碳基薄膜 橢偏分光光度法測定非晶態(tài)碳基薄膜的光學性能-編制說明

一、工作簡況，包括任務來源、主要工作過程、主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

1．任務來源

本項目為國家標準化管理委員會于2022年8月下達的2022年第二批推薦性國家標準計劃，計劃

號：20220331-T-604。由全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術委員會（TC57）歸口上報，主管部門為

中國機械工業(yè)聯(lián)合會。

負責起草單位為武漢材料保護研究所有限公司。

項目周期16個月，計劃于2023年完成。

2．主要工作過程

起草階段：2022年8月，全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術委員會根據國家標準化管理委員

會2022的國家標準項目計劃，委托起草單位成立標準工作組。于2022年8月，查閱了國內外相關標

準和文獻，并翻譯了國際標準ISO23216：2021《碳基薄膜橢偏分光光度法測定非晶態(tài)碳基薄膜的

光學性能》英文版。根據我國技術現狀，經過充分討論，起草小組確定等同采用ISO23216：2021，

以制定我國國家標準。

3．主要參加單位及工作組成員

起草單位：武漢材料保護研究所有限公司等

二、標準編制原則和主要內容

1．標準編制原則

本標準嚴格按照GB／T1.1-2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》

和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為基礎的標準化文件起草規(guī)

則》給出的規(guī)則編寫。

2．主要內容

本標準規(guī)定了使用橢偏分光光度法測定碳基薄膜光學特性（折射率n和消光系數k）以及通過n-k

圖譜進行不同類型非晶碳基薄膜分類的方法。

本文件適用于通過離子蒸鍍、濺射、電弧沉積、等離子體化學氣相沉積、熱絲等工藝沉積的非晶

碳基薄膜。

本文件不適用于通過金屬或硅改性的碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性質梯度的非晶碳基

薄膜。

標準文件正文共8章，包括范圍、規(guī)范性引用文件、定義和術語、試樣制備、設備、步驟、試驗

結果分類和試驗報告。

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三、主要試驗（或驗證）情況分析

標準內容為行業(yè)基礎知識，不涉及具體技術參數和要求，也不需要驗證。

四、標準中涉及專利的情況

本標準中不涉及專利。

五、預期達到的社會效益

制訂本標準，有助于碳基薄膜質量控制和工業(yè)應用的發(fā)展，對于已知的光滑基質材料也可適當地

進行應用。

六、采用國際標準和國外先進標準情況，與國際、國外同類標準水平的對比情況

本標準等同采用ISO23216：2021《碳基薄膜橢偏分光光度法測定非晶態(tài)碳基薄膜的光學性能》，

技術內容與國際標準一致，到達國際先進水平。

七、與現行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準，特別是強制性標準的協(xié)調性

----本標準與現行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準保持協(xié)調一致。

八、重大分歧意見的處理經過和依據

本標準起草階段無重大分歧意見。

九、標準性質的建議說明

建議本標準作為推薦性標準發(fā)布實施。

十、貫徹標準的要求和措施建議

建議本標準批準發(fā)布6個月后實施。

十一、廢止現行相關標準的建議

無。

十二、其他應予說明的事項

無。

標準起草工作組

2022年11月1日

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一、工作簡況，包括任務來源、主要工作過程、主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

1．任務來源

本項目為國家標準化管理委員會于2022年8月下達的2022年第二批推薦性國家標準計劃，計劃

號：20220331-T-604。由全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術委員會（TC57）歸口上報，主管部門為

中國機械工業(yè)聯(lián)合會。

負責起草單位為武漢材料保護研究所有限公司。

項目周期16個月，計劃于2023年完成。

2．主要工作過程

起草階段：2022年8月，全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術委員會根據國家標準化管理委員

會2022的國家標準項目計劃，委托起草單位成立標準工作組。于2022年8月，查閱了國內外相關標

準和文獻，并翻譯了國際標準ISO23216：2021《碳基薄膜橢偏分光光度法測定非晶態(tài)碳基薄膜的

光學性能》英文版。根據我國技術現狀，經過充分討論，起草小組確定等同采用ISO23216：2021，

以制定我國國家標準。

3．主要參加單位及工作組成員

起草單位：武漢材料保護研究所有限公司等

二、標準編制原則和主要內容

1．標準編制原則

本標準嚴格按照GB／T1.1-2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》

和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為基礎的標準化文件起草規(guī)

則》給出的規(guī)則編寫。

2．主要內容

本標準規(guī)定了使用橢偏分光光度法測定碳基薄膜光學特性（折射率n和消光系數k）以及通過n-k

圖譜進行不同類型非晶碳基薄膜分類的方法。

本文件適用于通過離子蒸鍍、濺射、電弧沉積、等離子體化學氣相沉積、熱絲等工藝沉積的非晶

碳基薄膜。

本文件不