DRF-85型單晶爐使用說明書(電氣部分)

DRF-85型單晶爐

使用說明書

（電氣部分）目錄TOC\o"1-5"\h\z\o"CurrentDocument"-.TDR-ADC單晶爐電氣控制系統(tǒng)組成 4\o"CurrentDocument"概述 4\o"CurrentDocument"TDR-ADC電氣控制系統(tǒng)組成及功能 5\o"CurrentDocument"TDR-ADC晶體生長控制柜 6\o"CurrentDocument"TDR-SLCL(PLC)晶升蝸升速度控制單機 6\o"CurrentDocument"TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機 6\o"CurrentDocument"TDR-TEMP?1度控制及工控機單機 7\o"CurrentDocument"控制柜繼電控制單元 8\o"CurrentDocument"控制柜面板 8\o"CurrentDocument"加熱功率部件 8\o"CurrentDocument"主加熱功率部件 8\o"CurrentDocument"輔助加熱功率部件(選件) 9\o"CurrentDocument"繼電控制 9\o"CurrentDocument"液壓系統(tǒng)的繼電控制 9\o"CurrentDocument"真空機組的繼電控制 9\o"CurrentDocument"輔助控制部分 9\o"CurrentDocument"HX-TDR主機分線盒接口裝置 9\o"CurrentDocument"HX-SEED2引晶裝置 10\o"CurrentDocument"TDR-LIN晶升坍升計長板 10\o"CurrentDocument"限位開關 10\o"CurrentDocument"冷卻水溫度測量 11\o"CurrentDocument"晶體直徑測量 11\o"CurrentDocument"TDRF-85爐的TDR-ADC也氣控制系統(tǒng)接線說明 11\o"CurrentDocument"TDRF-85爐的晶體生長控制柜接線說明 11\o"CurrentDocument"控制柜內(nèi)元件接線 11\o"CurrentDocument"控制柜端子排接線 11\o"CurrentDocument"一.TDR-ADC單晶爐電氣控制系統(tǒng)安裝調(diào)試 23\o"CurrentDocument".安裝說明 23\o"CurrentDocument"控制系統(tǒng)配置 23\o"CurrentDocument"TDR-ADC晶體生長控制柜 23\o"CurrentDocument"加熱功率部件 24\o"CurrentDocument"接線說明 24\o"CurrentDocument"1.2.3主機分線盒接線說明 25\o"CurrentDocument".系統(tǒng)調(diào)試 25\o"CurrentDocument"TDR-ADC晶升蝸升速度系統(tǒng)調(diào)試 25\o"CurrentDocument"晶升速度調(diào)試 29堪升速度調(diào)試 31\o"CurrentDocument"晶轉(zhuǎn)堪轉(zhuǎn)速度交流伺服電機簡介 34\o"CurrentDocument"晶轉(zhuǎn)期轉(zhuǎn)速度調(diào)試 35\o"CurrentDocument"TDR-TEMP?度控制及工控機單機 36\o"CurrentDocument"加熱溫度控制部分調(diào)試 41\o"CurrentDocument"TDR-ADC繼電控制調(diào)試 42\o"CurrentDocument"真空機組繼電控制調(diào)試 42\o"CurrentDocument"液壓系統(tǒng)的繼電控制調(diào)試 43\o"CurrentDocument"TDR-ADC水溫檢測及限位開關調(diào)試 44\o"CurrentDocument"冷卻水溫監(jiān)測及超溫報警 44\o"CurrentDocument"限位開關調(diào)試 44\o"CurrentDocument"三。TDR-ADC控制系統(tǒng)操作說明 46.概述 46\o"CurrentDocument".TDR-ADC晶體生長控制系統(tǒng)操作畫面說明 47\o"CurrentDocument"晶體生長主畫面 47\o"CurrentDocument"上標題欄 48\o"CurrentDocument"通訊狀態(tài)欄 48\o"CurrentDocument"速度系統(tǒng)欄 49\o"CurrentDocument"主菜單欄 50\o"CurrentDocument"生長控制欄 50\o"CurrentDocument"晶體重量欄 50\o"CurrentDocument"溫度系統(tǒng)欄 50\o"CurrentDocument"實時曲線欄 51\o"CurrentDocument"歷史曲線欄 51\o"CurrentDocument"控制器畫面 52\o"CurrentDocument"實時曲線欄 52\o"CurrentDocument"直徑控制器欄 52\o"CurrentDocument"溫?？刂破鳈?53\o"CurrentDocument"控制器操作欄 54\o"CurrentDocument"速度系統(tǒng)F3畫面 54\o"CurrentDocument"實時曲線欄 55\o"CurrentDocument"速度輔助參數(shù)顯示欄 55\o"CurrentDocument"晶升晶轉(zhuǎn)電機參數(shù)顯示欄 56\o"CurrentDocument"堪升堪轉(zhuǎn)參數(shù)顯示欄 57\o"CurrentDocument"溫度系統(tǒng)F4顯示畫面當按下鍵時，顯示溫度系統(tǒng)畫面 59實時■曲線顯示欄 59\o"CurrentDocument"歐陸表參數(shù)顯示欄 59\o"CurrentDocument"加熱系統(tǒng)報警欄 60\o"CurrentDocument"水溫報警顯示欄 60\o"CurrentDocument"繼電控制F5顯示畫面 60\o"CurrentDocument"打印設置F6顯示畫面 61\o"CurrentDocument"磁場控制畫面顯示 61\o"CurrentDocument"退出系統(tǒng)顯示畫面 61四.主要元器件功能簡介 6112A8型脈寬調(diào)速器簡介 61-.TDR?ADC單晶爐電氣控制系統(tǒng)組成.概述TDR-ADC單晶爐電氣控制系統(tǒng)是專為晶體生長設備研制的新一代電氣控制裝置，它主要適用于TDR-70A,TDR-80,DRF-85等單晶爐的電氣控制。通過改型設計也可用于同類進口或國產(chǎn)單晶爐的電氣控制。其主要特點如下：1）主控計算機采用高可靠性的嵌入式工業(yè)控制計算機，人機操作界面采用15”工業(yè)控制專用液晶觸摸屏，系統(tǒng)信息交換采用高速工業(yè)現(xiàn)場總線CANBUS,使各控制單元進行實時的數(shù)據(jù)交換。留有以太網(wǎng)接口可與CCD直徑測量單兀相接。2）柜內(nèi)控制單元采用19英寸4U標準化歐式機箱結構，產(chǎn)品外形美觀，內(nèi)部接線少。單機采用前插板結構，運行狀況在單機的前面板顯示；單機接線通過后部可插拔端子引出。3）晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)交流速度單機及溫度單機內(nèi)采用高可靠的工業(yè)級微處理器進行智能測量控制，并通過高速CAN總線實現(xiàn)了各控制單元之間的信息共享。4）晶升堪升直流速度單機由PLC控制晶體生長速度。5）采用歐陸818完成晶體生長過程中的溫度控制。并通過通訊接口與控制主機相聯(lián)。6）柜內(nèi)繼電控制系統(tǒng)采用以PLC控制器為核心的控制部件，并配有世界知名品牌的低壓電器，實現(xiàn)了繼電控制邏輯的軟件編程，使繼電控制簡單可靠，并易于修改控制邏輯；PLC控制器通過RS232總線與主控計算機相連。7）系統(tǒng)采用實時多任務組態(tài)控制軟件，操作畫面美觀清晰，晶體生長過程參數(shù)以曲線及數(shù)字方式進行顯示保存，方便用戶實現(xiàn)拉晶工藝的數(shù)字化控制及管理。