GB 50781-2012 電子工廠化學品系統(tǒng)工程技術規(guī)范.pdf

中華人民共和國國家標準EJ UDC P GB 50781 - 2012 電子工廠化學品系統(tǒng)工程技術規(guī)范 Technical code for Chemical System of Electronic Factory 2012一06-28 發(fā)布 2012 - 12 -01實施 。只u qo- 斗一元 , f -n u 句f -AU l m - 。一 5 0。 一-A F、- . TA - AM川1 四 Aj nv一 H口 - 一一定 統(tǒng) 一 中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部 聯(lián)合發(fā)布 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中華人民共和國國家標準 電子工廠化學品系統(tǒng)工程技術規(guī)范 Technical code for Chemical System of Electronic Factory GB 50781 - 2012 主編部門:中華人民共和國工業(yè)和信息化部 批準部門:中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部 施行日期:2 0 1 2 年1 2 月1 日 中國計劃出版社 2012北京 標準分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費下載 中華人民共和國 國家標準 電子工廠化學品系統(tǒng)工程技術規(guī)范 GB 50781-2012 會 中國計劃出版社出版 網(wǎng)址:www.jhpress. com 地址北京市西城區(qū)水樨地北里甲11號國宏大廈C座4層 郵政編碼:100038 電話(010)63906433 (發(fā)行部 新華書店北京發(fā)行所發(fā)行 北京tlt知l印務有限公司印刷 850mmX 1168mm 1/32 2.375印張59千字 2012年11月第l版2012年II月第l次印刷 會 統(tǒng)一書號1580177 938 定價:15.00元 版權所有侵權必究 侵權舉報電話(010)63906404 如有印裝質(zhì)量問題，請寄本社出版部調(diào)換 中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告 第1434號 關于發(fā)布國家標準電子工廠化學品 系統(tǒng)工程技術規(guī)范的公告 現(xiàn)批準電子工廠化學品 系統(tǒng)工程技術規(guī)范為國家標準，編 號為GB50781一2012，自2012年12月1日起實施。其中，第 3.2.8(1、2、3、4)、6.1. 2、6.1. 5、6.4.2(7)條(款)為強制性條文， 必須嚴格執(zhí)行。 本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā) 行。 中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部 2012年6月28日 剛昌 本規(guī)范是根據(jù)原建設部關于印發(fā)(2007年工程建設標準規(guī) 范制定、修訂計劃的通知(第二批)建標(2007J126號文的要求， 由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司會同有 關單位共同編制完成。 本規(guī)范在編制過程中，根據(jù)我國集成電路工廠、平板顯示器件 工廠和太陽能電池工廠的設計、建造和運行的實際情況，同時考慮 工廠目前的現(xiàn)狀，對國外工程公司也進行了調(diào)查研究，廣泛征求了 全國有關單位與個人意見，并反復修改，最后經(jīng)審查定稿。 本規(guī)范共分7章，主要內(nèi)容有:總則，術語、縮略語，化學品供 應系統(tǒng)，化學品回收系統(tǒng)，化學品監(jiān)控及安全系統(tǒng)，相關專業(yè)設計， 工程施工及驗收。 本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。 本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解 釋，工業(yè)和信息化部負責日常管理，信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究 院科技工程股份有限公司負責具體技術內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行過程 中有意見和建議請寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程 股份有限公司電子工廠化學品系統(tǒng)工程技術規(guī)范管理組(地址: 四川成都市雙林路251號，郵編:610021，傳真 .以 便今后修訂時參考。 本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人: 主編單位:信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份 有限公司 信息產(chǎn)業(yè)部電子工程標準定額站 參編單位:巾國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司 1 標準分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費下載 上海華虹NEC電子有限公司 成都愛德工程有限公司 上海正帆科技有限公司 冠禮控制科技(上海有限公司 液化空氣上海有限公司 上海兄弟微電子技術有限公司 上海至純潔凈系統(tǒng)科技有限公司 主要起草人:李驥崔永祥劉序中王開源李東升 王鵬亮張志輝楊春蓉朱海英張家紅 簡建至杜寶強宋燕周禮譽陳盛云 吳建華巨龍 主要審查人:陳霖新薛長立路世昌 周向榮劉俊超 馮衛(wèi)中顧愛軍陳奕強毛煌林張悅 2 目次 1總則(1 ) 2 術語、縮略語 (2 ) 2. 