JJF 2167-2024 電阻真空變送器校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF2167—2024電阻真空變送器校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforPiraniVacuumTransmitters2024-10-19發(fā)布2025-04-19實(shí)施國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布JJF2167—2024電阻真空變送器校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforPiraniVacuumTransmitters→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→JJF2167—2024→ →→→→→→→→→→→→→→→歸口單位:全國(guó)壓力計(jì)量技術(shù)委員會(huì)主要起草單位:上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院參加起草單位:云南省計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院成都睿寶電子科技有限公司本規(guī)范委托全國(guó)壓力計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋JJF2167—2024本規(guī)范主要起草人:許紅(上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院)劉貝貝(上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院)馮齊斌(上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院)參加起草人:周瑩(云南省計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院)姚小兵(中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院)張海錠(中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院)賀良武(成都睿寶電子科技有限公司)JJF2167—2024Ⅰ引言 1范圍 (1)2引用文件 (1)3術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位 (1)3.1術(shù)語(yǔ) (1)3.2計(jì)量單位 (2)4概述 (2)4.1原理 (2)4.2結(jié)構(gòu) (2)5計(jì)量特性 (2)6校準(zhǔn)條件 (2)6.1環(huán)境條件 (2)6.2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備 (2)7校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法 (3)7.1校準(zhǔn)項(xiàng)目 (3)7.2校準(zhǔn)方法 (3)8校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá) (5)8.1校準(zhǔn)記錄 (5)8.2校準(zhǔn)證書 (5)8.3校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定 (5)9復(fù)校時(shí)間間隔 (5)附錄A校準(zhǔn)記錄格式 (6)附錄B校準(zhǔn)證書(內(nèi)頁(yè))格式 (8)附錄C電阻真空變送器測(cè)量不確定度評(píng)定示例 (9)附錄D歸一化計(jì)算方法 (12)JJF2167—2024ⅡJJF1071—2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF1059.1—2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》、JJF1008—2008《壓力計(jì)量名詞術(shù)語(yǔ)及定義》、GB/T3163—2007《真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)》共同構(gòu)成本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本校準(zhǔn)規(guī)范參照J(rèn)JF1050—1996《工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》、GB/T30434—2013《電阻真空計(jì)通用技術(shù)條件》、GB/T34873—2017《真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)》(Vacuumgauges—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)、GB/T34876—2017《真空技術(shù)真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)brationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)和ISO19685:2017(E)《真空技術(shù) 真空計(jì)皮拉尼真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測(cè)量不確定度》(Vacuumtechnology—Vacuum定,采用了其中的基本原則,對(duì)具體方法和技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了細(xì)化、補(bǔ)充和修改。