《平晶檢測(cè)平面度》

浮封環(huán)平面度檢測(cè)昆山土山建設(shè)部件平晶的使用1平面度誤差平面度誤差是將被測(cè)實(shí)際外表與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值。2023/11/52平晶干預(yù)法用光學(xué)平晶的工作面作為理想平面，直接以干預(yù)條紋的寬窄、彎曲程度確定被測(cè)外表的平面度誤差值。干預(yù)法測(cè)量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個(gè)被測(cè)平面上，用平晶工作面表達(dá)理想平面，根據(jù)測(cè)量時(shí)出現(xiàn)的干預(yù)條紋形狀和數(shù)目，由計(jì)算所得的結(jié)果作為平面度誤差值。2023/11/53平晶檢測(cè)浮封環(huán)浮封環(huán)工作面〔光亮帶〕的平面度檢測(cè)，通常是利用光波的干預(yù)效應(yīng)來測(cè)量。即使用光學(xué)玻璃平晶來進(jìn)行測(cè)量，屬于接觸式平面度測(cè)量法。熟練者可以估讀到1/10個(gè)干預(yù)帶，相當(dāng)于0.03μm。2023/11/54干預(yù)原理—-等厚干預(yù)用平晶以技術(shù)光波干預(yù)法檢定測(cè)量面平面度時(shí)，出現(xiàn)的干預(yù)條紋，其干預(yù)原理是等厚干預(yù)。即同一干預(yù)條紋處在同一高度上。干預(yù)條紋的形狀一般有直線、圓形和弧形三種。直線形等距的干預(yù)條紋或沒有條紋說明被檢工作面非常平整。直線形不等距干預(yù)條紋說明平面有彎曲。圓形干預(yù)條紋說明被檢工作面為球面，圓心為工作面的中凸或中凹的中心點(diǎn)，判斷凹凸的方法是用手輕壓平晶中央，如干預(yù)條紋向內(nèi)跑即為中凹，向外跑即為中凸。2023/11/55使用光源光波干預(yù)法使用的光源常采用單色光源，單色光源所產(chǎn)生的干預(yù)圖形較為清晰。2023/11/56準(zhǔn)備與檢測(cè)去除被檢測(cè)的浮封環(huán)和平晶外表上的纖維、顆粒、油漬、水汽等污物。確認(rèn)密封環(huán)端面無損傷。將平晶工作面輕放在浮封環(huán)工作面上，并使兩者緊密接觸，出現(xiàn)干預(yù)帶。判讀光譜帶數(shù)時(shí)不使其受到其它附加外力。觀察干預(yù)圖形，判讀干預(yù)光譜帶。2023/11/57平面度的測(cè)定值平面度的計(jì)算如下式：式中：Δ—平面度的測(cè)定值，單位為μm。N—干預(yù)光譜帶數(shù)；λ—單色光波波長(zhǎng)，單位為μm。單色納光光波波長(zhǎng)為λ=0.6μm。一條光帶時(shí)，Δ為0.3μm，即平面度為0.3μm。2023/11/58平面度的判讀〔圖形見后4頁所示〕對(duì)于浮封環(huán)光亮帶來說，上面兩個(gè)圖形為平晶一側(cè)接觸浮封環(huán)開始，兩者從楔形到非常接近中所形成干預(yù)圖形。下面4個(gè)圖形是兩者正常接觸后形成的干預(yù)圖形，反映不同的平面狀態(tài)。左邊完整的干預(yù)條紋說明光亮帶整體凹下或凸起，只是凹凸量不一樣。其余三個(gè)為光亮帶平面單純彎曲和平面不完全。2023/11/59常見干預(yù)光譜帶—-一條光帶2023/11/510常見干預(yù)光譜帶—-兩條光帶2023/11/511常見干預(yù)光譜帶—-三條光帶2023/11/512常見干預(yù)光譜帶—-多條光帶2023/11/513檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意箱體隔光板浮封環(huán)平晶帶開孔活動(dòng)板活動(dòng)門玻璃鏡毛玻璃電源穩(wěn)壓器鈉光燈管2023/11/514干預(yù)條紋與間隙的關(guān)系干預(yù)條紋是彎曲的，說明被測(cè)外表不平，干預(yù)條紋的彎曲程度表示了該外表不平度的大小。判斷被測(cè)外表是凸形還是凹形的方法是：當(dāng)接觸線〔平晶與被測(cè)件接觸處〕在干預(yù)條紋所形成的彎曲弧線里邊時(shí)，那么說明該外表是凸形的〔見后圖左2〕；倘假設(shè)在外邊，那么說明該外表為凹形的〔見后圖左3〕。干預(yù)帶疏密與間隙的關(guān)系2023/11/515干預(yù)條紋識(shí)別各種不同的平面形狀所反映出來的條紋狀態(tài)。2023/11/516浮封環(huán)光亮帶合格判定標(biāo)準(zhǔn)待制定正常情況下〔外表粗糙度符合要求〕判斷出現(xiàn)：無干預(yù)條紋——平面平整直線干預(yù)條紋——平面彎曲圓形干預(yù)條紋——平面凹凸手壓平晶中心，干預(yù)條紋內(nèi)移——平面凹手壓平晶中心，干預(yù)條紋外移——平面凸條紋不規(guī)那么——平面凹凸不平〔如四頁圖示中的右下角圖所示〕合格判斷標(biāo)準(zhǔn)待定20