微慣性測量組合(MIMU)校準(zhǔn)規(guī)范

JJF2003—20221微慣性測量組合(MIMU)校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于由微機(jī)電(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)陀螺和加速度計(jì)組成的三維六自由度MIMU,在角速度±14000°/s、線加速度±10000m/s2范圍的校準(zhǔn)。其他微慣性測量組合的校準(zhǔn)可參照本規(guī)范。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件:JJF1071—2010國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則JJF1427—2013微機(jī)電(MEMS)線加速度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1675—2017慣性技術(shù)計(jì)量術(shù)語及定義GJB7952—2012振動(dòng)陀螺儀測試方法凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3術(shù)語及定義3.1微慣性測量組合MicroInertialMeasurementUnit;MIMU由MEMS陀螺和加速度計(jì)組成的用來測量載體在三維空間中的角速度和加速度信息的組件。注:一般至少包含三個(gè)MEMS陀螺和三個(gè)MEMS加速度計(jì)。3.2陀螺交叉耦合系數(shù)crosscouplingcoefficientforMEMSgyroscopesMIMU陀螺儀的非敏感軸向輸入引起的輸出誤差系數(shù)。3.3加速度計(jì)交叉耦合系數(shù)crosscouplingcoefficientforMEMSaccelerometersMIMU加速度計(jì)的非敏感軸向輸入引起的輸出誤差系數(shù)。3.4加速度計(jì)角速度靈敏系數(shù)angularratesensitivitycoefficientofaccelerometersMIMU加速度計(jì)中繞某規(guī)定軸由于每單位角速度輸入產(chǎn)生的輸出。4概述4.1原理MIMU由三個(gè)正交配置的陀螺、三個(gè)正交配置的加速度計(jì)、數(shù)字電路、處理軟件組成。MIMU系統(tǒng)原理框圖如圖1所示。角速度測量采用MEMS陀螺,分別用于X軸、Y軸和Z軸方向的角速度信號檢測;加速度測量采用MEMS加速度計(jì),分別用于X軸、Y軸和Z軸方向的加速度信號檢測。MIMU軸向示意圖如圖2所示,w'X、wY'、w是MEMS陀螺儀輸出,a'X、aY'、a為MEMS加速度計(jì)的輸出。JJF2003—20222圖1MIMU系統(tǒng)原理框圖圖2MIMU軸向示意圖4.2用途MIMU廣泛應(yīng)用于各種運(yùn)動(dòng)參數(shù)測量,為載體提供三軸角速度信息和加速度信息。5計(jì)量特性5.1MIMU三軸陀螺儀校準(zhǔn)模型陀螺各軸輸出的數(shù)字量模型見式(1):(1)'X刁廠KgxxKgxyKgxz刁廠wX刁廠Bgx刁廠gxxgxygxz刁廠aX刁wY'=KgyxKgyyKgyz×wY+Bgy+gyxgyygyz×aY(1)'—LwZ」LKgzxKgzyKgzz」LwZ」LBgz」Lgzxgzygzz」L'—式中:Bgx、Bgy、Bgz—MIMU陀螺儀敏感軸X、Y、Z的零偏;w'XY'、w—MIMU陀螺儀敏感軸X、Y、Z的輸出角速度值;wX、wY、wZ—MIMU陀螺儀輸入基準(zhǔn)軸X、Y、Z的輸入角速度值;Kgxx、Kgyy、Kgzz—MIMU陀螺儀敏感軸X、Y、Z的標(biāo)度因數(shù);Kgyx、Kgzx、Kgxy、Kgzy、Kgxz、Kgyz—MIMU陀螺儀的交叉耦合系數(shù);—MIMU陀螺儀零偏加速度靈敏度系數(shù);JJF2003—20223aX、aY、aZ—MIMU加速度計(jì)輸入基準(zhǔn)軸X、Y、Z的輸入加速度值。5.2MIMU三軸加速度計(jì)校準(zhǔn)模型加速度計(jì)各軸輸出的數(shù)字量模型見式(2):刁廠KaxxKaxyKaxz刁廠aX刁廠Bax刁廠0pxypxz刁廠w刁—aY'=KayxKayyKayz×aY+Bay+pyx0pyz×w(2)'—LaZ」LKazxKazyKazz」LaZ」LBaz」Lpzxpzy'—式中:Bax、Bay、Baz—MIMU加速度計(jì)敏感軸X、Y、Z的偏值;wX、wY、wZ—MIMU加速度計(jì)敏感軸X、Y、Z的輸入角速度值;a'X、a—MIMU加速度計(jì)敏感軸X、Y、Z的輸出加速度值;aX、aY、aZ—MIMU加速度計(jì)敏感軸X、Y、Z的輸入加速度值;Kaxx、Kayy、Kazz—MIMU加速度計(jì)敏感軸X、Y、Z的標(biāo)度因數(shù);Kayx、Kazx、Kaxy、Kazy、Kaxz、Kayz—MIMU加速度計(jì)的交叉耦合系數(shù);pyx、pzx、pxy、pzy、pxz、pyz—MIMU加速度計(jì)的角速度靈敏系數(shù)。