【機(jī)械制造】超精密加工技術(shù)ppt模版課件

先進(jìn)制造技術(shù)第3章先進(jìn)制造工藝技術(shù)11/10/20231先進(jìn)制造工藝技術(shù)概述超高速加工技術(shù)超精密加工技術(shù)微型機(jī)械加工技術(shù)特種加工技術(shù)電火花加工高能束加工及復(fù)合加工虛擬軸機(jī)床技術(shù)快速原形制造技術(shù)授課內(nèi)容11/10/20232概述超精密加工范疇超精密加工的設(shè)備與環(huán)境超精密加工技術(shù)的發(fā)展展望超精密加工技術(shù)11/10/20233超精密加工技術(shù)是適應(yīng)現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的一種機(jī)械加工新工藝，綜合應(yīng)用了機(jī)械技術(shù)發(fā)展的新成果及現(xiàn)代電子技術(shù)、測量技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)中先進(jìn)的控制、測試手段等，使機(jī)械加工的精度得到進(jìn)一步提高，使加工的極限精度向納米和亞納米精度發(fā)展。概述11/10/20234超精密加工技術(shù)是衡量一個(gè)國家先進(jìn)制造技術(shù)水平的重要指標(biāo)之一，是先進(jìn)制造技術(shù)的基礎(chǔ)和關(guān)鍵。當(dāng)代的精密工程、微細(xì)工程和納米技術(shù)是現(xiàn)代制造技術(shù)的前沿，也是明天技術(shù)的基礎(chǔ)。目前，在工業(yè)發(fā)達(dá)國家中，一般工廠能穩(wěn)定掌握的加工精度是1μm。概述11/10/20235①精密加工精度為1—0．1μm，表面粗糙度值為：Ra0．3—0．03μm；

②超精密加工精度為0．1—0．01μm，表面粗糙度值為Ra0．03—0．005μm，又稱亞微米加工；（1微米=0.001mm）③納米加工精度高于0．03μm，表面粗糙度值小于Ra0.005μm。

概述超精密加工技術(shù)的技術(shù)指標(biāo)11/10/20236提高制造精度后可提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量，提高其穩(wěn)定性和可靠性；促進(jìn)產(chǎn)品的小型化；增強(qiáng)零件的互換性，提高裝配生產(chǎn)率，并促進(jìn)自動化裝配。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/20237超精密加工技術(shù)在尖端產(chǎn)品和現(xiàn)代化武器的制造中占有非常重要地位。例如：對于導(dǎo)彈來說，具有決定意義的是導(dǎo)彈的命中精度，而命中精度是由慣性儀表的精度所決定的。制造慣性儀表，需要有超精密加工技術(shù)和相應(yīng)的設(shè)備。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/20238例如：美國民兵Ⅲ型洲際導(dǎo)彈系統(tǒng)陀螺儀的精度為0.03?～0.05?/h，其命中精度的圓概率誤差為500m，而MX戰(zhàn)略導(dǎo)彈(可裝載l0個(gè)核彈頭)制導(dǎo)系統(tǒng)陀螺儀精度比民兵Ⅲ型導(dǎo)彈高出一個(gè)數(shù)量級，從而保證命中精度的圓概率誤差只有50～l50m。如果lkg重的陀螺轉(zhuǎn)子，其質(zhì)量中心偏離其對稱軸0.5nm，則會引起100m的射程誤差和50m的軌道誤差。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/20239紅外探測器中接收紅外線的反射鏡是紅外導(dǎo)彈的關(guān)鍵性零件，其加工質(zhì)量的好壞決定了導(dǎo)彈的命中率。該反射鏡表面的粗糙度要求達(dá)到度Ra0.015～0.01μm。只有采用超精密車削，方能滿足上述要求。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/202310又如，已被美國航天飛機(jī)送入空間軌道的，用來攝制億萬公里遠(yuǎn)星球圖象的哈勃望遠(yuǎn)鏡(HST)，其一次鏡要求使用直徑2.4m，重達(dá)900kg的大型反光鏡，并且具有很高的分辨率。