{(diào)整模擬輸出，這些功能可將D/A輸出置零、置滿度，另外還能產(chǎn)生一個全量程的連續(xù)的D/A測試信號。D/A輸出可在D/A板上J1的2、4、6、8插頭上得到。這些輸出可用于O3發(fā)生器及滲透爐控制。顯示測試D/A菜單：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。在維修方式菜單中選測試D/A。測試D/A菜單的用法：按和鍵上下移動光標。按ENTER鍵確認選擇。按MENU鍵返回維修方式菜單。按RUN鍵返回運行屏。SETD/ATO：>ZEROFULLSCALERAMP測試D/A菜單

置零如下所示的置零屏幕設置D/A輸出為0伏特。用和鍵增加或減少輸出幅度。例如，要把模擬輸出設置為滿度的5%，使用鍵令其從0增加至5.0%。顯示置零屏幕：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。在維修方式菜單中選測試D/A。在測試D/A中選擇置零。置零屏幕的用法：按和鍵選擇輸出幅度。按MENU鍵返回維修方式菜單并取消置零輸出。按RUN鍵返回運行屏并取消置零輸出。OUTPUTS0.0%INC/DEC零模擬輸出屏幕

滿度如下所示的滿度屏幕設置D/A輸出為滿度。用和鍵增加或減少輸出幅度。例如，要把模擬輸出設置為滿度的95%，使用鍵令其從100.0%減少至95.0%。顯示滿度屏幕：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。在維修方式菜單中選測試D/A。在測試D/A中選擇置滿度。滿度屏幕的用法：按和鍵選擇輸出幅度。按MENU鍵返回維修方式菜單并取消滿度輸出。按RUN鍵返回運行屏并取消滿度輸出。OUTPUTS100.0%INC/DEC滿度模擬輸出屏幕

D/A轉(zhuǎn)換測試D/A轉(zhuǎn)換測試被用來檢測全量程內(nèi)的模擬輸出。模擬輸出從-2.3%開始每秒鐘增加0.1%，直至100.0%（1000）。線性的輸出顯示模擬輸出正常。顯示D/A轉(zhuǎn)換測試屏幕：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。在維修方式菜單中選測試D/A。在測試D/A中選擇RAMP。D/A轉(zhuǎn)換測試屏幕的用法：這只是一幅顯示屏。按MENU鍵返回維修方式菜單并取消RAMP輸出。按RUN鍵返回運行屏并取消RAMP輸出。OUTPUTS-2.3%D/A轉(zhuǎn)換測試屏幕

設置測試屏幕設置測試顯示屏如下圖所示，顯示所給地址存儲器中的內(nèi)容。該屏僅對TEI的維修人員有用。設置測試顯示屏幕的調(diào)出方法：在主菜單中選維修方式(ServiceMode)。在維修方式菜單中選設置測試顯示（SetTestDisplay）。設置測試顯示屏幕的用法：按和鍵改變顯示方示。按MENU鍵返回維修方式菜單。按RUN鍵返回運行屏幕。SETTESTDISPLAY：MODE0ADDR0000設置測試顯示屏幕

機內(nèi)選擇開關機內(nèi)選擇開關位于母板上(靠近前面板)，如圖3-4所示。這些選擇開關的功能見表3-3。它們被用來選擇某些硬件和軟件的功能。選擇開關功能1遙控2RS－2323O3發(fā)生器4滲透爐5備用6鎖定7備用8備用表3－3選擇開關功能

遙控當儀器安裝了遙控接口（RS－232接口或遙控I/O）時，選擇開關1置ON。RS－232選擇開關2用于在RS－232和遙控I/0之間進行選擇。當此開關置ON時，為選中RS－232方式；相反，如果此開關置OFF，則選中遙控I/O。O3發(fā)生器當安裝了傳遞標準或氣相滴定組件時，選擇開關3置ON。滲透爐當安裝了滲透爐時，選擇開關4置ON。參數(shù)鎖定當選