GB-T 43977-2024 電子氣體 八氟環(huán)丁烷

ICS71.100.20CCSG86中華人民共和國國家標準GB/T43977—2024電子氣體八氟環(huán)丁烷Electronicgas—Octafluorocyclobutane2024-04-25發(fā)布2024-11-01實施國家市場監(jiān)督管理總局國家標準化管理委員會ⅠGB/T43977—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分:標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位:浙江省化工研究院有限公司、昊華氣體有限公司、山東非金屬材料研究所、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、浙江巨化技術中心有限公司、中化藍天氟材料有限公司、江西華特電子化學品有限公司、福建久策氣體股份有限公司、金宏氣體股份有限公司、浙江海納半導體股份有限公司、杭州德成科技服務有限公司、浙江解氏新材料股份有限公司、宿州伊維特新材料有限公司、中國計量大學、浙江省標準化研究院、西南化工研究設計院有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司、上海申南特種氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、大連大特氣體有限公司、上海凡偉儀器設備有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、沈陽中復科金壓力容器有限公司、浙江東開半導體科技有限公司、和立氣體(上海)有限公司、昆明廣瑞達特種氣體有限責任公司、西南化工研究設計院有限公司武漢分公司、西南化工研究設計院有限公司雙流分公司。張鵬。1GB/T43977—2024電子氣體八氟環(huán)丁烷1范圍本文件規(guī)定了電子級八氟環(huán)丁烷的技術要求、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息,描述了相關的試驗方法。本文件適用于由工業(yè)八氟環(huán)丁烷提純制備的電子級八氟環(huán)丁烷。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險貨物包裝標志GB/T601化學試劑標準滴定溶液的制備GB/T603化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則GB/T5099(所有部分)鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5100鋼質(zhì)焊接氣瓶GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分:光腔衰蕩光譜法GB/T6682分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法GB/T7144氣瓶顏色標志GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定GB/T16804氣瓶警示標簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T33145大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶TSG07特種設備生產(chǎn)和充裝單位許可規(guī)則TSG23氣瓶安全技術規(guī)程TSGR0005移動式壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程3術語和定義本文件沒有需要界定的術語和定義。4技術要求八氟環(huán)丁烷的技術要求應符合表1的規(guī)定。2GB/T43977—2024表1技術要求項目要求八氟環(huán)丁烷(C4F8)純度(體積分數(shù))/10-2≥99.999(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分數(shù))/10-6<1氮(N2)含量(體積分數(shù))/10-6<2一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-6<0.5二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù))/10-6<0.5六氟丙烯(C3F6)含量(體積分數(shù))/10-6<5水分(H2O)含量(體積分數(shù))/10-6<2酸度(以HF計)含量(質(zhì)量分數(shù))/10-6<0.1雜質(zhì)總含量(體積分數(shù))/10-6≤105試驗方法警告—本文件規(guī)定的一些試驗過程可能導致危險情況,使用者應采取適當?shù)陌踩徒】捣雷o措施。5.1一般規(guī)定試驗方法所用試劑和水在沒有注明其他要求時,均指確認為分析純的試劑和GB/T6682中規(guī)定的三級水。試驗方法所用標準溶液、制劑及制品,在沒有注明其他要求時,均按GB/T601、GB/T603的規(guī)定制備。5.2氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量5.2.1測定方法按GB/T28726規(guī)定的切割(除)進樣的方法測定八氟環(huán)丁烷中的氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量。允許采用其他等效的方法測定八氟環(huán)丁烷中的氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。