校準(zhǔn)過程就是利用輔助校準(zhǔn)設(shè)備,在給定的校準(zhǔn)條件下,完成待校準(zhǔn)參數(shù)的計(jì)算。6校準(zhǔn)條件6.1環(huán)境條件a)環(huán)境溫度:(20±5)℃;b)相對濕度(RH):20%~85%;c)周圍無強(qiáng)電磁場,無腐蝕性氣體或液體,無強(qiáng)震源;d)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)有接地裝置。6.2校準(zhǔn)安裝條件安裝的夾具各垂直面相互垂直度10″,平面度不大于0.02mm。6.3測試標(biāo)準(zhǔn)及設(shè)備校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)裝置及配套設(shè)備如表1所示。表1校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)裝置及推薦技術(shù)指標(biāo)校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)裝置及配套設(shè)備技術(shù)指標(biāo)用途MIMU校準(zhǔn)裝置三軸位置速率轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)角范圍:連續(xù)無限;臺面平面度:0.02mm;角速率相對誤差及平穩(wěn)性:1×10-5(360°平均);角位置定位精度:±10″;角位置測量重復(fù)性:±5″;角速率平穩(wěn)性:0.05%;軸線垂直度:±10″陀螺零偏陀螺標(biāo)度因數(shù)陀螺交叉耦合系數(shù)陀螺零偏加速度靈敏度加速度計(jì)交叉耦合加速度計(jì)標(biāo)度因數(shù)加速度計(jì)偏值速率轉(zhuǎn)臺角速率平穩(wěn)性:0.05%(速率>10°/s)JJF2003—202247校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法7.1校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)項(xiàng)目見表2。表2校準(zhǔn)項(xiàng)目一覽表序號項(xiàng)目名稱校準(zhǔn)方法1陀螺標(biāo)度因數(shù)7.2.12陀螺零偏7.2.23陀螺零偏加速度敏感系數(shù)7.2.24陀螺交叉耦合系數(shù)7.2.35加速度計(jì)偏值7.2.46加速度計(jì)標(biāo)度因數(shù)7.2.47加速度計(jì)交叉耦合系數(shù)7.2.48加速度計(jì)角速度靈敏系數(shù)7.2.57.2校準(zhǔn)方法7.2.1陀螺標(biāo)度因數(shù)7.2.1.1標(biāo)度因數(shù)校準(zhǔn)方法a)將MIMU通過夾具固定在速率轉(zhuǎn)臺上,使得X軸陀螺敏感軸與轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸一致;b)接通電源,待電源電流穩(wěn)定后,開始計(jì)數(shù);c)在MIMU角速度測量范圍內(nèi)選擇7~11個(gè)校準(zhǔn)角速率點(diǎn),包括最大輸入角速率,啟動(dòng)速率轉(zhuǎn)臺;d)每個(gè)角速率輸入后,待速率轉(zhuǎn)臺角速率輸出平穩(wěn)后,采集不少于30s的數(shù)據(jù)wki,計(jì)算得到X軸陀螺的標(biāo)度因數(shù)Kgxx;e)將MIMU通過夾具固定在速率轉(zhuǎn)臺上,使得Y軸陀螺敏感軸與轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸一致,重新進(jìn)行b)~d)校準(zhǔn)步驟,得到Y(jié)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù)Kgyy;f)將MIMU通過夾具固定在速率轉(zhuǎn)臺上,使得Z軸陀螺敏感軸與轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸一致,重新進(jìn)行b)~d)校準(zhǔn)步驟,得到Z軸陀螺的標(biāo)度因數(shù)Kgzz。7.2.1.2標(biāo)度因數(shù)計(jì)算陀螺輸出的平均值Uk按式(3)計(jì)算:(3)式中:Uk—第k個(gè)角速率校準(zhǔn)點(diǎn)陀螺儀輸出平均值;Uki—第k個(gè)角速率校準(zhǔn)點(diǎn)的陀螺儀輸出的第i個(gè)采樣點(diǎn)值;JJF2003—20225N—采樣樣本數(shù)。建立陀螺輸入輸出線性模型,見式(4):U=KX+b+ε(4)式中:U—多個(gè)角速率校準(zhǔn)點(diǎn)陀螺儀輸出均值構(gòu)成的向量;K—陀螺儀標(biāo)度因數(shù);X—多個(gè)角速率校準(zhǔn)點(diǎn)陀螺儀輸入值構(gòu)成的向量;b—陀螺擬合零偏;ε—擬合誤差。