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文檔簡(jiǎn)介

改善Fab良率的最佳方案作者:BruceWhitefield,ManuRehani和NathanStrader,LSILogicCorp-12-28點(diǎn)擊:1302很久以來(lái),定時(shí)檢測(cè)每個(gè)工藝環(huán)節(jié)增加的缺點(diǎn)來(lái)驗(yàn)收用于生產(chǎn)的設(shè)備,已經(jīng)成為半導(dǎo)體業(yè)的慣例。對(duì)設(shè)備的缺點(diǎn)狀況做出的判斷,對(duì)于器件的有非常重要的影響。不管這種檢測(cè)的頻率和影響如何,就采用的辦法而言,是相對(duì)粗糙的,并且這種數(shù)據(jù)支持系統(tǒng)重要是針對(duì)工程缺點(diǎn)分析和傳統(tǒng)的()技術(shù)而設(shè)計(jì)的。

本文介紹LSILogic采用最佳的設(shè)備控制辦法,采用新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)來(lái)改善其晶圓廠的設(shè)備顆粒。這種辦法調(diào)研了設(shè)備缺點(diǎn)驗(yàn)收的整個(gè)公司過(guò)程,建立了一種新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)構(gòu)造來(lái)支持全部人在這方面的努力。這種新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)叫作YieldDRIVER,它意味著通過(guò)設(shè)備的明顯改善而實(shí)現(xiàn)缺點(diǎn)的減少。

良率和

IC制造工廠利潤(rùn)率中最高的兩個(gè)杠桿因素是芯片的良率和設(shè)備的生產(chǎn)率。對(duì)以上兩者都非常核心的是如圖1所示的簡(jiǎn)樸的設(shè)備顆粒驗(yàn)收檢測(cè)。檢測(cè)顆粒是為了確保產(chǎn)品在交付之前工藝設(shè)備不會(huì)產(chǎn)生減少良率的缺點(diǎn)檢測(cè)當(dāng)步工藝前后點(diǎn)檢片上顆粒的數(shù)量,來(lái)計(jì)算增加的缺點(diǎn)數(shù)量。

像半導(dǎo)體制造中的許多其它動(dòng)向同樣,器件幾何尺寸和運(yùn)轉(zhuǎn)晶圓廠費(fèi)用的無(wú)情壓縮,都在推動(dòng)設(shè)備顆粒特性的改善和更緊的控制。成果之一便是如何進(jìn)行缺點(diǎn)檢測(cè)確實(shí)切細(xì)節(jié)已經(jīng)變得非常核心,同時(shí)這個(gè)過(guò)程還要足夠簡(jiǎn)樸,使操作人員能夠每天來(lái)進(jìn)行。

,在LSI的Gresham晶圓廠里,出于新技術(shù)導(dǎo)入和良率經(jīng)濟(jì)效益的考量,規(guī)定設(shè)備的顆粒水平減少50%。并且這種改善要在現(xiàn)有設(shè)備的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn),要避免基建投資,改善總體的設(shè)備運(yùn)用率而不增加成本。更換舊的工藝設(shè)備、購(gòu)置更先進(jìn)的顆粒檢測(cè)設(shè)備不作為選項(xiàng)。授權(quán)一種工廠范疇內(nèi)的缺點(diǎn)控制職能交叉小組來(lái)完畢這個(gè)任務(wù)。

減少缺點(diǎn)的途徑

這個(gè)缺點(diǎn)控制小組決定首先來(lái)分析整個(gè)工廠范疇內(nèi)現(xiàn)存的設(shè)備缺點(diǎn)控制辦法,以發(fā)現(xiàn)改善的機(jī)會(huì)。分析的重要發(fā)現(xiàn)是:

●許多非常好的顆粒管理實(shí)例已經(jīng)在使用之中。

●缺點(diǎn)測(cè)量和計(jì)算的已知最佳方案(BKMs)并沒(méi)有在全部的測(cè)試中都貫徹實(shí)施。

●缺點(diǎn)測(cè)量和控制的BKMs并沒(méi)有在全部的設(shè)備中都貫徹實(shí)施。

●晶圓廠中的人并不是均等地?fù)碛腥秉c(diǎn)測(cè)量和成果分析的能力。

●經(jīng)理們對(duì)于自己負(fù)責(zé)的設(shè)備,僅僅報(bào)告檢測(cè)、維持缺點(diǎn)性能的狀況是不夠的。

●缺點(diǎn)數(shù)據(jù)系統(tǒng)重要是針對(duì)工程分析,而不是針對(duì)生產(chǎn)缺點(diǎn)控制而設(shè)計(jì)。

