9.光電式傳感器[1]_2009.ppt

第九章光學(xué)傳感器 第一節(jié)光電傳感器 光學(xué)傳感器 光電傳感器是將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的器件 它具有反應(yīng)速度快 檢測(cè)靈敏度高 可靠性好 抗干擾能力強(qiáng) 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等特點(diǎn)輻射熱探測(cè)器光纖傳感器 第一節(jié)光電傳感器 光波是波長(zhǎng)為10 106nm的電磁波 可見光 380 780nm紫外線 10 380nm紅外線 780 106nm光都具有反射 折射 散射 衍射 干涉和吸收等性質(zhì) 光的量子說(shuō)可知 光可以看成是以光速C運(yùn)動(dòng)著的 具有一定能量粒子流每個(gè)光子的能量為E hv每個(gè)光子的質(zhì)量為m hv C2光照射到物體上時(shí) 可以看成是具有一連串能量為E的粒子轟擊在物體上光電效應(yīng)可以看成是由于物體吸收了能量為E的光子的能量后而產(chǎn)生的電效應(yīng) 一 光電效應(yīng)外光電效應(yīng)金屬表面受光照射后 金屬內(nèi)或表面的電子逸出金屬表面向外發(fā)射的現(xiàn)象電子能量轉(zhuǎn)換公式光電管 光電倍增管內(nèi)光電效應(yīng)當(dāng)光照在半導(dǎo)體材料上 使半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率發(fā)生變化或產(chǎn)生光生電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象光敏電阻 光電池 光敏二極管 光敏三極管 6 1 光電導(dǎo)效應(yīng)在光線作用下 電子吸收光子能量從鍵合狀態(tài)過(guò)度到自由狀態(tài) 而引起材料電導(dǎo)率的變化 基于這種效應(yīng)的光電器件有光敏電阻 當(dāng)光照射到光電導(dǎo)體上時(shí) 若這個(gè)光電導(dǎo)體為本征半導(dǎo)體材料 且光輻射能量又足夠強(qiáng) 光電材料價(jià)帶上的電子將被激發(fā)到導(dǎo)帶上去 使光導(dǎo)體的電導(dǎo)率變大 7 光照射PN結(jié)時(shí) 若h Eg 使價(jià)帶中的電子躍遷到導(dǎo)帶 而產(chǎn)生電子空穴對(duì) 在空間電荷區(qū)內(nèi)電場(chǎng)的作用下 電子向N區(qū)漂移 空穴向P區(qū)漂移 使P區(qū)帶正電 N區(qū)帶負(fù)電 形成光生電動(dòng)勢(shì) 光生伏特效應(yīng) 在光作用下能使物體產(chǎn)生一定方向電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象 基于該效應(yīng)的器件有光電池和光敏二極管 三極管 二 光電器件的特性參數(shù)靈敏度K 表征光電器件輸出信號(hào)能力的特征量光電器件的輸出信號(hào)電壓VS與入射光功率PS之比 即單位入射光功率作用下器件的輸出信號(hào)電壓 光譜特性 描述光電器件的工作范圍某一種光電器件的靈敏度與入射波長(zhǎng)的關(guān)系 稱為該光電器件的光譜特性用不同輻射波長(zhǎng) 對(duì)某一器件的靈敏度描繪的曲線 就是該器件的光譜特性曲線 等效噪聲功率 描述光電器件品質(zhì)若輻射到光電器件光敏感面上的輻射功率所產(chǎn)生的響應(yīng)電壓 恰好等于該器件的噪聲電壓值 那么這個(gè)輻射功率稱為噪聲等效功率 NEP 單位W 探測(cè)度D 衡量光電器件的探測(cè)能力將NEP的倒數(shù)稱為光電器件的探測(cè)度D 時(shí)間常數(shù) 描述光電器件對(duì)入射光響應(yīng)快慢性能在階躍輸入光功率的條件下 光電器件輸出電流is t 上升到穩(wěn)態(tài)值 i 的0 63倍的時(shí)間當(dāng)輻射的交變信號(hào)頻率f上升時(shí) 光敏器件的靈敏度k下降 從峰值處下降到3dB時(shí)所對(duì)應(yīng)的頻率稱為截止頻率f0 截止頻率f0對(duì)應(yīng)的時(shí)間即為時(shí)間常數(shù) 線性度線性度是指光電器件的輸出光電流 或電壓 與輸入光功率成比例的程度和范圍 一般來(lái)說(shuō) 在弱光照射時(shí)光電器件輸出光電流都能在較大范圍內(nèi)與輸入光功率 