8）備有網(wǎng)絡通訊接口，便于實現(xiàn)多臺設備的集中生產(chǎn)管理。9）備有CCD數(shù)字圖像直徑測量及液面溫度測量接口，可將目前采用IRCON為測徑元件的等徑控制系統(tǒng)升級為引晶、放肩、等徑、收尾全過程自動控制的新系統(tǒng)，同時可通過對控制軟件升級提高晶體生長過程的平均拉速而提高生產(chǎn)效率。注：2005年6月以后出廠的產(chǎn)品采用新型的歐陸3504溫控表控制晶體生長溫度，其完成功能與歐陸S818溫控表相同。.TDR?ADC電氣控制系統(tǒng)組成及功能TDR-85單晶爐電氣控制系統(tǒng)主要由以下四大部分組成：TDR-ADC晶體生長控制柜2）加熱功率部件3）真空機組及液壓升降繼電控制單元4）輔助控制部分各部分的功能及系統(tǒng)組成如下：1TDR-ADC晶體生長控制柜晶體生長控制柜柜內(nèi)控制單元有以下幾部分組成：TDR-SLCL（PLC）晶升蝸升速度控制單機1）安裝了二套PWM型直流調(diào)速裝置及速度電源，實現(xiàn)晶升堪升速度的控制。2）由柜內(nèi)PLC控制器完成晶升蝸升速度單元的自動測量及控制。3）所有安裝調(diào)試由前面板操作，調(diào)試維修方便。4）單機運行狀況由前面板指示。5）單機外出線采用插拔式端子由后面板引出，方便用戶接線。6）單機外形尺寸：19英寸寬、4U高度、280mm深。TDR?SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機1）安裝了二套交流調(diào)速裝置，實現(xiàn)晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)電機系統(tǒng)的速度控制。2）安裝了工業(yè)級單片機系統(tǒng)，實現(xiàn)晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度單元的自動測量及控制。3）通過CAN總線通訊接口，與上位工控機相連。4）所有安裝調(diào)試由前面板操作，調(diào)試維修方便。5）單機運行情況由前面板指示。6）單機外出線采用插拔式端子由后面板引出，方便用戶接線。7）單機外形尺寸：19英寸寬、4U高度、280mm深。8）安裝了3路+24V電源，分別提供PLC可編程控制器、柜內(nèi)控制元件及主機電磁離合器使用。9）安裝了1路+5V電源，提供HX-SEED2引晶操作單元及HX-TDR主機分線盒接口裝置使用。23TDR-TEMP溫度控制及工控機單機1）安裝了1套三相全控橋加熱溫度控制電路，由歐陸S818控制器完成加熱溫度的自動控制。2）預留了一路輔助加熱溫度控制電路空間，可通過面板給定電位器完成輔助加熱溫度的手動控制。3）安裝了工業(yè)級單片機系統(tǒng)，實現(xiàn)溫度控制單元的自動測量及控制。4）通過CAN總線通訊接口，與上位工控機相連。5）安裝了嵌入式工業(yè)控制機，完成晶體生長過程的自動控制。6）備有CCD晶體直徑測量接口。7）安裝了PC104CANBUS現(xiàn)場總線通訊板，實現(xiàn)各控制單元與上位工控機的通訊功能。8）所有安裝調(diào)試由前面板操作，調(diào)試維修方便。9）單機運行情況由前面板指示。10）單機外出線采用插拔式端子由后面板引出，方便用戶接線。11）單機外形尺寸：19英寸寬、4U高度、280mm深。控制柜繼電控制單元TDR-ADC控制柜采用PLC智能邏輯控制器，并配有世界知名品牌的低壓電器，實現(xiàn)了繼電控制邏輯的軟件編程，使繼電控制簡單可靠,完成對真空機組系統(tǒng)以及液壓升降系統(tǒng)的智能邏輯控制?？刂乒衩姘錞DR-ADC控制柜的所有晶體生長參數(shù)均顯示在液晶觸摸屏上，加熱電壓表及加熱電流表顯示主加熱器的加熱參數(shù)，歐陸S818儀表用于主加熱器的溫度控制，真空儀表用于指示爐內(nèi)真空度，面板按鍵用于電源控制、真空機組啟動及液壓升降系統(tǒng)的控制，面板給定電位器用于輔助加熱器的溫度給定。2.2加熱功率部件加熱功率部件標準配置由主加熱功率部件組成。特殊用戶選用主加熱及輔助加熱兩套加熱功率部件。.2.1主加熱功率部件主加熱部分由控制單元及功率部件組成。控制單元安裝在TDR-ADC控制柜內(nèi)，由歐陸表完成主加熱溫度的自動控制。功率部件安裝在功率柜內(nèi)。24功率部件包括主變壓器、三相全控橋晶閘管整流電路、三相同步變壓器、主回路保護快速熔斷器、晶閘管保護電路及電流互感器。.2.2輔助加熱功率部件（選件）輔助加熱部分是為雙段式加熱系統(tǒng)提供的，主要提供化硅階段的輔助加熱，其溫度控制為手動控制方式。而在晶體生長階段則關閉輔助加熱。輔助加熱功率部件安裝在輔助加熱功率柜內(nèi)。同主加熱功率部件一樣，輔助加熱功率部件也包括主變壓器、三相全控橋晶閘管整流電路、三相同步變壓器、主回路保護快速熔斷器、晶閘管保護電路及電流互感器。其工作原理同主加熱部分。3繼電控制液壓系統(tǒng)的繼電控制液壓系統(tǒng)的繼電控制安裝在TDR-ADC控制柜內(nèi)，由PLC控制器、斷路器、接觸器、熱繼電器、繼電器及操作按鍵組成。2?3?2真空機組的繼電控制真空機組的繼電控制安裝在TDR-ADC控制柜內(nèi)，由PLC控制器、斷路器、接觸器、熱繼電器、繼電器及操作按鍵組成。4輔助控制部分HX-TDR主機分線盒接口裝置主機分線盒接口裝置安裝在單晶爐主機分線盒內(nèi)，完成晶升坍升計K、冷卻水溫度測量，并將這些信號通過CANBUS現(xiàn)場總線傳給電控柜內(nèi)的工業(yè)控制計算機。HX-SEED2引晶裝置引晶裝置與TDR-SLCL支流速度單機及PLC控制器相聯(lián)，完成對晶升蝸升電機的快速操作及晶體生長引晶過程的人工操作。TDR?LIN晶升蝸升計長板晶升計長板完成晶升計長及晶升平均拉速的計算。蝸升計長板完成蝸升計長及蝸升平均拉速的計算。限位開關限位開關包括：1）晶升上限位開關。2）蝸升上限位開關。253）蝸升下限位開關。4）水壓上限位開關。（水壓常開觸點NO）5）水壓下限位開關。（水壓常閉觸點NC）6）液壓限位開關S1。7）液壓限位開關S2o限位開關信號直接與PLC控制器相聯(lián)。冷卻水溫度測量可以對16路冷卻水水溫報警節(jié)點進行檢測，當其中某路冷卻水的水溫超過50℃時?，相應的該路報警指示燈亮并有聲音報警。晶體直徑測量晶體直徑測量模塊采用CGC2000-DIA,該模塊安裝在IRCON光學高溫計上。TDRF.85爐的TDR.ADC電氣控制系統(tǒng)接線說明1TDRF-85爐的晶體生長控制柜接線說明控制柜內(nèi)元件接線控制柜內(nèi)的單機及柜內(nèi)元件接線表可參見TDR-ADC控制柜電氣元件安裝圖（TDRF-85爐專用）?？刂乒穸俗优沤泳€從控制柜后面看，在控制柜的下部兩端有兩排接線端子。接線端子的一部分用于柜內(nèi)元件接線，而另一部分則用于控制柜與柜外元件的信號連接，下表只列出了控制柜與柜外元件的信號連接接線定義，列表如下：TDR-ADC電柜左側端子接線表（后視）線號信號定義備注34副室升、蓋升液壓閥33筒升液壓閥32蓋降（副室降）液壓閥31筒降液壓閥N液壓閥線圈接地液壓電磁閥15液壓泵電機W相14液壓泵電機V相13液壓泵電機U相N地線液壓泵電機12副室泵電機W相副室泵電機2611副室泵電機V相10副室泵電機U相N地線9主室泵電機W相8主室泵電機V相7主室泵電機U相N地線主室泵電機3W相交流電源2V相交流電源U相交流電源N地線PE保護地三相交流電源供電TDR-ADC電柜右側端子接線表(后視)線號信號定義備注61MV+(T1)62MV-(T1)熱電偶63TB1:加熱同步接觸器線圈電源NN(TB1)：地線接觸器線圈63TB2:加熱電流互感器電源NN(TB1)：地線電流互感器65-K135(T1)66Gl(T1)67G3(T1)68G5(T1)8282828269-K4(Tl)70G4(Tl)71-K6(Tl)72G6(Tl)73-K2(Tl)74G2(Tl)可控硅整流板75TA(Tl)76TB(Tl)77TC(Tl)同步變壓器78GND(Tl)79電流互感器+A8080I-∕+(Tl)電流互感器-/+81V-(Tl)電流互感器-V電流互感器TV+(Tl)電壓反饋TV+8383TV-(Tl)電壓反饋TV-加熱電壓88+5V(CAN)89GND(CAN)90ADC+(SL)91ADC-(SL)晶體直徑測量94MOTOR+(SL)95MOTOR-(SL)晶升電機96METER+(SL)97METER-(SL)晶升測速機191晶升給定+5V192晶升給定193晶升給定地194晶升顯示+195晶升顯示-196晶升顯示+5V197晶升顯示+5VGND214晶快升按鍵215晶快降按鍵216堪快升按鍵217蝸快降按鍵218快速切換按鍵144公共地HX-SEED2引晶手動操作裝置102MOTOR+(CL)103MOTOR-(CL)蝸升電機104METER+(CL)105METER-(CL)蝸升測速機88+5V(CAN)89GND(CAN)HX-TDR主機信號采集裝置106CANH107CANL108U(SR)109V(SR)HOW(SR)PEPE(SR)晶轉(zhuǎn)電機111U(CR)112V(CR)113W(CR)PEPE(CR)蝸轉(zhuǎn)電機114+24V(LHQ)115GND(LHQ)離合器電源301晶升上限位常開302蝸升上限位常開303蝸升下限位常開304液壓S1限位常開305液壓S2限位常開306水壓上限位307水壓下限位312公共端320WD21320WD21爐蓋主機分線盒備注：晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)電機的編碼器信號由專用連接電纜與TDR-SRCR單機上的交流電機驅(qū)動器相連。