簡(jiǎn)而言之,人們發(fā)現(xiàn)缺點(diǎn)控制的知識(shí)和財(cái)富已經(jīng)存在于這個(gè)組織中,但是并沒(méi)有把這些知識(shí)均衡地應(yīng)用,在做一件事情時(shí)沒(méi)有把全部的已知最佳方案結(jié)合起來(lái)。

這個(gè)缺點(diǎn)控制小組認(rèn)為:要完畢缺點(diǎn)減少的任務(wù),最有效的辦法,就是推動(dòng)快速?gòu)氐椎迷谌抗に囍袑?shí)施已經(jīng)存在的最佳實(shí)踐案例,同時(shí)提供一種基礎(chǔ)來(lái)支持高效、一致地運(yùn)用這些案例。

如果它是BKM,那為什么不采用呢?

小組第一步是鑒別和統(tǒng)計(jì)缺點(diǎn)控制的BKMs。在回想這些最佳個(gè)案時(shí)發(fā)現(xiàn),似乎某些環(huán)節(jié),由于組織上、程序上或者基礎(chǔ)上的因素,很難實(shí)施或者不能在全部狀況下實(shí)施。

人們經(jīng)常說(shuō):大部分問(wèn)題的起因是缺少溝通。這對(duì)于設(shè)備缺點(diǎn)的控制過(guò)程確實(shí)是對(duì)的的。用如圖2所示的工作流程方塊圖很容易描繪出這種情形。

辦法(process)、系統(tǒng)基礎(chǔ)(systeminfrastructure)和組織現(xiàn)實(shí)(organizationalrealities),存在于互有關(guān)聯(lián)但又互相隔離的平面內(nèi)。要獲得成功,設(shè)備缺點(diǎn)控制過(guò)程必須在這全部三個(gè)維度上都采用方法。例如,顆粒監(jiān)控的第一步,可能規(guī)定刻蝕操作工(組織)通過(guò)追蹤制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)中的點(diǎn)檢片,來(lái)遵照設(shè)備驗(yàn)收的規(guī)范(辦法),但是下一步可能規(guī)定良率操作工(組織)通過(guò)使用缺點(diǎn)分析軟件(系統(tǒng))來(lái)遵照分析規(guī)范(辦法)。顆粒監(jiān)控的實(shí)際工作應(yīng)當(dāng)是完美地貫穿于全部這三個(gè)方面。如果任何一種方面的規(guī)定沒(méi)有達(dá)成,那么這種辦法就崩潰了,造成低效率的、重復(fù)性的過(guò)程,或者這種辦法的使用局限性。

為了改善設(shè)備缺點(diǎn)的控制實(shí)踐,這個(gè)小組不得不考慮整個(gè)工作流程空間。重大的組織變更超出了這個(gè)小組的職權(quán)范疇,但是辦法卻必須要遵照已知的最佳案例。這意味著,系統(tǒng)基礎(chǔ)必須做出調(diào)節(jié)來(lái)提供一種充滿活力的工作流程。

組織方面

這個(gè)Fab的組織架構(gòu)是一種工藝區(qū)域和職責(zé)紀(jì)律相交的矩陣,這是諸多晶圓廠的典型狀況。這個(gè)組織的實(shí)際狀況是,其基礎(chǔ)架構(gòu)不能提供報(bào)告和數(shù)據(jù)總結(jié),方便及時(shí)提示fab中各個(gè)獨(dú)立區(qū)域中負(fù)責(zé)多個(gè)紀(jì)律的經(jīng)理們,以及負(fù)責(zé)特定區(qū)域的生產(chǎn)主管們。

