JJG（軍工）165-2019真空標準漏孔

JJG(軍工)165—2019真空標準漏孔 JJG(軍工)165—2019L前言 Ⅱ 2引用文件 3術(shù)語和定義 4概述 4.2構(gòu)造 4.3用途 25計量性能要求 25.1漏率示值誤差 25.2漏率重復性 26通用技術(shù)要求 26.1外觀及附件 26.2工作正常性 27計量器具控制 27.1檢定條件 27.2檢定項目 7.3檢定方法 37.4檢定結(jié)果的處理 77.5檢定周期 7附錄A定容法真空標準漏孔檢定記錄格式 8附錄B動態(tài)比較法真空標準漏孔檢定記錄格式 9附錄C靜態(tài)累積法真空標準漏孔檢定記錄格式 附錄D真空標準漏孔檢定證書內(nèi)頁格式 附錄E真空標準漏孔檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式 JJG(軍工)165—2019I本檢定規(guī)程的編制參考JJF(軍工)2—2012《國防軍工計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》及JJF(軍工)6—2014《國防軍工計量技術(shù)規(guī)范審查規(guī)范》。本檢定規(guī)程替代JJF(軍工)23—2015《(1×10-8～1×1014)Pam3/s真空標準漏孔校準規(guī)范》。本檢定規(guī)程與JJF(軍工)23—2015比較，有下列變化：1.將適用的漏率范圍由(1×108～1×1014)Pam3/s修訂為(1×10-～5×10-13)Pam3/s;2.檢定方法在保留原有動態(tài)比較法和靜態(tài)累積比較法的基礎(chǔ)上，擴充了定容法。JJG(軍工)165—2019真空標準漏孔檢定規(guī)程1范圍本規(guī)程適用于漏率測量范圍為(5×10-13～1×10*)Pam3/s的真空標準漏孔的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。2引用文件本規(guī)程引用了下列文件：GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語GB/T4844純氨、高純氨和超純氨GB/T8979純氮、高純氮和超純氮凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)程；凡不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)程。3術(shù)語和定義JJF1001和GB/T3163界定的及以下術(shù)語和定義適用于本規(guī)程。3.1真空標準漏孔VacuumStandardLeak在出口壓力低于1kPa,入口壓力大于出口壓力條件下，提供已知恒定漏率的一種標準漏孔。4概述4.1原理真空標準漏孔根據(jù)漏氣元件漏氣原理不同，可以分為滲透型真空標準漏孔和通道型真空標準漏孔兩種。滲透型真空標準漏孔是利用某些物質(zhì)對某種氣體有較高的滲透性而制造的，從而對特定氣體產(chǎn)生恒定漏率的一種真空標準漏孔。通道型真空標準漏孔是利用具有物理節(jié)流的通道，如金屬毛細管、玻璃-鉑金絲毛細管、金屬壓扁毛細管、粉末燒結(jié)和微孔板等而制造的，能讓所有氣體成分以微小流量通過，從而產(chǎn)生恒定漏率的一種真空標準漏真空標準漏孔一般由漏孔元件、氣室、漏孔閥、充氣閥和連接件等組成，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。2414535lJJG(軍工)165—201924.3用途真空標準漏孔主要用于氣體泄漏檢測工作中產(chǎn)生己知恒定漏率的標定。5計量性能要求5.1漏率示值誤差真空標準漏孔漏率示值誤差見表1。5.2漏率重復性真空標準漏孔漏率重復性要求見表1。漏率范圍檢定項目(5×10-13～1×10~?)Pam3/sPam3/s(5×10?