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第五節(jié)光電傳感器
Photoelectrictransducer/sensor一、光電測(cè)量原理二、光電元件三、光電傳感器的應(yīng)用四、應(yīng)用實(shí)例一、光電測(cè)量原理光電傳感器是將被測(cè)量的變化通過光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。光子傳感器工作的物理基礎(chǔ):光電效應(yīng)。光電效應(yīng):在光的照射下,物體吸收光子能量后所產(chǎn)生的電效應(yīng)。外光電效應(yīng):電子吸收光子能量,逸出物體表面的現(xiàn)象。亦稱光電子發(fā)射效應(yīng)。光電管和光電倍增管。內(nèi)光電效應(yīng):物體吸收光能使其導(dǎo)電性增加,電阻率下降的現(xiàn)象。亦稱光導(dǎo)效應(yīng)。光敏電阻及由光敏電阻制成的光導(dǎo)管。光生伏特效應(yīng):光線使物體產(chǎn)生一定方向的電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象。亦稱阻擋層光電效應(yīng)。光電池、光敏二極管、光敏三極管、光敏場(chǎng)效應(yīng)三極管等。1.光電管(Phototube)利用外光電效應(yīng),有真空光電管和充氣光電管。基本工作過程:真空光電管:一定波長的光線→光電陰極發(fā)射電子→被陽極吸收→形成光電流。充氣光電管(充有惰性氣體):陰極發(fā)射的電子撞擊惰性氣體,使其電離,從而使陽極電流急劇增加,提高了靈敏度。光電陰極:由光電材料涂敷在玻璃泡內(nèi)壁或半圓筒形的金屬片上構(gòu)成。放大器RL陽極光電陰極i2.光電倍增管(Photomultiplier)光電倍增管:在陰極和陽極之間增加若干倍增極。光線→陰極發(fā)射電子→各倍增極→陽極。各倍增極外加電位逐級(jí)升高,陰極發(fā)射的電子經(jīng)過各倍增極后,各倍增極激發(fā)的電子逐級(jí)增加,形成大的陽極電流。光線D2K-光電陰極光敏材料涂敷D1-D4-光電倍增極D1D3D4A-陽極光電倍增管工作原理圖Uo光電管和光電倍增管產(chǎn)品GD-3GD-21Honeywell紫外光電管光電管PerkinElmerChannelPhotomultipliersGDB-576GDB-221光電倍增管光電倍增管3.光敏電阻工作原理:基于內(nèi)光電效應(yīng)。工作過程:在黑暗的環(huán)境下,它的阻值很高,即暗電阻很大,i很?。划?dāng)受到光照并且光輻射能量足夠大時(shí),電阻率變小,即亮電阻急劇減小,i增加。
電極光線光敏電阻i光敏電阻工作過程4.光敏二極管(Photodiode)和光敏三極管(Phototransistor)光敏二極管工作模式:反偏壓狀態(tài)(光導(dǎo)模式)。當(dāng)做電阻使用。零偏壓狀態(tài)(發(fā)電模式)。當(dāng)做信號(hào)源使用。光導(dǎo)模式VccR=RfVoRf+–VoRf+–發(fā)電模式光敏三極管有PNP型和NPN型兩種。工作過程:無光照時(shí),基極電流極小,幾乎截止;有光照時(shí),基極電流增大,集電極電流是基極的β倍,即具有放大作用。光敏三極管原理圖NPNbceVocbe光敏二極管和光敏三極管產(chǎn)品圖片光敏二極管RL2048PAG-0212048Pixel_40MHzLinearphotodiodearrays各式各樣光敏三極管光電池三、光電傳感器的應(yīng)用應(yīng)用方式:模擬式:利用光電流與光強(qiáng)(或光通量)之間的函數(shù)關(guān)系。