為此，專門研制了超精密加工(形狀精度為0.01μm)光學(xué)玻璃用的6軸CNC研磨拋光機(jī)。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/202311大規(guī)模集成電路的發(fā)展，促進(jìn)了微細(xì)工程的發(fā)展，并且密切依賴于微細(xì)工程的發(fā)展。因?yàn)榧呻娐返陌l(fā)展要求電路中各種元件微型化，使有限的微小面積上能容納更多的電子元件以形成功能復(fù)雜和完備的電路。因此，提高超精密加工水平以減小電路微細(xì)圖案的最小線條寬度就成了提高集成電路集成度的技術(shù)關(guān)鍵。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/202312從上所述，可以看出只有采用超精密加工技術(shù)才能制造精密陀螺儀、精密雷達(dá)、超小型電子計(jì)算機(jī)及其它尖端產(chǎn)品。概述超精密加工技術(shù)的重要性11/10/202313當(dāng)代多種加工方法所能達(dá)到的精度，見圖。概述11/10/202314可見，精密工程正在向其終極目標(biāo)----原子級精度的加工逼近，也就是做到“移動原子”。為了達(dá)到這一目標(biāo)，各工業(yè)發(fā)達(dá)國家都在努力沖刺。日本的ERATO計(jì)劃中，納米技術(shù)作為其六項(xiàng)優(yōu)先技術(shù)之一，在由政府、大學(xué)和工業(yè)界聯(lián)合開發(fā)。材料在納米范圍內(nèi)的物理力學(xué)性能將予以分析，基本的測試系統(tǒng)與加工設(shè)備正在研制中。概述11/10/202315美國的VHSIC計(jì)劃正在進(jìn)行，海軍研究室(OfficeofNavalResearch)正在資助幾所學(xué)校精密工程的研究項(xiàng)目。美國精密工程學(xué)會(AmericanSocietyforPrecisionengineering)已經(jīng)成立。在大學(xué)和工業(yè)界有七個(gè)小組正在掃描隧道工程方面進(jìn)行卓有成效的研究工作。概述11/10/202316在英國國家納米技術(shù)(NION)計(jì)劃已開始實(shí)行，納米技術(shù)戰(zhàn)略委員會(Nanotechno1ogyStrategyCommittee)巳建立，正在實(shí)行合作的研究計(jì)劃，1990年6月英國正式出版《納米技術(shù)》學(xué)術(shù)期刊。概述11/10/202317概述超精密加工范疇超精密加工現(xiàn)狀超精密加工的設(shè)備與環(huán)境超精密加工的發(fā)展展望超精密加工技術(shù)11/10/202318在過去相當(dāng)?shù)囊欢螘r(shí)期，精密加工、特別是超精密加工的應(yīng)用范圍很狹窄。近十幾年來，隨著科學(xué)技術(shù)和人們生活水平的提高，精密和超精密加工不僅進(jìn)入了國民經(jīng)濟(jì)和人民生活的各個(gè)領(lǐng)域，而且從單件小批生產(chǎn)方式走向大批量的產(chǎn)品生產(chǎn)。超精密加工范疇11/10/202319在機(jī)械制造行業(yè)，已經(jīng)改變了過去那種將精密機(jī)床放在后方車間，僅用于加工工具，卡具，量具的陳規(guī)?，F(xiàn)在，工業(yè)發(fā)達(dá)國家已經(jīng)將精密機(jī)床搬到前方車間，直接用于產(chǎn)品零件的加工。超精密加工范疇11/10/202320精密和超精密加工目前包含三個(gè)領(lǐng)域：

1)超精密切削，如超精密金剛石刀具切削，可加工各種鏡面、它成功地解決了高精度陀螺儀，激光反射鏡和某些大型反射鏡的加工。

2)精密和超精密磨削研磨，例如解決了大規(guī)模集成電路基片的加工和高精度硬磁盤等的加工。