TDR主機分線盒接線說明TDR主機分線盒安裝在DRXF-85主機的右側底座上，其內(nèi)部安裝有HX-TDR主機信號處理裝置及接線端子，主機信號通過接線端子進入HX-TDR主機信號處理裝置，通過4線制CANBUS與TDR-ADC控制柜相連，使控制柜與主機之間的接線最少。主機分線盒與主機連接的接線端子接線定義列表如下：TDR主機分線盒接線端子接線表線號信號定義備注310WD29電纜2311WD28機械泵313WD14土甘堪桿314WD15爐底水溫測量315WD16電極1316WD17下爐筒317WD18電極2318WD19上爐筒319WD20電極3321WD22322WD23323WD24324WD25325WD26326WD27電極4閥口上可控硅閥蓋卜可控硅電纜1327J#蝸桿328爐底329電極1330下爐筒331電極2332上爐筒333電極3334爐蓋335電極4336閥口337上可控硅338閥蓋339下可控硅340電纜1341電纜2342機械泵水溫測量公共端328+5VH3801-5329S-CH3801-7330S-EH3801-8331GNDH3801-6晶升計長332+5VCZ1-1333C-CCZ1-3334C-ECZ1-4335GNDCZ1-2蝸升計長88+5VDZ2-8389GNDDZ2-84106CANHDZ2-85107CANLDZ2-86TDR-ADC控制柜DZ2供電電源CANBUS92晶升快速電機+93晶升快速電機-94晶升電機+95晶升電機-96晶升測速機+97晶升測速機-TDR-ADC控制柜DZ2102蝸升電樞+103蝸升電樞-104蝸升測速機+105堪升測速機-114電磁離合器+115電磁離合器-主加熱接線說明主加熱與主機連接的接線端子接線定義列表如下:主加熱接線端子接線表線號信號定義備注63TB1：加熱同步接觸器線圈電源NN(TB1)：地線接觸器線圈63TB1：加熱電流互感器電源NN(TB1)：地線電流互感器75TA(Tl)76TB(Tl)77TC(Tl)78GND(Tl)同步電壓(Tl)65觸發(fā)脈沖-KI,3,5(Tl)66觸發(fā)脈沖+G1(Tl)67觸發(fā)脈沖+G3(T1)68觸發(fā)脈沖+G5(T1)69觸發(fā)脈沖-K4(T1)加熱觸發(fā)脈沖70觸發(fā)脈沖+G4(T1)71觸發(fā)脈沖-K6(T1)72觸發(fā)脈沖+G6(T1)73觸發(fā)脈沖-K2(T1)74觸發(fā)脈沖+G2(T1)79電流互感器+A(T1)80電流互感器+/-(T1)81電流互感器一V(T1)82電壓反饋TV+(T1)83電壓反饋TV-(Tl)加熱電壓電流反饋323327上可控硅水溫測頭二.TDR-ADC單晶爐電氣控制系統(tǒng)安裝調(diào)試.安裝說明控制系統(tǒng)配置由前所述，TDR-ADC單晶爐電氣控制系統(tǒng)包括：TDR-ADC晶體生長控制柜TDR-SLCL(PLC)晶升蝸升速度控制單機。TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機。TDR-TEMP溫度控制及工控機單機。4)歐陸818S溫度控制器。5)真空儀表。15〃觸摸式液晶顯示器。PLC可編程序控制器。加熱功率部件1）主加熱功率柜。TDRF-85單晶爐主機安裝元件HX-TDR主機信號處理裝置。HX-SEED2引晶裝置。TDR-LIN晶升蝸升計長板。CGC2000-DIA晶體直徑測量模塊。2接線說明TDR-ADC電控柜接線說明TDR-ADC電控柜的內(nèi)部連線在出廠前已經(jīng)完成安裝調(diào)試。通電以前根據(jù)接線定義將電控柜與以下控制單元可靠相連，對外連線包括：1）主機分線盒接線2）主機分線盒接線包括：晶升電機、晶升測速機、堪升電機、瑞升測速機、蝸快速電機、電磁離合器電源、+5V供電電源及CAN通訊接口。CGC2000-DIA晶體直徑測量模塊接線4）爐體熱電偶接線5）加熱功率柜接線6）主加熱功率柜接線包括：同步電源切換、電流互感器電源、觸發(fā)脈沖、同步電壓、電流互感器及加熱電壓。7）真空機組及液壓泵真空機組包括：主室泵及副室泵。8）供電電源供電電源采用三相5線制供電，即U、V、W三相電源，N地線，PE保護地。國內(nèi)設備使用三相380V交流電源。功率柜接線說明功率柜除與控制柜相連外，其可控硅水溫傳感器與主機分線盒相連，三相電源進線與三相主供電回路相連。主機分線盒接線說明DRXF-85單晶爐的主機分線盒除與控制柜及功率柜相連外，還與安裝在主機上的電氣控制單元相連。這些連線包括：1）水溫測量TDR-LIN晶升蝸升計長板3）晶升蝸升電機4）晶轉(zhuǎn)堪轉(zhuǎn)電機）HX-TDR主機信號處理裝置（內(nèi)部接線）。.系統(tǒng)調(diào)試.1TDR-ADC晶升蝸升速度系統(tǒng)調(diào)試晶升、堀升速度系統(tǒng)采用直流伺服電機作為驅(qū)動電機，其中晶升系統(tǒng)采用單電機控制，蝸升系統(tǒng)采用雙電機控制，晶升、蝸升速度系統(tǒng)的控制由TDR-SLCL（PLC）晶升蝸升速度控制單機完成。該單機的前后面板如圖1、圖2所示：圖1、TDR-SLCL(PLC)晶升蝸升速度控制單機前面板圖2、TDR-SLCL(PLC)晶升堪升速度控制單機后面板從前面板由左向右排，各控制板的功能如表1所列：表1、TDR-SLCL(PLC)晶升堪升速度控制單機配置板表序號名稱功能1TDR-ADC-P4晶升功率電源(+36V)TDR-SL-DRI晶升速度驅(qū)動，晶升快速驅(qū)動TDR-SL-CON晶升控制4TDR-ADC-P1控制電源(+5V,±12V,+24V)TDR-CL-CON蝸升控制6TDR-CL-DRI蝸升速度驅(qū)動，蝸升快速驅(qū)動TDR-ADC-P4蝸升功率電源(+36V)TDR-ADC-P3不用其中晶升/蝸升速度驅(qū)動板及晶升/蝸升控制板是晶升、堪升速度系統(tǒng)調(diào)試中最重要的，其指示燈及電位器的功能如下表所列：表2、晶升/坍升控制板指示燈、電位器的功能表序號名稱功能SLPROLEDCLPROLED電機保護指示燈(停止時亮)F?SLDISF?CLDIS晶升手操器顯示滿度電位器不用F?SLDISF?CLDIS晶升手操器顯示滿度電位器不用F?SL(AD)F?CL(AD)晶升速度測量滿度電位器蝸升速度測量滿度電位器Z?SL(AD)Z?CL(AD)晶升速度測量零點電位器蝸升速度測量零點電位器F?SL(A)F?CL(A)晶升電流測量滿度電位器蝸升電流測量滿度電位器Z?SL(A)Z?CL(A)晶升電流測量零點電位器蝸升電流測量零點電位器F?DIA直徑測量滿度電位器Z?DIA直徑測量零點電位器F?SLSPF?CLSP晶升速度給定滿度電位器蝸升速度給定滿度電位器11Z?SLSPZ?CLSP晶升速度給定零點電位器蝸升速度給定零點電位器表3、晶升/蝸升速度驅(qū)動板指示燈、電位器的功能表序號名稱功能36VLED晶升（蝸升）電機電源指示燈36V（100V）LED晶升（蝸升）快速電機電源指示燈SLUPLEDCLUPLED晶升（蝸升）快速電機運行指示燈SLDOWNLEDCLDOWNLED晶升（蝸升）快速電機快降指示燈OFFSET調(diào)零晶升（堪升）電機驅(qū)動器調(diào)零電位器REF比值晶升（蝸升）電機驅(qū)動器比值電位器LIMET限流晶升（堀升）電機驅(qū)動器限流電位器GAIN增益晶升（堪升）電機驅(qū)動器增益電位器晶升、堀升速度系統(tǒng)的電源開關，速度給定操作及參數(shù)顯示均由控制柜上的液晶觸摸屏完成。