ZnO：Al靶材與薄膜的制備初步研究的任務(wù)書

ZnO：Al靶材與薄膜的制備初步研究的任務(wù)書任務(wù)書一、背景氧化鋅（ZnO）具有廣泛的應(yīng)用前景，因其具有優(yōu)異的光學(xué)特性、電學(xué)特性和力學(xué)特性等特點(diǎn)，已在透明電子學(xué)、光電子技術(shù)、能源領(lǐng)域等方面得到廣泛應(yīng)用。其中，ZnO：Al是一種重要的透明導(dǎo)電材料，具有高透明度、低電學(xué)阻抗和較高的光電傳導(dǎo)率，可用于制備透明導(dǎo)電薄膜、光電器件等。本次研究旨在制備ZnO：Al靶材和薄膜，并對其進(jìn)行初步研究，為該材料的應(yīng)用提供一定的基礎(chǔ)研究和理論分析。二、任務(wù)1.制備ZnO：Al靶材（1）采購ZnO和Al2O3等原材料，掌握ZnO：Al靶材的制備方法。（2）調(diào)配適量的化學(xué)品，按照一定的工藝參數(shù)制備ZnO：Al靶材。（3）利用熱重分析（TGA）、差熱分析（DSC）、X-ray衍射（XRD）等測試手段，對制備的ZnO：Al靶材進(jìn)行表征和分析。2.制備ZnO：Al薄膜（1）利用射頻磁控濺射技術(shù)，制備ZnO：Al薄膜。（2）掌握制備ZnO：Al薄膜的關(guān)鍵工藝參數(shù)，調(diào)節(jié)氣體流量、沉積溫度等條件，使薄膜具有優(yōu)異的光電性能。（3）對制備的ZnO：Al薄膜進(jìn)行表征和分析，包括膜厚、表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)等性質(zhì)的檢測。3.對ZnO：Al材料進(jìn)行測試與分析（1）利用紫外可見光分光光度計(jì)（UV-Vis）、霍爾效應(yīng)儀等測試手段，對ZnO：Al薄膜的光電性能進(jìn)行測試與分析。（2）通過XRD、掃描電子顯微鏡（SEM）等儀器，對ZnO：Al靶材和薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、微觀形貌等性質(zhì)進(jìn)行分析。（3）總結(jié)ZnO：Al材料的特點(diǎn)和應(yīng)用實(shí)際中的問題，并對其進(jìn)行初步的探討和分析。三、要求1.扎實(shí)理論基礎(chǔ)，熟悉材料制備和測試技術(shù)。2.認(rèn)真學(xué)習(xí)參考文獻(xiàn)，掌握相關(guān)理論知識和實(shí)驗(yàn)技能，全面完成研究任務(wù)。3.注意實(shí)驗(yàn)安全，嚴(yán)格遵守實(shí)驗(yàn)室制度與規(guī)定。4.對研究結(jié)果進(jìn)行科學(xué)性和可靠性的分析，撰寫符合學(xué)術(shù)規(guī)范的實(shí)驗(yàn)報(bào)告。四、預(yù)期成果1.成功完成ZnO：Al靶材和薄膜的制備和表征工作，獲取該材料的基本性質(zhì)參數(shù)及其特點(diǎn)。2.對ZnO：Al材料的應(yīng)用前景和存在的問題進(jìn)行初步的探討和分析。3.撰寫一篇符合學(xué)術(shù)規(guī)范的實(shí)驗(yàn)報(bào)告，總結(jié)研究成果并對其進(jìn)行分析和評價。五、參考文獻(xiàn)1.K.Ito,S.Nakamura,T.Katayama,etal.AcomprehensivestudyofhighlycrystallineandhighlyconductiveAl-dopedZnOthinfilmspreparedonglasssubstratesbymagnetronsputtering.JournalofAppliedPhysics,2008,103(1):013708.2.H.Zhou,X.L.Li,Q.Luo,etal.PreparationandpropertiesofhighlyconductiveandtransparentAl-dopedZnOfilmsonflexiblesubstratesbyroll-to-rollmagnetronsputtering.ThinSolidFilms,2018,652:36-42.3.S.Y.Chou,J.M.Shaw,Y.Q.Lin,etal.ImprovementinelectricalandopticalpropertiesofZnO:Alfilmsonglasss