3)精密特種加工，如電子束，離子束加工，美國超大規(guī)模集成電路線寬達(dá)到0.1μm。超精密加工范疇11/10/202321概述超精密加工范疇超精密加工現(xiàn)狀超精密加工的設(shè)備與環(huán)境超精密加工的發(fā)展展望超精密加工技術(shù)11/10/202322超精密切削加工已不再是一種孤立的加工方法和單純的工藝問題，而成為一項(xiàng)包含內(nèi)容極其廣泛的系統(tǒng)工程。實(shí)現(xiàn)超精密切削加工，不僅需要超精密的機(jī)床設(shè)備和刀具，也需要超穩(wěn)定的環(huán)境條件，還需要運(yùn)用計(jì)算機(jī)技術(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測，反饋補(bǔ)償。只有將各個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)成就集結(jié)起來，才有可能實(shí)現(xiàn)超精密切削加工．超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202323天然金剛石具有無與倫比的硬度，是超精密加工的一種最佳切削刀具材料。特別是今年來，已經(jīng)成為超精密鏡面切削的主要刀具。使用天然單晶金剛石刀具對超精密零件進(jìn)行超精密切削，始于50年代末期。初期的被加工工件多為形狀簡單的圓柱表面、平面和球面，只要求達(dá)到及Ｒmax０.１μm的鏡面即可。后來發(fā)展要求加工非球曲面反射鏡、再發(fā)展要求加工大型反射鏡。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202324金剛石刀具的超精密切削加工技術(shù)，主要應(yīng)用于兩個(gè)方面：單件的大型超精密零件的切削加工和大量生產(chǎn)的中小型零件的超精密切削加工技術(shù)。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202325單件大型零件超精密金剛石刀具切削，以美國最為發(fā)達(dá)，居于世界領(lǐng)先地位。美國超精密加工技術(shù)的發(fā)展出于國防的需要，通過能源部激光核聚變的任務(wù)，以及陸?？杖娭圃旒夹g(shù)開發(fā)計(jì)劃等，對超精密金剛石切削機(jī)床的研究開發(fā)投入丁巨額資金和大量人力。其最高水平是LLL實(shí)驗(yàn)室(LowrenceLivermoreLaboratory)l983年研制的第三號大型超精密金剛石車床(DTM—3型)，該機(jī)可加工Φ2100mm，質(zhì)量為4500kg和1984年研制的大型光學(xué)金剛石車床LODTM，可加工Φ1625mm，質(zhì)量1360kg的非球面工件，其加工精度可達(dá)0.025μm，表面粗糙度Ra0.0045μm。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202326大量生產(chǎn)的中小型超精密零件大多是感光鼓，磁盤，多面鏡，以及平面，球面或非球面的激光反射鏡等。材料多為銅，鋁及其合金，非電解鍍鎳層，進(jìn)而擴(kuò)展至塑料及硬脆材料(如陶瓷)，間或有鐵氧體材料加工。最近也有用CBN精車黑色金屬的報(bào)道。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202327這些零件的加工精度可用表說明。中小型精密冪件的加工精度超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202328英國克蘭菲爾德技術(shù)學(xué)院所屬的克蘭菲爾德精密工程研究所（簡稱CUPE）享有較高聲譽(yù)，它是當(dāng)今世界上精密工程的研究中心之一，是英國超精密加工技術(shù)水平的獨(dú)特代表。如CUPE生產(chǎn)的Nanocentre（納米加工中心）既可進(jìn)行超精密車削，又帶有磨頭，也可進(jìn)行超精密磨削，加工工件的形狀精度可達(dá)0.1μm，表面粗糙度Ra<10nm。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202329日本對超精密加工技術(shù)的研究相對于美、英來說起步較晚，但是當(dāng)今世界上超精密加工技術(shù)發(fā)展最快的國家。