1 術語 (2 ) 2. 2 縮略語 (4 ) 3 化學品供應系統(tǒng) ( 5 ) 3. 1 一般規(guī)定 ( 5 ) 3. 2 化學品供應設備 (5 ) 3. 3 化學品供應管道系統(tǒng)(8 ) 3.4 設備與管道材質(zhì) (9 ) 3. 5 管道標識 4 化學品回收系統(tǒng) 4. 1 一般規(guī)定 (10) (11 ) (11 ) 4.2 化學品回收設備 (11) 4. 3 化學品回收管道(1幻 5 化學品監(jiān)控及安全系統(tǒng)(13 ) 5.1 一般規(guī)定 (13 ) 5. 2 監(jiān)控與安全設備(13) 5. 3 監(jiān)控與安全系統(tǒng)(14) 6 相關專業(yè)設計 U們 6. 1 建筑結(jié)構(16 ) 6. 2 電氣與儀表控制 (17) 6. 3 給水排水及消防(18) 6. 4 通風與空氣調(diào)節(jié) u 7 工程施工及驗收( 2 1 ) 7.1 一般規(guī)定( 2 1 ) 7. 2 設備、材料進場驗收( 2 1 ) 7.3 設備安裝 (22) 7. 4 化學品供應管道安裝(23) 7. 5 雙層管道的施工安裝(24) 7.6 酸堿類化學品管道內(nèi)管焊接安裝(2的 7.7 溶劑化學品管道安裝(26) 7.8 廢液管道施工(28) 7.9 管道設備標識(28) 7.四管路與系統(tǒng)檢測( 29) 7.11 改建工程的施工門0) 7. 12 工程驗收門的 本規(guī)范用詞說明(33) 引用標準名錄(34) 附:條文說明( 3日 2 Contents 1 General provisions( 1 ) 2 T erms and abbreviation( 2 ) 2.1 Terms ( 2 ) 2. 2 Abbreviation ( 4 ) 3 Chemical distribution system ( 5 ) 3. 1 General requirement( 5 ) 3. 2 Distribution equipmenl( 5 ) 3. 3 Distribution piping( 8 ) 3. 4 Equipment and piping materials( 9 ) 3. 5 Piping identification(10) 4 Chemical reclaiming system( 1 1 ) 4. 1 General requirement(11 ) 4. 2 Reclaiming equipment(11 ) 4. 3 Reclaiming piping(12 ) 5 Chemical moniter and safety system(13 ) 5. 1 General requirement (13 ) 5. 2 Equipment requirement(13 ) 5. 3 System requirement. (14) 6 Design of relating disciplines (16 ) 6. 1 Architecture and structure( 16) 6. 2 Electrical and inSLrUmenl control (17) 6. 3 Plumbing and fire protection (18) 6. 4 HVAC(19 ) 7 Engineering construction and acceptance( 2 1 ) 3 標準分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費下載 7.1 General requirement( 2 1 ) 7. 2 Site inspection and acceptance of equipment and materials( 2 1 ) 7. 3 Equipment installation( 22) 7.4 Piping installation of chemical distribution system( 23) 7. 5 Construction and installation of containing piping(24) 7.6 Welding installation of inner piping of acid/ alkaline containing piping ( 26) 7. 7 Installation of solvent piping ( 2 6 ) 7. 8 Construction waste liquid piping(28) 7. 9 Piping equipment identification( 28) 7. 10 System inspection and testing(29) 7. 11 Construction of renovation engineering (30) 7. 12 Engineering inspection and acceptance( 30) Explanation of wording in this code ( 33) List of quo ted standards (34) Addition: Explanatio n of provisions ( 3 5 ) 4 1總則 1. 0.1 為使電子工廠化學品供應系統(tǒng)、化學品回收系統(tǒng)及其配套 裝置的工程設計、施工及驗收，貫徹國家工程建設的政策方針，確 保工程安全可靠、節(jié)約能游、保護環(huán)境、技術先進、經(jīng)濟適用，制定 本規(guī)范。 