~1×10+)Pam3/s誦率示值誤差漏率重復性注：漏率為1×10?Pam3/s時，漏率示值誤差為±60%,漏吊重復性為10%;漏率為5×10~Pam1/s時，洞率示值識差為±30%,漏率重復性為3%。6通用技術(shù)要求6.1外觀及附件a)被檢真空標準漏孔的氣室、漏孔閥和連接件完好，無影響正常工作的機械損傷；b)被檢真空標準漏孔的型號、名稱、出廠編號、標稱值、制造廠等標識齊全；c)被檢真空標準漏孔附件齊全，包括使用說明書和上個周期檢定證書。6.2工作正常性被檢真空標準混孔接入標準裝置，在真空狀態(tài)下，漏孔閥開啟和關(guān)閉后，標準裝置給出的漏率信號具有明顯變化。7計量器具控制7.1檢定條件檢定設(shè)備應經(jīng)過計量技術(shù)機構(gòu)檢定合格，并在有效期內(nèi)。主要檢定設(shè)備包括：a)(5×10-13～5×10°)Pam3/s氣體微流量標準裝置；b)(4.9×10-10～5.1×10-?)Pam3/s氣體微流量標準裝置c)(5.1×10-?~10)Pam3/s氣體微流量標準裝置 3d)真空漏率標準裝置e)標準漏孔比較法標準裝置f)溫度計1)溫度范圍：15℃~30℃;2)分度值：0.1℃。g)檢定氣體1)檢定用氨氣應滿足GB/T4844“合格品”的要求；2)檢定用氮氣應滿足GB/T8979“合格品”的要求。7.1.2環(huán)境條件環(huán)境條件要求如下：a)環(huán)境溫度：23℃±3℃,檢定過程中溫度波動不大于1℃/h;b)相對濕度：不大于80%;c)其他：周圍不得有影響測量結(jié)果的電、磁場、振動等干擾。7.2檢定項目真空標準漏孔的檢定項目見表2。序號檢定項目首次檢定后續(xù)檢定使用中檢查外觀及附件+++2工作正常性十++3漏率示值誤差+十+4溜率重復性+++7.3檢定方法7.3.1外觀及附件用目視方法檢查，外觀及附件應符合6.1的要求。用手動方法檢查，工作正常性應符合6.2的要求。7.3.3漏率示值誤差JJG(軍工)165—20194定容法漏率示值誤差檢定按以下步驟進行。5564782391—穩(wěn)壓室：2,4,6,8—悶門：3—標準容積；5—真空標準漏孔；7—定容室：9—抽氣機組：10—真空計a)按圖2連接真空標準漏孔；b)采用靜態(tài)膨脹法，將標準容積和穩(wěn)壓室內(nèi)的氣體膨脹到定容室，測量連接真空標c)標準漏孔閥處于關(guān)閉狀態(tài)下，采用靜態(tài)升壓法，測量給定時間段內(nèi)真空計顯示的定容室壓力變化值，由公式(1)計算定容室的本底漏放氣速率值：d)真空標準漏孔開啟后，采用靜態(tài)升壓法，測量給定時間段內(nèi)真空計顯示的定容室壓力變化值，由公式(2)計算出單次測量獲得的真空標準漏孔漏率值：e)重復步驟c)～d)多次，測量次數(shù)n不小于6次；f)采用公式(3)計算多次測量獲得的被檢定真空標準漏孔漏率平均值：5σ被檢定真空標準漏孔漏率平均值，Pam3/s;g)采用公式(4)計算真空標準漏孔漏率示值誤差，其結(jié)果應符合5.1的要求E——測量獲得的真空標準漏孔漏率示值誤差；Oc被檢定真空標準漏孔漏率標稱值，Pam3/s。7.3.3.2動態(tài)比較法動態(tài)比較法漏率示值誤差檢定按以下步驟進行。5213789a)按圖3連接真空標準漏孔；b)采用質(zhì)譜計測量真空標準漏孔和流量計米開啟條件下的質(zhì)譜室本底離子流；c)開啟真空標準漏孔后，采用質(zhì)譜計測量動態(tài)條件下質(zhì)譜室穩(wěn)定離子流信號值；d)開啟流量計后，采用質(zhì)譜計測量動態(tài)條件下質(zhì)譜室離子流信號值，應確保此時獲得的質(zhì)譜室離子流信號值與步驟c)獲得的質(zhì)譜室離子流信號值在同一個數(shù)量級范圍；e)采用公式(5)計算單次測量獲得的真空標準漏孔漏率值：JJG(軍工)165—20196h——真空標準漏孔開啟后，質(zhì)譜計給出的質(zhì)譜室穩(wěn)定離子流信號值，A;o——真空標準漏孔和流量計未開啟時，質(zhì)譜計給出的質(zhì)譜室本底離子流信號值，A