QC質(zhì)量改進(jìn)成果發(fā)布資料模板

XG-C06HR芯片表面工藝質(zhì)量改進(jìn)新光精進(jìn)QC小組發(fā)布人：于坤鵬課題類型：改進(jìn)型1公司概況天津中環(huán)新光科技有限公司是天津中環(huán)電子信息集團(tuán)有限公司的全資子公司，公司坐落于天津市西青微電子工業(yè)區(qū)。公司由中環(huán)集團(tuán)承接天津市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)的二十項(xiàng)重大項(xiàng)目之一而成立，于2008年3月底注冊(cè)。一期工程中環(huán)集團(tuán)投資3000萬元人民幣，市財(cái)政支持1000萬人民幣；二期工程中環(huán)集團(tuán)投資7000萬人民幣。

公司擁有雄厚的技術(shù)實(shí)力，技術(shù)團(tuán)隊(duì)由多名從事LED材料外延的中科院物理研究所外延專家領(lǐng)銜，帶領(lǐng)多名博士、碩士進(jìn)行外延以及芯片技術(shù)的研發(fā)和生產(chǎn)。

公司采用國際先進(jìn)的美國進(jìn)口外延爐(MOCVD設(shè)備)生產(chǎn)LED外延片?，F(xiàn)主要生產(chǎn)紅、橙、黃以及黃綠光等各種規(guī)格的AlGaInP四元系（2英寸、4英寸）LED外延片和芯片。2主要產(chǎn)品及生產(chǎn)設(shè)備3一、團(tuán)隊(duì)概況表1小組名稱新光精進(jìn)QC小組成立時(shí)間2012年3月本年度注冊(cè)時(shí)間2013年3月小組注冊(cè)編號(hào)XG-QC-130306課題注冊(cè)時(shí)間2013年3月課題注冊(cè)編號(hào)XG-QC-130306課題類型改進(jìn)型小組人數(shù)10人活動(dòng)時(shí)間2013.3-2013.8活動(dòng)次數(shù)2次4姓名職稱組內(nèi)職務(wù)組內(nèi)分工受TQC教育時(shí)間于坤鵬助工組長總策劃60小時(shí)以上張榮勤高工技術(shù)顧問技術(shù)指導(dǎo)60小時(shí)以上白春玲技師組員具體實(shí)施50小時(shí)以上芮雅強(qiáng)助工組員具體實(shí)施50小時(shí)以上張金剛助工組員具體實(shí)施45小時(shí)以上崔娜技師組員具體實(shí)施45小時(shí)以上李家征助工組員具體實(shí)施45小時(shí)以上張茜技師組員具體實(shí)施40小時(shí)以上謝寶紅技師組員具體實(shí)施40小時(shí)以上崔美筠技師組員具體實(shí)施40小時(shí)以上表25二、XG-C06HR表面工藝改進(jìn)課題介紹XG-C06HR芯片特征圖片XG-C06HR芯片表面工藝問題的發(fā)現(xiàn)芯片宏觀和微觀圖片XG-C06HR芯片是中環(huán)新光生產(chǎn)的一款特種紅光LED芯片。業(yè)內(nèi)這種芯片的特點(diǎn)是產(chǎn)出率高，打線粘合度強(qiáng)和功率均衡等。而支撐這些獨(dú)有特點(diǎn)的關(guān)鍵之一就是“表面”。表面有劃傷或缺失等不良導(dǎo)致產(chǎn)出率低；表面不飽滿不圓潤會(huì)導(dǎo)致客戶使用時(shí)打線粘合度弱；表面形狀不規(guī)則就會(huì)導(dǎo)致電流擴(kuò)散不均勻，從而影響輸出光功率的均衡性。由于工藝上的原因，XG-C06HR這款產(chǎn)品制作過程中“表面”的種種缺陷直接降低了該產(chǎn)品的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)出數(shù)量。由此產(chǎn)生了本次QC課題。6表3為了使活動(dòng)順利進(jìn)行，團(tuán)隊(duì)制定了周密的活動(dòng)計(jì)劃7三、課題的選定過程要改3.1選題及選定理由團(tuán)隊(duì)能力分析急迫性分析效果性分析重要性分析分析方法是：10個(gè)成員投票選出四個(gè)要素中三種8綜合以上四種要素，無論從哪個(gè)評(píng)價(jià)項(xiàng)目來看，改善“表面不良”都是首當(dāng)其沖的表49四、現(xiàn)狀調(diào)查2013年2月到3月2000片工件產(chǎn)出芯片表面不良統(tǒng)計(jì)概況1K等于1000顆芯片表5要改102013年2月到3月100片工件產(chǎn)出芯片電極不良統(tǒng)計(jì)概況

