GB/T 36306-2024潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36306—2024

代替GB/T36306—2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求

Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments—

Technicalrequirementsofairchemicalcontaminationcontrol

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T36306—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

污染源

4……………………1

空氣化學(xué)污染控制

5………………………2

檢測與監(jiān)測

6………………3

附錄資料性潔凈室建設(shè)材料選用

A()…………………5

附錄資料性電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染控制系統(tǒng)

B()……………7

附錄資料性微電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染物控制數(shù)據(jù)表

C()……9

附錄資料性潔凈室施工階段化學(xué)物濃度控制措施

D()………………11

參考文獻(xiàn)

……………………13

Ⅰ

GB/T36306—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制指南與

GB/T36306—2018《》,

相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外主要技術(shù)變化如下

GB/T36306—2018,,:

更改了標(biāo)準(zhǔn)適用范圍見第章年版的第章

a)(1,20181);

刪除了空氣分子污染環(huán)境反應(yīng)監(jiān)測法污染物氣相空氣凈化裝置等術(shù)語見年版的

b)、、、(2018

3.1、3.2、3.3、3.4);

增加了按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度釋出氣體等術(shù)語見

c)、(3.1、3.3);

更改了空氣化學(xué)污染物的定義見年版的

d)(3.2,20183.5);

更改及增加了污染源來源見年版的刪除了分級與分類見年版的

e)(4.1、4.2,20184.1),(2018

4.2);

增加了一般要求設(shè)計(jì)施工及運(yùn)行維護(hù)等空氣化學(xué)污染控制內(nèi)容見刪除

f)、、(5.1、5.2、5.3、5.4),

了確定是否污染及情況控制措施的內(nèi)容見年版的

、(20186.1、6.2);

更改標(biāo)題檢測為檢測與監(jiān)測見第章年版的第章更改了檢測的內(nèi)容見

g)“”“”(6,20185),(

年版的增加了監(jiān)測的內(nèi)容見

6.1,20185.1、5.2),(6.2)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國電子工程設(shè)計(jì)院股份有限公司中國電子系統(tǒng)工程第三建設(shè)有限公司中國

:、、

電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司中國科學(xué)院大氣物理研究所蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司深圳市億

、、、

天凈化技術(shù)有限公司天津大學(xué)蘇州華泰空氣過濾器有限公司中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會濱州裕能電子材料股

、、、、

份有限公司北京戴納實(shí)驗(yàn)科技有限公司煙臺寶源凈化有限公司江漢大學(xué)上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)

、、、、

協(xié)會中電精泰電子工程有限公司麗茲控股有限公司無錫萊姆頓科技有限公司仲愷農(nóng)業(yè)工程學(xué)院

、、、、、

黃岡魯班藥業(yè)股份有限公司上海禾益凈化設(shè)備制造有限公司佛山市南海東方澳龍制藥有限公司深

、、、

圳市中建南方環(huán)境股份有限公司

。

本文件主要起草人閻冬劉俊杰王奇勛孫揚(yáng)李衛(wèi)夏群艷陳思源霍金鵬郝胤博胡茂從

:、、、、、、、、、、

吳志堅(jiān)耿文韜王芳奚曉鵬丁力行楊云濤楊子強(qiáng)陳錫福王艷嚴(yán)斌裴晶晶周淑貞徐寶平

、、、、、、、、、、、、、

徐宜彬張長安楊立楊小龍白冰

、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2018GB/T36306—2018;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T36306—2024

引言

本文件的空氣化學(xué)污染控制技術(shù)主要針對有空氣化學(xué)污染控制要求的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空

。

氣化學(xué)污染物的分子尺寸范圍為通常狀態(tài)下是以氣體或蒸氣形態(tài)存在常規(guī)高效過濾

0.1nm~3nm,,

器和超高效過濾器無法有效去除使用粒子計(jì)數(shù)器也檢測不到

,。

空氣化學(xué)污染物種類較多不同污染物具有不同的化學(xué)性質(zhì)某些污染物的濃度可隨環(huán)境的溫度

,,、

濕度變化而改變且污染物來源具有很大的隨機(jī)性隨著凈化技術(shù)和材料的發(fā)展空氣化學(xué)污染物可以

,。,

被有效控制和去除能夠保障潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣化學(xué)污染物滿足環(huán)境限定要求

,。

Ⅳ

GB/T36306—2024

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求

1范圍

本文件規(guī)定了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染物控制技術(shù)要求包括污染源空氣化學(xué)污染控

,、

制檢測與監(jiān)測等內(nèi)容

、。

本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的空氣化學(xué)污染控制

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度

GB/T25915.8—20218:(ACC)

等級

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度aircleanlinessbychemicalconcentrationACC

;

以表示的代表給定的某種或某組化學(xué)物種類以克每立方米為單位的最大允許濃度

ISO-ACC