當(dāng)光強(qiáng)(或光通量)與某種被測(cè)量(包括光本身)具有一定的關(guān)系時(shí),則光電流即成為被測(cè)量的函數(shù),把被測(cè)量轉(zhuǎn)換成連續(xù)變化的光電流,故也稱為光電傳感器的函數(shù)運(yùn)用狀態(tài)。輻射式;吸收式;反射式;遮光式。開關(guān)式:利用光的有無(或強(qiáng)弱)兩種狀態(tài)使光電元件工作在“通”、“斷”兩種穩(wěn)定狀態(tài)。也稱為脈沖式應(yīng)用。光電傳感器的模擬式應(yīng)用如混濁度測(cè)量、氣體分析如粗糙度、表面裂紋測(cè)量如外形尺寸、振動(dòng)位移測(cè)量等如光電比色高溫計(jì)、輻射溫度計(jì)光電傳感器的開關(guān)式應(yīng)用輸出脈沖信號(hào)或數(shù)字信號(hào)(編碼器)。光電耦合器透射式轉(zhuǎn)速計(jì)反射式轉(zhuǎn)速計(jì)光電傳感器半反射半透射鏡聚焦投鏡反射帶n光源光電編碼器將位移轉(zhuǎn)換成脈沖信號(hào)或數(shù)字信號(hào)輸出的傳感器稱為編碼器??捎糜谖灰坪退俣葯z測(cè)。有直線編碼器和旋轉(zhuǎn)編碼器。分為增量式和絕對(duì)式(數(shù)字式)編碼器。增量式編碼器編碼盤主信號(hào)窗口零位信號(hào)窗口二進(jìn)制絕對(duì)編碼盤0000111110010101光電編碼器產(chǎn)品TURCK增量型編碼器TURCK絕對(duì)型編碼器光柵尺光電編碼器產(chǎn)品光電傳感器的特點(diǎn)及應(yīng)用特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積?。ü怆姽艹猓瑹o接觸,信號(hào)測(cè)量電路簡(jiǎn)單等。應(yīng)用:在現(xiàn)代測(cè)量和控制系統(tǒng)中得到了廣泛應(yīng)用。如遙控器,自動(dòng)門(熱釋電紅外探測(cè)器),光電鼠標(biāo)器,照相機(jī)自動(dòng)測(cè)光計(jì),光度計(jì),光電耦合器,光電開關(guān)(計(jì)數(shù)、位置、行程開關(guān)等),濁度檢測(cè),火災(zāi)報(bào)警,光電閱讀器(如紙帶閱讀機(jī)、條形碼讀出器、考卷自動(dòng)評(píng)閱機(jī)等),光纖通信,光纖傳感,圖像傳感,色差,顏色標(biāo)記,防盜報(bào)警,電視機(jī)中亮度自動(dòng)調(diào)節(jié),路燈、航標(biāo)燈控制,光控?zé)糇魳肥㈢娍刂疲ㄍ砩喜蛔鄻罚?,紅外遙感、干手器、沖水機(jī)等。第六節(jié)光纖傳感器一、光纖傳感器的類型二、光纖導(dǎo)光原理三、光纖傳感器的應(yīng)用四、光纖傳感器的特點(diǎn)16第六節(jié)光纖傳感器(Opticalfibertransducer/sensor)
光纖傳感器是“利用光纖技術(shù)和有關(guān)光學(xué)原理,將感受到的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的傳感器”(GB/T7665-2005)光纖是光導(dǎo)纖維的簡(jiǎn)稱,能夠傳輸光波且光波損失極小的光導(dǎo)體。與銅等電線不同,光纖是不用電的。光纖以光信號(hào)作為載體傳送信息,目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于通信(音頻、視頻)網(wǎng)、計(jì)算機(jī)互聯(lián)網(wǎng)、有線電視網(wǎng)等。光纖傳感器也得到了廣泛的應(yīng)用。在其它領(lǐng)域,如汽車上、智能運(yùn)輸系統(tǒng)、自動(dòng)收費(fèi)站等也應(yīng)用得越來越廣泛。光纖的核心部分稱為纖芯,是一根柔性的、透明的玻璃或塑料細(xì)絲,纖芯比一根頭發(fā)絲還細(xì)。