基礎(chǔ)架構(gòu)必須支持的典型的組織矩陣和不同焦點(diǎn),如圖3所描述。

如果陪訓(xùn)資料和規(guī)范沒(méi)有包含BKM辦法的話,這會(huì)造成職工的陪訓(xùn)局限性和視野狹窄,從而造成另外一種形式的組織斷裂。的實(shí)際狀況,規(guī)定組織基礎(chǔ)和架構(gòu)支持BKM在每個(gè)工藝區(qū)域中執(zhí)行。在會(huì)議上通過(guò)與工藝經(jīng)理、設(shè)備負(fù)責(zé)人、生產(chǎn)主管和全體職工討論來(lái)鑒別BKM。它們被收錄在兩個(gè)BKM文檔中。第一種是參考文檔(DCR),為工藝負(fù)責(zé)人提供一種設(shè)計(jì)最佳缺點(diǎn)控制方案的模板。DCR涉及了針對(duì)于特定工藝的最佳實(shí)踐案例,例如:

●統(tǒng)計(jì)點(diǎn)檢過(guò)程中必須要檢測(cè)的感愛(ài)好的缺點(diǎn)(DOI,defectofinterest)。

●擬定并且檢測(cè)生產(chǎn)中晶圓通過(guò)設(shè)備的全部通路。

●選擇能夠代表生產(chǎn)過(guò)程的測(cè)試辦法。

第二個(gè)BKM文檔的目的是執(zhí)行缺點(diǎn)控制方案以及建立整個(gè)fab的缺點(diǎn)控制原則。56個(gè)確認(rèn)的最佳案例能夠分解為三個(gè)執(zhí)行層次,以下:

●層次1:基礎(chǔ),注意和負(fù)責(zé)人

●層次2:擴(kuò)展BKM

●層次3:缺點(diǎn)減少和成本優(yōu)化

每一種BKM都要認(rèn)真定義和研究,理解如何貫徹執(zhí)行它們。這種分析用來(lái)定義支持基礎(chǔ)需要含有的能力。并不是每一項(xiàng)方法都需要基礎(chǔ)架構(gòu)的變化,特別是在第一種層次,因此應(yīng)當(dāng)并行地實(shí)施BKM和架構(gòu)改善。為了推動(dòng)執(zhí)行和判斷障礙所在,缺點(diǎn)控制小組在每七天的會(huì)議上,與制造、設(shè)備維護(hù)、和工藝模塊一起,回想DCR計(jì)劃和執(zhí)行層次的進(jìn)展?fàn)顩r?;A(chǔ)架構(gòu)方面

隨著B(niǎo)KM的建立和組織需要的擬定,要對(duì)基礎(chǔ)架構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié),方便使缺點(diǎn)控制方法能夠有效地完畢?;A(chǔ)架構(gòu)需要分解為三個(gè)范疇:

參考文書(shū)

●培訓(xùn)資料

●最佳案例(BKMs)

●感愛(ài)好的缺點(diǎn)(DOI)

●失控時(shí)的行動(dòng)方案(OCAP)

數(shù)據(jù)系統(tǒng)

●BKM支持功效

●性能原則和報(bào)告

●使用原則和報(bào)告

工具

●監(jiān)控成本優(yōu)化的計(jì)算

●DCR計(jì)劃模板

●DOI模板

本文的焦點(diǎn)是數(shù)據(jù)系統(tǒng)的研發(fā),但是需要注意的是,沒(méi)有基礎(chǔ)架構(gòu)中其它的部分,就不能有效地貫徹執(zhí)行。

數(shù)據(jù)系統(tǒng)

針對(duì)缺點(diǎn)監(jiān)控已經(jīng)建立的辦法是,從每一次的檢測(cè)中獲得顆粒增加的數(shù)量,將其加入到控制圖中。先進(jìn)的SPC系統(tǒng)采用的辦法:例如解決非正態(tài)分布問(wèn)題的預(yù)計(jì)權(quán)重移動(dòng)平均圖(EWMA),用于改善對(duì)于缺點(diǎn)暴發(fā)的監(jiān)測(cè)。這是一種非常好的辦法,但是在實(shí)際應(yīng)用中由于數(shù)據(jù)中噪音的緣故會(huì)有一定的局限性,會(huì)無(wú)視掉某些有用的信息,例如空間分布,以及缺點(diǎn)分類。更重要的是,這個(gè)工作流程必須要能夠推開(kāi)工藝前后的檢測(cè)和數(shù)據(jù)分析中BKM的應(yīng)用。即使擁有一種高級(jí)的在線SPC系統(tǒng),但是在回想了設(shè)備點(diǎn)檢使用的狀況后,大家認(rèn)為,把SPC圖表功效添加到缺點(diǎn)分析系統(tǒng)中,要比為SPC圖表系統(tǒng)研發(fā)缺點(diǎn)分析能力更加有效。

