航空航天設(shè)備上MEMS傳感器的應(yīng)用

航空航天設(shè)備上MEMS傳感器的應(yīng)用MEMS傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對(duì)各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用，已在太空衛(wèi)星、運(yùn)載火箭、航空航天設(shè)備、飛機(jī)、各種車輛、生特醫(yī)學(xué)及消費(fèi)電子產(chǎn)品等領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。隨著電子技術(shù)的發(fā)展，MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛，由最早的工業(yè)、軍用航空應(yīng)用走向普通的民用和消費(fèi)市場。在智能手機(jī)上，MEMS傳感器提供在聲音性能、場景切換、手勢識(shí)別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應(yīng)用；在汽車上，MEMS傳感器借助氣囊碰撞傳感器、胎壓監(jiān)測系統(tǒng)（TPMS）和車輛穩(wěn)定性控制增強(qiáng)車輛的性能；醫(yī)療領(lǐng)域，通過MEMS傳感器研成功制出微型胰島素注射泵，并使心臟搭橋移植和人工細(xì)胞組織成為現(xiàn)實(shí)中可實(shí)際使用的治療方式；在可穿戴應(yīng)用中，MEMS傳感器可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)追蹤、心跳速率測量等。汽車電子MEMS傳感器的應(yīng)用汽車電子產(chǎn)業(yè)被認(rèn)為是MEMS傳感器的第一波應(yīng)用高潮的推動(dòng)者，MEMS傳感器在汽車上應(yīng)用的快速發(fā)展主要是受益于各國政府全面推出汽車安全規(guī)定（比如要求所有汽車采用TPMS系統(tǒng)）和汽車智慧化的發(fā)展趨勢。全球平均每輛汽車包含10個(gè)傳感器，在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器，車越好，所用的MEMS就越多，BMW740i汽車上就有70多只MEMS。MEMS傳感器可滿足汽車環(huán)境苛刻、可靠性高、精度準(zhǔn)確、成本低的要求。其應(yīng)用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)（ABS）、電子車身穩(wěn)定程序（ESP）、電控懸掛（ECS）、電動(dòng)手剎（EPB）、斜坡起動(dòng)輔助（HAS）、胎壓監(jiān)控（EPMS）、引擎防抖、車輛傾角計(jì)量和車內(nèi)心跳檢測等等。目前，壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計(jì)占汽車MEMS系統(tǒng)的99%。MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器是汽車中應(yīng)用最多的傳感器，至少18個(gè)汽車應(yīng)用領(lǐng)域促進(jìn)壓力傳感器的增長，包括：輪胎壓力，電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)中的剎車傳感器，側(cè)面氣囊，與日益嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動(dòng)變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。MEMS加速度計(jì)MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成，通過微硅質(zhì)量塊的偏移實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的檢測，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計(jì)還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中，電容式MEMS加速度計(jì)具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點(diǎn)，是MEMS微加速度計(jì)中的主流產(chǎn)品。