（報(bào)批稿）300mm半導(dǎo)體設(shè)備裝載端口要求

IGB/T44375—2024 1范圍 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語(yǔ)和定義 14要求 24.1接口尺寸要求 24.2裝載端口配置選項(xiàng) 44.3裝載端口排序規(guī)則 44.4晶圓承載器裝載/卸載尺寸要求 64.5感應(yīng)地面搬運(yùn)系統(tǒng)的光電傳感器安裝位置尺寸要求 64.6ID讀取器專屬空間尺寸要求 74.7晶圓承載器取放機(jī)構(gòu)專屬空間尺寸要求 9Ⅲ本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并本文件主要起草人：胡松立、李運(yùn)鋒、吳怡然、曹可慰、趙俊莎、周曉鋒、李殿浦、武小娟、GB/T44375—2024300mm半導(dǎo)體設(shè)備裝載端口要求本文件規(guī)定了300mm晶圓半導(dǎo)體設(shè)備裝載端口的尺寸要求，主要包括半導(dǎo)體設(shè)備與產(chǎn)線之間的物2規(guī)范性引用文件裝載面loadfaceplane在設(shè)備上用于執(zhí)行裝載的一側(cè)(或多側(cè)),距離片架質(zhì)心或晶圓承載器質(zhì)心直線距離最遠(yuǎn)的物理垂裝載端口loadpor為了保持晶圓排列整齊或防止滑出，在片架或晶圓承載器的標(biāo)準(zhǔn)水平或垂直方向上，設(shè)計(jì)的角度晶圓承載器wafercarrier123.63.8尺寸代號(hào)數(shù)值mm說明備注晶圓承載器裝載/卸載時(shí)，其側(cè)面與障礙物之間的安全距離C?晶圓承載器裝載/卸載時(shí)，其前面與設(shè)備邊界之間的安全距離C?晶圓承載器裝載/卸載時(shí)，其頂面與障礙物之間的安全距離D240～250晶圓承載器處于裝載/卸載位時(shí)，其X向基準(zhǔn)面與裝載面的距離范圍D?晶圓承載器處于裝載/卸載位時(shí)，其取放機(jī)構(gòu)專屬空間末端到X向基準(zhǔn)面的距離僅適用于片架僅適用于前開口片盒D?196～210晶圓承載器處于裝載/卸載位時(shí)，設(shè)備邊界與其X向基準(zhǔn)面的距離范圍D?見表2晶圓承載器處于裝載/卸載位時(shí)，條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間深度方向內(nèi)側(cè)到X向基準(zhǔn)面的距離D?見表2晶圓承載器處于工作位置時(shí)，條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間深度方向內(nèi)側(cè)到X向基準(zhǔn)面的距離D?見表2晶圓承載器處于裝載/卸載位置時(shí)，條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間深度方向外側(cè)到X向基準(zhǔn)面的距離3GB/T44375—2024尺寸代號(hào)數(shù)值說明備注D?見表2晶圓承載器處于工作位置時(shí)，條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間深度方向外側(cè)到X向基準(zhǔn)面的距離D?光電傳感器安裝空間與裝載面的距離D?光電傳感器安裝空間深度尺寸H符合人機(jī)工程學(xué)的裝載/卸載高度范圍晶圓承載器在實(shí)際使用時(shí)會(huì)滿槽放置晶圓(25片)或隔槽放置晶圓(13片),其重量不同。人工裝載/卸載時(shí)，對(duì)于放置13片晶圓的晶圓承載器，該高度是符合人機(jī)工程學(xué)的；對(duì)于放置25片晶圓的晶圓承載器，該高度是不符合人機(jī)工程學(xué)的，需要使用輔助工具進(jìn)行裝載/卸載H?晶圓承載器取放機(jī)構(gòu)專屬空間高度尺寸晶圓承載器定位機(jī)構(gòu)、條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器等高于水平基準(zhǔn)面的限制尺寸H?晶圓承載器放置在裝載端口上時(shí)，頂面高度限制尺寸H?見表2晶圓承載器條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間高度方向上側(cè)到水平基準(zhǔn)面的距離H?見表2晶圓承載器條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間高度范圍H?滾輪輸送機(jī)構(gòu)高度H?光束中心點(diǎn)高度值H?光電傳感器安裝空間高度單邊尺寸，相對(duì)于H?對(duì)稱H?光電傳感器光束中心高度范圍S相鄰兩個(gè)晶圓承載器的質(zhì)心間距離僅適用于片架適用于不帶側(cè)邊把手的片盒適用于帶側(cè)邊把手的片盒距離僅適用于片架僅適用于前開口片盒W?距離W?見表2晶圓承載器處于裝載/卸載位置時(shí)，條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間寬度方向外側(cè)到Y(jié)向基準(zhǔn)面的距離4尺寸代號(hào)數(shù)值mm說明備注W?見表2晶圓承載器處于工作位置時(shí)，條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間寬度方向外側(cè)到Y(jié)向基準(zhǔn)面的距離W?光電傳感器安裝空間寬度單邊尺寸，相對(duì)于Y向基準(zhǔn)面對(duì)稱W?光電傳感器光束中心寬度范圍滿足圖2中的C?、C?要求。A空中軌道搬運(yùn)系統(tǒng)使用空間晶圓承載器A晶圓承載器配置選項(xiàng)1配置選項(xiàng)25GB/T44375—2024單位為毫米ZX空中軌道搬運(yùn)單位為毫米ZX空中軌道搬運(yùn)系統(tǒng)空中軌道搬運(yùn)系統(tǒng)安全空間Y向基準(zhǔn)平面C?≥75裝載面晶圓承載器晶圓承載器定位機(jī)構(gòu)水平基準(zhǔn)面安裝空間Z設(shè)備邊界D?=200±40晶圓承載器前面D=250-10寫器Z設(shè)備邊界D?=200±40晶圓承載器前面D=250-10寫器AD?≥30D?≤450X向基準(zhǔn)平面w?≤2267搬運(yùn)系統(tǒng)從裝載端口裝載/卸載晶圓承載器的位置；工作位置是指晶圓承載器中的晶圓能夠被設(shè)備安全屬空間的空間范圍如圖4和圖5中條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器專屬空間所示，其尺寸值見表2。Ha≥75Ha≥75z晶圓專屬空間W?≥75W?≤130W?≥205C?≥75W?≤130W?≥205W?≥75YX條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器8單位為毫米wwW?≥205寸XHH?=33±1H≤25H≤25H≥15H≥15AY%C?≥75W?≤165W?≥205W4.6.2當(dāng)裝載端口上晶圓承載器處于ID讀取/讀寫位置時(shí)，H?應(yīng)屬于條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器的專屬空間范圍，以保證ID讀取/讀寫正常進(jìn)行；當(dāng)裝載端口上晶圓承載器不處于ID讀取/讀寫位置4.6.3安裝在裝載/卸載位置專屬空間內(nèi)的條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器長(zhǎng)寬高不超過|D?4.6.4條形碼ID讀取器/電子ID讀寫器既可安裝在運(yùn)送晶圓承載器的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上，也可不安裝在運(yùn)動(dòng)9GB/T44375—2024尺寸代號(hào)前開口片盒專屬空間尺寸數(shù)值/mm片架專屬空間尺寸數(shù)值/mm配置電