本規(guī)范為首次發(fā)布。JJF2167—20241電阻真空變送器校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于測(cè)量范圍在(1×10-1~1×105)Pa及以內(nèi)的電阻真空變送器的校準(zhǔn)。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件:GB/T3163—2007真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)GB/T34873—2017真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)(Vacuumgauges—Cal-ibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)(ISO3567:2011(E),IDT)ISO19685:2017(E)真空技術(shù)真空計(jì)皮拉尼真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測(cè)量不urementuncertaintiesforPiranigauge)凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位3.1術(shù)語(yǔ)3.1.1電阻真空變送器Piranivacuumtransmitter利用加熱元件的熱傳導(dǎo)性能,通過電橋電路將壓力變量轉(zhuǎn)換為可傳送的標(biāo)準(zhǔn)化輸出信號(hào)的儀表,而且其輸出信號(hào)與壓力變量之間有一給定的連續(xù)函數(shù)關(guān)系。3.1.2真空系統(tǒng)vacuumsystem由真空容器和產(chǎn)生真空、測(cè)試真空、控制真空等元件組成的真空裝置。[來(lái)源:GB/T3163—2007,5.1.1]3.1.3校準(zhǔn)系統(tǒng)systemofcalibration校準(zhǔn)真空計(jì)所用的真空系統(tǒng)。[來(lái)源:GB/T3163—2007,4.6.2]3.1.4校準(zhǔn)室calibrationchamber向標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和待校準(zhǔn)真空計(jì)提供共同真空介質(zhì)的真空室。[來(lái)源:GB/T34873—2017,3.9]3.1.5本底壓力basepressure氣體進(jìn)入校準(zhǔn)室之前,即開始校準(zhǔn)前,校準(zhǔn)室內(nèi)的壓力值,或氣體進(jìn)入校準(zhǔn)室后關(guān)閉進(jìn)氣閥門一定時(shí)間后的壓力值。[來(lái)源:GB/T34873—2017,3.17]JJF2167—202423.2計(jì)量單位電阻真空變送器的計(jì)量單位:輸入壓力的單位為帕斯卡(符號(hào):Pa),或它的十進(jìn)倍數(shù)單位;輸出電壓的單位為伏特(符號(hào):V)。4概述4.1原理在一定的壓力范圍內(nèi),電阻真空變送器(以下簡(jiǎn)稱變送器)內(nèi)的氣體分子將熱量從加熱的熱絲傳導(dǎo)到室溫下的變送器外殼,分子帶走的熱量正比于分子密度,從而正比于壓力。溫度變化導(dǎo)致熱絲電阻變化,通過電橋電路測(cè)量,經(jīng)過一定的函數(shù)關(guān)系式轉(zhuǎn)換,最終間接地測(cè)量出壓力。4.2結(jié)構(gòu)變送器主要由熱絲、電橋電路及變送器正常工作所需的全部電路組成。結(jié)構(gòu)見圖1[ISO19685:2017(E),附錄A]。圖1電阻真空變送器結(jié)構(gòu)示意圖5計(jì)量特性示值誤差。6校準(zhǔn)條件6.1環(huán)境條件6.1.1環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準(zhǔn)過程中,環(huán)境溫度波動(dòng)不超過±1℃。6.1.2環(huán)境相對(duì)濕度不大于85%。6.1.3校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無(wú)熱源、強(qiáng)電磁場(chǎng)和放射性源等外界干擾,且周圍不應(yīng)有明顯的振動(dòng)和氣體流動(dòng)。6.2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備6.2.1測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置標(biāo)準(zhǔn)裝置用于提供已知的壓力量值,通常為動(dòng)態(tài)比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置和靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置,如表1所示。其他壓力校準(zhǔn)范圍和不確定度能夠滿足客戶校準(zhǔn)要求的標(biāo)準(zhǔn)裝置也適用。JJF2167—202431min內(nèi)壓力穩(wěn)定度不超過讀數(shù)的±2%;標(biāo)準(zhǔn)裝置采用靜態(tài)膨脹法的,校準(zhǔn)室在1min中內(nèi)的升壓不應(yīng)大于被校變送器待校準(zhǔn)壓力下限的2%。標(biāo)準(zhǔn)裝置的相對(duì)擴(kuò)展不確定度應(yīng)優(yōu)于客戶要求的校準(zhǔn)不確定度。