要改11五、設(shè)定課題改善目標(biāo)圖1改善目標(biāo)值圖表數(shù)值以1k為單位，1k等于一千顆12六、要因解析6.1工藝流程簡(jiǎn)介勻膠顯影貼膜合金刻蝕曝光去膠切割鏡檢圖2136.2原因分析

電極不良人機(jī)環(huán)法料凈服穿戴不整齊貼膜機(jī)劃傷電極鏡檢造成劃傷取放片方法有問題勻膠臺(tái)轉(zhuǎn)速異常導(dǎo)致膠膜不均吹干方法不合理入職培訓(xùn)沒做好工件運(yùn)輸方式錯(cuò)誤導(dǎo)致電極劃傷試劑溶液有質(zhì)量問題導(dǎo)致過刻蝕光刻膠質(zhì)量問題導(dǎo)致掩膠脫落氣壓軸偏離導(dǎo)致粘膠掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷溫濕度不均衡導(dǎo)致電極脫落治具不干凈導(dǎo)致電極污染壓緊面板過硬導(dǎo)致曝光不均圖3未按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)作業(yè)146.3要因確認(rèn)序號(hào)可能的末端因素調(diào)查確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)要求負(fù)責(zé)人完成時(shí)間1凈服穿戴不整齊1，回放2013年2-3月間的通道錄像，是否在進(jìn)入車間時(shí)已經(jīng)穿戴整齊；2，回放2013年2-3月間的車間錄像，員工是否穿著整潔，戴口罩，戴手套。進(jìn)入車間錢穿戴整齊，進(jìn)入工藝間工作時(shí)戴口罩和手套，人體裸露面積小于0.025㎡于坤鵬2013年4月2日2入職培訓(xùn)沒做好1，調(diào)查各相關(guān)站別員工入職培訓(xùn)記錄和上崗前測(cè)評(píng)成績；2，重新測(cè)評(píng)相關(guān)站別員工是否符合上崗條件。1，相關(guān)崗位人員入職前進(jìn)行相關(guān)培訓(xùn)并且測(cè)評(píng)成績合格；2，實(shí)時(shí)測(cè)評(píng)成績合格于坤鵬2013年4月4日3未按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)作業(yè)對(duì)照各站《**站工藝指導(dǎo)書》普查各工藝站工作過程。工藝契合度系數(shù)a=（工藝動(dòng)作/工藝要求）>90%張金剛2013年4月5日4貼膜機(jī)劃傷電極回查貼膜后檢查記錄，檢查貼膜機(jī)表面是否有破損污染等情況。記錄達(dá)到98%面積電極合格，貼膜機(jī)表面無任何磨損和污染芮雅強(qiáng)2013年4月5日5勻膠臺(tái)轉(zhuǎn)速異常導(dǎo)致膠膜不均測(cè)試勻膠太轉(zhuǎn)速是否按照工藝要求逐步穩(wěn)定在特定值上。電機(jī)啟動(dòng)后5秒內(nèi)達(dá)到4000轉(zhuǎn)/分鐘，持續(xù)4000轉(zhuǎn)/分鐘50秒，最后5秒內(nèi)降至0轉(zhuǎn)/秒崔娜2013年4月6日15序號(hào)可能的末端因素調(diào)查確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)要求負(fù)責(zé)人完成時(shí)間6掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷檢查掩模板在10倍顯微鏡視場(chǎng)下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個(gè)視場(chǎng)下總電極缺陷個(gè)數(shù)平均小于2個(gè)崔娜2013年4月7日7壓緊面板過硬導(dǎo)致曝光不均勻保證工件不被壓斷的情況下將托盤最大限度與工件壓緊，觀察工件與光刻板之間是否有縫隙沒有任何縫隙白春玲2013年4月8日8氣壓軸偏離導(dǎo)致粘膠測(cè)試氣壓軸八個(gè)固定端子是否平齊八個(gè)端子高度差小于0.02毫米白春玲2013年4月9日9光刻膠質(zhì)量問題導(dǎo)致掩膠脫落抽取現(xiàn)場(chǎng)光刻膠樣本，去相關(guān)部門檢驗(yàn)粘度=30mPa*s謝寶紅2013年4月11日10顯影液?jiǎn)栴}導(dǎo)致顯影不完全用現(xiàn)場(chǎng)顯影液制備若干硅片試驗(yàn)片，統(tǒng)計(jì)不良單片不良顆粒數(shù)小于1000顆于坤鵬2013年4月11日11工件運(yùn)輸方式錯(cuò)誤導(dǎo)致工件電極劃傷檢查工件在傳輸過程中的載體，看是否有對(duì)電極接觸性的劃傷無劃傷李家征2013年4月12日16序號(hào)可能的末端因素調(diào)查確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)要求負(fù)責(zé)人完成時(shí)間6掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷檢查掩模板在10倍顯微鏡視場(chǎng)下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個(gè)視場(chǎng)下總電極缺陷個