5.2.2預分離柱預分離柱Ⅰ:長約2m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼管,內(nèi)裝粒徑為0.15mm~0.18mm的一種改性碳分子篩(CST),或其他等效預分離柱。預分離柱Ⅱ:長約5m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼管,內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的一種高分子聚合物(PorapakQ),或采用其他等效預分離柱。5.2.3色譜柱色譜柱Ⅰ:長約3m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼管,內(nèi)裝粒徑為0.15mm~0.18mm的5A分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氧+氬、氮、一氧化碳含量。色譜柱Ⅱ:長約7m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼管,內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的一種高分子聚3GB/T43977—2024合物(PorapakQ),或其他等效色譜柱。該柱用于測定二氧化碳、六氟丙烯含量。5.2.4標準樣品標準樣品中組分含量(體積分數(shù))為1×10-6~5×10-6,平衡氣為氦。5.3水分含量按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行。可采用其他等效的方法測定八氟環(huán)丁烷中水分含量。當對測定結果有異議時,以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。5.4酸度(以HF計)5.4.1方法提要使試樣氣化,鼓泡進入盛有水的多孔式氣體洗瓶中,吸收樣品中的酸性物質(zhì),以溴甲酚綠為指示劑,用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定,計算得到酸度(以HF計)。5.4.2試劑和材料5.4.2.2溴甲酚綠指示液:5g/L。5.4.2.1氫氧化鈉標準滴定溶液:c(NaOH)=0.5.4.2.2溴甲酚綠指示液:5g/L。5.4.3儀器設備5.4.3.1取樣鋼瓶:316L不銹鋼材質(zhì),500mL或1000mL。5.4.3.2控制閥:316L不銹鋼材質(zhì)的兩通閥。5.4.3.3多孔式氣體洗瓶:250mL。5.4.3.4微量滴定管:2mL或5mL,最小分度值為0.01mL。5.4.3.5電子天平:最大秤量不小于3000g,精度為0.1g。5.4.4測定步驟5.4.4.1按圖1安裝酸度測定裝置。5.4.4.2在4個多孔式氣體洗瓶(以下簡稱“氣體洗瓶”)中各加入100mL水。5.4.4.3準確稱量裝有八氟環(huán)丁烷樣品的取樣鋼瓶和控制閥的初始質(zhì)量m1。5.4.4.4將八氟環(huán)丁烷樣品于15min~20min內(nèi)連續(xù)鼓泡通過4個氣體洗瓶,放出約100g試樣,停止吸收。準確稱量取樣鋼瓶和控制閥的終止質(zhì)量m2。5.4.4.5將第3個和第4個氣體洗瓶中的溶液分別移入兩個錐形瓶,各加入溴甲酚綠指示液1滴~2滴,第3個氣體洗瓶對應的錐形瓶中指示液的顏色不應淺于第4個氣體洗瓶對應的錐形瓶中指示液的顏色,繼續(xù)下述步驟(5.4.4.6),否則重做。5.4.4.6將第1個和第2個氣體洗瓶的溶液合并到另一錐形瓶中,并加入溴甲酚綠指示液2滴~4滴,用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定至藍色為終點,氫氧化鈉標準滴定溶液的消耗量為V1。同時將第3個和第4個氣體洗瓶對應的錐形瓶中的溶液合并,作為空白試驗溶液,氫氧化鈉標準滴定溶液的消耗量為V0。4GB/T43977—2024標引序號說明:1—取樣鋼瓶;2—控制閥;3—聚乙烯管;4—多孔式氣體洗瓶。圖1酸度測定裝置示意圖5.4.5結果計算酸度ω(以HF計)的質(zhì)量分數(shù),按公式(1)計算:×106…………式中:ω—酸度(以HF計)(質(zhì)量分數(shù)),10-6;c—氫氧化鈉標準滴定溶液的濃度,單位為摩爾每升(mol/L);V1—試料消耗氫氧化鈉標準滴定溶液的體積,單位為毫升(mL);V0—空白試驗消耗氫氧化鈉標準滴定溶液的體積,單位為毫升(mL);m1—初始質(zhì)量,單位為克(g);m2—終止質(zhì)量,單位為克(g)。MHF—m1—初始質(zhì)量,單位為克(g);m2—終止質(zhì)量,單位為克(g)。5.4.6允許差取平行測定結果的算術平均值為測定結果。兩次平行測定結果的相對偏差應不大于40%。5.4.7其他等效的方法允許采用其他等效的方法測定八氟環(huán)丁烷的酸度。當測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。5.5雜質(zhì)總含量雜質(zhì)總含量按公式(2)計算:φ7=φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6…………(2)5GB/T43977—2024式中:φ1—(氧+氬)含量(體積分數(shù)),10-6;φ2—氮含量(體積分數(shù)),10-6;φ3—一氧化碳含量(體積分數(shù)),10-6;φ4—二氧化碳含量(體積分數(shù)),10-6;φ5—六氟丙烯含量(體積分數(shù)),10-6;φ6—水分含量(體積分數(shù)),10-6;φ7—雜質(zhì)總含量(體積分數(shù)),10-6。