一、光纖傳感器的類型功能型(又叫傳感型或全光纖型):光纖作為敏感元件,利用光纖的傳光特性隨著被測(cè)量(如應(yīng)變、壓力、溫度、電場(chǎng)、射線等)而變化,從而使光纖內(nèi)傳輸?shù)墓獾奶卣鲄⒘浚◤?qiáng)度、相位、頻率、偏振態(tài)、波長等)發(fā)生變化。只要檢測(cè)出這些變化即可確定被測(cè)量的大小。光纖既傳光又傳感。非功能型(又叫傳光型或混合型):光纖只是傳輸光的導(dǎo)體,還需利用其它敏感元件(如光電元件)感知被測(cè)量。光纖光敏元件光源被測(cè)對(duì)象功能型光纖傳感器示意圖功能型光纖傳感器實(shí)例FBG焊接式應(yīng)變傳感器FBG溫度傳感器光纖應(yīng)變傳感器FBG土壓傳感器光纖加速度傳感器浸入式光纖光柵溫度傳感器傳光型光纖傳感器應(yīng)用演示對(duì)射式光纖傳感器演示1對(duì)射式光纖傳感器演示2反射式光纖傳感器演示1反射式光纖傳感器演示2n2 n1
二、光纖的導(dǎo)光原理光的全內(nèi)反射:當(dāng)光線從一種物質(zhì)中碰到另一種不同的物質(zhì)時(shí),無損失地全部反射回原來的物質(zhì)中,則稱為光的全內(nèi)反射。全內(nèi)反射的條件:光線從光密物質(zhì)(折射率大)射向光疏物質(zhì)(折射率?。蝗肷浣谴笥谂R界角。
ic光的折射與全內(nèi)反射
i
rSnell折射定律:
臨界入射角:二、光纖的導(dǎo)光原理光纖的基本結(jié)構(gòu)纖芯:用于傳遞光信號(hào),直徑一般在幾
m到100
m左右,由石英玻璃或塑料拉制而成。包層:包裹在纖芯外,確保光信號(hào)保持在纖芯內(nèi)。包層折射率n2小于纖芯折射率n1,材料為石英玻璃或塑料。涂層:主要作用是增加光纖強(qiáng)度,保護(hù)纖芯和包層在加工、安裝及運(yùn)輸中不受損傷。涂層包層纖芯二、光纖的導(dǎo)光原理光在光纖內(nèi)的傳輸:利用光的全內(nèi)反射子午光線在階躍光纖中的傳播原理圖
i全反射端面折射2
ic
2
2光纖端面臨界入射角數(shù)值孔徑n0n1n2涂敷層包層纖芯光在光纖內(nèi)的全內(nèi)反射演示光纖數(shù)值孔徑演示微彎光纖傳感器一根裸露的多模光纖夾在兩塊微彎板之間,微彎板的位移使光纖產(chǎn)生微彎曲變形,破壞了全反射條件,使一部分光進(jìn)入包層中,進(jìn)而輻射到光纖之外,從而使光纖中傳播的光強(qiáng)度發(fā)生變化。檢測(cè)光強(qiáng)度的變化,就能確定微彎板位移大小或微彎板受到的壓力大小。引起微彎板變化的物理量可以是壓力、液位(液壓)、位移、聲壓、溫度、應(yīng)變、振動(dòng)加速度等,因此微彎光纖傳感器可用于這些物理量的測(cè)量。光纖微彎板FF包層纖芯光纖傳感器的特點(diǎn)不受電磁干擾,電絕緣,保密性強(qiáng),靈敏度高,頻帶寬,可彎曲,便于遙測(cè),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小,重量輕,耗電少,耐腐蝕,防爆性好,被測(cè)量范圍廣,易于實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離測(cè)控等。安全警告:絕不要去探視可能有激光傳播的光纖的末端。紅外激光是不可見的,可能對(duì)眼睛造成損害。對(duì)不可見光,眼睛的虹膜不會(huì)像看可見光那樣不自覺地閉合,因此,可能對(duì)眼睛的視網(wǎng)膜造成嚴(yán)重的損害。如果懷疑不小心將眼睛暴露給激光,應(yīng)該立即到醫(yī)院檢查眼睛。纖芯和包層都用塑料(聚合物)做成的光纖。塑料光纖的主要特點(diǎn):與石英光導(dǎo)纖維相比其優(yōu)點(diǎn)是重量輕、撓性好、數(shù)值孔徑大(數(shù)值孔徑可達(dá)0.5以上)、光源耦合效率高、連接容易、加工方便、成本低廉;主要缺點(diǎn)是光損耗大(衰減系數(shù)在幾十dB/km以上),尚不適合作長距離的光傳輸,工作頻率較石英玻璃光纖低,熱穩(wěn)定性差等。