標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)推薦為:電容薄膜真空計(jì)、數(shù)字壓力計(jì)(絕壓)。表1標(biāo)準(zhǔn)裝置序號(hào)裝置名稱技術(shù)要求1動(dòng)態(tài)比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置測(cè)量范圍:0.1Pa~100kPa[電容薄膜真空計(jì):MPE[電容薄膜真空計(jì):MPE為讀數(shù)的±0.25%、數(shù)字壓力計(jì)(絕壓):0.01級(jí)]2靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置測(cè)量范圍:0.1Pa~100kPa不確定度:Urel為(3.0%~0.1%)(k=2)注:在標(biāo)準(zhǔn)裝置中給出的不確定度對(duì)應(yīng)的是測(cè)量范圍的下限和上限。6.2.2其他設(shè)備其他配套設(shè)備見表2。表2配套設(shè)備序號(hào)儀器設(shè)備名稱技術(shù)要求用途1電壓表(或包含直流電壓功能的數(shù)字多用表)測(cè)量范圍:(0.1~10)VMPE:±0.01%用于測(cè)量輸出電壓信號(hào)2電離真空計(jì)測(cè)量范圍:(1.0×10-4~1.0×10-1)Pa不確定度:Urel=50%(k=2)變送器進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整時(shí)測(cè)量參考?jí)毫?直流電源測(cè)量范圍:(0~30)V測(cè)量用直流供電電源4溫度記錄儀或溫度計(jì)測(cè)量范圍:(0~50)℃分度值優(yōu)于0.2℃用于測(cè)量校準(zhǔn)室及環(huán)境溫度5氮?dú)庠礆怏w純度不低于99.9%提供校準(zhǔn)用氣體注:根據(jù)客戶要求也可采用其他氣體。7校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法7.1校準(zhǔn)項(xiàng)目示值誤差。7.2校準(zhǔn)方法7.2.1校準(zhǔn)前準(zhǔn)備目視檢查變送器內(nèi)部的清潔度;變送器銘牌應(yīng)完整、清晰,并具有型號(hào)、編號(hào)、電JJF2167—20244源電壓、制造廠商名稱等信息;變送器零部件應(yīng)完好無(wú)損,緊固件不得有松動(dòng)和損傷現(xiàn)象;表面涂層應(yīng)光潔、完好、無(wú)銹斑和霉斑。被校準(zhǔn)變送器需在實(shí)驗(yàn)室放置2h以上才可以進(jìn)行校準(zhǔn),依據(jù)制造商的建議或客戶要求的方向(垂直、水平或任意,默認(rèn)為垂直安裝)將被校準(zhǔn)變送器安裝在如圖2或圖3所示的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)室上,連接被校準(zhǔn)變送器的過渡管道應(yīng)盡量短,按照產(chǎn)品說(shuō)明書給被校準(zhǔn)變送器正確接上直流電源,并在變送器的輸出端接上電壓表,按照獲得真空的操作程序?qū)φ婵諛?biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行抽氣。除非制造商另有規(guī)定,變送器在校準(zhǔn)前預(yù)熱時(shí)間不應(yīng)少于30min。圖2動(dòng)態(tài)比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)示意圖圖3靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)示意圖7.2.2示值誤差校準(zhǔn)當(dāng)校準(zhǔn)系統(tǒng)本底壓力滿足變送器零點(diǎn)調(diào)整條件后,按照變送器的產(chǎn)品技術(shù)要求對(duì)變送器進(jìn)行零點(diǎn)和滿量程調(diào)整。當(dāng)校準(zhǔn)系統(tǒng)穩(wěn)定度或升壓符合6.2.1要求后,開始校準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)裝置以壓力由低到高的順序逐個(gè)建立所需要的校準(zhǔn)點(diǎn),分別記錄標(biāo)準(zhǔn)裝置的壓力值pind,std和變送器的實(shí)際測(cè)量電壓值ud。校準(zhǔn)點(diǎn)應(yīng)包括變送器測(cè)量范圍的上限值和下限值(或0.1Pa),其余各點(diǎn)在變送器被校準(zhǔn)測(cè)量范圍內(nèi)按對(duì)數(shù)均勻選取,每個(gè)數(shù)量級(jí)應(yīng)不少于3個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn);按照上述方法再進(jìn)行第2次和第3次的測(cè)量,第2次和第3次測(cè)量的校準(zhǔn)點(diǎn)應(yīng)在第1次測(cè)量的校準(zhǔn)點(diǎn)附近取值,兩者差值保持在±20%以內(nèi);測(cè)量點(diǎn)的選取也可與客戶協(xié)商確定。變送器第2次和第3次的測(cè)量結(jié)果需要根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)值作歸一化處理,歸一化計(jì)算方法見附錄D,被校準(zhǔn)變送器的實(shí)際測(cè)量值取歸一化后3次測(cè)量值的平均值。