利用最小二乘法求解標(biāo)度因數(shù)K,計(jì)算公式見式(5):-1HTU(5)7.2.2陀螺零偏、加速度敏感系數(shù)7.2.2.1陀螺零偏、加速度敏感系數(shù)校準(zhǔn)方法a)將MIMU通過專用工裝安裝在三軸位置速率轉(zhuǎn)臺上,按照附錄C所示的12種位置對MIMU進(jìn)行翻轉(zhuǎn),每個(gè)位置保持30s以上,即將MIMU的X、Y、Z軸依次朝天和朝地,每一次朝天和朝地各測量2次,2次區(qū)別是MIMU繞天向旋轉(zhuǎn)180°,求這2次MIMU輸出的平均值Ui,測得各軸加速度計(jì)以及陀螺分別朝天和朝地共6組數(shù)據(jù);b)利用6組數(shù)據(jù),通過最小二乘法可求出MIMU加速度的零偏和角速度零偏。7.2.2.2陀螺零偏、零偏加速度敏感系數(shù)計(jì)算陀螺零偏、加速度敏感系數(shù)的計(jì)算方法如下:廠1-10000刁—?jiǎng)t有:Ug=Gg·Ag(6)根據(jù)最小二乘公式,得到:Gg=Ug·A·(Ag·A)-1(7)如此,即可根據(jù)角速度6組測量的數(shù)據(jù)得到包含陀螺的g值敏感系數(shù)和角速度零偏的Gg的最小二乘估計(jì),具體公式見式(8)。JJF2003—20226其中,Bg是陀螺的零偏,Gg為陀螺的零偏加速度靈敏度系數(shù)。7.2.3陀螺交叉耦合7.2.3.1交叉耦合校準(zhǔn)方法方法同7.2.1.1。7.2.3.2交叉耦合計(jì)算利用7.2.1.1的測試數(shù)據(jù),可得到陀螺的標(biāo)度因數(shù)矩陣為:式中:kgxx、kgyx、kgzx—X軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),三個(gè)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù);kgxy、kgyy、kgzy—Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),三個(gè)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù);kgxz、kgyz、kgzz—Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),三個(gè)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù)。Kg的非對角線元素為角速度的交叉耦合系數(shù)。7.2.4加速度計(jì)偏值、標(biāo)度因數(shù)、交叉耦合7.2.4.1加速度計(jì)偏值、標(biāo)度因數(shù)、交叉耦合校準(zhǔn)方法方法同7.2.2.1。7.2.4.2加速度偏值、標(biāo)度因數(shù)、交叉耦合計(jì)算加速度零偏的計(jì)算方法如下:各軸輸入加速度向量:廠1-100007—加速度輸出:則有則有:Ua=Ka·Aa(9)根據(jù)最小二乘公式,得到: Ka=Ua·A·(Aa·A)-1(10) 如此,即可根據(jù)加速度6組測量的數(shù)據(jù)得到加速度標(biāo)度因數(shù)陣Ka的最小二乘估計(jì),其中包含了3軸加速度的零偏、標(biāo)度因數(shù)和交叉耦合系數(shù)。具體公式見式(11):JJF2003—20227即7.2.5加速度計(jì)角速度靈敏系數(shù)7.2.5.1加速度計(jì)角速度靈敏系數(shù)校準(zhǔn)方法a)將MIMU通過專用工裝安裝在三軸位置速率轉(zhuǎn)臺上,使得X軸加速度計(jì)敏感軸垂直于轉(zhuǎn)臺向上,MIMU上電采集30s,輸出均值記為U7。b)轉(zhuǎn)臺輸入角速率ω,待轉(zhuǎn)臺輸出穩(wěn)定后,采集MIMU輸出30s,輸出均值記為U8。c)轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)臺軸向,使得Y軸加速度計(jì)敏感軸垂直于轉(zhuǎn)臺向上,重復(fù)步驟a)~b)。d)轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)臺軸向,使得Z軸加速度計(jì)敏感軸垂直于轉(zhuǎn)臺向上,重復(fù)步驟a)~b)。7.2.5.2加速度計(jì)角速度靈敏系數(shù)計(jì)算加速度計(jì)角速度靈敏系數(shù)按式(12)、式(13)計(jì)算。pyx=(Uay7-Uay8)/ω2(12)pzx=(Uaz7-Uaz8)/ω2(13)Uay7、Uaz7—當(dāng)轉(zhuǎn)臺靜止時(shí),Y軸加速度計(jì)和Z軸加速度計(jì)的輸出均值;Uay8、Uaz8—當(dāng)轉(zhuǎn)臺靜止時(shí),Y軸加速度計(jì)和Z軸加速度計(jì)的輸出均值;ω—轉(zhuǎn)臺輸入角速率。同理可計(jì)算pxy、pzy、pxz、pyz。