在線上缺點(diǎn)分析中,經(jīng)常使用高級(jí)的軟件工具?,F(xiàn)存的缺點(diǎn)數(shù)據(jù)分析軟件中,KLA-Tencor的Klarity,是為在線檢查數(shù)據(jù)的工程分析而設(shè)計(jì)的,它為有經(jīng)驗(yàn)的顧客提供了強(qiáng)大的,交互式功效。不幸的是,它在解決數(shù)據(jù)構(gòu)造,需要管理信息系譜,將測(cè)試成果與特定的工藝區(qū)域、工藝類型、設(shè)備、子設(shè)備,最后與測(cè)試時(shí)間聯(lián)系起來(lái)時(shí),其能力有一定的局限性。為了滿足這種鏈接的需求,以及滿足監(jiān)控解決、測(cè)試成果的特定組織報(bào)告的需求,我們決定設(shè)計(jì)一種新的顧客界面,使顧客能夠進(jìn)入已經(jīng)存在的缺點(diǎn)數(shù)據(jù)庫(kù)以及其它的數(shù)據(jù)庫(kù),方便能夠以簡(jiǎn)樸易用的界面對(duì)設(shè)備缺點(diǎn)進(jìn)行控制。這個(gè)新的界面叫做YieldDriver。

YieldDriver設(shè)計(jì)時(shí)將BKM嵌入到系統(tǒng)功效中,這樣就能夠支持設(shè)備缺點(diǎn)控制工作中的特別需求。這樣,最佳的辦法也變成了最容易的辦法。測(cè)試數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)

要實(shí)現(xiàn)支持BKM,需要的功效之一便是:能夠連貫地將測(cè)試前后的顆粒檢測(cè)成果,與工藝區(qū)域、正在進(jìn)行的測(cè)試、以及正在檢查的設(shè)備的部件關(guān)聯(lián)起來(lái),方便能夠精確地計(jì)算正在檢查的工藝或者設(shè)備對(duì)于顆粒的奉獻(xiàn)。在一種擁有120個(gè)操作工和工程師,需要檢測(cè)180臺(tái)設(shè)備,工藝環(huán)節(jié)超出300的fab里面,這不是一種簡(jiǎn)樸的數(shù)據(jù)管理問(wèn)題。

通過(guò)把點(diǎn)檢晶圓批應(yīng)用于每項(xiàng)檢測(cè)中,運(yùn)用工廠的MES系統(tǒng)控制這些點(diǎn)檢晶圓,數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)就能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化,但是這就規(guī)定MES系統(tǒng)要有新的功效,并且需要增加點(diǎn)檢晶圓的用量。更實(shí)用的辦法是,讓顧客將剛剛測(cè)試得到的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)起來(lái),圖4給出了顆粒檢測(cè)、以及如何收集關(guān)聯(lián)缺點(diǎn)數(shù)據(jù)的流程圖。通過(guò)一種圖形顧客界面來(lái)完畢數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián),在這個(gè)界面中,顧客從下拉菜單中確認(rèn)要進(jìn)行的檢測(cè)(圖5)。下一步是選擇檢測(cè)前后的測(cè)試。通過(guò)限定時(shí)限選擇剛剛使用過(guò)的點(diǎn)檢晶圓批,系統(tǒng)會(huì)給出極少的備選數(shù)據(jù)提示,普通只有一種對(duì)的的待選數(shù)據(jù)。在后測(cè)試完畢后,從這個(gè)列表中,通過(guò)如圖6所示的圖形顧客界面,顧客將對(duì)的的前、后數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)起來(lái)。

運(yùn)用已有的測(cè)試設(shè)備和數(shù)據(jù)庫(kù),將顆粒數(shù)據(jù)與被檢查的工藝、設(shè)備關(guān)聯(lián)起來(lái),這是一種簡(jiǎn)便有效的辦法。這種辦法還支持將以前的檢測(cè)成果作為下一次檢測(cè)的初始數(shù)據(jù),這樣就節(jié)省了檢測(cè)的時(shí)間。進(jìn)一步挖掘分析

從工藝區(qū)域開(kāi)始數(shù)據(jù)選擇,方便與fab組織機(jī)構(gòu)相一致。重要的圖表屏幕提供了交互式的進(jìn)一步分析功效,設(shè)計(jì)用來(lái)支持設(shè)備缺點(diǎn)檢測(cè)。每個(gè)層次縮小了數(shù)據(jù)的選擇范疇(如表所示)。一旦需要的數(shù)據(jù)被選中(如圖7),它能夠用圖表列出需要的任意時(shí)段。