1. O. 2 本規(guī)范適用于電子產(chǎn)業(yè)中的集成電路、平板顯示器件和太 陽能電池等電子工廠生產(chǎn)工藝中的化學品供應系統(tǒng)、化學品回收 系統(tǒng)的新建、改建、擴建工程的設計、施工及驗收。 1. O. 3 本規(guī)范不適用于電子工廠中的化學品庫房、設備清洗、廢 水處理、純水制備、廢氣處理等生產(chǎn)輔助和公用設施系統(tǒng)的化學品 系統(tǒng)工程的設計、施工及驗收。 1. O. 4 電子工廠化學品系統(tǒng)工程的設計、施工及驗收，除應符合 本規(guī)范外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。 1 2 術語、縮略語 2. 1術語 2.1.1 化學品系統(tǒng)chemical system 電子工廠中酸堿化學品、溶劑化學品、研磨液化學品系統(tǒng)的統(tǒng) 稱。 2.1. 2 化學品供應系統(tǒng)chemical supply system 電子工廠中酸堿化學品、溶劑化學品、研磨液化學品供應系統(tǒng) 管道與設備的統(tǒng)稱。 2.1. 3 化學品回收系統(tǒng)chemical reclaiming system 電子工廠中酸堿化學品、溶劑化學品、研磨液化學品回收系統(tǒng) 管道與設備的統(tǒng)稱。 2.1. 4 化學品槽車chemical lorry 電子工廠中用于運送大用量化學品的專業(yè)車輛。 2.1. 5 化學品桶槽chemical container 電子工廠中用于儲存化學品的小容積容器，放置在化學品儲 存、分配間的化學品單元內(nèi)部。 2.1. 6 化學品儲罐chemical storage tank 電子工廠中用于儲存化學品的大容積容器，固定布置在化學 品儲存、分配間內(nèi)。 2.1.7 閱門箱valve manifold box (VMB) 指化學品通過供應管道可同時供應兩臺或以上的生產(chǎn)設備的 閥門操作箱。 2.1. 8 分支閱箱tee box (TB) 化學品供應系統(tǒng)中供應兩個或以上的間門箱的管道分配箱。 2.1. 9 擴充閥箱future tee box (FTB) 化學品供應系統(tǒng)中用于系統(tǒng)擴充的設置于系統(tǒng)末端的閱箱。 2.1.10 取樣閥箱sampling box (SB) 指化學品管道上用于化學品取樣的閥門箱體。 2.1.11 泄漏探測器leakage detector 用于探測化學品單元、化學品儲罐及化學品閥門箱等設備發(fā) 生化學品泄漏井給出信號的裝置。 2.1. 12 化學品監(jiān)控系統(tǒng) chemical monitor and control system 用來對化學品供應系統(tǒng)，化學品回收系統(tǒng)實現(xiàn)監(jiān)控、顯示、報 警、數(shù)據(jù)收集等功能的遠程監(jiān)控系統(tǒng)。 2.1.13 化學品稀釋單元chemical dilution unit 電子工廠的化學品系統(tǒng)中用純水稀釋高濃度化學品設備的統(tǒng) 稱。 2.1.14 化學品?昆合單元chemical mixing unit 電子工廠的化學品系統(tǒng)中作為混合兩種或以上化學品設備的 統(tǒng)稱。 2.1.15 化學品補充單元chemical charge uni t 槽車的化學品系統(tǒng)備用供應設備。 2.1.16 化學品供應單元chemical transfer unit 向電子工廠工藝系統(tǒng)供應化學品的設備。 2.1.17 化學品單元chemical unit 化學品供應系統(tǒng)中化學品補充單元、化學品稀釋單元、化學品 ?昆合單元、化學品供應單元等柜體的統(tǒng)稱。 2.1. 18 化學品儲存、分配間 chemical storage distri bu tion roo口1 電子工業(yè)生產(chǎn)廠房或獨立建(構)筑物內(nèi)用于布置化學品儲 存、分配設備與系統(tǒng)的房間的統(tǒng)稱。 2.1.19 液位探測器level sensor 用于探測化學品儲罐、化學品單元內(nèi)桶槽的液位的測量元件。 2.1.20 火焰探測器ultraviolet rays 2 應設計日用桶糟，日用桶槽的容量應為該化學品24.0h的 消耗量; 3 當單一或多種化學品的儲存數(shù)量達到現(xiàn)行國家標準危險 化學品重大危險源辨識)GB18218規(guī)定的數(shù)鹽時，應設置單獨用 于化學品的儲存與分配的建(構)筑物。 3.2 化學品供應設備 3.2.1 化學品供應單元的設計應符合下列規(guī)定: 1 供應單元的設備、管路應設置于箱柜內(nèi)，箱柜頂部直裝設 高效空氣過濾器，并應與單元門有自動聯(lián)動功能，還應設排氣連接 口并與相應的排氣處理系統(tǒng)連接; 2 供應單元應設有確認化學品種類等信息的條形碼讀碼機， 單元柜體應設有危險性標識; 3 供應單元應設有清洗和吹掃槽車快速接頭的純水槍和氯 氣槍，有機溶劑化學品補充單元不應設純水槍; 4 不同化學品應設置不同型號、不同規(guī)格的快速接頭; 5 可燃溶劑化學品供應單元應設防靜電接地，補充化學品 時，靜電接地線應與化學品桶或槽車連接; 6 供應單元箱柜門應設安全連鎖裝置，當非正常打開時，應 即時報警; 7 當采用泵輸送時，直采用二組并聯(lián)設計，當采用氯氣輸送 時，兩個壓力桶應交替使用; 8 供應單元的桶槽應設計氯氣密封; 9 供應單元的出口應設有自動和手動闊，自動闊的信號應連 接監(jiān)控系統(tǒng)，并應根據(jù)工藝設備的需求而開關，同時應設有聯(lián)動的 緊急按鈕裝置; 10 供應單元應設置緊急停止按鈕和顯示系統(tǒng)狀態(tài)的三色指 示燈，緊急按鈕啟動時，應發(fā)出聲y(:;報警信號;供應單元的桶槽應 設置液位探測計和高低液位報警裝置，同時宜設置可目視的液位 計。 