這些缺點(diǎn)隨著塑料光纖技術(shù)的提高而逐漸得到克服。應(yīng)用:近距離通信(車載、船載、機(jī)載通信網(wǎng),網(wǎng)絡(luò)入戶接入,辦公及家庭網(wǎng)絡(luò)等)、裝飾和導(dǎo)光照明等,也可用于光纖傳感器。目前應(yīng)用最廣泛的場(chǎng)合還是裝飾、照明,如室內(nèi)裝飾、水景照明、城市建筑、園林照明、道路照明、溶洞照明、古建筑物及文物照明、易燃易爆場(chǎng)合照明、利用太陽光照等等。塑料光纖實(shí)驗(yàn)安排實(shí)驗(yàn)一:電阻應(yīng)變片的粘貼技術(shù)實(shí)驗(yàn)時(shí)間:第10周星期一5、6節(jié)(其余課余時(shí)間)實(shí)驗(yàn)指導(dǎo)教師:鄭貴明實(shí)驗(yàn)二:懸臂梁動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)時(shí)間:第16周星期三1、2節(jié)(其余課余時(shí)間)實(shí)驗(yàn)指導(dǎo)教師:王輝林聯(lián)系電話:2782767實(shí)驗(yàn)地點(diǎn):機(jī)械交通實(shí)驗(yàn)樓南樓422房間實(shí)驗(yàn)室:測(cè)控與精密儀器實(shí)驗(yàn)室由各班課代表或?qū)W習(xí)委員負(fù)責(zé)聯(lián)系確認(rèn)具體時(shí)間,并通知班里同學(xué)和任課教師。27第七節(jié)半導(dǎo)體傳感器一、磁敏傳感器二、熱敏傳感器三、氣敏傳感器四、濕敏傳感器五、固態(tài)圖像傳感器六、集成傳感器28第七節(jié)半導(dǎo)體傳感器利用半導(dǎo)體材料作為敏感元件或轉(zhuǎn)換元件制成的傳感器稱為半導(dǎo)體傳感器。半導(dǎo)體傳感器大部分都屬于物性型傳感器。品種多多,應(yīng)用廣泛。例如壓阻式傳感器,霍爾傳感器,光電二極管,光電三極管,光電池,CCD、CMOS圖像傳感器,熱敏電阻,半導(dǎo)體氣敏、濕敏、磁敏、色敏、離子敏傳感器等等。一、磁敏傳感器1.霍爾式傳感器利用霍爾效應(yīng)制成的磁敏傳感器?;魻?Hall)效應(yīng)—金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場(chǎng)中,當(dāng)有電流流過薄片時(shí),則在垂直于電流和磁場(chǎng)方向的兩側(cè)面上將產(chǎn)生電位差,這種現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng),產(chǎn)生的電位差稱為霍爾電勢(shì)。機(jī)理:洛侖茲力FL。ivFLFEBVHlhwabdckB—霍爾常數(shù)。取決于材料的物理性質(zhì)和元件尺寸;B—磁感應(yīng)強(qiáng)度;
—電流與磁場(chǎng)方向夾角。霍爾傳感器的應(yīng)用電流、磁感應(yīng)強(qiáng)度、位移、力、加速度、計(jì)數(shù)、轉(zhuǎn)速、流量、位置、電子點(diǎn)火器、無刷電機(jī)等。電流傳感器I被測(cè)電流霍爾元件霍爾元件FSNNS力的測(cè)量被測(cè)零件非金屬板霍爾傳感器磁鋼NS計(jì)數(shù)裝置磁鐵霍爾元件數(shù)控車床自動(dòng)換刀控制磁鐵隨刀架一起轉(zhuǎn)動(dòng)霍爾傳感器產(chǎn)品霍爾電流傳感器霍爾開關(guān)傳感器各種霍爾傳感器二、熱敏電阻傳感器工作原理:利用半導(dǎo)體材料本身的電阻率隨溫度而變化的特性。