微陀螺儀微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號(hào)補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng)，主要有振動(dòng)式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用最多的屬于振動(dòng)陀螺儀，它利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時(shí)，系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動(dòng)是否到位，主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)以防止汽車脫離車道，通常，它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。MEMS流量傳感器MEMS流量傳感器是基于傳統(tǒng)的熱膜片風(fēng)力計(jì)原理借助先進(jìn)的薄膜片技術(shù)，將性能穩(wěn)定的薄膜片電阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面縮短了傳感器響應(yīng)時(shí)間，另一方面由于采用了前后橋電路，可以判斷出流體流向，從而進(jìn)一步測量出回流流量。為了防止溫度變化對(duì)測量精度的影響，傳感器中采用了兩片熱敏電阻分別對(duì)前后橋進(jìn)行了溫度補(bǔ)償。流量傳感器主要用于檢測發(fā)動(dòng)機(jī)的空氣進(jìn)氣量和燃油噴射量，從而將空燃比控制在最佳值附近，此外流量傳感器還廣泛利用于排氣再循環(huán)、防滑驅(qū)動(dòng)、剎車防抱死系統(tǒng)以及電控懸架等許多方面。按銷售額計(jì)算，最大的五種汽車MEMS應(yīng)用按降序排名是：ESC，安全氣囊，進(jìn)氣歧管絕對(duì)壓力（MAP），TPMS與翻滾探測。消費(fèi)類電子MEMS傳感器的應(yīng)用隨著消費(fèi)電子領(lǐng)域大發(fā)展及產(chǎn)品創(chuàng)新不斷涌現(xiàn)，特別是受益于智能手機(jī)和平板電板的快速發(fā)展，消費(fèi)電子已經(jīng)取代汽車領(lǐng)域成為MEMS最大的應(yīng)用市場。其中手機(jī)和平板電腦中的MEMS傳感器幾乎占了消費(fèi)類電子MEMS傳感器類市場的90%。MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域的應(yīng)用包括運(yùn)動(dòng)/墜落檢測、導(dǎo)航數(shù)據(jù)補(bǔ)償、游戲/人機(jī)界面、電源管理、GPS增強(qiáng)/盲區(qū)消除、速度/距離計(jì)數(shù)等等，這些MEMS技術(shù)都在很大程度上提高了用戶體驗(yàn)。終端設(shè)備內(nèi)的硬盤驅(qū)動(dòng)器墜落保護(hù)是MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器在消費(fèi)電子市場的具有重要?dú)v史意義的代表性應(yīng)用之一。手提電腦內(nèi)的三軸加速計(jì)可以監(jiān)測加速度，因?yàn)榫哂刑囟ǖ墓δ芎蛿?shù)據(jù)處理電路，它能夠檢測到硬盤驅(qū)動(dòng)器的意外摔落事故，并及時(shí)命令讀寫頭縮回到安全位置，以防電腦最終摔落在地板上時(shí)損壞讀寫頭。手機(jī)是MEMS在消費(fèi)類產(chǎn)品中最大的應(yīng)用領(lǐng)域。包含MEMS麥克風(fēng)、3D加速器、RF被動(dòng)與主動(dòng)組件、相機(jī)穩(wěn)定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應(yīng)用最多的傳感器是加速計(jì)、陀螺儀與MEMS硅麥克風(fēng)，其中加速度計(jì)是該市場中第一大應(yīng)用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計(jì)后的第二大應(yīng)用產(chǎn)品。MEMS麥克風(fēng)銷售額2015年已經(jīng)突破10億美元，美國IHS全球產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告表示全球MEMS麥克風(fēng)市場仍將連續(xù)5年維持18%的年復(fù)合成長率（CAGR）。還有一些MEMS傳感器或剛進(jìn)入市場的，例如磁力計(jì)、指紋傳感器、環(huán)境傳感器、MEMS手機(jī)攝像頭等。而MEMS傳感器在手機(jī)應(yīng)用的數(shù)量規(guī)模以及多樣性，也仍不斷在快速成長當(dāng)中。蘋果（Apple）公司于2007年首度將微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）加速度計(jì)應(yīng)用在iPhone中，開啟手機(jī)產(chǎn)業(yè)的傳感器革命。iPhone6Plus就使用了加速度計(jì)、陀螺儀、電子羅盤、氣壓計(jì)、指紋傳感器、接近與環(huán)境光傳感器、MEMS麥克風(fēng)和ImageSensor等MEMS傳感器。