3.2.2 化學品供應單元應設緊急停止按鈕，當系統(tǒng)流量過大或不 符合工藝要求時，系統(tǒng)應自動停機，并應在啟動時發(fā)出警報聲及紅 光閃爍。 3.2.3 槽車的化學品系統(tǒng)可設計化學桶槽的補充單元作為備用 系統(tǒng)，井應符合下列規(guī)定: 1 化學品桶槽應置于化學品箱柜內(nèi)，200.0L化學品桶槽應 有被筒輸送臺; 2 補充單元的其他設計應符合本規(guī)范第3.2.1條的有關規(guī)定。 3.2.4 化學品單元應為柜體內(nèi)的氣動組件設計壓縮空氣管道系統(tǒng)。 3.2.5 化學品稀釋單元的設計應符合下列規(guī)定: 1 稀釋單元采用泵循環(huán)時，循環(huán)泵的設計宜二組并聯(lián)，其中 一組應為備用; 2 稀釋單元應按化學品的特性、濃度計精度要求選用測量原 理不同的濃度計; 3 稀釋單元可根據(jù)用量及精度要求選擇連續(xù)式和批次式系統(tǒng); 4 補充單元的其他設計應符合本規(guī)范第3.2.1條的有關規(guī)定。 3.2.6 可燃溶劑化學品單元應設有熱感應及火焰探測器，探測器 信號應與消防系統(tǒng)連接。 3.2.7 化學品儲罐的設計應符合下列規(guī)定: 1 化學品儲罐應采用氯氣密封; 2 化學品儲罐應根據(jù)體積大小設置檢修口，并宜設檢修用不 銹鋼爬梯等; 3 當采用氮氣輸送時，化學品儲罐應設爆破膜、安全閱等泄 壓裝置; 4 化學品儲罐應設置液位探測計，并應設有高高、高、低、低 低液位報警，同時應設計可日視的液位計; 5 化學品儲罐外部明顯處應表明儲罐的編號、化學品名稱， 字體高度不應小于40cm; 6 化學品儲罐應預留必要的管路出人口，并應設排放口及排 放閥。 3.2.8 化學品的儲存、分配間的液體儲罐，應設置溢出保護設施， 并應符合下列規(guī)定: 1 可燃溶劑儲罐區(qū)應設置防火堤，防火堤容積應大于堤內(nèi)最 大儲罐的單罐容積; 2 酸耐類化學晶、腐蝕性化學晶液體儲罐區(qū)應設置防護堤， 防護堤容積應大于堤內(nèi)最大儲罐的單罐容積; 3 氧化性、腐蝕性化學品液體與可燃溶劑儲罐之間、相互接 觸會引起化學反應的可燃溶劑儲罐之間應設置隔堤，隔堤容積應 大于隔堤內(nèi)最大儲罐單罐容積的10%; 4 防火堤及隔堤應能存受所容納灌體的靜壓，且不應滲漏; 臥式儲罐防火堤的高度不應低于500mm，并應在防火堤適當位置 設置人員進出的踏步; 5 防火堤、防護堤、隔堤四周應設置泄漏收集溝，溝內(nèi)應設置 泄漏收集坑，不同性質(zhì)的化學品泄漏收集溝不應連通。 3.2.9 化學品儲存、分配間四周應設置泄漏廢液收集溝，溝內(nèi)應 設置廢液收集坑，不同性質(zhì)的化學品泄漏廢液收集溝不應連通。 3.2.10 閥門箱的設置應符合下列規(guī)定: 1 閥門箱內(nèi)支管數(shù)量應按工藝要求確定，宜預留擴充接頭， 每一支管應設有切斷閱、排液閥; 2 閥門箱底部應設泄漏或維修用的排液閥; 3 閥門箱應設置排氣口，并連接至相應的排氣處理系統(tǒng); 4 閥門箱蓋宜采用彈簧扣環(huán)設計，其承受壓力應大于O.OlMPao 3.3 化學品供應管道系統(tǒng) 3.3.1 化學品供應管道系統(tǒng)布置應滿足生產(chǎn)操作、安裝及維修的 要求，管道應采用架空散設。 3.3.2 化學品供應管道設計流向應從下往上，化學品配送系統(tǒng)與使 用設備為同一高度，且管路最高點存在死角時，應配備除氣泡裝置。 3.3 . 3 酸堿類、研磨液、腐蝕性溶劑化學品應設計雙套管，雙套管 的設計應符合下列規(guī)定: 1 內(nèi)管不應有焊接頭; 2 三通、異徑管、轉(zhuǎn)接頭等焊接部位應設置在箱體內(nèi); 3 非焊接接頭應設置在箱體內(nèi)。 3.3.4 研磨液化學品管道應縮短化學品供應設備到使用點的距 離，并宜減少彎頭數(shù)量。 3.3.5 非腐蝕性溶劑類化學品宜采用不銹鋼管道材質(zhì)，管道連接 應采用氫弧焊自動焊接，非焊接連接點的部位應置于箱體內(nèi)。 3. 3.6 管道穿過墻壁或樓板時，應敷設在套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段 不應有焊縫。管道與套管間應采用不燃材料填塞。 3.37 管道與閥門、設備連接時，應采用與閱門、設備所配置相同 的連接方式。 3.4 設備與管道材質(zhì) 3.4.1 化學品供應系統(tǒng)與介質(zhì)接觸的儲罐、桶槽、管道、管道附件 應采用不與化學品產(chǎn)生反應、并不向化學品介質(zhì)滲透微量物質(zhì)的 材質(zhì)，系統(tǒng)材質(zhì)的選用應符合表3.4. 1的規(guī)定。 袤3.4.1化學品供應系統(tǒng)的材質(zhì)選用 化學品類別酸堿化學品腐蝕性榕ifiJ化學品 非腐蝕溶劑 化學品 化學品裝置 化學品單元外殼PP或PVCPP或PVC不銹鋼 閥門箱和三通箱外殼PP或PVCPP或PVC不銹鋼 內(nèi)襯PFA或PTFE 的SUS304儲罐/內(nèi)內(nèi)襯PFA或PT- 化學品儲罐 襯PFA或PTFE的FE的碳鋼儲罐/ SUS316L-EP 碳鋼儲罐/內(nèi)襯PFA內(nèi)襯PFA或PT- 或PTFE的FRP儲FE的SUS304 鍬 內(nèi)襯PFA或PTFE 內(nèi)襯PFA或PT- 的PE桶槽/內(nèi)襯 FE的SUS304桶 化學品桶糟槽/內(nèi)襯PFA或316L-EP PFA或PTFE的 PTFE的碳鋼橢 SUS304桶糟 槽 管胳 PFA+透明PVC雙PFA+SUS304雙 SUS316LEP管 套管套管 PFA (外殼)/PTFE SUS316EP (夕+ SUS316EP(外殼 閥門 (膜片 殼)/PTFE (膜 / PTFE(膜片) 片 接頭PFA/PTFE/ PVDF SUS316 SUS316 3.4.2 酸堿類、腐蝕性溶劑類化學品管路中的閥門密封，應采用 PFA或PTFE材質(zhì)，溶劑化學品管路中的閥門密封材料應采用不 與輸送介質(zhì)發(fā)生反應的材質(zhì)。 