特點(diǎn):靈敏度高(電阻溫度系數(shù)大,比一般金屬電阻大10~100倍);結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小,可進(jìn)行點(diǎn)測(cè);熱容量小,響應(yīng)快,適宜動(dòng)態(tài)測(cè)量;線性差;穩(wěn)定性和互換性較差。類型:PTC、NTC和CTR。結(jié)構(gòu):直熱式:圓柱形、圓片形、珠粒狀、薄膜形、墊圈形、扁形、桿形、管形、松葉狀等。珠粒狀體積小,熱時(shí)間常數(shù)小,適合制造點(diǎn)、表面溫度計(jì),如電子體溫計(jì)幾乎100%都采用這種形式(NTC)。旁熱式:帶有金屬絲加熱器。熱敏電阻的應(yīng)用溫度(點(diǎn)溫、表面溫度、溫差、溫度場(chǎng)等)、自動(dòng)控制及電子線路中的熱補(bǔ)償(溫度補(bǔ)償)、真空度、風(fēng)速、流體成份、火災(zāi)報(bào)警等和熱量有關(guān)的量的測(cè)量及控制。三、氣敏傳感器用于氣體組分、濃度、泄露等檢測(cè)。半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用氧化物半導(dǎo)體材料為氣體敏感元件。半導(dǎo)體氣敏元件同氣體接觸,造成半導(dǎo)體性質(zhì)發(fā)生變化,借此檢測(cè)特定氣體的成份或測(cè)量其濃度。電阻變化式表面電位式二極管式MOSFET式等酒精測(cè)試儀煤氣報(bào)警器四、濕敏傳感器濕度(Humidity):空氣中水蒸汽的含量??諝獾慕^對(duì)濕度:1m3濕空氣中所含水蒸氣的質(zhì)量。相對(duì)濕度:空氣中實(shí)際所含的水蒸氣量與同溫度下可能含的最大水蒸氣量(即飽和濕空氣中的水蒸汽量)的比值。半導(dǎo)體濕敏傳感器目前多采用半導(dǎo)體陶瓷制成,屬電阻式。燒結(jié)式涂覆膜式厚膜型薄膜型應(yīng)用:工農(nóng)業(yè)、氣象、環(huán)保、國防、科研、航空航天等濕度監(jiān)測(cè)和控制。HR202濕敏電阻:采用有機(jī)高分子材料五、固態(tài)圖像傳感器固態(tài)圖像傳感器:利用半導(dǎo)體制作的圖像傳感器。如CCD、CMOS圖像傳感器等。目前CCD和CMOS圖像傳感器多采用光敏二極管或三極管作為光敏元件。圖像傳感器分為線陣和面陣。線陣CCD圖像傳感器面陣CCD圖像傳感器線陣CMOS圖像傳感器面陣CMOS圖像傳感器圖像傳感器的應(yīng)用通過圖像傳感器獲得圖像后,對(duì)圖像中包含的信息進(jìn)行分析提取,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)很多被測(cè)量的檢測(cè),如位置、幾何尺寸、幾何形狀、表面質(zhì)量檢測(cè);顏色(如水果自動(dòng)分揀);刑偵及安全管理:指紋、臉部識(shí)別;交通管制:車型、車牌識(shí)別;銀行:筆跡、圖章識(shí)別;醫(yī)學(xué)上診斷疾病,如顯微鏡照片分析(白血球、染色體、細(xì)胞等),X光照片分析,超聲波圖象、眼底照片的分析,CT(計(jì)算機(jī)X射線斷層造影術(shù))的圖象處理等;掃描儀(如文字識(shí)別)、傳真機(jī);地球資源勘查、環(huán)境監(jiān)測(cè)(通過航拍或衛(wèi)星等),如農(nóng)作物收成預(yù)估,自然災(zāi)害評(píng)估,森林火災(zāi)監(jiān)測(cè)等;軍事偵察(間諜衛(wèi)星、紅外偵察);宇宙觀測(cè);印刷色彩檢測(cè);機(jī)器視覺等等。固態(tài)圖象傳感器的應(yīng)用產(chǎn)品PCCameraDVDSC汽車后視攝像機(jī)指紋門禁可視電話安全監(jiān)控手機(jī)第八節(jié)紅外測(cè)試系統(tǒng)一、紅外輻射的基本知識(shí)二、紅外傳感器三、紅外測(cè)試的應(yīng)用40第八節(jié)紅外測(cè)試系統(tǒng)利用紅外線/紅外傳感器構(gòu)成紅外測(cè)試系統(tǒng)。一、紅外輻射基礎(chǔ)知識(shí)紅外輻射俗稱紅外線,它是一種不可見光,由于其波長位于可見光中紅色光以外,故稱紅外線。它的波長范圍大致在0.78~1000