晶升、堪升速度系統(tǒng)的快速操作及晶升手動給定由HX-SEED2引晶裝置完成。速度參數(shù)顯示畫面如圖3所示：其操作說明參見TDR-ADC控制軟件說明。圖3、TDR-ADC晶升蝸升速度控制參數(shù)顯示畫面晶升速度調(diào)試晶升速度系統(tǒng)的電機選用日本三洋公司生產(chǎn)的M818T-031伺服電動機帶測速機組，晶升速度控制器選用12A8型脈寬調(diào)速器。有關M818T-031伺服電機及12A8驅(qū)動器的介紹見其產(chǎn)品說明書或本說明書后面的產(chǎn)品簡介。1）晶升機械傳動裝置晶升傳動比：1：1800提拉頭繞絲輪周長：200mm2）晶升技術指標晶升單元是四套速度中最復雜的，其主要技術指標如下：①晶升速度范圍：0.2?8.00mm∕min②晶升/蝸升跟蹤范圍：1.00mm∕min晶升時f±?升從0~0.300mm∕min可調(diào)。③晶升快速升/降速度：N200mm∕min。3）晶升速度調(diào)試①速度顯示調(diào)試：晶升給定20%?50%時，調(diào)TDR-SL-DRI插件上的"增益”電位器,使增益最大且電機不震動為好。當晶升速度為0.10~0.50mm∕min之間時^（以平均拉速或千分表實測為準），調(diào)TDR-SL-CON板上的Z?SL（AD）晶升速度測量零點電位器，使晶升速度顯示值為與實際值相等。當晶升速度為2.00~5.00mm∕min之間時（以平均拉速或千分表實測為準），調(diào)TDR-SL-CON板上的F?SL（AD）晶升速度測量滿度電位器，使晶升速度顯示值為與實際值相等。同時調(diào)TDR-SL-CON板上的F?SLDIS晶升手操器顯示滿度電位器，使手操器上顯示器顯示值與實際值相等。反復調(diào)零點及滿度直到速度顯示值與實際值在誤差范圍內(nèi)為止。②給定調(diào)試：晶升給定為0時，調(diào)TDR-SL-CON板上的7?SLSP晶升速度給定零點電位器，使晶升速度為零。晶升給定為100%時，調(diào)TDR-SL-CON板上的F?SLSP的晶升速度給定滿度電位器，使晶升速度為8.00~12.00mm∕min。2.1.22.1.2蝸升速度調(diào)試堀升速度系統(tǒng)采用雙電機結構，堀升速度系統(tǒng)的慢速電機選用日本三洋公司生產(chǎn)的M818T-031伺服電動機帶測速機組，控制器選用12A8型脈寬調(diào)速器。1）蝸快速伺服電動機特性參數(shù)：伺服電動機型號：無刷直流電機驅(qū)動器BL-2203C額定電壓：220VAC額定電流：不大于4A額定轉(zhuǎn)速：依所選電機確定（8000轉(zhuǎn)max）2）蝸升機械傳動裝置蝸慢升傳動比：1:124003）蝸升技術指標①控制蝸升速度，蝸升速度范圍：0.02mm~lmm∕min速度由晶升控制，兩者為隨動跟蹤關系，跟蹤速度可調(diào)。②限位保護堀升上限位時"，停止上升操作。蝸升下限位時，停止下降操作。4）蝸升速度調(diào)試①速度顯示調(diào)試：瑞升給定20%~50%時，調(diào)TDR-CL-DRI插件上的"增益”電位器,使增益最大且電機不震動為好。當蝸升速度為0.010?0.050mm∕min之間時（以平均拉速或千分表實測為準），調(diào)TDR-CL-CON板上的Z?CL（AD）：堪升速度測量零點電位器，使蝸升速度顯示值為與實際值相等。當蝸升速度為0.200?0.500mm∕min之間時（以平均拉速或千分表實測為準），調(diào)TDR-CL-CON板上的F?CL（AD）蝸升速度測量滿度電位器，使蝸升速度顯示值為與實際值相等。反復調(diào)零點及滿度直到速度顯示值與實際值在誤差范圍內(nèi)為止。②給定調(diào)試：蝸升給定為0時，調(diào)TDR-CL-CON板上的Z?CLSP蝸升速度給定零點電位器，使堪升速度為零?？吧o定為100%時，調(diào)TDR-CL-CON板上的F?CLSP的蝸升速度給定滿度電位器，使蝸升速度為0.800~1.200mm∕min°5）蝸快升速度調(diào)試按照電氣接線圖，確認接線正確后，通電后，通過驅(qū)動器面板上的電位器直接調(diào)解電機轉(zhuǎn)速，操作安全方便，使電機轉(zhuǎn)速在1000轉(zhuǎn)即可。2.2TDR-ADC晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度系統(tǒng)調(diào)試晶轉(zhuǎn)、蝸轉(zhuǎn)速度控制系統(tǒng)由TDR-ADC晶體生長控制柜中的TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機、日本安川公司的交流伺服電機、減速機構及相應的連接電纜組成。TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機通過CANBUS現(xiàn)場總線通訊接口，與上位工控機相連，實現(xiàn)晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)電機的控制；TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機內(nèi)還安裝了3路+24V電源，分別提供PLC可編程控制器、柜內(nèi)控制元件及主機上的電磁離合器使用，安裝了1路+5V電源，提供HX-SEED2引晶操作單元及HX-TDR主機分線盒接口裝置使用。該單機的前后面板如下圖所示：圖1、TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機前面板圖2、TDR-SRCR晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度控制單機后面板從前面板由左向右排，各控制板的功能如下表所列：表1、TDR-SRCR晶升蝸升速度控制單機配置板表序號名稱功能1控面板(大)內(nèi)裝兩個安川電機驅(qū)動器TDR-SRCR-ACSERVO晶轉(zhuǎn)堪轉(zhuǎn)速度驅(qū)動TDR-SRCR-CPU晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)控制CPUTDR-ADC-P7晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)控制電源(+5V,±12V,+5VCAN)TDR-ADC-P2PLC>I/O控制電源(+24VPLC,+24VI/O)TDR-ADC-P8電磁離合器電源(+24VLHQ)其中晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)控制CPU板是晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度系統(tǒng)調(diào)試中最重要的，其指示燈及電位器的功能如下表所列：表2、晶轉(zhuǎn)堪轉(zhuǎn)控制CPU板指示燈、電位器的功能表序號名稱功能RUNLED運行指示燈485LED不用CANLEDCAN通訊指示燈ALMLED報警指示燈CDRLED堪轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)動方向指示燈SDRLED晶轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)動方向指示燈SRLED晶轉(zhuǎn)速度指示燈CRLED蝸轉(zhuǎn)速度指示燈9SRSP晶轉(zhuǎn)給定頻率滿度電位器10CRSP蝸轉(zhuǎn)給定頻率滿度電位器晶轉(zhuǎn)、堀轉(zhuǎn)速度系統(tǒng)的電源開關、方向切換、速度給定操作及參數(shù)顯示均由控制柜上的液晶觸摸屏完成。速度參數(shù)畫面如圖3所示：晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度交流伺服電機簡介晶轉(zhuǎn)、蝸轉(zhuǎn)速度控制系統(tǒng)采用日本安川公司生產(chǎn)的交流伺服電機控制系統(tǒng)。