9 3.4.3 酸堿類化學品的主供應管道應采用內(nèi)管PFA、外管c pvc的雙套管，隔膜閱應采用PFA材質(zhì)。非 腐蝕性溶劑化學品 的主供應管道應采用SUS316LEP管，腐蝕性榕劑化學品的主供 應管路應采用內(nèi)管PFA、外管SUS304的雙套管，隔膜閥應采用 SUS316Lo 3.5管道標識 3.5.1 化學品管道標識形狀應為長方形，底色應為白色，上面應 用不同顏色箭頭表示化學品種類與流向，箭頭中央應采用黑色宋 體字寫明其中文名稱以及分子式。 3.5.2 酸堿類化學品宜采用白底黃色箭頭，研磨液類化學品宜采 用白底黃色箭頭，榕劑類化學品宜采用白底紅色箭頭。 3.5.3 化學品供應管道的管道標識應符合下列規(guī)定: 識; 1 管徑等于或小于DN25的管道應每2m4m設計一個標 2 管徑大于DN25的管道應每4m6m設計一個標識; 3 兩個設備間的管道宜設計一個標識; 4 組裝箱、轉(zhuǎn)彎及離墻30cm處應設計標識i 5 管道的標識應設于管道外側(cè)的位置。 3.5. 4 管道標識還應符合現(xiàn)行國家標準工業(yè)管道的基本識別 色、識別符合和安全標識)GB7231的有關規(guī)定。 10 4 化學品回收系統(tǒng) 4.1一般規(guī)定 4.1.1 化學品回收系統(tǒng)應根據(jù)排放物的性質(zhì)確定，不得將發(fā)生化 學反應的兩種或多種物質(zhì)合并為一個系統(tǒng)進行回收。 4.1. 2 化學品回收宜采用集中處理系統(tǒng)，通過收集桶或槽車送至 專業(yè)工廠回收處理。 4.1. 3 化學品回收系統(tǒng)的設備與管道材質(zhì)宜符合本規(guī)范第3.4 節(jié)的規(guī)定。 4.1. 4 化學品回收系統(tǒng)的管道標識應符合本規(guī)范第3.5節(jié)的規(guī) 定。 4.2 化學品回收設備 4.2.1 生產(chǎn)廠房內(nèi)化學品回收桶槽的設置應符合下列規(guī)定: 1 回收桶槽應設置備用桶槽并設置自動切換系統(tǒng)，并應根據(jù) 液位指示能自動切換; 2 回收桶槽應設液位計，并應有高液位指示、報警功能; 3 回收桶槽周圍應設有備用的空桶、推車、地磅等。 4.2.2 化學品廢液集中回收儲罐的設置應符合下列規(guī)定: 1 溶劑化學品回收系統(tǒng)應與酸堿化學品回收系統(tǒng)分區(qū)域放 置; 2 回收化學品桶罐宜儲存7d的廢液量; 3 廢液通過泵外運時，回收系統(tǒng)在室外應有與外運槽車相連 的快速接頭，可燃溶劑回收系統(tǒng)應設計防靜電裝置。 4.2.3 化學品回收系統(tǒng)的設備應置于防護堤內(nèi)，防護堤的容積應 大于堤內(nèi)最大儲罐的單罐容積，防護堤內(nèi)應設置泄漏廢液收集溝， 11 溝內(nèi)應設置廢液收集池，不同性質(zhì)的化學品回收設備應布置在不 同的防護堤內(nèi)。 4.2.4 化學品回收設備的其他設計應符合本規(guī)范第3.2節(jié)的有 關規(guī)定。 4.3 化學晶回收管道 4.3.1 化學品回收系統(tǒng)管道布置應滿足生產(chǎn)操作、安裝及維修 的要求，管道宜采用架空敷設。 4.3.2 化學品回收系統(tǒng)管道流向應從上到下，并應為重力流。排 放設備與化學品回收系統(tǒng)之間無法實現(xiàn)重力流排放時，應增加中 間儲槽，并應采用泵送方式將中間儲槽的化學品輸送至最終收集 槽。 4.3.3 化學品回收管道的其他設計應符合本規(guī)范第3.3節(jié)的有 關規(guī)定。 12 5 化學品監(jiān)控及安全系統(tǒng) 5.1一陋規(guī)定 5.1.1 電子工廠的化學品系統(tǒng)應設置化學品監(jiān)控及安全系 統(tǒng)。 5.1.2 電子工廠的化學品系統(tǒng)有關設備、設施和場所環(huán)境應設置 化學品泄漏探測器。 5.1. 3 電子工廠的化學品泄漏探測器的報警信號應與安全系統(tǒng) 進行聯(lián)鎖。 5.2 監(jiān)控與安全設備 5.2.1 化學品監(jiān)控系統(tǒng)應設可編邏輯控制器及兩臺或以上計算 機作為數(shù)據(jù)監(jiān)控與采集系統(tǒng)的操作接口，并應配備打印機。 5.2.2 數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)計算機應設于化學品控制室內(nèi)，并應配置數(shù) 據(jù)儲存設備。 5.2.3 數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)設備應具有下列功能: 1 化學品系統(tǒng)運行狀態(tài)圖，應包含壓力、液位高度、閱門開關 及泵的狀態(tài); 2 泄漏檢測及設備位置圖; 3 化學品使用量的記錄; 4 化學品的pH值、比重、濃度等; 5 酸、堿及榕劑化學品排風監(jiān)視; 6 供應系統(tǒng)出口閥與VMB各支管出口閥每日開關次數(shù)與 時間; 7 記錄狀態(tài)改變的系統(tǒng)警報，事件的時間、日期、位置; 8 信息輸出打印。 13 5.3 監(jiān)控與安全系統(tǒng) 5.3.1 化學品監(jiān)控系統(tǒng)的設置應符合下列要求: 1 應配置化學品的連續(xù)檢測、指示、報警、分析的功能; 2 宜為獨立的系統(tǒng)，并應與工廠設備管理控制系統(tǒng)和消防報 警控制系統(tǒng)相連; 3 應設在主廠房獨立房間或全廠動力控制中心，在消防控制 室和應急處理中心宜設化學品報警顯示。 