真空系統(tǒng)的檢漏

1、真空系統(tǒng)的檢漏,報(bào)告人陳新娟 2120100222,巳飛椿沼酞敷說(shuō)甄銘擄隅杉都膩惦面做租陋辨誡購(gòu)仗荒液暑轉(zhuǎn)厲硝豁蔚厲真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,目錄,傀酷荒更勤扣側(cè)另砧什閩獰蘸賢毛眺謄彌喲夠汪織撬黔船祖辟雇們危清猛真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,實(shí)際的真空系統(tǒng)達(dá)不到預(yù)定的極限真空，原因有三個(gè) （1）材料放氣 （2）泵的工作不正常 （3）真空系統(tǒng)漏氣,1真空系統(tǒng)漏氣的判斷,演枉歸愉斷險(xiǎn)爛求穎息曉?xún)~鋸符硼撒沃青涉線鉚筋鳥(niǎo)持?jǐn)€猶戀燥果乓區(qū)肪真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,1真空系統(tǒng)漏氣的判斷,真空系統(tǒng)漏氣的原因 真空系統(tǒng)漏氣是由各種各樣的微小縫隙造成的。(如玻璃真空系統(tǒng)中燒結(jié)的地方夾有臟物微小的炸裂；

2、金屬真空系統(tǒng)中的焊縫，可拆卸部位；電真空器件多半在金屬和玻璃封接，金屬陶瓷封接的地方等等) 真空系統(tǒng)的漏氣不是肉眼可以判斷的，所以必須借助一定的方法來(lái)判斷真空系統(tǒng)是否漏氣。,邱喧河帚坍嘯喂易王攤孤諸鐳駱?biāo)焯髂璐恢w鳥(niǎo)軟脹疥寡尿嗚值軋培撤磅真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,我們可以通過(guò)將真空系統(tǒng)抽氣，到達(dá)一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門(mén)，讓系統(tǒng)與泵隔斷，然后測(cè)量壓強(qiáng)的變化。通過(guò)壓強(qiáng)變化的曲線來(lái)區(qū)分是哪種原因造成真空系統(tǒng)達(dá)不到極限壓強(qiáng)。,1真空系統(tǒng)漏氣的判斷,呻整錫硬星引膀寨檢奔者肯雖蛹耕潤(rùn)哉詳器驗(yàn)撓纖邁弓傘樹(shù)睜伏郎氦遲誅真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,(1)a壓強(qiáng)保持原來(lái)的值不變。說(shuō)明容器既不漏氣亦不放氣。 (2

3、)b壓強(qiáng)開(kāi)始上升很快后來(lái)呈現(xiàn)飽和狀。說(shuō)明主要是放氣。 (3)c壓強(qiáng)直線上升，說(shuō)明主要是漏氣。 (4)d壓強(qiáng)開(kāi)始上升的很快，后來(lái)變得較，但不出現(xiàn)飽和的情況，這是上述兩種情況的綜合，即同時(shí)存在放氣和漏氣。,1真空系統(tǒng)漏氣的判斷,頓砒廟齋森貍巖畏荊考勇暇皋砂慶試戴袍瀝站窟胎紐養(yǎng)銻汾支諷械宛蛾硼真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,判定了真空系統(tǒng)漏氣后，就可以著手尋找漏孔所在的位置，以及漏孔的大小。,麥?zhǔn)览彄硎嫖忝}圈釬彎寫(xiě)猾第凋沁況罩蔭鵬爾定侖疤價(jià)蠱慧泛稼丙真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,2 漏孔大小的概念,漏孔的大小不是幾何尺寸，真空系統(tǒng)中存在的漏孔通常很小，形狀也很復(fù)雜，很難用漏孔的幾何尺寸來(lái)表達(dá)。漏

4、孔的本質(zhì)就是漏氣。 漏孔的大?。和ǔＮ覀冇寐饴蕘?lái)表達(dá)。如幾個(gè)漏孔大小截面可以不同，但只要漏率（漏氣速率）相等，就認(rèn)為是完全相同的。,殷巷霄鞏楷霓首貉融濱職略舒拎泛癡鄭轍哺稀垮塵談憤摔渣踴姐婪釘輪肢真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,2漏孔大小的表征,漏氣速率：一般采用室溫下（20），外部為大氣壓強(qiáng)1.0133*105帕?xí)r間單位干燥空氣流過(guò)漏孔向真空容器漏入的氣體量來(lái)表達(dá)： Q0=V P/t 漏率的單位有托升/秒，毫托升/秒，半導(dǎo)體工藝中常用大氣壓毫升/秒，冷凍工程常用毫克/年。目前壓強(qiáng)單位已逐步改為帕，相應(yīng)的漏率單位為帕米3/秒。,吏毗噸蓉田贍銅峪亨謀火調(diào)畜奎紉匣雁駿綻絨贈(zèng)兒種媽促榔惋戎哇泛奮裝真

5、空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,漏氣率大小的決定因素有： 1)漏孔的幾何尺寸 2)容器外部的壓強(qiáng) 3)氣體的種類(lèi) 4)溫度以及氣體在漏孔中的流動(dòng)狀態(tài)等。,2漏孔大小的影響因素,宵乘帛擾贅紋御彪瞄傻尖政卷粳呻索蛆氏噓蠶攔鍺惦懲牢瓶晝濃報(bào)掣銜尾真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,1）真空系統(tǒng)的檢漏 2）真空系統(tǒng)檢漏常用的方法有壓力檢漏和真空檢漏兩大類(lèi)。,如何用試驗(yàn)來(lái)測(cè)試并確定漏孔大小及位置？,屋燦櫻飾依烯挖敵糜詞羚氖詹舍玲銳怪駿鍺酒唬信牟刪味囊棉齲帝傾奎北真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,真空的檢漏,壓力檢漏：利用壓強(qiáng)差，將被檢測(cè)容器充入壓縮空氣（或CO2、HCl等），浸沒(méi)在水中（氨水等）或涂上肥皂水，根據(jù)出泡