電機型號為：SGMAH-04AAA41,控制器型號為：SGDM-04ADA,該電機帶有編碼器及專用控制器，控制器上有顯示窗口，可以設置、調(diào)整電機運行參數(shù)，顯示電機運行狀態(tài)及過載情況?？刂破饔卸喾N運行方式及參數(shù)可供用戶選擇。該套系統(tǒng)具有控制可靠、精度高、體積小等特點。晶轉(zhuǎn)傳動比：1：100；蝸轉(zhuǎn)傳動比:1：140o有關交流伺服電機及控制器的介紹見其產(chǎn)品說明書或本說明書后面的產(chǎn)品簡介。圖3、晶轉(zhuǎn)堪轉(zhuǎn)速度控制參數(shù)顯示畫面其操作說明參見TDR-ADC控制軟件說明。晶轉(zhuǎn)蝸轉(zhuǎn)速度調(diào)試1）晶轉(zhuǎn)速度調(diào)試速度顯示調(diào)試：晶轉(zhuǎn)給定頻率為0?75.00KH時，電機轉(zhuǎn)速為0?900RPM,由于減速比為1：30,這時晶轉(zhuǎn)速度約為0?30RPM。當晶轉(zhuǎn)速度為15RPM時，用秒表實測晶轉(zhuǎn)速度，修正晶轉(zhuǎn)顯示系數(shù)使晶轉(zhuǎn)速度與實測值相等即可。給定調(diào)試：晶升給定為75.00KH時"，調(diào)TDR-SRCR-CPU插件上的晶轉(zhuǎn)給定電位器SRSP,使電機轉(zhuǎn)速為900RPM,即晶轉(zhuǎn)速度為30RPM。2）蝸轉(zhuǎn)速度調(diào)試速度顯示調(diào)試：蝸轉(zhuǎn)給定頻率為0?25.00KH時，電機轉(zhuǎn)速為0?300RPM,由于減速比為1：30,這時蝸轉(zhuǎn)速度為約0?10RPM。當蝸轉(zhuǎn)速度為5RPM時，用秒表實測堪轉(zhuǎn)速度，修正蝸轉(zhuǎn)顯示系數(shù)使堪轉(zhuǎn)速度與實測值相等即可。給定調(diào)試：蝸轉(zhuǎn)給定為25.00KH時，調(diào)TDR-SRCR-CPU插件上的蝸轉(zhuǎn)給定電位器CRSP,使電機轉(zhuǎn)速為300RPM,即蝸轉(zhuǎn)速度為10RPM。2.3TDR-ADC溫度控制系統(tǒng)調(diào)試溫度控制系統(tǒng)由TDR-TEMP溫度控制及工控機單機、歐陸818S溫度控制儀表、加熱功率柜、面板電流電壓表及操作按鍵組成。TDR-TEMP溫度控制及工控機單機該單機由兩部分組成，單機左邊為嵌入式工業(yè)控制機，單機右邊為雙回路加熱觸發(fā)控制電路及溫度測量控制CPU,該單機的前后面板如圖1、圖2所示：圖1、TDR-TEMP溫度控制單機前面板圖2、TDR-TEMP溫度控制單機后面板從前面板由左向右排，各控制板的功能如下表所列：表1、TDR-TEMP溫度控制單機配置板表序號名稱功能TDR-IPC-ECM嵌入式主控板TDR-ADC-P5控制主機電源板TDR-ADC-P1溫度控制電源(+5V,±12V,+24V)TDR-TEMP-CPU溫度控制CPU板TDR-TEMP-CON溫度主加熱控制板T1TDR-TEMP-TRI溫度主加熱脈沖分配板T1TDR-ADC-P2溫度加熱電源板(+24VT1,+24VT2)8TDR-ADC-P6溫度加熱電源板(±15VT1,±15VT2)TDR-TEMP-CON溫度輔助加熱控制板T2(不用)10TDR-TEMP-TRI溫度輔助加熱脈沖分配板T2(不用)其中單機中TDR-TEMP-CPU插件及TDR-TEMP-CON插件是溫度系統(tǒng)調(diào)試中最重要的，其指示燈及電位器的功能如下表所列：表2、TDR-TEMP-CPU板指示燈、電位器的功能表序號名稱功能RUNLED運行指示燈485LED（不用）CANLEDCAN通訊指示燈ALMLED報警指示燈R-2LED溫度輔助加熱過流復位開關指示燈（不用）6R-1LED溫度主加熱過流復位開關指示燈VI溫度主加熱電壓測量滿度電位器811溫度主加熱電流測量滿度電位器9V2溫度輔助加熱電壓測量滿度電位器（不用）1012溫度輔助加熱電流測量滿度電位器（不用）11Vo溫度主加熱輸出滿度電位器（不用）表3、TDR-TEMP-CON指示燈、電位器的功能表序號名稱功能IoLED過流報警指示燈2RW2eV加熱電壓滿度電位器3RW1eT限流電位器4RW3eZ加熱電壓零點電位器5RW4#TAA相同步電壓調(diào)平衡電位器6RW5?TBB相同步電壓調(diào)平衡電位器7RW6?TCC相同步電壓調(diào)平衡電位器8RESET過流復位按鈕溫度控制系統(tǒng)的參數(shù)顯示由控制柜上的液晶觸摸屏完成，溫度給定操作由歐陸818S溫度控制儀表完成，溫度參數(shù)畫面如下頁圖所示：圖3、溫度控制參數(shù)顯示畫面其具體的說明參見TDR-ADC控制軟件說明。加熱溫度控制器及三相全控橋功率部件1）概述DRXF-85加熱溫度控制部分是一個串級控制系統(tǒng),其工作原理參看附圖?？驁D見圖-：從加熱器溫度傳感器產(chǎn)生的信號與等徑控制器的溫控信號疊加控制進入歐陸控制器，溫度信號通過和設定值相比較，其誤差信號通過放大及PID調(diào)節(jié)，從歐陸控制器輸出到相加器，在相加器內(nèi)與加熱器電壓反饋信息疊加，以控制電網(wǎng)波動對加熱器電壓的影響。從相加器輸出的信號進入觸發(fā)器，以實現(xiàn)對整流板上可控硅導通角的改變，進而達到控制加熱器電壓的目的。歐陸控制相加器觸發(fā)器整流器等徑控制溫控信號串入溫度傳感器圖一：加熱溫度控制系統(tǒng)框圖本控制器是采用兩極的串級控制系統(tǒng)，外環(huán)控制也就是主控制環(huán)以溫度傳感信號作為反饋信號實行PID調(diào)節(jié)。內(nèi)環(huán)控制也就是副控制環(huán)以加熱器電壓作為反饋信號實行PID調(diào)節(jié)，內(nèi)環(huán)控制周期大大的快于外環(huán)的控制周期。本系統(tǒng)為了保護整流器中可控硅由于電流過大而損壞，除了安裝有快速熔斷器外，還有一套過流保護裝置。該裝置能快速靈敏地在超限電流時封鎖觸發(fā)脈沖，又可以及時復位，安全方便。下面具體介紹各部分的功能。2）相加器及反饋電路相加器電路實際上是把從歐陸送來的加熱信號與加熱器電壓的反饋信號進行合成處理，為了避免加熱主回路對控溫系統(tǒng)的干擾，在引入加熱電壓反饋時必須采取有效的隔離措施。木電路采用的是霍爾器件，電路的補償過程是：外電網(wǎng)電壓下降一加熱器電壓下降一反饋電壓值減小一相加器輸出電壓增大一可控硅導通角增大一加熱器電壓升高。電壓反饋的大小可由觸發(fā)板上的RW2來調(diào)整，有條件的單位在電網(wǎng)上加模擬擾動裝置，在加熱功率時進行切換，調(diào)整RW2使得切換前后加熱電壓保持一致。本設備出廠時已做調(diào)整，用戶可不動。3）觸發(fā)器及分配器TDR-85型單晶爐觸發(fā)器采用TC787AP集成器件，再加上相應的外圍器件組成。同步電壓采用三相同步，每相的移相范圍可達170oo從觸發(fā)器發(fā)出的脈沖經(jīng)功率推動后送至分配器.分配器是起隔離作用的脈沖變壓器。圖四：TC787各引腳波形圖觸發(fā)板中的電位器RW3是調(diào)整移相的偏置電壓，偏置電壓過大會損失移相范圍，太小會使系統(tǒng)在上電時有觸發(fā)脈沖產(chǎn)生，所以偏壓要給到一個合適的數(shù)值。RW4?RW6是分別調(diào)整三相觸發(fā)脈沖的角度一致性的。TC787各引腳波形圖如圖四所示：4）過流保護電路過流保護電路的作用是當加熱器內(nèi)部出現(xiàn)打火或短路現(xiàn)象而出現(xiàn)過流時能使觸發(fā)脈沖迅速受到抑制，使功率器件受到保護。電流采樣采用直流互感器，調(diào)整觸發(fā)板上的電位器RW1可以對電流保護點進行調(diào)整。出廠時，過流保護點調(diào)整到2700A。在電路受到保護后，加熱功率將回到零點，要重新起動系統(tǒng)時，先將歐陸控制器切到手動狀態(tài)，將輸出值OP降到零點，再按動加熱復位按鈕，系統(tǒng)這時處于正常狀態(tài)，可按照加熱程序重新開始加熱。5）主功率電路主功率電路為三相全控橋接法，主變壓器為y/△-11接法，副邊最高電壓按用戶加熱系統(tǒng)而定，一般為40~50V。晶閘管為KP-2000A。功率板上電流互感器V-、V+端是過流保護的采樣信號，A一、A+端是副柜上電流表的采樣瑞，在主功率開通前應將V-、V+端可靠接到電流表或短路。