• 現(xiàn)行
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  • 2024-02-22 頒布
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【正版授權(quán)-英語(yǔ)版】 IEC 62047-44:2024 EN Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devic_第1頁(yè)
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基本信息：

  • 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：IEC 62047-44:2024 EN
  • 標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體器件-微機(jī)電裝置-第44部分：微機(jī)電振蕩電場(chǎng)敏感器件動(dòng)態(tài)性能測(cè)試方法
  • 英文名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices
  • 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
  • 發(fā)布日期：2024-02-22

文檔簡(jiǎn)介

IEC62047-44:2024EN標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對(duì)半導(dǎo)體微機(jī)電設(shè)備中的微機(jī)電設(shè)備的測(cè)試方法，其中涉及MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）諧振式電場(chǎng)敏感器件的動(dòng)態(tài)性能測(cè)試方法。

以下是對(duì)IEC62047-44標(biāo)準(zhǔn)的詳細(xì)解釋：

IEC62047系列標(biāo)準(zhǔn)是一系列關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，旨在為半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試和認(rèn)證提供指導(dǎo)。IEC62047-44是該系列標(biāo)準(zhǔn)的一部分，專門(mén)針對(duì)微機(jī)電設(shè)備，特別是MEMS器件。

MEMS器件是一種微型機(jī)械電子系統(tǒng)，通常由微小的結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器等組成。在IEC62047-44標(biāo)準(zhǔn)中，規(guī)定了針對(duì)MEMS諧振式電場(chǎng)敏感器件的測(cè)試方法，這些器件通常用于各種應(yīng)用，如生物傳感器、慣性傳感器、壓力傳感器等。

對(duì)于動(dòng)態(tài)性能測(cè)試，IEC62047-44標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了特定的測(cè)試方法和程序，以評(píng)估MEMS諧振式電場(chǎng)敏感器件在受到特定頻率和振幅的激勵(lì)時(shí)的響應(yīng)和性能。這些測(cè)試包括測(cè)量其阻抗、諧振頻率、Q值等參數(shù)，以確定器件的動(dòng)態(tài)性能和穩(wěn)定性。

在進(jìn)行測(cè)試時(shí)，需要使用適當(dāng)?shù)臏y(cè)試設(shè)備和儀器，如振動(dòng)臺(tái)、信號(hào)發(fā)生器、阻抗分析儀等。測(cè)試過(guò)程通常包括對(duì)器件進(jìn)行預(yù)處理、激勵(lì)信號(hào)的生成和測(cè)量、數(shù)據(jù)處理和分析等步驟。

IEC62047-44標(biāo)準(zhǔn)為MEMS諧振式電場(chǎng)敏感器件的動(dòng)態(tài)性能測(cè)試提供了詳細(xì)的指導(dǎo)，

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