截至目前為止，Apple公司已擁有超過三百五十篇以上與傳感器相關(guān)的發(fā)明專利，而申請(qǐng)內(nèi)容包括觸控、影像、運(yùn)動(dòng)、振動(dòng)感測、數(shù)據(jù)運(yùn)算、掉落感知及亮度感知等等。游戲機(jī)是運(yùn)動(dòng)跟蹤和手勢識(shí)別應(yīng)用的突出代表，以具有革命性的任天堂Wii游戲機(jī)為例，采用了MEMS三軸加速度計(jì)，能夠捕捉到玩家任何細(xì)微的動(dòng)作，使玩家陶醉于真實(shí)的游戲體驗(yàn)，通過不同的動(dòng)作融入到游戲中，例如，模仿一場真實(shí)的網(wǎng)球賽、一場引人入勝高爾夫球賽、一場緊張的拳擊賽或輕松的釣魚比賽的動(dòng)作。高能效低價(jià)微型MEMS傳感器徹底改變了人們與移動(dòng)終端設(shè)備的互動(dòng)方式。在各類移動(dòng)終端、游戲機(jī)、遙控器等設(shè)備上，MEMS傳感器可以實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的功能，令人心動(dòng)的用戶界面，用戶的手勢、碰摸就能夠激活相應(yīng)的功能。為消費(fèi)電子產(chǎn)品的“”升級(jí)、換代”劃成一個(gè)里程碑式的注腳。智能穿戴裝置是目前最熱門的新興產(chǎn)品，其所使用的感測組件，無論在尺寸、耗電量、感測靈敏度或是組件可靠度上，通常皆須面對(duì)更嚴(yán)苛的要求。最成功的組件案例是慣性傳感器與MEMS麥克風(fēng)，包括Google、Apple、微軟（Microsoft）、摩托羅拉（Motorola）等多家知名大廠，皆已將此兩組件整合在自家的穿戴裝置產(chǎn)品內(nèi)，成為其傳感器標(biāo)準(zhǔn)配備。智能穿戴裝置兩大功能項(xiàng)目在于量化生活（QuantifiedSelf）及隨身環(huán)境安全監(jiān)測。其所需感測功能大致可包括活動(dòng)感知、影像感測、環(huán)境感測及生理感測四大類別。MEMS組件在穿戴裝置上的應(yīng)用訴求，是使系統(tǒng)達(dá)到微小化、低功耗、高性能及多功能整合等目的。健身和健康監(jiān)測就是MEMS傳感器在智能穿戴裝置中的代表性的應(yīng)用。計(jì)步表或計(jì)步器是利用三軸MEMS加速度傳感器，在特定的情況下，計(jì)步器的傳感器能夠精確地測定在步行和跑步過程中作用在系統(tǒng)上的加速度，通過處理加速度數(shù)據(jù)，計(jì)步器顯示用戶走過的步數(shù)和速度，以及在身體運(yùn)動(dòng)過程中所消耗掉的熱量。航空航天設(shè)備上MEMS傳感器的應(yīng)用MEMS傳感器應(yīng)用在航空航天領(lǐng)域，要求適應(yīng)在不同的空間環(huán)境，包括：真空、電磁輻射、高能粒子輻射、等離子體、微流星體、行星大氣、磁場和引力場等，以及航天器某些系統(tǒng)工作時(shí)或在空間環(huán)境作用下產(chǎn)生的誘導(dǎo)環(huán)境，例如，軌道控制推力器點(diǎn)火和太陽電池翼伸展引起的振動(dòng)、沖擊環(huán)境；航天器上的磁性材料和電流回路在空間磁場中運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的感應(yīng)磁場；航天器上有機(jī)材料逸出物沉積在其他部位造成的分子污染等。因此，航空航天傳感器主要有狀態(tài)傳感器，環(huán)境傳感器之分，前者包括各種活動(dòng)機(jī)件的即時(shí)位置傳感器，如襟，副翼位置，噴口大小，油門位置，減速板位置，起落架收放位置等，飛機(jī)狀態(tài)傳感器，如迎角，側(cè)滑角傳感器，飛機(jī)姿態(tài)傳感器等，各種參數(shù)如液壓，油壓，發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)量，滑油金屬屑，各種消耗品如油料剩余量，消耗速度等，還有結(jié)冰傳感器，火警傳感器，極限傳感器，過載傳感器，生命傳感器以及各種多余度系統(tǒng)的自動(dòng)轉(zhuǎn)換傳感器。環(huán)境傳感器主要有溫度傳感器、濕度傳感器、氧氣傳感器、壓力傳感器、流量傳感器等。MEMS傳感器在航空航天領(lǐng)域中主要有五種用途：①提供有關(guān)航天器的工作信息，起故障診斷的作用;②判斷各分系統(tǒng)間工作的協(xié)調(diào)性，驗(yàn)證設(shè)計(jì)方案;③提供全系統(tǒng)自檢所需信息，給指揮員決策提供依據(jù);④提供各分系統(tǒng)、整機(jī)內(nèi)部檢測參數(shù)，驗(yàn)證設(shè)計(jì)的正確性。⑤監(jiān)測飛行器內(nèi)外部的環(huán)境，為飛行員航天員提供所需的生存條件，保障正常飛行參數(shù)。MEMS傳感器構(gòu)成的電子設(shè)備MEMS傳感器在飛行器中的電子設(shè)備、飛行器設(shè)計(jì)及微小衛(wèi)星等技術(shù)方面都有重要的應(yīng)用。