m。自然界中任何物體,只要其溫度在絕對(duì)零度之上,都能產(chǎn)生紅外光輻射。紅外輻射具有明顯熱效應(yīng)。物體溫度越高,它輻射出來的能量越大。紅外測(cè)溫等正是利用了紅外輻射的熱效應(yīng)。第八節(jié)紅外測(cè)試系統(tǒng)二、紅外傳感器按探測(cè)機(jī)理的不同,紅外傳感器分為熱傳感器和光子傳感器兩大類。熱紅外傳感器主要類型:熱釋電、熱敏電阻、熱電偶和熱電堆、高萊氣動(dòng)型等紅外傳感器。光子紅外傳感器:光電效應(yīng)。三、紅外測(cè)試的應(yīng)用紅外測(cè)溫:遠(yuǎn)距離和非接觸測(cè)溫;響應(yīng)速度快。紅外成像:將紅外圖像(物體的表面溫度分布)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),進(jìn)而在顯示器上以圖像形式顯示出來。紅外分析儀:根據(jù)物質(zhì)的吸收特性來進(jìn)行工作的。紅外無損檢測(cè)、紅外偵察、紅外雷達(dá)等等。紅外測(cè)試產(chǎn)品和應(yīng)用案例壓縮機(jī)
熨斗
這是一個(gè)正在測(cè)試中的電腦集成電路。通過紅外圖像,可以立即發(fā)現(xiàn)其中的故障。便攜紅外測(cè)溫儀紅外熱像儀熱像儀成像圖軍用夜視儀紅外夜視儀夜視效果AN/PVS-14單兵夜視儀拍攝的夜戰(zhàn)照片紅外傳感器應(yīng)用案例——疾病診斷脈管炎患者的腿部遠(yuǎn)紅外熱像圖,患腿由于血管疾病而血流不暢,導(dǎo)致低溫。紅外傳感器的應(yīng)用案例——藝術(shù)鑒定利用紅外線能穿透顏料的特性,揭示顏料層下隱藏的資料。利用紅外線發(fā)射器、接收器(傳感器)及屏幕顯示器,油畫上炭筆初稿及已往曾經(jīng)進(jìn)行過的修復(fù)工作都能一一呈現(xiàn)于眼前InvisibleradiationphotographyisoftenappliedtothestudyofworksofartashereinthepaintingLaMadonnadell'ImpannatabyRaphael.InvisibleradiationimagingrevealsamuchyoungerSaintJohntheBaptistsittingonJoseph'slapfoundbeneaththesurfaceofthevisiblepainting(right).Images?Editech.紅外傳感器的應(yīng)用案例——藝術(shù)鑒定第九節(jié)激光式傳感器(Lasersensor)一、激光干涉式測(cè)量?jī)x器二、激光全息測(cè)量?jī)x器48第九節(jié)激光式傳感器(Lasersensor)能感受激光(量)并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的傳感器。(GB/T7665-2005)。激光傳感器是由激光器、光學(xué)零部件、光電檢測(cè)器等組成,實(shí)際上是一套復(fù)雜的測(cè)量裝置。激光由于具有方向性好、單色性好、亮度高等特點(diǎn),在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。例如激光測(cè)距、測(cè)速、準(zhǔn)直、定向、定位、打孔、切割、焊接、熱處理等,還有可能作為長度基準(zhǔn)和光頻基準(zhǔn)。激光器有:固體激光器、氣體激光器、半導(dǎo)體激光器即激光二極管LD,另
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