否則將損壞互感器。主功率板上的同步變壓器是△"（）—11接法，它是觸發(fā)電路的同步信號的來源，副柜上的加熱按鈕是通斷觸發(fā)同步電源的。6）溫度加熱系統(tǒng)的使用注意事項：由于變壓器是一個近似的感性負載，所以在主變壓器通電瞬間將有一個沖擊電流。這個電流一般在50?500A左右，具體大小在合閘時與電網(wǎng)波形有關。在設備未安裝調(diào)試之前，應在供電線路上加一隔離開關。以避免在合閘時一對其它設備造成影響。為了保證功率部分的裕度和使觸發(fā)部位能在靈敏范圍工作，本設備選配了190KV?的變壓器，最大加熱電壓為50V,最大加熱電流為2400Ao加熱溫度控制部分調(diào)試溫度控制部分調(diào)試按三個步驟進行1）模擬加熱溫度控制部分加熱前不加加熱器，在功率輸出兩端加上串聯(lián)的兩只36V/100W燈泡做為假負載。并在其上接一示波器，將歐陸控制器切到手動狀態(tài)并使OP值為零。過時合上功率電源并按下電柜上的加熱開關，如果燈溝已發(fā)亮，示波器上出現(xiàn)不正常波形，則可能是相序不對，停電后調(diào)整相序，正常時通電燈泡應不亮，在手動狀態(tài)下增加OP值時，燈泡應從暗逐漸變亮，示波器上的波形也是由六個小尖逐漸均勻增大，這時可以細調(diào)觸發(fā)部分的偏置電壓及三相平衡電位器RW4-RW6,使三相觸發(fā)角基本一致。2）空爐燃燒①裝好加熱器后可通電加熱。②在加熱前先檢查歐陸控制器，使其處于手動狀態(tài)，并使OP值為零。然后檢查電柜上的加熱鍵，使其處于斷開狀態(tài)，最后檢查溫度檢測器件有無被遮掩。③開始加熱時先接通主電源，再按下電柜上加熱開關，然后按動歐陸控制器的增加鍵，增加OP值。④加熱至50KW左右時停止增加，待溫度指示（歐陸控制器第一顯示值）在土2個字之間變化時，按下手動/自動鍵切入自動，這時系統(tǒng)將第一顯示器的顯示值（爐溫實際測量值）調(diào)整到SP設定值匕SP設定值在自動態(tài)下也可以改變。這時的SP值最后一位的一個數(shù)字大約相當于0.5℃左右。改變SP值觀察系統(tǒng)的調(diào)節(jié)速度，在不合適時可以修改PID參數(shù)，也可以在空爐下用自調(diào)諧功能整定系統(tǒng)的PID參數(shù)，一般在帽燒一次后，整定時先將SP值設定在等徑功率下的毫伏數(shù)，然后用參數(shù)選擇鍵找出ST或SAT參數(shù)在第二顯示器上顯示，同時按下增/減鍵，然后再按下手動/自動鍵，自調(diào)諧或自調(diào)諧+自適應功能就開始實現(xiàn)。3）拉晶試驗在熔料過程中，為了快速安全，一般使用手動方式。熔料完畢后，手動降溫到拉晶溫度附近時，可等爐內(nèi)溫度基本穩(wěn)定后按手動/自動鍵投入自動，等到第一顯示值與SP值基本一致并波動不大時，可以增加或減小SP值來調(diào)整爐內(nèi)溫度c4TDR-ADC繼電控制調(diào)試真空機組繼電控制調(diào)試真空機組繼電控制系統(tǒng)包括由主室泵及副室泵二套繼電控制電路組成。主室泵控制由斷路器QF1、接觸器KM1及熱繼電器FR1三元件組成。副室泵控制由斷路器QF2、接觸器KM2及熱繼電器FR2三元件組成。真空泵組的控制繼電器及保護繼電器裝在電控柜后面。在設備檢修過程中；如果拆卸過真空泵組的接線，復機后必須首先檢查真空泵組中電機的轉(zhuǎn)動方向，如果電機反轉(zhuǎn)，應停電將電機線換接一次。液壓系統(tǒng)的繼電控制調(diào)試油泵電機控制由斷路器QF3、接觸器KM3及熱繼電器FR3三元件組成。液壓閥的控制由繼電器KA4、KA5、KA6、KA7完成。其中：KA4：副室升、蓋升液壓閥。KA5：筒升液壓閥。KA6：蓋降（副室降）液壓閥。KA7：筒降液壓閥。液壓系統(tǒng)提供的電氣功能是：1）控制油泵電機的啟動2）控制副室及爐蓋的升降運動3）控制爐筒的升降運動4）控制液壓系統(tǒng)的總停止在油泵電機接好線后，首先檢查油泵電機的轉(zhuǎn)動方向，如油泵電機反轉(zhuǎn)，應將電機線換接一次。操作規(guī)定，只有當油泵電機啟動后，其它的操作方能有效。DRXF-85型單晶爐副室和爐蓋不是一體。升爐蓋需先升副室。為了防止在需升副室而不需升爐蓋口寸把爐蓋帶起，在副室和爐蓋之間裝有一個限位開關S1,副室升到一定位置后限位開關S1動作，按“副室升”按鈕，副室不能再升。此時按"蓋升”按鈕，副室與爐蓋一起上升。在主機爐蓋上升極限位置，裝有一個限位開關S2,當爐蓋上升到達極限位置時，切斷爐蓋上升的電源，此時爐筒才可以上升。在爐蓋沒有到位時爐筒不能升。在控制柜面板上，有一個預備/停止開關，當開關在預備位置時，可以進行液壓控制的有關操作，一旦操作完畢，將此開關置于停止位置,油泵隨之停止工作。5TDR-ADC水溫檢測及限位開關調(diào)試冷卻水溫監(jiān)測及超溫報警DRXF-85爐可以對16路冷卻水水溫進行實時檢測，當其中有某路冷卻水水溫超過50℃時"，相應的該路報警指示燈亮并發(fā)出有聲光報警。水溫接點為常閉接點信號，當接點閉合時表明水溫正常，而當接點斷開時表明水溫超過50nCo限位開關調(diào)試TDR的限位開關包括：晶升上限位、堪升上限位、蝸升下限位、液壓S1限位、液壓S2限位、水壓上限位、水壓下限位。1）晶升上限位、蝸升上限位、蝸升下限位為常開觸點，觸點閉合后相應的指示燈指示并發(fā)出聲光報警。2）晶升上限位停止晶升操作及晶轉(zhuǎn)電機。3）蝸升上限位停止蝸升操作。4）蝸升下限位停止蝸快降操作。5）液壓S1限位、液壓S2限位詳見2.4.2液壓系統(tǒng)的繼電控制調(diào)試部分所述。6）水壓上限位、水壓下限位調(diào)試說明：爐體上的水壓表有一個常開觸頭NO（水壓上限位）及一個常閉觸頭NC（水壓下限位）。當水壓超過水壓表的上限指針后，常開觸頭NO閉合，這時按加熱開按鈕，即可加熱。當水壓低水壓表的上限指針時，常開觸頭NO斷開，這時按加熱開按鈕，欠水報警指示燈亮同時發(fā)出聲音報警。在加熱狀態(tài)，當水壓低于水壓表的上限指針而高于水壓表指針下限時，容許正常加熱；如果水壓表水壓低于水樂表指針下限，水壓表的常閉觸頭NC恢復閉合，這時發(fā)出欠水報警，蜂鳴器鳴響。此時，應及時對水壓由行檢查和處理。≡oTDR.ADC控制系統(tǒng)操作說明1?概述晶體生長過程控制是以TDR-ADC晶體生長控制柜為硬件基礎開發(fā)的新一代晶體生長控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用實時多任務組態(tài)控制軟件，人機操作界面采用15英寸工業(yè)專用液晶觸摸屏。所有系統(tǒng)參數(shù)及工作狀態(tài)均以曲線、圖表及數(shù)據(jù)方式顯示在電腦屏幕上，整個晶體生長過程都通過計算機控制系統(tǒng)完成。計算機控制系統(tǒng)的主要功能按操作畫面分為：1）晶體生長主畫面顯示晶體生長過程中的速度系統(tǒng)參數(shù)、溫度系統(tǒng)參數(shù)、晶體生長控制器主要參數(shù)曲線、電氣單元通訊狀態(tài)等主要參數(shù)及參數(shù)曲線。2）晶體生長控制器畫面顯示晶體生長過程中的晶體生長控制器參數(shù)及控制器操作畫面。完成晶體生長控制的自動手動狀態(tài)切換，控制器參數(shù)設定等操作過程。3）晶體生長速度系統(tǒng)畫面完成晶體生長過程中的晶升、晶轉(zhuǎn)、蝸升、蝸轉(zhuǎn)速度系統(tǒng)的參數(shù)顯示及參數(shù)設置，并完成速度系統(tǒng)的上電、速度給定等操作過程。4）晶體生長溫度系統(tǒng)畫面完成晶體生長過程中的加熱溫度系統(tǒng)的參數(shù)顯示及參數(shù)設置，并顯示冷卻水路系統(tǒng)的溫度狀態(tài)。5）晶體生長繼電控制畫面顯示晶體生K過程中的液壓升降系統(tǒng)、真空機組系統(tǒng)的工作狀態(tài)。6）晶體生長參數(shù)打印畫面完成系統(tǒng)歷史記錄曲線的參數(shù)打印功能。7）磁場控制顯示于磁場相關的運行狀態(tài)TDR-ADC晶體生長控制系統(tǒng)操作畫面說明1晶體生長主畫面按鍵，進入晶體生長主畫面，該畫面如下圖所示：16273849105［晶體生長F1］畫面說明上標題欄上標題欄從左到右依次顯示：1）晶位（mm）：晶體長度信號。變化范圍0?2000mm,一個晶位計長脈沖對應1mm。2）堀位（mm）：i???位置信號。變化范圍0~250.00mm,-z↑v??位計長脈沖對應0.025mm長度變化，可以修改。3）軟件名稱及版本號4）運行狀態(tài)：分為等徑控制和收尾控制。通過控制器畫面上的直徑控制器、溫?？刂破鞯淖詣印⑹謩蛹笆瘴部刂瓢粹o，切換系統(tǒng)運行狀O5）當前時間通訊狀態(tài)欄通訊狀態(tài)欄顯示TDR-ADC電控柜的各控制單元與主控計算機之間的通訊狀態(tài)。當指示燈亮時"，表明通訊狀態(tài)正常，而當指示燈熄滅時",表明通訊不正常。九個通訊狀態(tài)指示燈分別是：1）晶升，蝸升 TDR-SLCL（PLC）單機工作狀態(tài)。2）晶轉(zhuǎn)，蝸轉(zhuǎn) TDR-SRCR單機通訊狀態(tài)。3）歐陸 歐陸溫度控制器通訊狀態(tài)。4）溫度 TDR-TEMP單機通訊狀態(tài)。5）主機CPU TDR-S01主機信號處理單機通訊狀態(tài)。