光輻射強(qiáng)度 成線性關(guān)系 強(qiáng)光時(shí)就趨于平方根關(guān)系 三 光電管和光電倍增管及其應(yīng)用 一 光電管1 結(jié)構(gòu)和原理 13 主要性能 1 光電管的伏安特性在一定的光照射下 對(duì)光電器件的陰極所加電壓與陽(yáng)極所產(chǎn)生的電流之間的關(guān)系稱為光電管的伏安特性 真空光電管充氣光電管 14 2 光電管的光照特性當(dāng)光電管的陰極和陽(yáng)極之間所加的電壓一定時(shí) 光通量與光電流之間的關(guān)系 光照特性曲線的斜率稱為光電管的靈敏度 15 3 光電管的光譜特性單位輻射通量 不同波長(zhǎng)的光照射光電管時(shí) 產(chǎn)生的飽和光電流與光波波長(zhǎng)的關(guān)系曲線 同一光電管對(duì)于不同頻率的光的靈敏度不同 以GD 4型光電管為例 陰極是用銻銫材料制成 對(duì)可見光范圍的入射光靈敏度比較高 適用于白光光源 被應(yīng)用于各種光電式自動(dòng)檢測(cè)儀表中 16 對(duì)紅外光源 常用銀氧銫陰極 構(gòu)成紅外探測(cè)器 對(duì)紫外光源 常用銻銫陰極和鎂鎘陰極 還有些光電管的光譜特性與人的視覺光譜特性有很大差異 可以擔(dān)負(fù)人眼不能勝任的工作 如夜視鏡等 由陰極 次陰極 倍增電極 陽(yáng)極組成陰極由半導(dǎo)體光電材料銻銫做成 次陰極是在鎳或銅 鈹?shù)囊r底上涂上銻銫材料形成 次陰極可達(dá)30級(jí) 通常為12 14級(jí) 使用時(shí)在各個(gè)倍增電極上均加上電壓 陰極電位最低 以后依次升高 陽(yáng)極最高 相鄰兩個(gè)倍增電極之間有電位差 因此存在加速電場(chǎng) 二 光電倍增管1 光電倍增管的結(jié)構(gòu)與原理 18 19 入射光 陰極K 第一倍增極 第二倍增極 第三倍增極 第四倍增極 陽(yáng)極A 20 光電倍增管的電流放大倍數(shù)為 如果n個(gè)倍增電極二次發(fā)射電子的數(shù)目相同 則 in因此陽(yáng)極電流為 i in M與所加的電壓有關(guān) 一般陽(yáng)極和陰極之間的電壓為1000 2500V 兩個(gè)相鄰的倍增電極的電位差為50 100V 2 光電倍增管的特性參數(shù) 1 倍增系數(shù)M 等于各個(gè)倍增電極的2次發(fā)射電子數(shù) i的乘積 一個(gè)光子在陰極能夠打出的平均電子數(shù)叫做光電陰極的靈敏度 一個(gè)光子在陽(yáng)極上產(chǎn)生的平均電子數(shù)叫光電倍增管的總靈敏度 2 光電陰極靈敏度和光電管的總靈敏度 3 暗電流和本底電流由于環(huán)境溫度 熱輻射和其它因素的影響 即使沒有光信號(hào)輸入 加上電壓后陽(yáng)極仍有電流 這種電流稱為暗電流 在其受人眼看不到的宇宙射線的照射后 光電倍增管就會(huì)有電流信號(hào)輸出 即本底脈沖 4 光電倍增管的光譜特性與相同材料的光電管的相似 22 國(guó)產(chǎn)光電倍增管的技術(shù)參數(shù) 三 光電管和光電倍增管的應(yīng)用1 光電管 光電倍增管在分光光度計(jì)中的應(yīng)用 2 光電倍增管在 射線探測(cè)器中的應(yīng)用 四 光敏電阻 1 光敏電阻的結(jié)構(gòu)和工作原理 26 如果把光敏電阻連接到外電路中 在外加電壓的作用下 用光照射就能改變電路中電流的大小 光敏電阻具有很高的靈敏度 很好的光譜特性 很長(zhǎng)的使用壽命 高度的穩(wěn)定性能 小的體積及工藝簡(jiǎn)單 故應(yīng)用廣泛 當(dāng)光照射到光電導(dǎo)體上時(shí) 若光電導(dǎo)體為本征半導(dǎo)體材料 而且光輻射能量又足夠強(qiáng) 光導(dǎo)材料價(jià)帶上的電子將激發(fā)到導(dǎo)帶上去 從而使導(dǎo)帶的電子和價(jià)帶的空穴增加 致使光導(dǎo)體的電導(dǎo)率變大 28 2 光敏電阻的主要參數(shù) 1 暗電阻 暗電流 亮電阻 亮電流 光電流光敏電阻在未受到光照時(shí)的阻值稱為暗電阻 此時(shí)流過(guò)的電流為暗電流 在受到光照時(shí)的電阻稱為亮電阻 此時(shí)的電流稱為亮電流 亮電流與暗電流之差為光電流 1 伏安特性 所加的電壓越高 光電流越大 而且沒有飽和的現(xiàn)象 2 光敏電阻的基本參數(shù) 2 光譜特性 硫化鎘的峰值在可見光區(qū)域 硫化鉛的峰值在紅外區(qū)域 