數(shù)據(jù)能夠用圖的形式表達(dá)出來(lái)(如圖8),尚有某些額外的功效來(lái)支持工作。附加的圖表注釋功效涉及:●標(biāo)注“C”的點(diǎn)表達(dá)已經(jīng)查看過(guò)并且已分類。

●點(diǎn)擊一種數(shù)據(jù)點(diǎn),能夠調(diào)出分類數(shù)據(jù)和晶圓圖。

●空心點(diǎn)表達(dá)未涉及的數(shù)據(jù)點(diǎn)。數(shù)據(jù)排除不是直接做的,而是根據(jù)分類圖自動(dòng)進(jìn)行解決的,這種解決是建立在性能考量的基礎(chǔ)上的,是有正當(dāng)理由的。

●矩形表達(dá)數(shù)據(jù)點(diǎn)在數(shù)據(jù)收集完畢后沒(méi)有立刻被復(fù)查。這一點(diǎn)是支持BMK的,BKM總是復(fù)查晶圓圖尋找明顯的信號(hào),并對(duì)失效進(jìn)行快速反饋。

●許多參數(shù)能夠在不同的圖表中描繪出來(lái)。這與最核心的BKM是一致的,重視管理“大的”-那些對(duì)于有更大影響的顆粒,而不是缺點(diǎn)的總數(shù)(TDC)。顧客還能夠開(kāi)發(fā)多個(gè)單獨(dú)的圖表,為自動(dòng)缺點(diǎn)分類(ADC)得到的多個(gè)缺點(diǎn)設(shè)立規(guī)格界限。

●設(shè)備的狀態(tài)能夠在圖表中表達(dá)出來(lái),能夠看到這種工藝設(shè)備在缺點(diǎn)高發(fā)的期間,是在使用中,還是由于維護(hù)而停機(jī)。

●這些圖表都有鏈接,能夠很快的鏈接到參考文書(shū),例如DOI,OCAP,DCR,還能夠鏈接到設(shè)備維護(hù)的歷史統(tǒng)計(jì)。

一旦缺點(diǎn)數(shù)據(jù)描繪完畢,就能夠用一張計(jì)量表格來(lái)體現(xiàn)計(jì)算成果,這對(duì)于缺點(diǎn)控制工作是有協(xié)助的。

●AvgDef是圖表中平均的缺點(diǎn)水平,用于與控制限、規(guī)格和目的數(shù)進(jìn)行快速比較。

●AQBF,或者失效前的平均檢測(cè)次數(shù),是兩次失效之間檢測(cè)次數(shù)的一種量測(cè)。

●Exl%是被排除于計(jì)算之外的數(shù)據(jù)點(diǎn)所占的比例。排除是建立在數(shù)據(jù)分類的基礎(chǔ)之上的,是設(shè)計(jì)用來(lái)去掉那些不能反映量產(chǎn)晶圓特性的數(shù)據(jù)點(diǎn),例如設(shè)備異?;蛘哳w粒檢測(cè)有問(wèn)題時(shí),用于調(diào)查問(wèn)題的檢測(cè)數(shù)據(jù)。去掉的數(shù)據(jù)不計(jì)入量度計(jì)算。

●%A是在控制限以上并且已經(jīng)被分類或者標(biāo)注的數(shù)據(jù)點(diǎn)所占的比例。

●%OOC是超出控制限的點(diǎn)所占的比例。

●%R是得到及時(shí)復(fù)查的點(diǎn)的量度。它是按照BKM辦法,對(duì)于每一種數(shù)據(jù)點(diǎn)都在缺點(diǎn)檢測(cè)一小時(shí)之內(nèi),把晶圓圖調(diào)出來(lái)進(jìn)行復(fù)查的一種量度。

●YD#是圖表上數(shù)據(jù)點(diǎn)的個(gè)數(shù)。

●CCL是建立在現(xiàn)在圖上的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)上計(jì)算出來(lái)的控制限。它提供了一種辦法,來(lái)快速查看控制限,方便找出統(tǒng)計(jì)上性能最差的設(shè)備腔體。