6)PLC7)磁場6)PLC7)磁場-磁場控制單元通訊狀態(tài)（選件）。速度系統(tǒng)欄速度系統(tǒng)欄從上到下分別顯示：1）晶轉(zhuǎn)速度：0.0?40.0rpm°2）蝸轉(zhuǎn)速度：0.0?20.0rpm°3）晶升速度：0.20?10.00mm∕min。4）堀升速度：0.020~1.000mm/mino5）蝸跟比：0.000?0.300之間可選。6）蝸跟有效狀態(tài)：ON/OFF狀態(tài)可選。ON時，蝸升速度不能單獨給定，按蝸跟比系數(shù)與晶升速度隨動。OFF時，蝸升速度單獨給定。報警狀態(tài)欄當有異常情況發(fā)生時，發(fā)出聲光報警信號，這時顯示出報警狀態(tài)的類型，并發(fā)出聲光報警信號，報警狀態(tài)分別是：1）水溫報警--16點冷卻水溫度超過50℃時報警。2）限位報警——限位報警包括晶升上限位、堀升上限位及堀升下限位。3）過流報警--加熱電流過大報警。4）水壓欠水報警-—系統(tǒng)處于加熱狀態(tài)時水壓過低報警。5）主機通訊報警——主機信號處理裝置通訊錯誤時報警。6）電流過低報警——電流過低報警。土菜單欄用于切換顯示操作畫面。生長控制欄顯示晶體生長控制器的控制偏差及控制器運行狀態(tài)。1）晶升控制 燈亮，表明系統(tǒng)處于直徑自動控制狀態(tài)2）溫校控制 燈亮，表明系統(tǒng)處于溫度自動控制狀態(tài)3）收尾控制 燈亮，表明系統(tǒng)處于直徑自動收尾狀態(tài)晶體重量欄顯示晶體直徑及晶體重量。1）預送直徑 用戶根據(jù)工藝設置晶體直徑，0.0?999.9mm。2）晶體重量 系統(tǒng)計算出晶體重量。溫度系統(tǒng)欄顯示系統(tǒng)加熱參數(shù)：1）溫校輸出：-30.000mv?+30.000mv□2）加熱電壓：0?75.0V。3）加熱電流：0?3.00KA。4）加熱功率:0?150KVA。2.1.92.1.9實時曲線欄顯示晶體生長過程中的直徑偏差、晶升速度、溫校輸出及晶升設定四個參數(shù)的實時曲線，其時間坐標為1小時。各參數(shù)的有效顯示范圍下表所列：參數(shù)名稱坐標范圍參數(shù)范圍直徑偏差-100?+10。-100?+100晶升速度0?+1000?5.00mm∕min溫校輸出-100?+100-15.000?+15.000mv晶升設定-100?+100-2.50?2.50mm∕min歷史曲線欄顯示晶體生長過程中的可記錄參數(shù)曲線，這些參數(shù)包括：1）第一組：直徑偏差、拉速輸出、溫校速率、溫校輸出；2）第二組：MV信號、加熱電壓、加熱電流、加熱功率；3）第三組：晶升速度、晶轉(zhuǎn)速度、堀升速度、堪轉(zhuǎn)速度。這三組參數(shù)可通過鍵切換顯示。另外，歷史曲線可保存幾年內(nèi)的歷史數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可通過鍵很快找到所需時間段的歷史曲線。1）鍵：切換至此前8小時前的曲線顯示2）鍵：切換至此前8小時后的曲線顯示3）鍵：切換至當前段的曲線顯示歷史曲線每頁顯示8小時內(nèi)的參數(shù)曲線。2.2控制器畫面按鍵，進入顯示晶體生長控制器的參數(shù)主畫面，其顯示畫面如下圖所示：1423［控制器F2］畫面說明：實時曲線欄顯示晶體直徑偏差、晶升速度偏差、溫校速率三個參數(shù)1小時內(nèi)的參數(shù)曲線。各參數(shù)的有效顯示范圍下表所列：參數(shù)名稱坐標范圍參數(shù)范圍直徑偏差-100?+100-100?+100晶升速度偏差-100?+100-100?+100溫校速率-100~+100-30.0?+30.0uV∕Min直徑控制器欄1）直徑偏差：（實際直徑-設定直徑）差值。2）直徑給定：晶體等徑生長時的直徑設定值。3）晶體直徑：晶體直徑測量值。4）拉速輸出：晶體等徑生長時的晶升速度控制參數(shù)。鍵：按此鍵切換直徑控制器的自動/手動狀態(tài)。當指示燈亮口寸，進入自動控制狀態(tài)。鍵：按此鍵彈出直徑控制器的內(nèi)部參數(shù)，這些參數(shù)的建議使用參數(shù)范圍為：參數(shù)名稱典型值最小值最大值Pn1.200.51.5In301050Dn1.00.01.50Dk805090Md1.200.52.00Ti1.00.52.0溫?？刂破鳈?）晶升速度偏差：（實際拉速-設定拉速）差值。2）晶升給定：晶升速度設定值。3）溫校速率：溫校輸出的改變速率。4）溫校輸出：溫校輸出參數(shù)。鍵：按此鍵切換溫?？刂破鞯淖詣?手動狀態(tài)。當指示燈亮時，進入自動溫度控制狀態(tài)。鍵：按此鍵彈出溫校控制器的內(nèi)部參數(shù)，這些參數(shù)的建議使用參數(shù)范圍為：參數(shù)典型值最大值最小值Pn1.500.502.50In301060K+ K MP TI20530控制器操作欄鍵：系統(tǒng)運行在人工控制狀態(tài)時?，按此鍵有效，按下該鍵時清除晶體長度參數(shù)。鍵：當溫?？刂破骷爸睆娇刂破魍顺鲎詣訝顟B(tài)時，按此鍵有效。按下該鍵后，切換進入收尾狀態(tài)。當指示燈點亮時，表明晶體生長進入收尾狀態(tài)。鍵：按下該鍵后彈出晶體生長控制曲線，此些曲線包括20段等徑生長曲線及10段收尾生長曲線，這些曲線根據(jù)生長工藝的不同，可由用戶自行設定。鍵：按下該鍵后彈出CL/SL堪跟比設定曲線窗口，此曲線包括20段生長曲線。鍵用于切換使能CL/SL坍跟比設定曲線，堀跟比曲線ON時，蝸跟比按CL/SL蝸跟比設定曲線改變；蝸跟比曲線OFF時,堪跟比可手動給定。3速度系統(tǒng)F3畫面按下鍵進入速度參數(shù)顯示畫面，如下圖所示:1234［速度系統(tǒng)F3］畫面說明：實時曲線欄通過鍵顯示以下2組1小時速度曲線參數(shù)，這2組參數(shù)分別是:第一組：晶升速度、晶升電流、晶轉(zhuǎn)速度。各參數(shù)的有效顯示范圍下表所列：參數(shù)名稱坐標范圍參數(shù)范圍晶升速度0?+1000?5.00mm∕min晶升電流0?+1000?+5.0A晶轉(zhuǎn)速度0?+1000?+30.0rpm第二組：蝸升速度、堪升電流、蝸轉(zhuǎn)速度。各參數(shù)的有效顯示范圍下表所列：參數(shù)名稱坐標范圍參數(shù)范圍堀升速度0?+1000?0.50mm∕min蝸升電流0?+1000?+5.0A堪轉(zhuǎn)速度0?+1000?+30.0rpm速度輔助參數(shù)顯示欄1）晶升電流：晶升電機的工作電流。2）蝸升電流：蝸升電機的工作電流。晶升晶轉(zhuǎn)電機參數(shù)顯示欄1）晶升給定：晶升電機給定信號-5.00?+5.00mm∕Min2）晶轉(zhuǎn)給定：晶轉(zhuǎn)電機給定信號0?62.5KHZ。3）晶升電流保護燈：晶升電機運行保護指示。當晶升電機晶升電機工作電流大于上限值時時，晶升電機自動保護啟動，使電機停止轉(zhuǎn)動。4）晶升上限位燈：當晶升上限位開關有效時，該燈點亮，這時晶升電機停轉(zhuǎn)。5）晶升快升燈：當按下HX-SEED2引晶裝置上的晶升快升按鍵時，該燈亮，表明這時晶升快升有效。6）晶升快降燈：當按下HX-SEED2引晶裝置上的晶升快降按鍵時，該燈亮，表明這時晶升快降有效。7）鍵：按下該鍵改變晶轉(zhuǎn)電機的運行方向。8）鍵：該鍵為晶升電機電源ON/OFF開關，當指示燈亮后，晶升電源為ON狀態(tài)。