8校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)信息:b)實(shí)驗(yàn)室名稱和地址;c)證書或報(bào)告的編號,每頁及總頁數(shù)的標(biāo)識;d)校準(zhǔn)單位校準(zhǔn)專用章;e)送校單位的名稱和地址;f)被校對象的名稱、制造廠、型號規(guī)格、編號;g)被校對象的接收日期和進(jìn)行校準(zhǔn)的日期;h)本次校準(zhǔn)所用測量標(biāo)準(zhǔn)的名稱、出廠編號、準(zhǔn)確度/等級、證書編號;i)校準(zhǔn)環(huán)境條件的描述,包括:溫度、濕度等;j)校準(zhǔn)結(jié)果及測量不確定度的說明;JJF2003—20228k)校準(zhǔn)證書或校準(zhǔn)報(bào)告的簽發(fā)人的簽名、職務(wù),以及簽發(fā)日期;l)校準(zhǔn)試驗(yàn)的操作人和核驗(yàn)人簽名。9復(fù)校時(shí)間間隔在一般情況下建議復(fù)校的時(shí)間間隔為1年,送校單位也可根據(jù)實(shí)際使用情況自行確定。JJF2003—20229附錄AMIMU測量不確定度評定示例A.1標(biāo)度因數(shù)不確定度評定A.1.1測量模型根據(jù)7.2.1.2中式(4),標(biāo)度因數(shù)測量可表示為:U=KX+b+ε(A.1)式中:U—多個(gè)角速率校準(zhǔn)點(diǎn)陀螺儀輸出均值構(gòu)成的向量;K—陀螺儀標(biāo)度因數(shù);X—多個(gè)角速率校準(zhǔn)點(diǎn)陀螺儀輸入值構(gòu)成的向量;b—陀螺擬合零偏;ε—擬合誤差。標(biāo)度因數(shù)的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度由式(A.2)求得:u(K)=c2(U)u2(U)+c2(b)u2(b)+c2(X)u2(X)(A.2)式中:式(A.2)可以轉(zhuǎn)化為A.1.2不確定度分量A.1.2.1位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量u1位置速率轉(zhuǎn)臺測量不確定度為U=2×10-4,k=2,則u1==1.0×10-4。A.1.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)量化誤差為式(A.3):(A.3)式中:δ—數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的量化誤差;N—數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的有效位數(shù)。按B類評定,取N=12,假設(shè)服從均勻分布,不確定度分量為:JJF2003—202210A.1.2.3測量重復(fù)性引入的不確定度分量u3A.1.某,度由大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)得到,u3=1.22×10-4。合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為:A.1.4擴(kuò)展不確定度uc(K)=u+u+u=2.12×10-4A.2取,定度U=k·uc(K)=4.3×10-4。A.2.1測量模型根據(jù)7.2.2.2中式(7),簡化后零偏的測量模型為:B=(Ugx1+Ugx2+Ugx3+Ugx4+Ugx5+Ugx6)/6(A.4)式中:B—零偏;Ugx1、Ugx2、Ugx3、Ugx4、Ugx5和Ugx6—MIMU在6個(gè)位置的輸出。零偏的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度由式(A.5)求得:u(B)=c2(Ugx1)u2(Ugx1)+c2(Ugx2)u2(Ugx2)+c2(Ugx3)u2(Ugx3)+c2(Ugx4)u2(Ugx4)+c2(Ugx5)u2(Ugx5)+c2(Ugx6)u2(Ugx6)(A.5)A.2.2不確定度分量A.2.2.1位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量u1A.2.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量為u1=1.0×A.2.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量=1.41×10-4。A.2.2.3u(Ugx1)、u(Ugx2)、u(Ugx3)、u(Ugx4)、u(Ugx5)及u(Ugx6)的不確定度是一樣的,由實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)得到:則:A.2.3合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Ugx1)=u(Ugx2)=u(Ugx3)=u(Ugx4)=u(Ugx5)=u(Ugx6)=則:A.2.3合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度u=u(Ugx1)+u(Ugx2)+u(Ugx3)+u(Ugx4)+u(Ugx5)+u(Ugx6)=2.046×10-4A.2.4擴(kuò)展不確定度uc(B)=u+u+u=2.68×10-4A.3.1測量模型根據(jù)7.2.2.2中式(7),簡化后MIMU的陀螺零偏加速度靈敏度可表示為:ggxx=(Ugx1-Ugx2)/2(A.6)ggxy=(Ugx3-Ugx4)/2(A.7)JJF2003—202211式中:B—零偏;Ugx1、Ugx2、Ugx3、Ugx4—MIMU在6個(gè)位置的輸出。