●CL是現(xiàn)在的控制限,Spec是規(guī)格限,Lrn是用來(lái)觸發(fā)額外缺點(diǎn)分析的選擇性控制限,它與控制限和規(guī)格限的目的不同。Goal是相對(duì)于控制限來(lái)說(shuō)要達(dá)成的目的。

圖9是體現(xiàn)圖8中圖表的一張計(jì)量表。這些表格按照設(shè)備類型,工藝,以及區(qū)域來(lái)積累而成,為fab經(jīng)理提供一種總體的性能方面的統(tǒng)計(jì)成果。

和晶圓圖的檢查

從經(jīng)驗(yàn)上講,增加的缺點(diǎn)始終是按照檢測(cè)后的缺點(diǎn)減去檢測(cè)前的缺點(diǎn)計(jì)算得來(lái)。不幸的是,有時(shí),這種辦法會(huì)誤檢出干凈的設(shè)備。這是一種特殊的狀況,晶圓上增加或者減去薄膜,如果顆粒檢測(cè)是按照BKM的辦法,就要去匹配實(shí)際的工藝環(huán)節(jié)。這種解決辦法會(huì)減少對(duì)先前存在顆粒的探測(cè),從而造成虛假的低缺點(diǎn)計(jì)算。這種效應(yīng)在YieldDriver操作者培訓(xùn)材料的一頁(yè)中有解釋(圖10)。

檢查晶圓缺點(diǎn)圖的BKM辦法是在缺點(diǎn)檢測(cè)完畢后兩小時(shí)內(nèi),對(duì)每一種數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試前、測(cè)試后,以及疊加后增加的缺點(diǎn)圖的檢查。新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)使這一點(diǎn)變得很容易,點(diǎn)擊一種數(shù)據(jù)點(diǎn)時(shí),會(huì)給出全部這三張圖。圖11給出了一點(diǎn)例子,缺點(diǎn)圖通過(guò)了增加缺點(diǎn)的控制限,但是卻有明顯的需要對(duì)策的邊沿特性。

如圖12所示,能夠?qū)⑷秉c(diǎn)圖拖到圖表的分析部分,調(diào)出每張缺點(diǎn)圖像以及其它的分析功效。管理方面的努力

缺點(diǎn)控制小組的目的是在整個(gè)工廠內(nèi)建立BKM系統(tǒng),使其成為原則的案例。這規(guī)定各部門(mén)經(jīng)理在一定程度上要日常留心這方面,并且在月度或者季度工廠業(yè)績(jī)回想時(shí)把這些趨勢(shì)圖增加進(jìn)去。在這些變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)之前,我們首先要確保這些系統(tǒng)按照計(jì)劃應(yīng)用于日常的運(yùn)作之中。在此之前,確保系統(tǒng)按照規(guī)定執(zhí)行非常重要。為了把這些辦法變?yōu)樵瓌t的工作流程,我們對(duì)于成果、實(shí)施和完畢狀況給出了一種衡量原則。

如圖13所示的報(bào)告,就是設(shè)計(jì)用來(lái)翻班交接或者生產(chǎn)會(huì)議時(shí)的快速日?;叵?。這個(gè)報(bào)告給出了過(guò)去24小時(shí)這個(gè)特定區(qū)域全部故障檢測(cè)的細(xì)節(jié)。它是系統(tǒng)產(chǎn)生的,張貼在內(nèi)部網(wǎng)上,能夠快速溜覽。

其它基于區(qū)域的網(wǎng)絡(luò)報(bào)告,以缺點(diǎn)性能的形式提交了YieldDriver的成果,按照工作周給出趨勢(shì)圖,按照設(shè)備來(lái)分辨(圖14)。這讓經(jīng)理對(duì)于整個(gè)區(qū)域的成果能夠一目了然,擬定哪些工藝更容易出故障。這個(gè)報(bào)告是交互式的,顧客點(diǎn)擊一下圖表就能進(jìn)一步分析特定設(shè)備的具體數(shù)據(jù)。

圖15給出的報(bào)告是用來(lái)監(jiān)控組織機(jī)構(gòu)針對(duì)缺點(diǎn)數(shù)據(jù)是如何運(yùn)用和進(jìn)行反映的。它給出outofcontrol的比例(%OOC),沒(méi)有評(píng)注的比例,以及沒(méi)有復(fù)查的比例(兩小時(shí)之內(nèi))。經(jīng)理

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