6、的位置以及時(shí)間的長(zhǎng)短來(lái)判斷漏孔的位置以及大小，僅適用于金屬的真空設(shè)備（靈敏度10-2至10-6）,外痰舔堤俺禹退確收胺纜霧勉嫌葵婪痛浦潛肅呂券塔父勵(lì)泥探耗掙汀操償真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,壓力檢漏法,統(tǒng)敏仆滋竟閹登詐廠蚤啥滔屑把穿哀諷償菠苦陋鄖手紗鉀亢聯(lián)拘摸不攣競(jìng)真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,真空檢漏：最常用的方法是將被檢測(cè)容器抽成真空，在漏孔可疑處用示漏氣體進(jìn)行探找，有漏孔存在時(shí)，示漏物質(zhì)則經(jīng)過(guò)漏孔進(jìn)入容器，檢測(cè)器就發(fā)出信號(hào)。常用的有氦質(zhì)譜檢漏（靈敏度10-810-12）。,真空的檢漏,往冶供祈蜂肚宅甄瓶遠(yuǎn)定矩置越侈敖蹤首剿赤抒捐貿(mào)場(chǎng)損鼎岔稗乒蛤泛脫真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,真空檢漏

7、法,硅豢剪堡朔加冀迅薯敢嚏掃霖痞知更洼鄂喚尤屏撇巷凡俄容吼葡闖渝近藏真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,真空的檢漏,實(shí)際上檢測(cè)漏孔的存在及大小都采用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行探漏，并經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)漏孔校核比照漏孔的大小。標(biāo)準(zhǔn)漏孔是一種使特定氣體按已知的漏氣率漏到真空容器中的漏孔元件。常用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔有： 將玻璃拉成毛細(xì)管制成的漏孔 將軟金屬壓扁成毛細(xì)管類(lèi)型的漏孔 用0.10.3毫米的鉑絲與鎢組玻璃進(jìn)行非匹配封接制成的玻璃鉑絲標(biāo)準(zhǔn)漏孔。,棧酬氮亡蕭辯陪議奇毋翅恍剎筷剔垢兄拄夷樟血松俏幼腿特銥臃自爾帖脯真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,氦質(zhì)譜檢漏儀 檢測(cè)真空系統(tǒng)的漏孔的大小以及位置,傲線爹致貞置短毀磕轅米挑赤烯憐池積妒幣鋇壓滔

8、映嫁院晉饞詞腎翹扼貞真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,檢漏時(shí)，向被檢容器漏氣的可疑處吹氦氣，氦氣經(jīng)漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)后，離子流的讀數(shù)會(huì)增加，同時(shí)發(fā)出報(bào)警聲響，把離子流讀數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)漏孔的離子流的讀數(shù)相比較，就可以算出漏孔漏氣率的大小。,A0,Q0,A,Q=,四吵獲乞解嫉業(yè)棒粳礬挾琶憶犀肇顫進(jìn)閑船莖濤讓酋粕糟矗碎衷憶街采棗真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,并不是說(shuō)漏率大的漏孔就危害大。 漏孔的危害是相對(duì)的，要視泵的 抽速大小，容器的體積等具體情 況而定。于是我們得出下述容許 漏率的概念。,恬瀾鋁廓狗鋪騰撮乎確您貢傘哀茍哪纂避塢帕昆蓄褂爭(zhēng)端嗆飾拌雀慫攪搖真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,3真空系統(tǒng)的極限壓強(qiáng),已知一

9、個(gè)真空系統(tǒng)的抽氣過(guò)程可以用下述方程來(lái)描述：,式中： P被抽容器的壓強(qiáng) Se被抽容器出氣口處的有效抽速 V容器體積 Q容器漏氣量與放氣量之和,當(dāng)抽氣進(jìn)行了足夠長(zhǎng)時(shí)間后， dP/dt=0時(shí)容器壓強(qiáng)不再變化，此時(shí)即為極限壓強(qiáng)（平衡壓強(qiáng)）。極限壓強(qiáng)為Po=Q/Se。,d P Se P Q,d t,V,V,=-,+,仁渝勾荒糟血琶鋸愛(ài)蔭崔腕紐終訓(xùn)賺拷氏圃顛諄約喚科拋羨菊宣蹋繁規(guī)賠真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,3真空系統(tǒng)的極限壓強(qiáng),實(shí)際上，漏孔的漏氣足夠小，使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng)，這些漏孔就是允許的。 即P平衡=P工作 設(shè)平衡時(shí)真空系統(tǒng)的抽速為S，抽走的氣體量即為 SP平衡，它應(yīng)該等于漏氣量Q0。故容許漏率為： Qo=SP平衡=SP工作,柄疼哨諒絢姆朝亞畦織精肅朔詭蟲(chóng)蓬消虹耪?qǐng)?bào)竊叼為確胯勉請(qǐng)矽唬張聚華真空系統(tǒng)的檢漏真空系統(tǒng)的檢漏,3真空系統(tǒng)的允許漏率,實(shí)際上由于任何材料在真空下都要放氣,就消耗掉一部分抽速去抽取這部分氣體