5.3.2 化學品系統(tǒng)的探測裝置應符合下列要求: 1 儲存、輸送、使用化學品的下列區(qū)域或場所應設置化學品 液體或氣體泄漏探測器，并應在發(fā)生泄漏時發(fā)出聲光報警: 1)使用化學品的工藝設備; 2)化學品供應單元、化學品補充單元、化學品稀釋單元設備 箱柜; 3)化學品供應系統(tǒng)的閥門箱; 4)化學品儲罐的防火堤、隔堤。 2 儲存、輸送、使用化學品的下列區(qū)域或場所應設置溶劑化 學品氣體探測器，并應在發(fā)生泄漏時發(fā)出聲光報警: 1)供應榕劑化學品的設備箱柜、排風口及其房間; 2)使用溶劑化學品的工藝設備、排風口及其房間; 3)供應溶劑化學品的閥門箱、排風口及其房間。 3 化學品監(jiān)控系統(tǒng)報警設定值應符合下列規(guī)定: 1)易燃易爆溶劑氣體-級報警設定值應小于或等于可燃性 化學品爆炸濃度下限值的25%，二級報警設定值應小于 或等于可燃性化學品爆炸濃度下限值的50%; 2)酸堿化學品一級報警設定值應小于或等于空氣中有害物 質(zhì)最高允許濃度值的50%，二級報警設定值應小于或等 于空氣中有害物質(zhì)最高允許濃度值的100%。 4 生產(chǎn)廠房應設置化學品連續(xù)不間斷供應的監(jiān)控系統(tǒng)，并應 符合下列要求: 1)各化學品連續(xù)不間斷供應系統(tǒng)應具有現(xiàn)場控制盤，能將 控制模塊連至設備流程上，至少包含系統(tǒng)狀態(tài)、設備的緊 急停止運轉(zhuǎn)、化學品供應系統(tǒng)報警(包含桶槽已空)等信 息; 2)監(jiān)控系統(tǒng)圖面應能監(jiān)視桶槽與儲罐的液位高度i 5.3.3 使用化學品系統(tǒng)的生產(chǎn)廠房應設置安全監(jiān)控系統(tǒng)，并應符 合下列要求: 1 應設置閉路電視監(jiān)控攝像機與門禁系統(tǒng); 2 應設置安全管理顯示屏; 3 使用場所內(nèi)及相關建筑主人口、內(nèi)通道等處應設置燈光閃 爍報警裝置，燈光顏色應與其他燈光報警裝置的燈光顏色相區(qū)別。 5.3.4 生產(chǎn)廠房應設化學品泄漏報警的控制系統(tǒng)，并應符合下列 要求: 1 化學品泄漏探測器確認化學品泄漏時，應啟動相應的事故 排風裝置，并應關閉相關部位的切斷閥，同時應能接受反饋信號; 2 化學品?世漏探測器確認化學品泄漏時，應自動啟動泄漏現(xiàn) 場的聲光報警裝置; 3 化學品泄漏探測器確認化學品泄漏時，應將信號傳至安全 顯示屏; 4 當?shù)卣鹛綔y裝置報警時，化學品監(jiān)控系統(tǒng)應能啟動現(xiàn)場的 聲光報警裝置。 15 6 相關專業(yè)設計 6.1建筑結(jié)構 6.1.1 布置于生產(chǎn)廠房內(nèi)的甲、乙類化學品間的耐火等級不應低 于二級，結(jié)構構件的耐火極限應符合現(xiàn)行國家標準建筑設計防火 規(guī)范)GB50016的有關規(guī)定。 6.1. 2 易燃易爆溶劑化學晶間應設置泄壓設施，其設計應符合現(xiàn) 行國家標準建筑設計防火規(guī)范)GB50016的有關規(guī)定。 6.1. 3 易燃易爆榕劑化學品間的設計應符合下列規(guī)定: 1 安全出口不應少于兩個，且應布置在不同方向，門應向疏 散方向開啟; 2 相鄰兩個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應小于 5.0m，其中一個應直通室外，通向疏散走道的門應滿足防火及 防爆要求; 3 房間面積小于或等于100m 2 、且同一時間的生產(chǎn)人數(shù)不超 ，過5人時，可設置一個直接通往室外的出口; 4 溶劑房間的門窗應采用撞擊時不產(chǎn)生火花的材料制作; 5 榕劑房間應采用不發(fā)生火花的地面。 6.1. 4 易燃易爆溶劑化學品和l氧化性化學品儲存、分配間與其他 房間之間，應采用3.0h實體防火墻和耐火極限不低于1.5h的不 燃燒體樓板與其他部分隔開，實體防火墻上不得開設門窗洞口;當 設置雙門斗相通時，門應錯位布置，應采用甲級防火門。 6.1. 5 化學晶監(jiān)控及安全系統(tǒng)集中控制室應設置在獨立的房間 內(nèi);當與易燃易爆溶劑化學晶儲存、分配間、回收間等相鄰時，控制 室的設計應符合現(xiàn)行國家標準爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設 計規(guī)范)GB50058的有關規(guī)定。 6.1.6 化學品儲存、分配間的高度應滿足設備與管道布置的要 求，且不宜低于4.5m。 6.1. 7 化學品儲存、分配間的地面、門窗、墻面宣采取防腐蝕的設 計措施。 6.1. 8 化學品間內(nèi)的裝修材料應符.合現(xiàn)行國家標準建筑內(nèi)部裝 修設計防火規(guī)范)GB50222的有關規(guī)定。 6.1. 9 生產(chǎn)廠房及獨立的化學品儲存、分配間外的化學品供應槽 車灌充區(qū)域四周應設置地溝，槽車停放地面及四周的地溝內(nèi)應進 行防腐蝕設計。 6.2 電氣與儀表控制 6.2.1 配電與照明應符合下列規(guī)定: 1 化學品間的電力負荷等級應符合下列規(guī)定: 1)化學品間電力設備的負荷等級應與主廠房的最高負荷等 級相同; 2)化學品檢測與控制系統(tǒng)為一級負荷，并應配置UPS不間 斷電源。 2 易燃易爆溶劑化學品間的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)的電氣設施 應按2區(qū)設防，并應符合現(xiàn)行國家標準爆炸和火災危險環(huán)境電力 裝置設計規(guī)范)GB50058的有關規(guī)定。 3 化學品間的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安 裝在設備正上方，并應設置備用照明。 4 化學品間的電氣設備應進行防腐蝕設計。 