故選用時(shí)要把元件和光源結(jié)合起來(lái)考慮 3 溫度特性 硫化鉛光敏電阻光譜特性峰值隨溫度上升向波長(zhǎng)短的方向移動(dòng) 五 光電池 光電二極管及光電三極管 1 光電池光電池 Photocell 是一種光生伏特效應(yīng)元件當(dāng)它受到光照時(shí)不需再外加其他任何形式的能量就會(huì)產(chǎn)生電流輸出 其輸出電流與接受的光照有一定的關(guān)系用它可以反映光照的強(qiáng)度光電池按結(jié)構(gòu)可分為兩類利用PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)制成的光電池利用半導(dǎo)體與金屬接觸產(chǎn)生光生伏特效應(yīng)制成的光電池 33 1 光電池的工作原理 硅光電池的結(jié)構(gòu)如圖 它是在一塊N型硅片上用擴(kuò)散的辦法摻入一些P型雜質(zhì) 如硼 形成PN結(jié) 34 當(dāng)光照到PN結(jié)區(qū)時(shí) 如果光子能量足夠大 將在結(jié)區(qū)附近激發(fā)出電子 空穴對(duì) 在N區(qū)聚積負(fù)電荷 P區(qū)聚積正電荷 這樣N區(qū)和P區(qū)之間出現(xiàn)電位差 若將PN結(jié)兩端用導(dǎo)線連起來(lái) 電路中就有電流流過(guò) 若將外電路斷開 就可測(cè)出光生電動(dòng)勢(shì) 35 2 光電池基本特性 光譜特性 故硒光電池適用于可見光 常用于分析儀器 測(cè)量?jī)x表 如用照度計(jì)測(cè)定光的強(qiáng)度 硅光電池的光譜峰值在800nm附近 硒的在540nm附近 36 2 光照特性 不同光照射下有不同光電流和光生電動(dòng)勢(shì) 短路電流在很大范圍內(nèi)與光強(qiáng)成線性關(guān)系 開路電壓與光強(qiáng)是非線性的 且在2000lx時(shí)趨于飽和 光電池作為測(cè)量元件時(shí) 應(yīng)把它作為電流源的形式來(lái)使用 不宜用作電壓源 且負(fù)載電阻越小越好 37 3 頻率特性 硅光電池有很高的頻率響應(yīng) 可用于高速記數(shù) 有聲電影等方面 光電池的頻率特性是反映光的交變頻率和光電池輸出電流的關(guān)系 38 4 溫度特性主要描述光電池的開路電壓和短路電流隨溫度變化的情況 開路電壓隨溫度升高而下降的速度較快 短路電流隨溫度升高而緩慢增加 因此作測(cè)量元件時(shí)應(yīng)考慮進(jìn)行溫補(bǔ) 3 光電池的應(yīng)用 2光敏二極管及其應(yīng)用 光敏二極管 photodiode 的基本工作原理是當(dāng)光照射半導(dǎo)體的PN結(jié)時(shí) 在反向電壓的作用下 其反向電流隨光照強(qiáng)度變化而變化 由此來(lái)實(shí)現(xiàn)將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的功能 光敏二極管的結(jié)面積較大 安裝在管子頂部以接受光的照射 結(jié)的深度較淺 1 光敏二極管結(jié)構(gòu)原理與等效電路 43 在無(wú)光照時(shí) 外加反向工作電壓使光敏二極管的PN結(jié)電荷區(qū)增寬 電路中由于少數(shù)載流子的運(yùn)動(dòng)而形成了很小的反向漏電流 稱為光敏二極管的暗電流 光照射光敏二極管時(shí) 光子打在PN結(jié)附近 使空間電荷區(qū)產(chǎn)生電子一空穴對(duì) 它們?cè)谕怆妶?chǎng)的作用下與P區(qū)和N區(qū)的少數(shù)載流子作定向運(yùn)動(dòng)而形成電流 此時(shí)的電流要比無(wú)光照時(shí)的漏電流大的多 PIN光電二極管 雪崩式二極管 光譜特性 0 9 m 2 光敏二極管特性 光照特性 溫度特性 伏安特性 3 光敏二極管的典型應(yīng)用電路 3光敏三極管及其應(yīng)用 1 光敏三極管的結(jié)構(gòu)和原理 當(dāng)集電極加上正電壓 基極開路時(shí) 集電結(jié)處于反向偏置狀態(tài) 當(dāng)光線照射在集電結(jié)的基區(qū)時(shí) 產(chǎn)生電子 空穴對(duì) 光生電子被拉到集電極 基區(qū)留下空穴 使基極與發(fā)射極間的電壓升高 相當(dāng)于給發(fā)射結(jié)加了正向偏壓 使電子大量流向集電極 形成輸出電流 且集電極電流為光電流的 倍 2 光敏三極管的特性 光譜特性 光照特性 光電流 伏安特性 溫度變化對(duì)光電流的影