日本的研究重點(diǎn)不同于美國，前者是以民品應(yīng)用為主要對象，后者則是以發(fā)展國防尖端技術(shù)為主要目標(biāo)。日本TOYOTA公司生產(chǎn)的專用超精密車床用于加工非球曲面的鋼磨具，可用于車削、銑削、磨削并帶有精密測量裝置。該機(jī)床加工模具形狀精度為0.05um，表面粗糙度為0.025um。結(jié)構(gòu)上機(jī)床采用盒式結(jié)構(gòu)，不受外界影響，并機(jī)床處于恒溫狀態(tài)。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202330我國的超精密加工技術(shù)在70年代末期有了長足進(jìn)步，80年代中期出現(xiàn)了具有世界水平的超精密機(jī)床和部件。北京機(jī)床研究所、航空航天工業(yè)部三零三所、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、清華大學(xué)、中科院長春光學(xué)精密機(jī)械研究所、華中理工大學(xué)、沈陽第一機(jī)床廠、成都工具研究所、國防科技大學(xué)等都進(jìn)行了這一領(lǐng)域的研究，成績顯著。但總的來說，我國在超精密加工的效率、精度可靠性，特別是規(guī)格（大尺寸）和技術(shù)配套性方面與國外比，與生產(chǎn)實(shí)際要求比，還有相當(dāng)大的差距。超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀11/10/202331概述超精密加工范疇超精密加工現(xiàn)狀超精密加工的設(shè)備與環(huán)境超精密加工的發(fā)展展望超精密加工技術(shù)11/10/202332超精密切削加工是一項(xiàng)內(nèi)容廣泛的新技術(shù)，它的加工精度和表面質(zhì)量是由所使用的超精密機(jī)床設(shè)備，金剛石刀具，切削加工工藝，計(jì)量和誤差補(bǔ)償技術(shù)，操作者的技術(shù)水平，環(huán)境支持條件等多種因素影響的綜合結(jié)果，下面對其中幾個(gè)主要方面的情況予以說明。超精密加工技術(shù)的機(jī)床設(shè)備11/10/202333超精密機(jī)床是實(shí)現(xiàn)超精密切削的首要條件，各國都投人大量人力物力研制超精密切削用機(jī)床。目前水平最高的是美國。其代表作是LLL實(shí)驗(yàn)室l983年研制成功的DTM-3型大型超精密車床，和l984年研制成功的大型光學(xué)金剛石車床LODTM。該機(jī)床采用空氣軸承主軸和高壓液體靜壓主軸，剛度高，動態(tài)性能好。超精密加工技術(shù)的機(jī)床設(shè)備11/10/202334為實(shí)現(xiàn)超精密位置的確定，采用了精密數(shù)字伺服方式，控制部分為內(nèi)裝式CNC裝置和激光干涉測長儀，實(shí)現(xiàn)隨機(jī)測量定位。為了實(shí)現(xiàn)刀具的微量進(jìn)給，在DC伺服機(jī)構(gòu)內(nèi)裝有壓電式微位移機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)nm級微位移。該車床采用了恒溫油淋浴系統(tǒng)，油溫控制在20士0.0005?，消除了加工中的熱變形。該車床還采用了壓電晶體誤差補(bǔ)償技術(shù)，使加工精度達(dá)到0.025μm，該機(jī)床可用于加工平面，球面及非球面，用于加工激光核聚變工程的零件，紅外線裝置用零件以及大型天體望遠(yuǎn)鏡。超精密加工技術(shù)的機(jī)床設(shè)備11/10/202335在歐州以具有研究開發(fā)超精密金剛石切削加工機(jī)械傳統(tǒng)的Philips公司的中央研究所為中心，研究開發(fā)CNC超精密金剛石車床COLATH，1978年以后用于本公司的高精度零件的加工。英國Cranfield公司與BritishScienceandEngineeringResearchCouncil(SERC)簽訂合同，研制開發(fā)x射線天體望遠(yuǎn)鏡用大型超精密機(jī)床OAGM2500，機(jī)床于199l研制成功，工作臺2500mm×2500mm，可用于超精密車削、磨削和坐標(biāo)測量，使用性能良好。