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晶體及其概念的延伸2晶體及其概念的延伸原子或分子有序排列形成的晶體在微觀范圍,原子有規(guī)律地排列形成的物質(zhì)稱為晶體,如天然或人工晶體。晶體的結構可用晶體的幾何理論――點陣理論來描述,共分為七大晶系,十四種布拉菲點陣。晶體中原子、分子之間的作用力(鍵)有:離子鍵、共價鍵、金屬鍵、氫鍵、范德華鍵。

3晶體及其概念的延伸21、原子或分子有序排列形成的晶體可將用于微電子工業(yè)的天然或人工晶體稱為電子晶體,或傳統(tǒng)晶體,如半導體。半導體的原子勢場呈周期性排列。電子在半導體中傳播時,電子與原子周期勢場的相互作用(布拉格散射)使得電子會形成能帶結構,如價帶與導帶,帶與帶之間有帶隙,即禁帶。電子的能量如果落在帶隙中,就無法繼續(xù)傳播。4晶體及其概念的延伸32、介觀或宏觀物質(zhì)有序排列形成的晶體在介觀范圍:點陣由a)人造原子,如納米粒子構成——人造原子組成的晶體;b)幾個原子或納米厚度的不同物質(zhì)的薄膜交替排列——超晶格材料。在宏觀范圍,人造復合材料組成的晶體:光子晶體——由兩種具有不同介電常數(shù)的介質(zhì)組成的復合材料,陣點由通常為球、桿、板等。聲子晶體——由高密度材料,通常為球、桿等為陣點封密于柔軟材料,如硅膠、樹脂內(nèi)組成的復合材料。5晶體及其概念的延伸43、各種晶體的區(qū)別點陣的組元和點陣常數(shù)不同:電子晶體:微觀的原子或分子;超晶格等:介觀的納米顆?;虮∧?;光子和聲子晶體:宏觀(或介觀)的球、桿或板等。成分不同:電子晶體由一種材料構成;超晶格和光子、聲子晶體由兩種或兩種以上的材料構成,是復合材料。

超晶格:Esaki和Tsu(江崎和朱兆祥)在1969年提出了超晶格概念,設想將兩種不同組分或不同摻雜的半導體超薄層A和B交替疊合生長在襯底上,使在外延生長方向形成附加的晶格周期性。當取垂直襯底表面方向(垂直方向)為Z軸,超晶格中的電子沿z方向運動將受到超晶格附加的周期勢場的影響,而其xy平面內(nèi)的運動不受影響。導帶中電子的能量可表示為:E=E(kz)+?2/2m(kx2+ky2)在xy平面內(nèi)電子的動能是連續(xù)的,z方向附加周期勢場使電子的能量分裂為一系列子能帶。不連續(xù)點的kz值滿足:kz=±n/D,D為超晶格周期。AB超晶格和量子阱的一般描述6超晶格多量子阱能帶結構示意圖多量子阱能帶圖E2E1超晶格能帶圖EcAEvAEcBEvBEgBEgA?Ec?EvE2E1多量子阱和超晶格的本質(zhì)差別在于勢壘的寬度:當勢壘很寬時電子不能從一個量子阱隧穿到相鄰的量子阱,即量子阱之間沒有相互耦合,此為多量子阱的情況;當勢壘足夠薄使得電子能從一個量子阱隧穿到相鄰的量子阱,即量子阱相互耦合,此為超晶格的情況。7超晶格分類(1)組分調(diào)制超晶格(2)摻雜調(diào)制超晶格(3)應變超晶格(4)多維超晶格(5)非晶態(tài)半導體的超晶格(6)半磁超晶格(7)漸變能隙超晶格(鋸齒狀)超晶格能帶結構來源于兩種材料禁帶的變化,存在內(nèi)界面。8(1)組分調(diào)制超晶格

在超晶格結構中,如果超晶格的重復單元是由不同半導體材料的薄膜堆垛而成,則稱為組分超晶格。在組分超晶格中,由于構成超晶格的材料具有不同的禁帶寬度,在異質(zhì)界面處將發(fā)生能帶的不連續(xù)。9

按異質(zhì)結中兩種材料導帶和價帶的對準情況,江崎把異質(zhì)結分為三類:Ⅰ型異質(zhì)結:窄帶材料的禁帶完全落在寬帶材料的禁帶中,ΔEc和ΔEv的符號相反。不論對電子還是空穴,窄帶材料都是勢阱,寬帶材料都是勢壘,即電子和空穴被約束在同一材料中。載流子復合發(fā)生在窄帶材料一側。GaAlAs/GaAs和InGaAsP/InP都屬于這一種。10Ⅱ型異質(zhì)結(ΔEc和ΔEv的符號相同),分兩種:*ⅡA類超晶格:材料1的導帶和價帶都比材料2的低,禁帶是錯開的。材料1是電子的勢阱,材料2是空穴的勢阱。電子和空穴分別約束在兩材料中。超晶格具有間接帶隙的特點,躍遷幾率小,如

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