JJF2167—202457.2.3數(shù)據(jù)處理7.2.3.1理論計(jì)算值ustd的計(jì)算通式根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的校準(zhǔn)證書或膨脹比及所讀取的標(biāo)準(zhǔn)裝置的壓力值pind,std計(jì)算出校準(zhǔn)室內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)壓力值pstd,并依據(jù)產(chǎn)品說(shuō)明書提供的壓力與電壓的函數(shù)關(guān)系式計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)壓力值pstd所對(duì)應(yīng)的理論計(jì)算值ustd,式(1)為被校準(zhǔn)變送器理論計(jì)算值計(jì)算通式:式中:u=k·lgpstd+c式中:ustd—標(biāo)準(zhǔn)壓力值pstd所對(duì)應(yīng)的被校準(zhǔn)變送器校準(zhǔn)點(diǎn)的理論計(jì)算值,V;pstd—標(biāo)準(zhǔn)壓力值,Pa;k、c—常數(shù),由變送器制造商提供。7.2.3.2被校準(zhǔn)變送器3次測(cè)量平均值ud的計(jì)算公式:(2)式中:udi—被校準(zhǔn)變送器第i次測(cè)量歸一化后的測(cè)量值,V;ud—被校準(zhǔn)變送器3次測(cè)量平均值,V。7.2.3.3示值誤差Δu的計(jì)算公式:Δu=ud-uΔu=ud-ustd(3)Δu—被校準(zhǔn)變送器的示值誤差,V;ud—被校準(zhǔn)變送器的實(shí)際測(cè)量值,V。8校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)8.1校準(zhǔn)記錄格式見附錄A。8.2校準(zhǔn)證書校準(zhǔn)完成后,按照本規(guī)范出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)證書至少包括以下信息:“校準(zhǔn)證書”標(biāo)題;進(jìn)行校準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)室名稱和地址;證書唯一性標(biāo)識(shí)(如編號(hào));客戶的名稱和地址;被校準(zhǔn)變送器的明確標(biāo)識(shí);校準(zhǔn)日期;技術(shù)規(guī)范名稱和代號(hào);測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性和有效性說(shuō)明;對(duì)校準(zhǔn)規(guī)范偏離的說(shuō)明(若有);校準(zhǔn)證書簽發(fā)人的簽名、職務(wù)或等效標(biāo)識(shí);校準(zhǔn)結(jié)果僅對(duì)被校準(zhǔn)變送器有效的聲明;未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn),不得部分復(fù)制證書的聲明;校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式見附錄B。8.3校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定參照附錄C。9復(fù)校時(shí)間間隔建議復(fù)校時(shí)間間隔為1年。送校單位也可以根據(jù)實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。JJF2167—20246附錄A校準(zhǔn)記錄格式客戶名稱:客戶地址:器具名稱:型號(hào)規(guī)格:出廠編號(hào):生產(chǎn)廠商:環(huán)境溫度:環(huán)境濕度:校準(zhǔn)用氣體:校準(zhǔn)地點(diǎn):校準(zhǔn)日期:技術(shù)規(guī)范名稱及編號(hào):標(biāo)準(zhǔn)器信息:校準(zhǔn)結(jié)果:原始記錄:第1次測(cè)量第2次測(cè)量第3次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)壓力值pind,std/pstd()理論計(jì)算值ustd()實(shí)際測(cè)量值ud()標(biāo)準(zhǔn)壓力值pind,std/pstd()實(shí)際測(cè)量值ud()歸一化后的測(cè)量值u()標(biāo)準(zhǔn)壓力值pind,std/pstd()實(shí)際測(cè)量值ud()歸一化后的測(cè)量值u()JJF2167—20247數(shù)據(jù)處理:標(biāo)準(zhǔn)壓力值pstd()理論計(jì)算值ustd()實(shí)際測(cè)量值ud()實(shí)際測(cè)量值對(duì)應(yīng)的壓力值pd()壓力示值相對(duì)誤差δ()示值誤差Δu()示值誤差Δu的擴(kuò)展不確定度U()(k=2)安裝方向(垂直、水平、任意):為V):u=lgp+3.5,p=10u.;u=lgp+4,p=10uu=lgp+3.5,p=10u.;u=lgp+4,p=10u。壓力示值相對(duì)誤差計(jì)算公式×100%。JJF2167—20248附錄B校準(zhǔn)證書(內(nèi)頁(yè))格式環(huán)境溫度:環(huán)境濕度:校準(zhǔn)地點(diǎn):校準(zhǔn)結(jié)果:標(biāo)準(zhǔn)值被校準(zhǔn)值誤差示值誤差Δu的擴(kuò)展不確定度U()(k=2)標(biāo)準(zhǔn)壓力值pstd()理論計(jì)算值ustd()實(shí)際測(cè)量值ud()實(shí)際測(cè)量值對(duì)應(yīng)的壓力值pd()壓力示值相對(duì)誤差δ()示值誤差Δu()校準(zhǔn)用氣體:安裝方向(垂直、水平、任意):電壓與壓力轉(zhuǎn)換公式:壓力示值相對(duì)誤差計(jì)算公式×100%。