機(jī)載分布式大氣數(shù)據(jù)計(jì)算機(jī)，由全壓一靜壓一攻角為一體的多功能微型大氣數(shù)據(jù)探頭（或稱組合式空速管）、微型壓力傳感器（靜壓、差壓及動(dòng)壓）以及信號(hào)處理單元直接組成，并封裝在殼體內(nèi)，形成一個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS慣性導(dǎo)航系統(tǒng)微型慣性導(dǎo)航系統(tǒng)集微陀螺、微加速度計(jì)及其信號(hào)處理單元為一體，該系統(tǒng)以硅材料為主，用MEMS加工工藝制造而成，其體積和質(zhì)量比常規(guī)慣性導(dǎo)航系統(tǒng)至少下降2一3個(gè)數(shù)量級(jí)。采用MEMS技術(shù)制造的微型慣性測量單元（MIMU），沒有轉(zhuǎn)動(dòng)的部件，在壽命、可靠性、成本、體積和質(zhì)量等方面都要大大優(yōu)于常規(guī)的慣性儀表。所生產(chǎn)出來的標(biāo)準(zhǔn)化的、高性能航天器姿態(tài)測量儀器性能更好，價(jià)格更便宜，而且在航空航天平臺(tái)均能使用。采用MIMU器件可使裝置的重量大大減輕。MEMS加速度傳感器加速度傳感器在航空航天應(yīng)用在姿態(tài)航向基準(zhǔn)系統(tǒng);捷聯(lián)慣性測量單元;飛機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng);飛行控制系統(tǒng);包括顫振測試在內(nèi)的飛行期間結(jié)構(gòu)測試;健康系統(tǒng)測試;穩(wěn)定性測試;地面振動(dòng)測試（風(fēng)洞試驗(yàn)）;模態(tài)測試;發(fā)動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)、制導(dǎo)系統(tǒng)等。MEMS化學(xué)傳感器這種類似于電子鼻的高溫傳感器陣列是用于檢測和控制航空和汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的排放物質(zhì)。通過分析電子鼻產(chǎn)生的信號(hào)確定排放系統(tǒng)廢氣的成分。MEMS壓力傳感器航空航天傳感器在飛行中、飛行試驗(yàn)、發(fā)動(dòng)機(jī)測試驗(yàn)、結(jié)構(gòu)強(qiáng)度試驗(yàn)、風(fēng)洞試驗(yàn)，以及在設(shè)備的制造生產(chǎn)過程中應(yīng)用十分普遍。壓力測量的特點(diǎn)是;被測壓力種類多、涉及范圍廣，測壓點(diǎn)多，要求測量精度高。航天航空集當(dāng)代先進(jìn)制造技術(shù)、信息技術(shù)和材料技術(shù)于一身，對(duì)傳感器的要求越來越高，MEMS傳感器發(fā)展方向是多功能化、小型化、智能化、集成化，隨著產(chǎn)品可靠性進(jìn)一步提高和價(jià)格降低，制作技術(shù)發(fā)展的不斷成熟和完善，MEMS傳感器在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用將會(huì)在更廣泛范圍取代傳統(tǒng)傳感器。生物醫(yī)療行業(yè)MEMS傳感器的應(yīng)用MEMS傳感器技術(shù)的突破也為醫(yī)療應(yīng)用帶來前所未有的便利性和體驗(yàn)。隨著人口的老齡化，人們的醫(yī)療保健問題變的空前重要。人們的醫(yī)療保健問題變的空前重要。體外診斷、藥物研究、病患監(jiān)測、給藥方式以及植入式醫(yī)療器械等領(lǐng)域都在不斷發(fā)展，系統(tǒng)集成商們需要?jiǎng)?chuàng)新的技術(shù)來迅速提高產(chǎn)品性能、降低產(chǎn)品成本、縮小產(chǎn)品尺寸。生物MEMS技術(shù)為所有這些領(lǐng)域帶來改進(jìn)了傳感和執(zhí)行功能的微型器件，如加速度傳感器、壓力傳感器、流量傳感器以及微泵。測壓傳感器應(yīng)用在醫(yī)學(xué)中被稱為醫(yī)用測壓傳感器，它們都必須高度精確并緊湊包裝，以方便攜帶，特別是器械要與病人直接連接時(shí)?，F(xiàn)在將小型測壓傳感器應(yīng)用到容易發(fā)生人為錯(cuò)誤的領(lǐng)域，如：用于給藥的輸液泵。這種傳感器可準(zhǔn)確測量輸液袋的重量，當(dāng)液體重量與預(yù)先設(shè)定值不同時(shí)，傳感器會(huì)立即向連接的設(shè)備發(fā)出警告信息，并及時(shí)跟控制器通信。測壓傳感器的核心部件是箔應(yīng)變計(jì)，采用真空沉積或?yàn)R射技術(shù)，通過材料的分子鍵合附著在介電層上，這種技術(shù)通常稱為薄膜法。理想的應(yīng)變計(jì)應(yīng)該體積小，成本低，對(duì)于負(fù)荷方向上的應(yīng)變極為靈敏，而且不受周圍環(huán)境溫度變化的影響。植入式傳感器應(yīng)當(dāng)體積小，重量輕，并且和身體兼容，同時(shí)還要求其功率非常小。