(gè)數(shù)平均小于2個(gè)崔娜2013年4月7日12吹干方法不合理導(dǎo)致電極變黑檢查吹干工藝，看是否有些操作步驟會(huì)損傷到工件或吹干過程中有污染殘留損傷僅限于定位端電極損傷小于500顆，無任何污染殘留崔美筠2013年4月12日13取放片方法有問題檢查取片時(shí)是否損傷電極或污染電極無損傷，無污染李家征2013年4月13日14鏡檢造成電極不良及損失檢查鏡檢操作有無對(duì)電極的劃傷和損失無劃傷，無損失謝寶紅2013年4月14日15治具不干凈導(dǎo)致電極污染檢查現(xiàn)場(chǎng)所有在用和備用治具，干凈無污染張茜2013年4月15日16溫濕度不均衡導(dǎo)致電極脫落調(diào)用2013年2-3月溫濕度記錄，檢查是否均符合溫濕度標(biāo)準(zhǔn)溫度22±3℃，相對(duì)濕度30%-70%于坤鵬2013年4月16日17要因確認(rèn)（一）凈服穿戴不整齊調(diào)用進(jìn)廠攝像掃描記錄，檢查凈服、防塵鞋、人體裸露面積、口罩、手套是否達(dá)到進(jìn)廠區(qū)標(biāo)準(zhǔn)，不符合標(biāo)準(zhǔn)的是否有ALARM,如果有ALARM是否及時(shí)制止并處理為OK。圖表顯示監(jiān)控嚴(yán)密全部凈服穿戴整潔18要因確認(rèn)（二）入職培訓(xùn)沒做好基本素質(zhì)篩選進(jìn)廠教育方向性崗位培訓(xùn)崗位分配頒發(fā)上崗資質(zhì)上崗工作一級(jí)篩選通過二級(jí)篩選通過考試合格簡(jiǎn)歷符合1，安全教育2，員工守則3，質(zhì)量觀念4，崗位認(rèn)知5，職業(yè)健康1，勻膠站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)2，曝光站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)3，貼膜站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)4，鏡檢站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)全體員工具備上崗資格測(cè)試項(xiàng)目最高成績最低成績勻膠10099曝光10097貼膜10098鏡檢1009819要因確認(rèn)（三）未按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)作業(yè)調(diào)查各工藝站工作過程與《標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書》做對(duì)照按照工藝流程逐個(gè)簽字確認(rèn)，與作業(yè)指導(dǎo)書要求契合度99.8%除員工操作手法有細(xì)微差別外，其他部分全部按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書來操作20要因確認(rèn)（四）貼膜機(jī)劃傷電極回查貼膜后檢查記錄，檢查貼膜機(jī)表面是否有破損污染等情況。大部分工件都有較嚴(yán)重劃傷貼膜機(jī)表面鍍層較嚴(yán)重磨損缺貼膜機(jī)圖片要因21要因確認(rèn)（五）勻膠臺(tái)轉(zhuǎn)速異常導(dǎo)致膠膜不均三個(gè)階段的參數(shù)均處于正常波動(dòng)狀態(tài)22要因確認(rèn)（六）視場(chǎng)序列殘缺個(gè)數(shù)污染個(gè)數(shù)丟失個(gè)數(shù)開裂個(gè)數(shù)正常個(gè)數(shù)1587674246910713310867347281172555415716111046697123767287698709481167110339976檢查掩模板缺陷掩模板28%缺陷要因23要因確認(rèn)（七）壓緊面板過硬缺一個(gè)圖硬接觸導(dǎo)致兩個(gè)面板之間微小縫隙無法調(diào)平，從而發(fā)生了一側(cè)擠壓力過大導(dǎo)致的粘膠，粘膠使電極殘缺要因24要因確認(rèn)（八）檢測(cè)氣壓軸是否偏離八個(gè)端子高度差低于0.02mm，表示氣壓軸沒有偏離，運(yùn)轉(zhuǎn)良好氣壓軸工作原理是：采用八個(gè)端子之間的互相制約作用，達(dá)到微調(diào)氣壓軸水平的效果，八個(gè)端子間高度差小于0.02mm表明水平良好，從而判斷不會(huì)造成曝光粘膠等不良，保證電極完整。25要因確認(rèn)（九，十）試劑質(zhì)量問題導(dǎo)致光刻不良第三方機(jī)構(gòu)出示的質(zhì)量檢驗(yàn)合格報(bào)告化學(xué)藥品試劑合格非要因26要因確認(rèn)（十一）工件運(yùn)輸方式錯(cuò)誤導(dǎo)致劃傷缺單個(gè)外延劃傷圖劃傷面積達(dá)到了5.7%要因27要因確認(rèn)（十二）吹干方法問題導(dǎo)致電極變黑手動(dòng)氮?dú)獯蹈?8要因確認(rèn)（二）入職培訓(xùn)沒做好29要因確認(rèn)（二）入職培訓(xùn)沒做好30要因確認(rèn)（二）入職培訓(xùn)沒做好31要因確認(rèn)（二）入職培訓(xùn)沒做好32七、活動(dòng)計(jì)劃制訂計(jì)劃常用的QC工具：