超精密加工技術(shù)的機(jī)床設(shè)備11/10/202336日本大型超精密金剛石切削機(jī)床的研究與開發(fā)。遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于歐美，至今未見有關(guān)的報(bào)道。但在小型、超小型電子和光學(xué)零件的超精密加工技術(shù)方面，是更加先進(jìn)和具有優(yōu)勢的，甚至超過了美國。超精密加工技術(shù)的機(jī)床設(shè)備11/10/202337沈陽、上海、濟(jì)南等地也都有超精密車床產(chǎn)品，但和國外比還有差距。非球面超精密車床雖已研制出樣品，還不能正式生產(chǎn)，空氣主軸、微位移機(jī)構(gòu)、精密CNC伺服系統(tǒng)、機(jī)床熱變形和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性等關(guān)鍵技術(shù)需要研究。我國還不能生產(chǎn)高質(zhì)量的超精密數(shù)控金剛石車床的正式產(chǎn)品。超精密加工技術(shù)的機(jī)床設(shè)備11/10/202338金剛石刀具是超精密切削中的重要關(guān)鍵。金剛石刀具有兩個(gè)比較重要的問題：一是晶面的選擇，這對刀具的使用性能有著重要的關(guān)系；再就是金剛石刀具的研磨質(zhì)量----刃口半徑ρ。它關(guān)系到切削變形和最小切削厚度，因而影響加工表面質(zhì)量。金剛石刀具和超精密切削機(jī)理的研究11/10/202339超精密切削中，刀刃的實(shí)際切削厚度與名義切削厚度不相同，有一個(gè)差值。實(shí)際切削厚度亦稱有效切削厚度。切削厚度小過一定界限就不能正常切削。能穩(wěn)定切削的最小有效切削厚度稱為最小切削厚度。最小切削厚度取決于金剛石刀具的刃口半徑，刃口半徑越小，則最小切削厚度越小。金剛石刀具和超精密切削機(jī)理的研究11/10/202340國外報(bào)道研磨質(zhì)量最好的金剛石刀具，刃口半徑可以小到數(shù)納米的水平；而國內(nèi)現(xiàn)在磨的金剛石刀具，刀口半徑只能達(dá)到0.1～0.3μm。最近日本大頤大學(xué)和美國LLL實(shí)驗(yàn)室合作研究超精密切削的最小極限，成功地實(shí)現(xiàn)了lnm級切削厚度的穩(wěn)定切削，使超精密切削達(dá)到新的水平。金剛石刀具和超精密切削機(jī)理的研究11/10/202341超精密切削機(jī)理的某些方面，如各種因素對金剛石刀具磨損的影響，最小切削厚度，積屑瘤的生存規(guī)律等有一定的特殊性，過去研究較少，研究這些問題對提高切削加工表面質(zhì)量，減少變質(zhì)層和減少表面殘留應(yīng)力等有直接影響。最近黑色金屬的超精密切削正在研究，有用金剛石刀具的，也有用CBN刀具的，目前還在實(shí)驗(yàn)室研究階段。金剛石刀具和超精密切削機(jī)理的研究11/10/202342要達(dá)到亞微米級和納米級的加工精度，檢測是一個(gè)極為重要的方面。超精密加工對測量技術(shù)提出了嚴(yán)格要求。超精密加工要求測量精度比加工精度高一個(gè)數(shù)量級。如果超精密加工精度達(dá)到1nm，測量機(jī)要控制的精度則要達(dá)到0.1nm。因此，超精密加工需要與相應(yīng)的測量技術(shù)配合。超精密測量技術(shù)的開發(fā)必須與超精密加工技術(shù)的開發(fā)保持同步。目前超精密測量儀正向高分辨率，高精度和高可靠性的方向發(fā)展。檢測和誤差補(bǔ)償11/10/202343國外廣泛發(fā)展非接觸式測量方法并研究原子級精度的測量技術(shù)。例如，Johaness公司生產(chǎn)的多次光波干涉顯微鏡的分辨率為0.5nm，OrienPass公司生產(chǎn)的MBI重復(fù)反射干涉儀的測量精度可達(dá)士0.001nm。最近出現(xiàn)的隧道掃描顯微鏡的分辨率為0.0lnm，是目前世界上精度最高的測量儀，可用于測量金屬和半導(dǎo)體零件表面的原于分布的形貌。最新的研究證實(shí)，在掃描隧道顯微鏡下可移動原子，實(shí)現(xiàn)精密工程的最終目標(biāo)——原子級精密加工。