JJF(浙) 1196-2023 激光對中儀校準規(guī)范

2023-04-17發(fā)布JJF（浙）1196-20232激光對中儀校準規(guī)范激光對中儀校準規(guī)范JJF（浙）1196-20233I （II） （1） （1） （1） （1） （2） （2） （2） （2） （3） （3） （3） （5） （6） （7） （9） （10） JJF（浙）1196-2023JJF（浙）1196-2023激光對中儀校準規(guī)范調(diào)整傳動部件及被傳動部件的位置，使兩者的旋轉(zhuǎn)1—固定端；2—測量主機；3—固定端測量單元；4—調(diào)整端測量單元；5—裝夾附件；6—調(diào)整端；7—可調(diào)腳墊1JJF（浙）1196-20232±(0.001+1%H)±(0.01+1%H)室內(nèi)溫度20±2）℃JJF（浙）1196-202331212345固定端測量單元水平固定在萬能工具顯微鏡的主顯微鏡上，調(diào)整端測量單元使用專用夾具水平固定，并居中放置在玻璃工作臺上。調(diào)節(jié)調(diào)整端測量單元立柱軸線平行于縱向滑板移動方向。移動縱橫向滑板，使固定端、調(diào)整端測量單元激光大致相互對準靶板或傳感器中心位置。水平往復(fù)轉(zhuǎn)動固定端測量單元的專用夾具，同時觀察測量主機上的讀數(shù)值，使固定端測量單元處于讀數(shù)轉(zhuǎn)折點位置，則此時固定端、調(diào)整端測量單元的測量軸線處于相互平行狀移動縱向滑板至各校準點，依次讀取固定端、調(diào)整端測量單元的示值。根據(jù)激光對中儀δi=Di-(Li-L0)(1)式中：δi——第i個校準點位移示值誤差；JJF（浙）1196-20234Di——第i個校準點固定端或調(diào)整端測量單元位移示值；L0——萬能工具顯微鏡的初始零位值。注：激光對中儀按類型可分為單軸型和雙軸型，雙軸型對中儀須檢水平方向、豎直方向位移示值誤差，單軸型只檢單一方向位移示值誤差。在激光對中儀水平方向或豎直方向位移示值測量范圍中段任一位置作為起點，移動萬能工具顯微鏡縱向或橫向滑板至位移某一示值，此時記錄激光對中儀位移示值，移動萬能工具顯微鏡滑板反向回到起點，重復(fù)上述操作10次，測得10個固定端測量單元水平方向或豎直方向的對中儀位移示值，用公式(2)計算固定端式中：s——重復(fù)性,mm；Di——第i次位移示值,mm；n——位移測量次數(shù)，n=10。將固定端測量單元固定在數(shù)顯分度頭工作臺面上，旋轉(zhuǎn)數(shù)顯分度頭，使固定端測量單元元傾角示值，應(yīng)在傾角測量范圍內(nèi)每45°間隔依次選取校準點進(ai-a0)-Ai(3)JJF（浙）1196-20235），g)進行校準的日期,如果與校準結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)說明被校對象的接收h)如果與校準結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)對被校樣品的抽JJF（浙）1196-20236JJF（浙）1196-20237委托單位校準地址型號規(guī)格儀器編號生產(chǎn)單位溫度℃相對濕度%校準依據(jù)測量標準及其他設(shè)備1位移示值誤差（單位：mm）固定端測量單元水平方向受檢點萬能工具顯微鏡初始零位值萬能工具顯微鏡示值對中儀示值示值誤差固定端測量單元垂直方向受檢點萬能工具顯微鏡初始零位值萬能工具顯微鏡示值對中儀示值示值誤差調(diào)整端測量單元水平方向受檢點萬能工具顯微鏡初始零位值萬能工具顯微鏡示