這里以ggxx為例,ggxy等其他加速度靈敏度系數(shù)類似。加速度靈敏度的測量不確定度傳播模型為式(A.8):u(ggxx)=c2(Ugx1)u2(Ugx1)+c2(Ugx2)u2(Ugx2)(A.8)A.3.2不確定度分量A.3.2.1位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量u1A.3.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量為u1=1.0×A.3.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量=1.41×10-4。A.3.2.3測量重復(fù)性引入的不確定度分量u3)-1)=u(Ugx2)=A.3.4擴(kuò)展不確定度uc(ggxx)=u+u+u=5.02×10-3A.4取,=k·uc(ggxx)=1.1×10-2。A.4.1測量模型根據(jù)7.2.3.2中MIMU的交叉耦合可表示為:(A.9)式中:kgxx、kgyx、kgzx—X軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),三個(gè)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù);kgxy、kgyy、kgzy—Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),三個(gè)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù);kgxz、kgyz、kgzz—Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),三個(gè)軸陀螺的標(biāo)度因數(shù)。Kg的非對角線元素為角速度的交叉耦合系數(shù)。這里以kgyx為例,kgzx等其他加速度靈敏度系數(shù)類似。交叉耦合的測量不確定度傳播模型與標(biāo)度因數(shù)的傳播模型一致。A.4.2不確定度分量A.4.2.1位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量u1位置速率轉(zhuǎn)臺測量不確定度為U=2×10-4,k=2,則u1==1.0×10-4。A.4.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)量化誤差為式(A.3)。JJF2003—202212按B類評定,取N=12,假設(shè)服從均勻分布,不確定度分量為:A.4.2.3測量重復(fù)性引入的不確定度分量u3A.4.某,度由大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)得到,u3=1.22×10-4。A.4.4擴(kuò)展不確定度uc(K)=u+u+u=2.12×10-4A.5取,確·c度(4.3×10-4。A.5.1測量模型根據(jù)7.2.5.2中式(12)和式(13),加速度計(jì)角速度靈敏度系數(shù)可表示為:pyx=(Uay7-Uay8)/ω2(A.10)pzx=(Uaz7-Uaz8)/ω2(A.11)式中:Uay7、Uaz7—當(dāng)轉(zhuǎn)臺靜止時(shí),Y軸加速度計(jì)和Z軸加速度計(jì)的輸出均值;Uay8、Uaz8—當(dāng)轉(zhuǎn)臺靜止時(shí),Y軸加速度計(jì)和Z軸加速度計(jì)的輸出均值;ω—轉(zhuǎn)臺輸入角速率。這里以pyx為例,pzx等其他加速度計(jì)角速度靈敏度系數(shù)類似。加速度計(jì)角速度靈敏度系數(shù)的測量不確定度傳播模型為式(A.12):u(pyx)=c2(Uay7)u2(Uay7)+c2(Uay8)u2(Uay8)+c2(ω)u2(ω)(A.12)A.5.2不確定度分量A.5.2.1位置速率轉(zhuǎn)臺引入的不確定度分量u1位置速率轉(zhuǎn)臺測量不確定度為U=2×10-4,k=2,則u1==1.0×10-4。A.5.2.2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)引入的不確定度分量u2數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)量化誤差為式(A.3)。按B類評定,取N=12,假設(shè)服從均勻分布,不確定度分量為:A.5.2.3測量重復(fù)性引入的不確定度分量u3..5137)+u(Uay8)=5.02×10-3