調(diào)查表簡(jiǎn)易圖表系統(tǒng)圖矩陣圖PDPC法矢線圖優(yōu)選法正交實(shí)驗(yàn)法33八、計(jì)劃實(shí)施

對(duì)即將采取的對(duì)策與措施從可行性、經(jīng)濟(jì)性、效益性等方面進(jìn)行嚴(yán)格評(píng)估與篩選，以確定最佳實(shí)施方案、實(shí)施周期和相對(duì)應(yīng)負(fù)責(zé)人34八、計(jì)劃實(shí)施措施實(shí)施1措施實(shí)施2

實(shí)施過程中如出現(xiàn)殘留問題或出現(xiàn)的新問題，要重新進(jìn)行要因分析——制定對(duì)策并實(shí)施（按PDCA循環(huán)）35九、效果確認(rèn)改善后數(shù)據(jù)收集效果確認(rèn)常用的QC工具：

調(diào)查表簡(jiǎn)易圖表排列圖直方圖控制圖

散布圖采取了一系列的措施之后，通過圖表、數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)，一目了然。36九、效果確認(rèn)改善目標(biāo)的達(dá)成情況改善前改善后說明：通過圖表的使用，改善前后的情況一目了然。37九、效果確認(rèn)有形效果改善前/后比較38九、效果確認(rèn)無形效果改善前/后比較