;f)重復步驟b)～e),采用公式(4)計算真空標準漏孔漏率示值誤差，其結(jié)果應符7.3.3.3靜態(tài)累積比較法靜態(tài)累積比較法漏率示值誤差檢定檢定按以下步驟進行：556347192a)按圖4連接真空標準漏孔；b)關(guān)閉抽氣機組，啟動選擇性抽氣泵；c)采用質(zhì)譜計測量一定時間段內(nèi)，真空標準漏孔和流量計未開啟條件下，靜態(tài)累積獲得的質(zhì)譜室本底離子流上升率；d)真空標準漏孔開啟后，采用質(zhì)譜計測量一定時間段內(nèi)，靜態(tài)累積獲得的質(zhì)譜室離e)流量計開啟后，采用質(zhì)譜計測量一定時間段內(nèi)，靜態(tài)累積獲得的質(zhì)譜室離子流上升率值，應確保此時獲得的質(zhì)譜室離子流上升值與步驟d)獲得的質(zhì)譜室離子流上升值在同f)采用公式(6)計算單次測量獲得的真空標準漏孔漏率值： 7RtA/s;R?——真空標準漏孔開啟后，質(zhì)譜計給出的質(zhì)譜室離子流上升率值，A/s;Rs——流量計開啟后，質(zhì)譜計給出的質(zhì)譜室離子流上升率值，A/s。g)重復步驟b)～f),采用公式(4)計算真空標準漏孔漏率示值誤差，其結(jié)果應符7.3.4漏率重復性采用公式(7)計算被檢定真空標準漏孔漏率重復性。7.4檢定結(jié)果的處理檢定合格的真空標準漏孔出具檢定證書；檢定不合格的真空標準漏孔出具檢定結(jié)果通知書，并注明不合格項。7.5檢定周期真空標準漏孔檢定周期一般不超過12個月。JJG(軍工)165—20198定容法真空標準漏孔檢定記錄格式檢定證書編號接收日期檢定日期檢定地點環(huán)境溫度相對濕度檢定氣體真空標準漏孔制造商型號/規(guī)格出廠編號檢定規(guī)程操作規(guī)程檢定裝置上個周期檢定漏率主標準器主標準器名稱控制單元型號/編號傳感器型號/編號證書號真空標準漏孔漏率測量測量次數(shù)累積時間/s累積開始時定容室壓力值(Pa)累積結(jié)束時定容室壓力值(Pa)氣室壓力值(Pa)單次漏率測量值(Pam3/s)漏率示值誤養(yǎng)123456真空標準漏孔漏率標稱值/Pam3/s真空標準漏孔漏率示值誤差/%真空標準漏孔涌率平均值/Pam3/s真空標準漏孔漏率重復性/%檢定項目外觀及附件工作正常性漏率示值誤差泥率重復性檢定結(jié)論檢定人易核驗人員備注JJG(軍工)165—20199動態(tài)比較法真空標準漏孔檢定記錄格式檢定證書編號接收日期檢定日期檢定地點環(huán)境溫度相對濕度檢定氣體真空標準漏孔制造商型號/規(guī)格出廠編號檢定規(guī)程換作規(guī)程檢定裝置上個周期檢定漏率主標準器主標準器名稱控制單元型號/編號傳感器型號/編號證書號真空標準瀝孔漏率測量測量次數(shù)本底離子真空標準漏孔引入離子流(A)流量計引入離子流(A)流量計標準流量(Pam3/s)氣室壓力值(Pa)單次漏率測量值(Pam3/s)漏率示值誤差(%)123456真空標準瀝孔漏率標稱值/Pam3/s真空標準漏孔漏率示值誤差/%真空標準漏孔渦率平均值/Pam3/s真空標準漏孔漏率重復性/%檢定項目外觀及附件工作正常性漏率示值誤差漏率重復性檢定結(jié)論檢定人員核驗人員備注 靜態(tài)累積比較法真空標準漏孔檢定記錄格式檢定證書編號接收日期檢定日期檢定地點環(huán)境溫度相對濕度檢定氣體真空標準漏孔制造商型號/規(guī)格出廠編號檢定規(guī)程操作規(guī)程檢定裝置上個周期檢定漏率主標準器主標準器名稱控制單元型號/編號傳感器型號/編號證書號真空標準漏孔滑率測量測量次數(shù)本底離子流上升率(A/s)真空標準漏孔引入離子流上升率(A/s)流量計引入離子流上升率量(Pam3/s)氣室壓力值(Pa)單次漏率測量值漏率示俏誤差(%)123456真空標準漏孔泥率標稱值/Pam3s真空標準溫孔漏率示值誤差/%真空標準漏孔漏率平均值/Pam3/s真空標準漏孔漏率重復性/%檢定項日外觀及附件工作正常性漏率示值誤差漏率重復性檢定結(jié)論檢定人員核驗