JJF2167—20249附錄C電阻真空變送器測(cè)量不確定度評(píng)定示例C.1測(cè)量模型和靈敏系數(shù)C.1.1電阻真空變送器示值誤差的測(cè)量模型-(k·lgp+c)(C.1)Δu—被校準(zhǔn)變送器的示值誤差,V;ud—被校準(zhǔn)變送器的實(shí)際測(cè)量值,V;ustd—標(biāo)準(zhǔn)壓力值pstd所對(duì)應(yīng)的被校準(zhǔn)變送器校準(zhǔn)點(diǎn)的理論計(jì)算值,V;pstd—標(biāo)準(zhǔn)壓力值,Pa;k、c—常數(shù),由變送器制造商提供。C.1.2靈敏系數(shù)C.2不確定度評(píng)定由公式(C.1)推出電阻真空變送器測(cè)量結(jié)果的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為uc(Δu),按公式(C.2)計(jì)算:(C.2)式中:uc(Δu)—被校準(zhǔn)變送器示值誤差的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度;u(ud)—被校準(zhǔn)變送器實(shí)際測(cè)量值的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度;u(pstd)—壓力標(biāo)準(zhǔn)裝置引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度;k—常數(shù),由變送器制造商提供。C.2.1輸入量ud的標(biāo)準(zhǔn)不確定度位數(shù)。C.2.1.1電壓表引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1(ud)可按10V擋MPE±0.01%均勻分布估計(jì),或按照校準(zhǔn)證書引入。C.2.1.2測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2(ud)對(duì)被校準(zhǔn)變送器進(jìn)行三次重復(fù)測(cè)量,取歸一化后的平均值作為測(cè)量結(jié)果,按JJF1059.1—2012要求,在測(cè)量次數(shù)較少時(shí)采用極差法計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)不確定度,該項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)不確定度按公式(C.3)計(jì)算:(C.3)JJF2167—202410式中:s(ui)—被校準(zhǔn)變送器單個(gè)電壓測(cè)量值的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差,V; s(u)—被校準(zhǔn)變送器測(cè)量平均值的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差,V;umax—重復(fù)測(cè)量列中的最大值,V;umin—重復(fù)測(cè)量列中的最小值,V;3(u)電壓表讀數(shù)一般取兩位或三位小數(shù),當(dāng)實(shí)際測(cè)量電壓值讀數(shù)取兩位小數(shù)時(shí),需考慮四舍五入引入的讀數(shù)誤差,按舍取的最大值0.005V均勻分布估計(jì)。C.2.2輸入量pstd的標(biāo)準(zhǔn)不確定度pstd的標(biāo)準(zhǔn)不確定度主要來(lái)源于壓力標(biāo)準(zhǔn)裝置,同時(shí)需考慮校準(zhǔn)室容器內(nèi)氣體的不均勻性、容器幾何尺寸等引起的壓力波動(dòng)而引入的不確定度。當(dāng)以電容薄膜真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)時(shí),需考慮電容薄膜真空計(jì)的年穩(wěn)定性引入的不確定度。若校準(zhǔn)時(shí)壓力點(diǎn)的穩(wěn)定度不能滿足要求,按照標(biāo)準(zhǔn)裝置(pstd1)—待校準(zhǔn)變送器—標(biāo)準(zhǔn)裝置(pstd2)的順序記錄讀數(shù),則需要按照公式(C.4)估算該項(xiàng)不確定度:p1-p2(C.4)注:u(pels,std)是u(pstd)中的一項(xiàng)附加分量。C.2.2.1壓力標(biāo)準(zhǔn)裝置的不確定度分量u1(pstd)根據(jù)裝置建標(biāo)報(bào)告引入。C.2.2.2因校準(zhǔn)室容器內(nèi)氣體的不均勻性、容器幾何尺寸等引起的壓力波動(dòng)而引入的,電容薄膜真空計(jì)年穩(wěn)定性引入的不3)=0.2%估計(jì)。以比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置為例,在1.00Pa壓力點(diǎn)對(duì)電阻真空變送器進(jìn)行校準(zhǔn),不確定度評(píng)定如下。(C.1被)。校準(zhǔn)變送器理論計(jì)算值計(jì)算公式:ustd=1.286×lgpstd+3.572,測(cè)量模型見公式1.5%(k=2),則依據(jù)電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)證書,在標(biāo)準(zhǔn)壓力1.00Pa處修正因子fc=1.5%(k=2),則壓力標(biāo)準(zhǔn)值1.00Pa,被校準(zhǔn)變送器實(shí)際測(cè)量值分別為3.60V、3.58V、3.59V,則:JJF2167—202411=-0.5585V/PaC.3合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度的計(jì)算C.3.1電阻真空變送器的不