值對中儀示值示值誤差調(diào)整端測量單元垂直方向受檢點萬能工具顯微鏡初始零位值萬能工具顯微鏡示值對中儀示值示值誤差JJF（浙）1196-202382位移測量重復(fù)性：次數(shù)受檢點固定端測量單元位移(mm)重復(fù)性123456789平均值次數(shù)受檢點調(diào)整端測量單元位移(mm)重復(fù)性123456789平均值3傾角示值誤差固定端測量單元受檢點固定端測量單元示值數(shù)顯分度頭示值示值誤差調(diào)整端測量單元受檢點調(diào)整端測量單元示值數(shù)顯分度頭示值示值誤差4傾角示值變動性：次數(shù)受檢點固定端測量單元傾角(°)變動性12345次數(shù)受檢點調(diào)整端測量單元傾角(°)變動性123455漂移被測參量第一次第二次第三次第四次漂移固定端測量單元位移(mm)調(diào)整端測量單元位移(mm)固定端測量單元角度(°)調(diào)整端測量單元角度(°)本次校準結(jié)果的不確定度JJF1196-202391位移示值誤差固定端測量單元水平方向受檢點(mm)示值誤差(mm)固定端測量單元垂直方向受檢點(mm)示值誤差(mm)調(diào)整端測量單元水平方向受檢點(mm)示值誤差(mm)調(diào)整端測量單元垂直方向受檢點(mm)示值誤差(mm)2位移測量重復(fù)性：固定端位移測量重復(fù)性調(diào)整端位移測量重復(fù)性3傾角示值誤差：固定端測量單元受檢點示值誤差調(diào)整端測量單元受檢點示值誤差4傾角示值變動性：固定端傾角示值變動性調(diào)整端傾角示值變動性5漂移：固定端位移示值漂移調(diào)整端位移示值漂移固定端傾角示值漂移調(diào)整端傾角示值漂移本次校準結(jié)果的不確定度JJF1196-2023固定端測量單元水平固定在萬能工具顯微鏡的主顯微鏡上，調(diào)整端測量單元使用專用夾具水平固定，并居中放置在玻璃工作臺上。調(diào)節(jié)調(diào)整端測量單元立柱軸線平行于縱向滑板移動方向。移動縱橫向滑板，使固定端、調(diào)整端測量單元激光大致相互對準靶板或傳感器中心位置。水平往復(fù)轉(zhuǎn)動固定端測量單元的專用夾具，同時觀察測量主機上的讀數(shù)值，使固定端測量單元處于讀數(shù)轉(zhuǎn)折點位置，則此時固定端、調(diào)整端測量單元的測量軸線處于相互平行狀示值誤差。本文以分辨力0.01mm、0.001mm的激光對中儀為例，進行位移示值誤差不確定δi=Di-(Li-L0)式中：δi——第i個校準點示值誤差；Li——第i個校準點萬能工具顯微鏡的示值；L0——萬能工具顯微鏡的初始零位值。C.3.1萬能工具顯微鏡示值誤差引入的標準不確定度u1萬能工具顯微鏡最大允許誤差為±(1+L/100)μm，激光對中儀單向測量范圍一般不大于C.3.2測量重復(fù)性引入的標準不確定度u2JJF1196-2023C.3.3激光對中儀分辨力引入的標準不確定度分量u3量重復(fù)性所引入的不確定度分量大于激光對中儀分辨力引入的不確定度分量，則后者已經(jīng)JJF1196-2023u21u22U=k×uc1=2×0.005=0.01mmU=k×uc2=2×0.001JJF1196-2023使用數(shù)顯分度頭對激光對中儀進行傾角示值誤差校準。將固定端測量單元固定在數(shù)顯分時將數(shù)顯分度頭置零，轉(zhuǎn)動數(shù)顯分度頭至各校準點，讀取固定端測量單元傾角計讀數(shù)值，傾(ai-a0)-AiD.3.1數(shù)顯分度頭示值誤差引入的標準不確定度u1D.3.2測量重復(fù)性引入的標準不確定度u2JJF11