更重要的是，它們不能隨著時(shí)間的推移而衰變。由于這類傳感器屬于第Ⅲ類醫(yī)療器械，因此需要有食品及藥物管理局（FDA）的批準(zhǔn)才能使用。一般來講，這類傳感器價(jià)格非常昂貴，而且需要專家做外科手術(shù)進(jìn)行移植。對(duì)功率的要求是植入式傳感器正常工作所面臨的主要挑戰(zhàn)之一。不需要功率就能發(fā)揮作用的傳感器是最完美的。壓電聚合傳感器體積小，可靠性高，不需要外部動(dòng)力而且能長時(shí)間持續(xù)工作。這類傳感器可應(yīng)用于監(jiān)視病人活動(dòng)的心臟起搏器，通過植入式傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測心率變化。舉個(gè)例子，由于腹部長了一個(gè)大動(dòng)脈瘤，要求切除一部分脆弱的動(dòng)脈，用人工合成的管狀器官來替代。這時(shí)，可以在手術(shù)的過程中植入一個(gè)傳感器，用來監(jiān)視手術(shù)部位的壓力泄漏。心臟起搏器每當(dāng)病人運(yùn)動(dòng)時(shí)，傳感器就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)信號(hào)。心臟起搏器接收到這些信號(hào)，然后使心臟也相應(yīng)的博動(dòng)。如果病人在休息，信號(hào)為零，則心臟起搏器會(huì)使心臟以正常頻率博動(dòng)，例如大約70次/分鐘。傳感器能區(qū)分出各種活動(dòng)，例如走路、跑步、或是其他身體活動(dòng)。傳感器的輸出和運(yùn)動(dòng)量成正比。MEMS加速度傳感器提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法，研制出一種簡單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。通過加速度傳感器將胎兒心率轉(zhuǎn)換成模擬電壓信號(hào)，經(jīng)前置放大用的儀器放大器實(shí)現(xiàn)差值放大。然后進(jìn)行濾波等一系列中間信號(hào)處理，用A/D轉(zhuǎn)換器將模擬電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)。通過光隔離器件輸入到單片機(jī)進(jìn)行分析處理，最后輸出處理結(jié)果?；贛EMS加速度傳感器設(shè)計(jì)的胎兒心率檢測儀在適當(dāng)改進(jìn)后能夠以此為終端，做一個(gè)遠(yuǎn)程胎心監(jiān)護(hù)系統(tǒng)。醫(yī)院端的中央信號(hào)采集分析監(jiān)護(hù)主機(jī)給出自動(dòng)分析結(jié)果，醫(yī)生對(duì)該結(jié)果進(jìn)行診斷，如果有問題及時(shí)通知孕婦到醫(yī)院來。該技術(shù)有利于孕婦隨時(shí)檢查胎兒的狀況，保障胎兒和孕婦的健康。生物傳感器對(duì)生物物質(zhì)敏感并將其濃度轉(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行檢測，它是由固定化的生物敏感材料做識(shí)別元件（包括酶、抗體、抗原、微生物、細(xì)胞、組織、核酸等生物活性物質(zhì)）與適當(dāng)?shù)睦砘瘬Q能器（如氧電極、光敏管、場效應(yīng)管、壓電晶體等）及信號(hào)放大裝置構(gòu)成的分析工具。在臨床醫(yī)學(xué)中，酶電極是最早研制且應(yīng)用最多的一種傳感器。利用具有不同生物特性的微生物代替酶，可制成微生物傳感器。生物傳感器已應(yīng)用于監(jiān)測多種細(xì)菌、病毒及其毒素。藥物分析用生物傳感器的典型代表產(chǎn)品是SPR生物傳感器，這是一種表面膜共振分析，是實(shí)時(shí)測定生物分子結(jié)合的技術(shù)。最常見的用于生物傳感：基于抗體-抗原的相互作用，核酸相互作用，酶的相互作用，細(xì)胞相互作用，使用仿生材料的相互作用。隨著醫(yī)療技術(shù)的發(fā)達(dá)，越來越多的醫(yī)療保健應(yīng)用使用MEMS器件，并由此帶來市場強(qiáng)勁增長！MEMS傳感器助力物聯(lián)網(wǎng)構(gòu)建智能世界的美好生活萬物相連，智能感應(yīng)。隨著通訊技術(shù)的高速發(fā)展，應(yīng)用MEMS傳感器技術(shù)，使所有的智能對(duì)象與現(xiàn)實(shí)世界進(jìn)行互動(dòng)，推動(dòng)了物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展。物聯(lián)網(wǎng)（IoT）是把任何物品與互聯(lián)網(wǎng)連接起來，進(jìn)行信息交換和通訊，以實(shí)現(xiàn)智能化識(shí)別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理的一種網(wǎng)絡(luò)。簡而言之，物聯(lián)