5.6八氟環(huán)丁烷純度八氟環(huán)丁烷的純度按公式(3)計算:φ=100-φ7×10-4…………(3)式中:φ—八氟環(huán)丁烷純度(體積分數(shù)),10-2。6檢驗規(guī)則6.1抽樣、判定和復驗一批。6.1.2數(shù)值修約數(shù)值修約應按GB/T8170中規(guī)定的修約值比較法進行。6.1.3瓶裝八氟環(huán)丁烷的抽樣、判定和復驗6.1.3.1應逐一檢驗(氧+氬)含量、氮含量、水分含量,當檢驗結果不符合表1規(guī)定時,則判該產(chǎn)品不合格。6.1.3.2表1中所列出的除(氧+氬)含量、氮含量、水分含量之外的其余雜質(zhì)含量應按表2規(guī)定的抽樣數(shù)量隨機抽樣檢驗。當檢驗結果符合表1規(guī)定時,則判該批產(chǎn)品合格。當檢驗結果不符合表1規(guī)定時,則應自同批產(chǎn)品中重新加倍隨機抽樣檢驗,若檢驗結果符合表1規(guī)定時,則判除不合格的那瓶產(chǎn)品外,該批產(chǎn)品合格;若檢驗結果仍不符合表1規(guī)定時,則判該批產(chǎn)品不合格。表2瓶裝八氟環(huán)丁烷抽樣表單位為瓶每批氣瓶數(shù)最少抽樣氣瓶數(shù)1~10111~202>2056GB/T43977—20246.1.4貯槽裝及槽車裝八氟環(huán)丁烷的抽樣、判定對于貯槽裝及槽車裝八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品,應逐一檢驗并驗收。當檢驗結果符合表1規(guī)定時,則判該產(chǎn)品合格。當檢驗結果不符合表1規(guī)定時,則判該產(chǎn)品不合格。6.2采樣八氟環(huán)丁烷的采樣安全應符合GB/T3723的規(guī)定。6.3尾氣處理測定時,應有八氟環(huán)丁烷尾氣處理措施,以防止八氟環(huán)丁烷對環(huán)境的污染。7標志、包裝、運輸、貯存及安全信息7.1標志7.1.1八氟環(huán)丁烷出廠時應有產(chǎn)品質(zhì)量合格證,其內(nèi)容至少應包括:—產(chǎn)品名稱,生產(chǎn)廠名稱,危險化學品生產(chǎn)許可證編號;—生產(chǎn)日期或批號,以及失效日期;—充裝質(zhì)量(kg);—本文件標準編號及八氟環(huán)丁烷的純度。7.1.2包裝容器上應涂刷“電子級八氟環(huán)丁烷”字樣。7.1.3八氟環(huán)丁烷的包裝標志應符合GB190的規(guī)定,顏色標志應符合GB/T7144的規(guī)定,標簽應符合GB15258和GB/T16804的規(guī)定。7.2包裝、運輸及貯存7.2.1包裝八氟環(huán)丁烷的氣瓶應符合GB/T5099(所有部分)、GB/T5100和GB/T33145的規(guī)定。7.2.2八氟環(huán)丁烷的充裝、運輸及貯存應符合GB/T14193、TSGR0005、TSG07和TSG23的規(guī)定,包裝、運輸及貯存的安全管理要求見《危險化學品安全管理條例》和《特種設備安全監(jiān)察條例》。7.2.3八氟環(huán)丁烷的最大充裝量按公式(4)計算:m=Fr×V…………(4)式中:m—氣瓶內(nèi)八氟環(huán)丁烷的質(zhì)量,單位為千克(kg);Fr—八氟環(huán)丁烷的充裝系數(shù),單位為千克每升(kg/L),取值1.31kg/L;V—氣瓶標明的內(nèi)容積,單位為升(L)。7.2.4宜使用進行內(nèi)表面處理的氣瓶,處理后的氣瓶應符合本文件的規(guī)定。瓶閥出氣口連接方式宜使用DISS716或CGA660。7.2.5應防止泄漏和瓶口被污染。7.2.6八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品應存放在陰涼、干燥、通風的庫房內(nèi),應遠離熱源,不應暴曬。7.3安全信息八氟環(huán)丁烷的安全信息應符合附錄A的規(guī)定。7GB/T43977—2024附錄A(規(guī)范性)安全信息A.1基本信息A.1.1化學式:C4F8;中文名:八氟環(huán)丁烷;英文名:Octafluorocyclobutane。A.1.2相對分子質(zhì)量:200.032(按2018年國際相對原子質(zhì)量計算)。A.1.3CAS號:115-25-3;UN危險貨物編號:1976。A.1.4物理性質(zhì):沸點-6.4℃,熔點-40.2℃,臨界溫度115.0℃,臨界壓力2777kPa,臨界密度0.616g/cm3;蒸汽壓(20℃)270kPa;蒸氣密度(0℃)9.338kg/m3;液體密度(15℃)1.48g/cm3。A.2危險性說明八氟環(huán)丁烷是無色的低壓液化氣體,液態(tài)迅速蒸發(fā)可能造成凍傷。液化氣體的蒸氣最初比空氣重,可沿地面擴散。高溫受熱可產(chǎn)生刺激性、腐蝕性和/或有毒的氣體。A.3操作注意事項A.3.1生產(chǎn)過程密閉操作,生產(chǎn)裝置全面通風。操作人員應經(jīng)過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。A.3.2應遠離熱源、熱表面。A.4緊急情況應對措施A.4.1發(fā)生火災時,切斷氣源。消防人員應佩戴空氣呼吸器,穿全身防火防毒服,在上風向滅火。盡可能將容器從火場移至空曠處。A.4.2滅火劑宜用干粉或者二氧化碳。大火時用水幕、霧狀水或常規(guī)泡沫滅火。A.4.3如果誤吸入八氟環(huán)丁烷,迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處,將污染的衣物及鞋子移除,保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給氧。如呼吸停止、心跳停止,立即進行心肺復蘇術,并就醫(yī)。A.4.4