9）鍵：該鍵為晶轉(zhuǎn)電機電源ON/OFF開關，當指示燈亮后，晶轉(zhuǎn)電源為ON狀態(tài)。10）鍵：按下該鍵后彈出晶升晶轉(zhuǎn)電機設置參數(shù)。這些參數(shù)分別是：「晶升速度顯示系數(shù)：改變該參數(shù)用于修正晶升顯示速度與實測值一致?！妇俣入娏魃舷蓿涸搮?shù)為晶升電機工作電流上限值?！妇мD(zhuǎn)速度顯示系數(shù)：改變該參數(shù)用于修正晶轉(zhuǎn)速度與實測值一致?！妇мD(zhuǎn)速度給定反饋：該參數(shù)顯示實際晶轉(zhuǎn)速度給定指令「晶升平均拉速：該參數(shù)用于校準晶升速度的顯示值，當晶體長度信號+lmm時，計算機算出晶升平均拉速?！妇мD(zhuǎn)速度修正系數(shù)：該參數(shù)顯示實際晶轉(zhuǎn)速度與晶轉(zhuǎn)速度給定指令的關系，晶轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)對應的脈沖數(shù)。使用晶轉(zhuǎn)曲線時必須進行晶轉(zhuǎn)自動校正。鍵：彈出晶轉(zhuǎn)自動校正窗口，將晶轉(zhuǎn)速度設置在10rpm,按鍵后，系統(tǒng)制動進行晶轉(zhuǎn)自動校正，結果顯示在中蝸升摑轉(zhuǎn)參數(shù)顯示欄1）蝸升給定：蝸升電機給定信號0~1.000mm∕Min。2）蝸轉(zhuǎn)給定：蝸轉(zhuǎn)電機給定信號0?62.5KHZ。3）蝸升電流保護燈：據(jù)升電機運行保護指示。當蝸升電機工作電流大于上限值時，蝸升電機自動保護啟動，使電機停止轉(zhuǎn)動。4）塌升上限位燈:當坍升上限位開關有效時，該燈點亮,這時一堀升電機停轉(zhuǎn)。5）蝸升下限位燈：當坍升下限位開關有效時，該燈點亮，這時堪升電機停轉(zhuǎn)。6）蝸升快升燈：當按下HX-SEED2引晶裝置的蝸升快升按鍵時，該燈亮，表明這時堪升快升有效。7）蝸升快降燈：當按下HX-SEED2引晶裝置的蝸升快降按鍵時，該燈亮，表明這時蝸升快降有效。8）鍵：按下該鍵改變蝸轉(zhuǎn)電機的運行方向。9）鍵：該鍵為蝸升電機電源ON/OFF開關，當指示燈亮后，堪升電源為ON狀態(tài)。10）鍵：該鍵為蝸轉(zhuǎn)電機電源ON/OFF開關，當指示燈亮后，蝸轉(zhuǎn)電源為ON狀態(tài)。11）鍵：按下該鍵后彈出蝸升蝸轉(zhuǎn)電機設置參數(shù)。這些參數(shù)分別是：「堪升速度顯示系數(shù)：改變該參數(shù)用于修正堪升顯示速度與實測值一致?！肝伾俣入娏魃舷蓿涸搮?shù)為坍升電機T作電流上限值?！杠マD(zhuǎn)速度顯示系數(shù)：改變該參數(shù)用于修正堪轉(zhuǎn)速度與實測值一致?！杠マD(zhuǎn)速度給定反饋：該參數(shù)顯示實際堪轉(zhuǎn)速度給定指令r蝸升平均拉速：該參數(shù)用于校準蝸升速度的顯示值，當堀位長度信號+0.02mm時，計算機算出蝸升平均拉速?！缚稗D(zhuǎn)速度修正系數(shù)：該參數(shù)顯示實際蝸轉(zhuǎn)速度與蝸轉(zhuǎn)速度給定指令的關系，蝸轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)對應的脈沖數(shù)。使用蝸轉(zhuǎn)曲線口寸必須進行蝸轉(zhuǎn)自動校正。「鍵：彈出堪轉(zhuǎn)自動校正窗口，將蝸轉(zhuǎn)速度設置在5rpm,按鍵后，系統(tǒng)制動進行蝸轉(zhuǎn)自動校正，結果顯示在中4溫度系統(tǒng)F4顯示畫面當按下鍵時，顯示溫度系統(tǒng)畫面234實時曲線顯示欄實時曲線包括加熱電壓、加熱電流、加熱功率及MV值四個參數(shù)。其時間坐標為1小時。各參數(shù)的有效顯示范圍下表所列：參數(shù)名稱坐標范圍參數(shù)范圍加熱電壓0?+1000?+75V加熱電流0?+1000?3000A加熱功率0?+1000?+100KWMV值-0?+1000?100mV歐陸表參數(shù)顯示欄A/MAN：顯示歐陸表運行狀態(tài)：燈亮表明歐陸表運行在自動控溫狀態(tài)燈滅表明歐陸表運行在手動控溫狀態(tài)EuroPV：顯示系統(tǒng)測量值EuroSP：顯示系統(tǒng)給定值4）鍵：選擇EUROS818或EURO3504通信加熱系統(tǒng)報警欄1）燈：當加熱過電流時，該燈閃爍，這時關斷加熱電壓，當故障排除后，按鍵，恢復正常加熱。2）、燈：顯示水壓狀態(tài)，在加熱狀態(tài)，當冷卻水水壓低于下限值時，發(fā)出欠水報警信號提醒操作人員采取措施，使冷卻水壓在正常值范圍內(nèi)，確保加熱系統(tǒng)的正常工作。3）燈:在加熱狀態(tài)時,該燈亮。4）鍵：按下該鍵，恢復加熱系統(tǒng)正常工作。水溫報警顯示欄當相應位置指示燈為綠時，冷卻水溫度為正常值，而當相應指示燈為變紅后，表明該位置冷卻水溫度大于50℃,超出正常值范圍，而提醒操作人員檢查水給狀況，而確保設備正常工作。5繼電控制F5顯示畫面按下鍵時，顯示出繼電控制系統(tǒng)工作狀態(tài)顯示畫面：2341）爐筒、爐蓋限位開關SI、S2狀態(tài)。2）液壓升降系統(tǒng)工作狀態(tài)。3）控制柜電源開關及真空機組工作狀態(tài)。4）鍵：按下該鍵用于關閉或打開主機通信報警。5）鍵：按下該鍵用于關閉或打開加熱電流過低報警。6）鍵：按下該鍵用于關閉或打開水溫聲音報警。6打印設置F6顯示畫面按鍵時，可按表格形式打印出晶體生長過程中的歷史記錄參數(shù)。這些參數(shù)包括:晶體長度、直徑偏差、晶升速度、蝸升速度、晶轉(zhuǎn)速度、蝸轉(zhuǎn)速度、拉速輸出、溫校輸出、加熱電流、加熱電壓及加熱功率。7磁場控制畫面顯示按鍵進入磁場控制畫面，該畫面為磁場爐專設。8退出系統(tǒng)顯7F畫面按鍵，可使計算機控制系統(tǒng)完成安全關機，防止計算機記錄數(shù)據(jù)丟失。四.主要元器件功能簡介1.12A8型脈寬調(diào)速器簡介該調(diào)速器是為驅(qū)動高頻電刷直流電機設計的，其效率高達99%,簡單的紅/綠燈指示運行的狀態(tài)，其內(nèi)部配有過電壓、過電流、過熱以及電極地線和電源的短路保護，同時所有模式的接口都配有數(shù)字控制器，而且可以當作一個獨立的驅(qū)動器使用，它的工作電源僅要求一個普通的直流電源，利用電位器可以調(diào)整回路增益，電流限幅，輸入值及偏移量。12A8型調(diào)速器的主要參數(shù)1直流供電電壓：20-80VI最大峰值電流：±12A1最大連續(xù)電流：±6A1最小感性負載：200uH1開關頻率：36KHZI溫度范圍：一25℃?65℃1電流連續(xù)下的功耗：4W1過電壓關斷(自動復位)：86V12A8型調(diào)速器的引線功能如下表所示：接插件插腳名稱描述/注解輸入/輸出I/O1內(nèi)部+5V2信號地P1P1內(nèi)部一5V內(nèi)部直流一直流轉(zhuǎn)換器，產(chǎn)生內(nèi)部直流電壓±12V,也可為用戶輸出穩(wěn)定電壓±5V∕5mA,短路保護0+參考輸入-參考輸入差分模擬輸入最大值±15V,輸入電阻50KI一測速機+測速機最大模擬電壓±60V,輸入電阻60KI8電流控制器電流與電機端子的實際電流成比例，其范圍為：12A8型為2A/V9參考電流內(nèi)部電流環(huán)的指令信號，在此端放大器的最大峰值額定電流總是等于7.5VO#10最大連續(xù)電流I11禁止當接地時，TTL關斷“H”電橋驅(qū)動中的四個MOS場效應晶體管I12+禁止僅用于“+”方向時禁止電機，這種功能對于電機脫離“限位開關”也是有用的。I13-禁止僅用于“一”方向時禁止電機，這種功能對于將電機脫開"限位開關”也是有用的。I14故障（紅燈）TTL（與非門）兼容輸出，當輸出短路，過壓過熱，禁止以及電源開通復位時，它呈現(xiàn)高電平，紅燈指示發(fā)生故障。O1516NC不接線1電機一電機驅(qū)動輸出-I2電機+電機驅(qū)動輸出+14功率地驅(qū)動器供電電源地IP25直流電源+驅(qū)動器供電電源I3）開關功能設置值開關作用說明ONOFF1內(nèi)部電壓反饋ONOFF2建議將開關2處于關斷位置將電流環(huán)的積分電容短路電流環(huán)積分電容工作3這個電容通常通過將誤差信號降低到零，來確保無錯誤T作將外部速度/電壓環(huán)積分電容短路速度/電壓積分電容工作調(diào)零/