6.2.2 防雷與接地設計應符合下列規(guī)定: 1 排放易燃易爆溶劑化學品氣體的排風管的管口應處于接 閃器的保護范圍內(nèi)，并應符合現(xiàn)行國家標準建筑物防雷設計規(guī) 范)GB50057的有關規(guī)定; 2 架空敷設的易燃易爆榕劑化學品管道，在進出建筑物處應 與防雷電感應的接地裝置相連;距建筑物100m內(nèi)的化學品管道， 宜每隔25m接地一次，其接地電阻不應大于200; 3 易燃易爆溶劑化學品、氧化性化學品設備與管道應采取防 靜電接地措施，應在進出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分 岔處及直管段每隔50m80m處防靜電接地一次; 4 設備或管道的接地端子與地線系統(tǒng)之間，可采用螺栓緊固 連接;對有震動、位移的設備和管道，連接處應加撓性連接線過技; 5 化學品系統(tǒng)的電氣設備工作接地、保護接地、雷電保護接 地，以及防靜電接地等不同用途接地采用聯(lián)合接地方式時，接地裝 置的接地電阻值應按其中的最小值確定; 6 防靜電接地為單獨接地時每組接地電阻不應大于1000。 6.3 給7.120 20 20 20 2 支架安裝應牢固，直管段的每20m及轉(zhuǎn)彎處應設置固定 支架。 3 管道切割應使用專用切割器，切割之前應將已開啟的吸塵 器吸塵口靠近切割處后再進行切割，切割完畢后應迅速將切割時 產(chǎn)生的碎屑清除干凈。 4 管材切割后應立即對切割斷面的管壁內(nèi)外壁進行修邊處 理，修邊時修邊部位應朝下，修邊完成后，應用塑料膠帶將管道兩 端封住。 5 彎頭宜采用成品彎頭，當采用烘箱現(xiàn)場械制時，械管作業(yè) 應在通風的環(huán)境下進行。 6 外套管的最小彎曲半徑應符合表7.5.1-2的規(guī)定。 表7.5.1-2外套管的最小 彎曲半徑 管徑(mm) 彎曲最小半徑(mm) 7 管道掘彎時不得產(chǎn)生不規(guī)則變形，變形量不得大于管外徑 的10 %“試樣應提交監(jiān)理工程師，并應在合格后再進行作業(yè)。 8 彎頭及直管應采用直二通帖接，有特殊要求時，粘接部分 還應填絲焊接，焊條應采用PVC焊條。 9 外套管在支架上固定時，應先用厚度大于2.0mm橡膠皮 或襯墊纏繞固定處。 10 管道連接應采用承捕粘接法，膠水應采用速干型透明膠 水，粘接面還應少出現(xiàn)氣泡;在粘接前應做粘接試樣，并應在合格 后再進行粘接作業(yè)，帖接壓緊時間不應低于30s。 11 管道上應每兩個彎頭為一組，每組第二個彎頭應暫不做 粘接連接，并應待穿管作業(yè)完成后再進行粘接。 7.5.2 外套管施工完成后應進行壓力試驗，試驗介質(zhì)可用瓶裝氯氣， 試驗壓力應為0.10MPa，保壓時間為2.0h，以壓力不下降為合格。 7.5.3 內(nèi)管安裝應在外套管試壓合格后進行。內(nèi)管徑宜為(l/4 1)英寸，并應采用100m長的卷材。管道接口應設置在三通箱、J白閥司酌陽、 箱或設備連接箱內(nèi)。 7.5.4 PFA內(nèi)管穿設安裝應符合下列規(guī)定: 1 PFA管道應采用一根整管貫穿，巾間不得設接頭; 2 施工場所環(huán)境溫度應為10.C35.C，冬季或氣溫較低時 穿管，穿管前應先將管道放在溫度大于20.C的場所內(nèi)2d后再進 行施工; 3 施工人員應多人配合進行施工，施工時應佩戴情凈手套; 4 內(nèi)管穿管前應采用干凈的切管器將管口前端切出150mm 200mm的斜面，并應在管內(nèi)塞入可有效防止灰塵進入管內(nèi)的物體及 拉管繩，同時應在管材外部纏上塑料膠帶后進行拉管施工; 5 拉管繩應結(jié)實、不產(chǎn)塵、受力變形小，拉管施工時工作人員 應互相聯(lián)系，宜在外套管的另一端用吸塵器的負壓將拉管繩引出; 6 送管員應在確認PFA管道無折損后再進行送管，拉管員 應配合實施拉管作業(yè)，并應以送管為主動力，送管員在送管時，應 采用純水濕潤的潔凈布擦拭管道; 7 外套管連接處影響送管前進時，送管員可輕拍外套管或從 前部尚未粘接的接頭處將外套管拉:1后繼續(xù)進行，當內(nèi)管穿出外 套管600mm后應停止送管; 25 8 當內(nèi)管穿出后，應從外套管管口處保留200mm，并應將多 余部分割去，進行管道與相關設備接口的連接; 9 內(nèi)管連接可采用加熱擴管方式及PTFE管接頭植人的入 珠式施工方式，并應符合下列規(guī)定: I)PFA管應在專用加熱器上加熱后，再用擴管器進行擴 管，作業(yè)時所有施工人員都應戴潔凈手套; 2)需擴管的管長應等于量取長度加3.0mm. 7.6 酸堿類化學品管道內(nèi)管焊接安裝 7.6.1 PFA管的管徑大于DN25應采用焊接連接，并應符合下 列規(guī)定: 1 支吊架制作安裝應符合本規(guī)范第7.5.1條第1款的要求; 2 焊接應采用專用的PFA焊接機，焊接溫度應為500.C; 3 PFA管的焊接應在潔凈加工間內(nèi)進行，室內(nèi)應有高效過 濾器的進風設施，且頂部應有排氣扇，室內(nèi)溫度應為10.C15.C; 4 焊接完畢后，管口均應用管帽或者塑料膠帶進行密封。 7.6.2 操作人員應遵守下列規(guī)定: 1 進入潔凈加工間的人員應穿情凈服，并應佩戴潔凈手套， 同時應穿潔凈鞋; 2 PFA焊機操作者應經(jīng)過培訓11，并應經(jīng)考試合格后再進行 操作。 7.7 溶劑化學品管道安裝 7.7.1 不銹鋼管道應采用自動軌道氫弧焊，氧氣純度應為 99.999%。 7.7.2 操作人員在作業(yè)過程中應戴潔凈手套，裸手不得接觸管道 內(nèi)壁。 7.7.3 材料保管、清洗、預制應在潔凈室進行。 7.7.4 管外徑小于或等于12.7mm的管道切割應使用不銹鋼管 切管器，切割后應用平口機處理管口，然后用專用倒角器將管口內(nèi) 外毛刺處理圓滑，管切口端面應垂直、無毛刺、無變形。 7.7.5 平口機加工余量應為壁厚的10%20%，且加工時應采 用純度為99.999%的高純氮氣吹掃。加工后端管口應向下，另一 端應用高純氮氣快速吹掃，嚴禁將剛切割完畢的管道口向上。 7.7. 