下載本文檔
版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領
文檔簡介
一種MEMS“三明治”電容式加速度計研究的開題報告1.研究背景MEMS(Micro-electromechanicalsystems)技術(shù)是指微型電子機械系統(tǒng),結(jié)合集成電路制造技術(shù)和微機械加工技術(shù),制造出微小零件和微型器件,目前已廣泛應用于傳感器、微電子器件、光學器件等方面。加速度計是一種常見的傳感器,用于測量物體加速度及其分量。目前市面上的加速度計主要有MEMS電容式加速度計、MEMS壓電式加速度計、MEMS磁性式加速度計等。電容式加速度計具有體積小、功耗低、靈敏度高等優(yōu)點,因此應用范圍廣泛,成為研究重點。2.研究內(nèi)容和研究目的本研究旨在設計一種基于MEMS電容式加速度計的“三明治”型結(jié)構(gòu),實現(xiàn)高精度加速度測量,以應對現(xiàn)有加速度計的不足之處。具體研究內(nèi)容包括:(1)設計“三明治”電容式加速度計的結(jié)構(gòu),包括上下兩層電容結(jié)構(gòu)和中間的結(jié)構(gòu)層。(2)通過數(shù)值模擬和實驗驗證,確定“三明治”電容式加速度計的工作原理和靈敏度等參數(shù)。(3)優(yōu)化設計參數(shù),提高加速度計的性能。研究目的是基于MEMS電容式加速度計,設計出一種高精度、穩(wěn)定性強、體積小的加速度計,在汽車安全、導航定位、地震監(jiān)測等領域得到廣泛應用。3.研究方法和技術(shù)路線(1)理論分析使用力學分析和電磁學原理,對MEMS電容式加速度計的結(jié)構(gòu)進行分析和優(yōu)化。通過建立數(shù)學模型,研究不同參數(shù)對加速度計性能的影響。(2)數(shù)值計算使用ANSYS等有限元軟件,對加速度計的結(jié)構(gòu)進行有限元分析和模擬,驗證理論分析結(jié)果,確定優(yōu)化參數(shù)。(3)制備加速度計樣品采用化學氣相沉積和干法腐蝕等技術(shù),制備出加速度計的樣品。(4)實驗驗證通過振動試驗和跌落試驗等測試手段,驗證加速度計的性能和穩(wěn)定性,對比其與已有商用產(chǎn)品的差異。4.研究計劃和進度安排本研究的時間周期為兩年,主要計劃和進度安排如下:(1)前期準備熟悉MEMS技術(shù)、加速度計原理和相關文獻,制定研究方案和計劃表。(2)理論研究對MEMS電容式加速度計的結(jié)構(gòu)進行理論分析和建模,計算其參數(shù)。(3)數(shù)值計算利用ANSYS等有限元軟件,進行有限元分析和模擬,確定優(yōu)化設計參數(shù)。(4)樣品制備采用化學氣相沉積和干法腐蝕等技術(shù),制備出加速度計的樣品。(5)實驗驗證對制備的加速度計樣品進行振動、跌落等試驗,驗證其性能和穩(wěn)定性。(6)數(shù)據(jù)分析和文章撰寫對實驗結(jié)果進行數(shù)據(jù)統(tǒng)計和分析,撰寫研究論文。5.參考文獻[1]ShengyangLiu,JiansheLiu,FengchunLuo,ChunyaoHuang,JilongLi,andXiaodongHuang.Designandanalysisofamicro-machinedsandwichstructurecapacitiveaccelerometerwithincreasedsensingcapability.MicrosystemTechnologies,2015,22(10):2349-2355.[2]YongWang,BaoCheng,YeTian,andShufaLi.Designandanalysisofasandwich-typestructurecapacitiveaccelerometerforimprovedseismicsensingandisolation.JournalofMicromechanicsandMicroengineering,2017,27(5):55003.[3]MengxiaLi,QianWang,LinglingWang,XinyuLiu,WenxueSun,andXiaohuaLiu.StudyonaTriaxialMicroCapacitiveAccelerometerBasedonth
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 非拉國家的獨立和振興課件 華東師大版
- 旅行團自愿不買擺渡車的協(xié)議書
- 創(chuàng)意目錄篇課件
- 《跟腱斷裂護理查房》課件
- 電機與電力拖動課件-第6章
- 2024年度版權(quán)維權(quán)合同范本2篇
- 2025年貴州貨運從業(yè)資格考試試題及答案大全解析
- 2024年度水穩(wěn)材料采購與知識產(chǎn)權(quán)保護合同3篇
- 2025年阿壩道路運輸從業(yè)人員資格考試內(nèi)容有哪些
- 《工作流程集合》課件
- 【試題】人教版二年級下數(shù)學暑假每日一練
- 衛(wèi)生院關于開展?jié)M意度調(diào)查工作的實施方案
- 紡織材料學選擇題
- YY/T 0916.1-2021醫(yī)用液體和氣體用小孔徑連接件第1部分:通用要求
- 醫(yī)務科工作思路(計劃)6篇
- GB/T 13912-2020金屬覆蓋層鋼鐵制件熱浸鍍鋅層技術(shù)要求及試驗方法
- GA 614-2006警用防割手套
- 智慧購物中心整體解決方案
- 壓力表以及壓力變送器-課件
- BIM技術(shù)咨詢管理服務招標投標文件技術(shù)標
- 最美動畫大師新海誠介紹PPT講義
評論
0/150
提交評論