檢測和誤差補(bǔ)償11/10/202344超精密加工中的測量，應(yīng)包括機(jī)床超精密部件運(yùn)動精度的檢測和加工精度的直接檢測。要提高機(jī)床的運(yùn)動精度，首先要能檢測出運(yùn)動誤差。用三點(diǎn)法所測得的高精度靜壓空氣軸承的徑向圓跳動—般為50nm左右。主軸的跳動加上靜壓工作臺的直線運(yùn)動誤差，可以造成圓度和圓柱度等誤差達(dá)數(shù)十納米。檢測和誤差補(bǔ)償11/10/202345加工時(shí)機(jī)床的定位精度是一個(gè)重要問題。一般平面、圓柱表面、球表面、多面棱體加工時(shí)。工作臺的運(yùn)動精度相對地并不很高。但在加工非球面時(shí)就要求很高的連續(xù)的運(yùn)動精度和定位精度?，F(xiàn)在采用激光干涉?zhèn)乳L儀精確測出工作臺的位置，用反饋和閉環(huán)控制系統(tǒng)而制成精密CNC機(jī)床。檢測和誤差補(bǔ)償11/10/202346超精密加工中的誤差補(bǔ)償問題國內(nèi)外學(xué)者專家的爭議比較大。但從目前發(fā)展趨勢看，要達(dá)到最高精度還需要使用在線檢測和誤差補(bǔ)償。例如高精度靜壓空氣軸承的徑向圓跳動大約在50nm左右，工作臺的直線運(yùn)動誤差也在數(shù)十納米，要進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)更高精度就有一定困難。但用誤差補(bǔ)償可以達(dá)到l0nm以下。檢測和誤差補(bǔ)償11/10/202347加工環(huán)境條件的極微小變化都可能影響加工精度，使超精密加工達(dá)不到預(yù)期目的，因此，超精密加工必須在超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件下進(jìn)行。超穩(wěn)定環(huán)境條件主要是指恒溫、防振、超凈和恒濕四個(gè)方面的條件，相應(yīng)地發(fā)展起恒溫技術(shù)、防振技術(shù)和凈化技術(shù)。超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件11/10/202348超精密加工必須在嚴(yán)密的恒溫條件下進(jìn)行，即不僅放置機(jī)床的房間應(yīng)保持恒溫．還要對機(jī)床采取特殊的恒溫措施。據(jù)統(tǒng)計(jì)在精密加工中，由熱變形產(chǎn)生的誤差常占全部加工誤差的50％以上，例如長l00mm的鋼件，溫度升高1?，其長度將增加1～1.2μm，鋁件的長度將增加2.2～2.3μm。因此超精密加工和測量必須在恒溫條件下進(jìn)行。如要保證0.l～0.01μm的加工精度，溫度變化應(yīng)小于土0.1～0.0l?。超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件11/10/202349有些超精密機(jī)床，內(nèi)部易產(chǎn)生熱變形處用恒溫油冷卻。還有超精密機(jī)床外面加透明塑料罩，用恒溫油澆淋。現(xiàn)在恒溫油可控制在20土0.0005?，室溫可控制在20土0.005?。超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件11/10/202350為了提高超精密加工系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性，除了在機(jī)床設(shè)汁和制造上采取各種措施之外。還必須用隔振系統(tǒng)來保證機(jī)床不受或少受外界振動的影響。超精密車床一般除用防振溝和很大的地基外，還都使用空氣彈簧隔振。美國LLL實(shí)驗(yàn)室的大型超精密金剛石車床采用隔振措施后，軸承部件的相對振動振幅為2nm，并可防止1.5～2Hz的外界振動傳入。超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件11/10/202351超精密加工還必須有超凈化的環(huán)境。對超精密加工車間一立方英尺的空氣中直徑大于0.3μm以上的塵埃數(shù)應(yīng)小于100(百級)?，F(xiàn)在又提出10級的要求，塵埃粒度從0.3μm減至0.1μm。為建立0.1μm的10級潔凈室，國外已研制成功對0.1μ