6 管外徑大于12.7mm的管道宜使用不銹鋼管切管機，切 割時嚴禁使用潤滑油。切口端面應垂直、無毛刺、不變形，并應滿 足不加絲自動焊要求。 7.7.7 管道吹掃完畢，應用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上丙酣或酒精將 切口處清洗干凈后迅速用潔凈管帽或潔凈紙膠帶將管道口密封， 發(fā)現(xiàn)有破損應及時處理。 7.7.8 管道焊接應符合下列規(guī)定: 1 施工人員在工程開工前應將該工程所用各種規(guī)格的管道 焊接式樣、焊接合格確認單提交建設單位項目技術負責人簽字認 可，并應保留已通過測試的樣品; 2 焊接合格確認單中應記錄焊接設備規(guī)格型號、焊接參數(shù)、 焊接時間、焊接人員、檢驗員; 3 焊接試驗應在每天正式焊接前、每次更換焊頭和鴿棒后、 焊機連續(xù)焊接超過4h后進行，并應經(jīng)檢驗員檢查合格并填寫焊接 合格確認單后再正式施焊; 4 焊縫合格標準為管內(nèi)焊縫突起高度不應大于管道壁厚的 10% ，管外焊縫寬度應為3.0mm，管內(nèi)焊縫寬度應為2.0mm，焊 縫應無下陷、未焊透、不同軸、咬邊缺陷等情況，內(nèi)外表面應無氧化 膜、無燒傷; 5 應用不銹鋼絲刷趁熱除去管外焊縫兩邊的暗色膜至光亮; 6 焊接時管內(nèi)應充純度為99.999%的氧氣，且在施工過程 中不應中斷供氣，管外徑為6.Omm1l4. Omm的流盤應分別為 5 L/mi.n15L/min，未焊接時的流量應為焊接時流量的1/4; 7 管道焊接應正確選擇焊接參數(shù)，焊接參數(shù)應包括鴿棒電極 規(guī)格及加工尺寸，以及焊接電流、焊接速度、回轉(zhuǎn)延緩時間等數(shù)據(jù); 8 焊機應使用專用配電箱，電源電壓不穩(wěn)定時應使用自動穩(wěn) 壓裝置供電，焊機本體應可靠接地; 9 焊接過程中應做焊接記錄，焊口應統(tǒng)一編號，并應標明作 業(yè)時間、焊接作業(yè)人、焊接主要參數(shù)等，同時應與單線圖的焊口編 號一致。 7.7.9不銹鋼管道安裝應符合下列要求: 1 預制管段封口應完好，管內(nèi)應無污染; 2 法蘭連接墊片材質(zhì)應符合設計要求，且墊片應潔凈元油、 無污物; 3 管道安裝應按管道圖順氣流方向依次進行，且應充氧氣保護; 4 不銹鋼管不得與碳鋼支架、管卡接觸，應采用塑料墊隔離 或采用同材質(zhì)支架、管卡。 7.7.10 充氧氣保護應持續(xù)不間斷至管道系統(tǒng)安裝結(jié)束。 7.8 廢液管道施工 7.8.1 廢液管道CPVC、UPVC的施工應與一般PVC管道相同。 7.8.2 管道連接應符合國家現(xiàn)行標準給水排水管道工程施工及 驗收規(guī)范)GB50268、建筑排水硬聚氯乙烯管道工程技術規(guī)程 CJJ/ T 29、建筑給水排水及采暖工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范)GB 50242的有關規(guī)定。 7.9 管道設備標識 7.9.1 標識粘貼應在設備及管道油漆、清潔與絕緣完成后進行， 并應逐點檢查每個系統(tǒng)連接的正確性，閥門應有與圖紙相同的編 號，并應有顯示開關的狀態(tài)顯示牌。不同的化學品應用不同的顏 色標記，且應標明化學品的名稱及流向。 7.9.2 標識牌材質(zhì)應耐久、安全、易辨識。 7.10 管路與系統(tǒng)檢測 7.10.1 管路與系統(tǒng)檢測的內(nèi)容應根據(jù)電子生產(chǎn)工藝要求確定， 并應按合同規(guī)定在工程完工后進行。 7.10.2 化學品系統(tǒng)工程的檢測項目應包括強度試驗、嚴密性試 驗、泄漏性試驗、潔凈度測試、電氣性能測試，以及合同要求的測 試。 7.10.3 管路強度試驗、嚴密性試驗及泄漏性試驗應符合表 7.10.3的規(guī)定。 表7.10.3管路強度試驗、嚴密性試驗及泄漏性試驗 強度試驗嚴密性測試泄漏性試驗 測試內(nèi)容 介質(zhì)設計壓力介質(zhì)設計壓力介質(zhì)設計壓力 酸/堿N2 1. 5P N2 1. 15P 易燃易爆帶￥fflJN2 1. 5P N2 1. 15P N2 1. OP 研磨液N2 1.5P N2 1. 15P 外管N2 O.lOMPa 注1表中P為設計壓力. 2 用氯氣做強度試驗時，應制定安全措施。 3 強度試驗保壓時間為O.拙，以無壓降、無泄漏為合格. 4 嚴密性試驗保壓24.0 h，以壓力變化在2%以內(nèi)、無泄漏為合格. 5 易燃易爆溶劑的泄漏性試驗保lli時間為24.0h，泄漏率以平均每小M小于 0.5%為舍格. 6 用肥皂7Jcj(.f管道、法蘭、焊縫、閥門的連接處進行泄漏試驗，以不發(fā)生氣泡 為合格. 7.10.4 管道試驗合格后應采用純水進行系統(tǒng)沖洗，沖洗應沿化 學品流動的方向進行沖洗，應從閱門箱出口排放到臨時儲藥桶，純 水沖洗后，還應采用氯氣對系統(tǒng)進行吹掃。沖洗、吹掃標準應符合 工藝設備的要求。 7.10.5 管道潔凈度測試應符合下列要求: 1 管道潔凈度測試應在對管道系統(tǒng)進行沖洗、吹掃后進行; 2 顆校測試應通過取樣閱取樣測試，單位容積內(nèi)的顆粒數(shù)應 符合工藝系統(tǒng)的要求，無特殊要求時.0.1m顆粒應小于5粒ImL。 7.10.6 電氣設備的絕緣應符合現(xiàn)行國家標準建筑電氣工程施 工質(zhì)量驗收規(guī)范)GB50303的有關規(guī)定。 7.10.7 易燃易爆溶劑化學品管道防靜電接地電阻值檢測不得大 于100.0.。 7. 11 改建工程的施工 7. 11.1 化學品供應系統(tǒng)改建施工時應符合下列規(guī)定: 1 生產(chǎn)區(qū)與安裝區(qū)之間應采取臨時隔離措施; 2 作業(yè)時應采取安全隔離措施，并應設置危險警示標識; 3 潔凈度為5級和更高的潔凈室(區(qū))人員密度不應大于 O . 1人1m 2